JPH05241009A - カラーフィルタの残査除去装置 - Google Patents
カラーフィルタの残査除去装置Info
- Publication number
- JPH05241009A JPH05241009A JP4442992A JP4442992A JPH05241009A JP H05241009 A JPH05241009 A JP H05241009A JP 4442992 A JP4442992 A JP 4442992A JP 4442992 A JP4442992 A JP 4442992A JP H05241009 A JPH05241009 A JP H05241009A
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- Japan
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- developing tank
- residue
- pressure spray
- color filter
- developing
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】着色層形成用感材の残査を確実に除去すると共
にその再付着を防止する。 【構成】基板上に塗布された着色層形成用感材を露光、
現像してカラーパターンを形成する際の現像残査を除去
する装置であって、前記着色層形成用感材の残査を除去
する低圧スプレー装置１６を備える第１の現像槽１２
と、第１の現像槽で除去されなかった残査を除去する高
圧スプレー装置１９を備える第２の現像槽１と、第２の
現像槽の内壁に水を供給する自己洗浄装置２０とを有す
る。また、高圧スプレー装置１９の代わりに水に高周波
振動を付与するシャワー装置を設けてもよい。
にその再付着を防止する。 【構成】基板上に塗布された着色層形成用感材を露光、
現像してカラーパターンを形成する際の現像残査を除去
する装置であって、前記着色層形成用感材の残査を除去
する低圧スプレー装置１６を備える第１の現像槽１２
と、第１の現像槽で除去されなかった残査を除去する高
圧スプレー装置１９を備える第２の現像槽１と、第２の
現像槽の内壁に水を供給する自己洗浄装置２０とを有す
る。また、高圧スプレー装置１９の代わりに水に高周波
振動を付与するシャワー装置を設けてもよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、撮像管或いは固体撮像
装置用の色分解フィルタ及び液晶表示装置用のカラーフ
ィルタを製造する工程において、現像工程において生じ
る着色層形成用感材、特に顔料を感光性樹脂に分散させ
た着色層形成用感材の残査を除去する装置に関する。
装置用の色分解フィルタ及び液晶表示装置用のカラーフ
ィルタを製造する工程において、現像工程において生じ
る着色層形成用感材、特に顔料を感光性樹脂に分散させ
た着色層形成用感材の残査を除去する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】先ず、図２によりカラーフィルタの製造
方法の１例について説明する。ガラス等の透明基板１上
に線幅６０μｍ、ピッチ２００μｍ程度のストライブ状
パターンからなるブラック遮光層２を形成する（Ａ）。
このブラック遮光層は設けなくてもよい。次に、ブラッ
ク遮光層２の上から、１色目、例えばレッドの水溶性着
色層形成用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露
光した後、現像を行いレッドパターン層３を形成し
（Ｂ）、２色目以降は、例えば、グリーン、ブルーの着
色層形成用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露
光した後、現像を行いグリーン、ブルーのパターン層
４、５を形成する（Ｃ、Ｄ）。次に、物理化学的保護、
表面の整面化、平坦化を目的として、カラーパターン層
の上に保護膜層６を形成する（Ｅ）。さらに、保護膜層
６の上に透明電極層７を形成して、カラーフィルタを製
造する（Ｆ）。
方法の１例について説明する。ガラス等の透明基板１上
に線幅６０μｍ、ピッチ２００μｍ程度のストライブ状
パターンからなるブラック遮光層２を形成する（Ａ）。
このブラック遮光層は設けなくてもよい。次に、ブラッ
ク遮光層２の上から、１色目、例えばレッドの水溶性着
色層形成用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露
光した後、現像を行いレッドパターン層３を形成し
（Ｂ）、２色目以降は、例えば、グリーン、ブルーの着
色層形成用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露
光した後、現像を行いグリーン、ブルーのパターン層
４、５を形成する（Ｃ、Ｄ）。次に、物理化学的保護、
表面の整面化、平坦化を目的として、カラーパターン層
の上に保護膜層６を形成する（Ｅ）。さらに、保護膜層
６の上に透明電極層７を形成して、カラーフィルタを製
造する（Ｆ）。
【０００３】上記カラーパターンの製造において、着色
層形成用感材として水に溶け難い性質を有するものを採
用する場合には、現像工程において、高圧スプレー装置
により３ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の温純水をガラス基板に噴
射させる必要があり、カラーパターンの不要部分である
着色層形成用感材の残査を剥すようにして除去してい
る。
層形成用感材として水に溶け難い性質を有するものを採
用する場合には、現像工程において、高圧スプレー装置
により３ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の温純水をガラス基板に噴
射させる必要があり、カラーパターンの不要部分である
着色層形成用感材の残査を剥すようにして除去してい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の残査を除去する方式においては、現像槽内で高圧水
を噴射するため、着色層形成用感材の残査が現像槽の内
壁に跳ね返ってカラーパターン上に再付着してしまうと
いう問題を有している。その結果、その後の工程で保護
膜層を形成すると、その部分に突起部が形成されてしま
い、カラーフィルタの表面に設けられる液晶セル内の液
晶の配向を阻害したり、液晶セルギャップ異常の原因に
なって表示する映像の欠陥になり、カラーフィルタを使
用した製品が不良になってしまう。
来の残査を除去する方式においては、現像槽内で高圧水
を噴射するため、着色層形成用感材の残査が現像槽の内
壁に跳ね返ってカラーパターン上に再付着してしまうと
いう問題を有している。その結果、その後の工程で保護
膜層を形成すると、その部分に突起部が形成されてしま
い、カラーフィルタの表面に設けられる液晶セル内の液
晶の配向を阻害したり、液晶セルギャップ異常の原因に
なって表示する映像の欠陥になり、カラーフィルタを使
用した製品が不良になってしまう。
【０００５】本発明は、上記問題を解決するものであっ
て、着色層形成用感材の残査を確実に除去するとともに
その再付着を防止することができるカラーフィルタの残
査除去装置を提供することを目的とする。
て、着色層形成用感材の残査を確実に除去するとともに
その再付着を防止することができるカラーフィルタの残
査除去装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そのために本発明の請求
項１に記載された発明は、基板上に塗布された着色層形
成用感材を露光、現像してカラーパターンを形成する際
の現像残査を除去する装置であって、前記着色層形成用
感材の残査を除去する低圧スプレー装置１６を備える第
１の現像槽１２と、第１の現像槽で除去されなかった残
査を除去する高圧スプレー装置１９を備える第２の現像
槽１３と、第２の現像槽の内壁に現像液を供給する自己
洗浄装置２０とを有することを特徴とする。また、請求
項４に記載された発明は、高圧スプレー装置１９の代わ
りに高周波振動シャワー装置を設けることを特徴とす
る。なお、上記構成に付加した番号は、理解を容易にす
るために図面と対比させるためのもので、これにより本
発明の構成が何ら限定されるものではない。
項１に記載された発明は、基板上に塗布された着色層形
成用感材を露光、現像してカラーパターンを形成する際
の現像残査を除去する装置であって、前記着色層形成用
感材の残査を除去する低圧スプレー装置１６を備える第
１の現像槽１２と、第１の現像槽で除去されなかった残
査を除去する高圧スプレー装置１９を備える第２の現像
槽１３と、第２の現像槽の内壁に現像液を供給する自己
洗浄装置２０とを有することを特徴とする。また、請求
項４に記載された発明は、高圧スプレー装置１９の代わ
りに高周波振動シャワー装置を設けることを特徴とす
る。なお、上記構成に付加した番号は、理解を容易にす
るために図面と対比させるためのもので、これにより本
発明の構成が何ら限定されるものではない。
【０００７】
【作用】本発明においては、例えば図１に示すように、
第１の現像槽１２において、低圧スプレー装置１６によ
り、射出圧力１ｋｇｆ／ｃｍ2 以下、４０℃の温純水を
基板１に噴射し、着色層形成用感材の上層の残査を大部
分除去し、第２の現像槽１３において、高圧スプレー装
置１９により、射出圧力２ｋｇｆ／ｃｍ2 以上、４０℃
の温純水を基板１に噴射し、着色層形成用感材の下層の
残査を除去する。第２の現像槽１３の上部には自己洗浄
装置２０を設け、残査が現像槽１３の内壁に跳ね返って
基板に再付着するのを防止する。
第１の現像槽１２において、低圧スプレー装置１６によ
り、射出圧力１ｋｇｆ／ｃｍ2 以下、４０℃の温純水を
基板１に噴射し、着色層形成用感材の上層の残査を大部
分除去し、第２の現像槽１３において、高圧スプレー装
置１９により、射出圧力２ｋｇｆ／ｃｍ2 以上、４０℃
の温純水を基板１に噴射し、着色層形成用感材の下層の
残査を除去する。第２の現像槽１３の上部には自己洗浄
装置２０を設け、残査が現像槽１３の内壁に跳ね返って
基板に再付着するのを防止する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明の残査除去装置の１実施例を示す
構成図である。
明する。図１は本発明の残査除去装置の１実施例を示す
構成図である。
【０００９】基板１を搬送するコンベア１１上には、第
１の現像槽１２および第２の現像槽１３が配設される。
第１の現像槽１２には、給水管１５ａ、１５ｂ、１５ｃ
に接続される低圧スプレー装置１６を設け、射出圧力１
ｋｇｆ／ｃｍ2 以下、４０℃の温純水を基板１の上下方
向から噴射し、着色層形成用感材の上層の残査を大部分
除去し、排水管１５ｄより排出する。
１の現像槽１２および第２の現像槽１３が配設される。
第１の現像槽１２には、給水管１５ａ、１５ｂ、１５ｃ
に接続される低圧スプレー装置１６を設け、射出圧力１
ｋｇｆ／ｃｍ2 以下、４０℃の温純水を基板１の上下方
向から噴射し、着色層形成用感材の上層の残査を大部分
除去し、排水管１５ｄより排出する。
【００１０】第１の現像槽１２で残査が除去された基板
１は、第２の現像槽１３に搬入される。第２の現像槽１
３は、ドーム形状をなし、給水管１７ａ、１７ｂ、１７
ｃに接続される高圧スプレー装置１９を設け、射出圧力
２ｋｇｆ／ｃｍ2 以上、４０℃の温純水を基板１の上下
方向から噴射し、着色層形成用感材の下層の残査を除去
し、排水管１７ｄより排出する。また、第２の現像槽１
３の上部には、スプリンクラー、シャワー等の自己洗浄
装置２０を設け、残査が現像槽１３の内壁に跳ね返って
基板に再付着するのを防止している。
１は、第２の現像槽１３に搬入される。第２の現像槽１
３は、ドーム形状をなし、給水管１７ａ、１７ｂ、１７
ｃに接続される高圧スプレー装置１９を設け、射出圧力
２ｋｇｆ／ｃｍ2 以上、４０℃の温純水を基板１の上下
方向から噴射し、着色層形成用感材の下層の残査を除去
し、排水管１７ｄより排出する。また、第２の現像槽１
３の上部には、スプリンクラー、シャワー等の自己洗浄
装置２０を設け、残査が現像槽１３の内壁に跳ね返って
基板に再付着するのを防止している。
【００１１】本発明が適用される着色層形成用感材は、
水に溶け難く低圧水では剥がれ難い性質を有するもの
で、その組成割合（重量％）の例を下記に示す。
水に溶け難く低圧水では剥がれ難い性質を有するもの
で、その組成割合（重量％）の例を下記に示す。
【００１２】 赤色：ピラゾロンレッド（赤色顔料） …１０ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウム キノリウム（感光性樹脂） … ５ 水 …８５ 緑色：リオノールグリーン２Ｙ−３０１（緑色顔料） … ９ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウム キノリウム（感光性樹脂） … ５ 水 …８６ 青色：ファストゲンブルー（青色顔料） … ３ ポリビニルアルコール／５％スチルバゾリウム キノリウム（感光性樹脂） … ５ 水 …９２ 次に、本発明の他の実施例について説明する。本実施例
においては、第２の現像槽１３において、高圧スプレー
装置１９の代わりに、水に１ＭＨｚ以上の高周波振動を
付与する高周波振動シャワー装置を設け、第１の現像槽
１２で除去されなかった着色層形成用感材の下層の残査
を除去するものである。
においては、第２の現像槽１３において、高圧スプレー
装置１９の代わりに、水に１ＭＨｚ以上の高周波振動を
付与する高周波振動シャワー装置を設け、第１の現像槽
１２で除去されなかった着色層形成用感材の下層の残査
を除去するものである。
【００１３】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく種々の変更が可能である。例えば、第２の現
像槽１３を連続して複数台設けてもよく、この場合には
射出圧力を減少させることができる。
のではなく種々の変更が可能である。例えば、第２の現
像槽１３を連続して複数台設けてもよく、この場合には
射出圧力を減少させることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、基板上に塗布された着色層形成用感材を露光、
現像してカラーパターンを形成する際の現像残査を除去
する装置であって、前記着色層形成用感材の残査を除去
する低圧スプレー装置を備える第１の現像槽と、第１の
現像槽で除去されなかった残査を除去する高圧スプレー
装置または高周波振動シャワー装置を備える第２の現像
槽と、第２の現像槽の内壁に現像液を供給する自己洗浄
装置とを有する構成のため、着色層形成用感材の残査を
確実に除去するとともにその再付着を防止することがで
きる。
よれば、基板上に塗布された着色層形成用感材を露光、
現像してカラーパターンを形成する際の現像残査を除去
する装置であって、前記着色層形成用感材の残査を除去
する低圧スプレー装置を備える第１の現像槽と、第１の
現像槽で除去されなかった残査を除去する高圧スプレー
装置または高周波振動シャワー装置を備える第２の現像
槽と、第２の現像槽の内壁に現像液を供給する自己洗浄
装置とを有する構成のため、着色層形成用感材の残査を
確実に除去するとともにその再付着を防止することがで
きる。
【図１】本発明のカラーフィルタの残査除去装置の１実
施例を示す構成図
施例を示す構成図
【図２】カラーフィルタの製造方法を説明するための拡
大断面図
大断面図
１…基板、１２…第１の現像槽、１３…第２の現像槽 １６…低圧スプレー装置、１９…高圧スプレー装置、２
０…自己洗浄装置
０…自己洗浄装置
Claims (5)
- 【請求項１】基板上に塗布された着色層形成用感材を露
光、現像してカラーパターンを形成する際の現像残査を
除去する装置であって、前記着色層形成用感材の残査を
除去する低圧スプレー装置を備える第１の現像槽と、第
１の現像槽で除去されなかった残査を除去する高圧スプ
レー装置を備える第２の現像槽と、第２の現像槽の内壁
に現像液を供給する自己洗浄装置とを有することを特徴
とするカラーフィルタの残査除去装置。 - 【請求項２】前記低圧スプレー装置の射出圧力が１ｋｇ
ｆ／ｃｍ2 以下であり、前記高圧スプレー装置の射出圧
力が２ｋｇｆ／ｃｍ2 以上であることを特徴とする請求
項１に記載のカラーフィルタの残査除去装置。 - 【請求項３】前記低圧スプレー装置および高圧スプレー
装置は、４０℃以上の温純水を射出することを特徴とす
る請求項１または２に記載のカラーフィルタの残査除去
装置。 - 【請求項４】基板上に塗布された着色層形成用感材を露
光、現像してカラーパターンを形成する際の現像残査を
除去する装置であって、前記着色層形成用感材の残査を
除去する低圧スプレー装置を備える第１の現像槽と、第
１の現像槽で除去されなかった残査を除去する高周波振
動シャワー装置を備える第２の現像槽と、第２の現像槽
の内壁に現像液を供給する自己洗浄装置とを有すること
を特徴とするカラーフィルタの残査除去装置。 - 【請求項５】前記低圧スプレー装置および高周波振動シ
ャワー装置は、４０℃以上の温純水を射出することを特
徴とする請求項４に記載のカラーフィルタの残査除去装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4442992A JPH05241009A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | カラーフィルタの残査除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4442992A JPH05241009A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | カラーフィルタの残査除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05241009A true JPH05241009A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12691252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4442992A Pending JPH05241009A (ja) | 1992-03-02 | 1992-03-02 | カラーフィルタの残査除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05241009A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006195127A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の現像方法及び現像装置 |
| JP2013210542A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法、並びにこれを用いて製造されるカラーフィルタ、固体撮像素子、及び液晶表示装置 |
-
1992
- 1992-03-02 JP JP4442992A patent/JPH05241009A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006195127A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の現像方法及び現像装置 |
| JP4539336B2 (ja) * | 2005-01-13 | 2010-09-08 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ基板の現像方法及び現像装置 |
| JP2013210542A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法、並びにこれを用いて製造されるカラーフィルタ、固体撮像素子、及び液晶表示装置 |
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