JPH0523883A - レーザ加工機の加工条件設定方法 - Google Patents
レーザ加工機の加工条件設定方法Info
- Publication number
- JPH0523883A JPH0523883A JP3180738A JP18073891A JPH0523883A JP H0523883 A JPH0523883 A JP H0523883A JP 3180738 A JP3180738 A JP 3180738A JP 18073891 A JP18073891 A JP 18073891A JP H0523883 A JPH0523883 A JP H0523883A
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- JP
- Japan
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- assist gas
- gas pressure
- pressure
- laser beam
- processing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数のアシストガス圧値を一つの材質・板厚
毎にデータベースに登録できるレーザ加工機の加工条件
設定方法を提供すること。 【構成】 レーザ加工機の制御装置の加工条件データベ
ースに、被加工物の材質・板厚毎にそれぞれ複数のアシ
ストガス圧のレベルと、それぞれの圧力レベルの値を登
録した。 【効果】 加工プログラムにて指定するのみで材質・板
厚が異なる被加工物に対するアシストガス圧制御が可能
となり、異なったワークのロットをローダ／アンローダ
を用いた無人化運転にも対応可能となった。
毎にデータベースに登録できるレーザ加工機の加工条件
設定方法を提供すること。 【構成】 レーザ加工機の制御装置の加工条件データベ
ースに、被加工物の材質・板厚毎にそれぞれ複数のアシ
ストガス圧のレベルと、それぞれの圧力レベルの値を登
録した。 【効果】 加工プログラムにて指定するのみで材質・板
厚が異なる被加工物に対するアシストガス圧制御が可能
となり、異なったワークのロットをローダ／アンローダ
を用いた無人化運転にも対応可能となった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光によって被加
工物を加工するレーザ加工機の加工条件設定方法、特に
アシストガス圧の設定方法に関するものである。
工物を加工するレーザ加工機の加工条件設定方法、特に
アシストガス圧の設定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は市販されている従来のレーザ加工
機の制御装置の取扱説明書に記載されている加工条件デ
ータベースの１例を示す説明図である。図において、＜
材質＞、＜板厚＞の各欄は被加工物の材質（または名
称）、板厚を登録する欄、＜コメント＞欄は単なるコメ
ント登録で、制御そのものには関係のないデータであ
る。出力Ｓ（Ｗ）、周波数Ｂ（Ｈｚ）、デューティＴ
（％）は、それぞれレーザ出力の大きさと形態を表す。
速度Ｆは加工速度（ｍ／分）、補正（ｍｍ）は加工形状
のレーザビーム補正量である。ピアス（Ｓｅｃ）はレー
ザビームオンした時に小さな穴を明けるピアス加工に要
する時間である。焦点（ｍｍ) はレーザビームの焦点位
置をワーク表面に対してどの位置にするかを規定するも
ので、０．０ｍｍのとき表面、正の値は表面より上、負
の値は板の内部に位置させる。メモは単にユーザのため
のメモである。
機の制御装置の取扱説明書に記載されている加工条件デ
ータベースの１例を示す説明図である。図において、＜
材質＞、＜板厚＞の各欄は被加工物の材質（または名
称）、板厚を登録する欄、＜コメント＞欄は単なるコメ
ント登録で、制御そのものには関係のないデータであ
る。出力Ｓ（Ｗ）、周波数Ｂ（Ｈｚ）、デューティＴ
（％）は、それぞれレーザ出力の大きさと形態を表す。
速度Ｆは加工速度（ｍ／分）、補正（ｍｍ）は加工形状
のレーザビーム補正量である。ピアス（Ｓｅｃ）はレー
ザビームオンした時に小さな穴を明けるピアス加工に要
する時間である。焦点（ｍｍ) はレーザビームの焦点位
置をワーク表面に対してどの位置にするかを規定するも
ので、０．０ｍｍのとき表面、正の値は表面より上、負
の値は板の内部に位置させる。メモは単にユーザのため
のメモである。
【０００３】しかして、ガス圧はアシストガス圧のレベ
ルを表すもので、本例ではＨ：高圧、Ｍ：中圧、Ｌ：低
圧の３段が指定できる。ガス種はアシストガスの種類
（例えば酸素、空気、窒素）に対応する番号１，２，３
を指定する。これらのデータベースは複数の種類（例え
ば１００種）の材質・板厚に対して制御装置のメモリへ
登録されている。
ルを表すもので、本例ではＨ：高圧、Ｍ：中圧、Ｌ：低
圧の３段が指定できる。ガス種はアシストガスの種類
（例えば酸素、空気、窒素）に対応する番号１，２，３
を指定する。これらのデータベースは複数の種類（例え
ば１００種）の材質・板厚に対して制御装置のメモリへ
登録されている。
【０００４】図４は前記加工条件データベースを用いた
アシストガス圧制御のＨ／Ｗ構成を示すブロック図であ
る。図中、１は制御装置、２はレーザ加工機本体、３は
アシストガス供給部を示す。
アシストガス圧制御のＨ／Ｗ構成を示すブロック図であ
る。図中、１は制御装置、２はレーザ加工機本体、３は
アシストガス供給部を示す。
【０００５】制御装置１は、ＣＰＵ（中央演算装置）１
１と、前述の加工条件データベース等が格納されている
メモリ１２と、アシストガス制御部１３とから構成され
ており、アシストガス制御部１３はアシストガス種の信
号（Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３）とガス圧のレベルの信号（Ｌ
１，Ｌ２，Ｌ３）をオン／オフさせる。
１と、前述の加工条件データベース等が格納されている
メモリ１２と、アシストガス制御部１３とから構成され
ており、アシストガス制御部１３はアシストガス種の信
号（Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３）とガス圧のレベルの信号（Ｌ
１，Ｌ２，Ｌ３）をオン／オフさせる。
【０００６】レーザ加工機本体２は、アシストガスの逆
止弁２１と、アシストガス種選択のための電磁弁２２
と、アシストガス圧レベル選択のための電磁弁２３と、
オペレータが手動でガス圧力を調整するためのバルブ２
４と、レーザ加工機の加工ヘッド２５の近くに装着され
た圧力計２６とを備えている。
止弁２１と、アシストガス種選択のための電磁弁２２
と、アシストガス圧レベル選択のための電磁弁２３と、
オペレータが手動でガス圧力を調整するためのバルブ２
４と、レーザ加工機の加工ヘッド２５の近くに装着され
た圧力計２６とを備えている。
【０００７】次に、前述のように構成された従来のレー
ザ加工機のアシストガス圧制御を含めた加工条件設定方
法について加工プログラムを例にとり説明する。 １）加工条件データテーブル（図３）の呼び込み Ｍ１００ ［ＳＵＳ］［０．３］ ここで、Ｍ１００：加工条件データテーブルを呼び込む
ためのコード ［ＳＵＳ］：登録されている材質名 ［０．３］：登録されている板厚 ２）Ｍ１０１〜Ｍ１１０コードによる指定 Ｍ１０２を指定すると前記データテーブルの＃２の欄が選択され、 Ｍ１０５を指定すると前記データテーブルの＃５の欄が選択され、 ： ： Ｍ１１０を指定すると前記データテーブルの＃１０の欄が選択され、 選択された欄の出力、周波数、デューティ、ガス種、ガス圧等の条件が設定 される。 Ｍ１０５の場合、ガス種１、ガス圧Ｈ（高圧）となり、
図３のガス種１の信号Ｋ１，ガス圧高（Ｈ）の信号Ｌ１
が指令され、それぞれに対応する電磁弁２２，２３が開
放されて所定のガス圧制御が実行される。
ザ加工機のアシストガス圧制御を含めた加工条件設定方
法について加工プログラムを例にとり説明する。 １）加工条件データテーブル（図３）の呼び込み Ｍ１００ ［ＳＵＳ］［０．３］ ここで、Ｍ１００：加工条件データテーブルを呼び込む
ためのコード ［ＳＵＳ］：登録されている材質名 ［０．３］：登録されている板厚 ２）Ｍ１０１〜Ｍ１１０コードによる指定 Ｍ１０２を指定すると前記データテーブルの＃２の欄が選択され、 Ｍ１０５を指定すると前記データテーブルの＃５の欄が選択され、 ： ： Ｍ１１０を指定すると前記データテーブルの＃１０の欄が選択され、 選択された欄の出力、周波数、デューティ、ガス種、ガス圧等の条件が設定 される。 Ｍ１０５の場合、ガス種１、ガス圧Ｈ（高圧）となり、
図３のガス種１の信号Ｋ１，ガス圧高（Ｈ）の信号Ｌ１
が指令され、それぞれに対応する電磁弁２２，２３が開
放されて所定のガス圧制御が実行される。
【０００８】但し、ガス圧のＨ，Ｍ，Ｌの大きさは、あ
らかじめオペレータが図４の圧力計２６を見ながら各バ
ルブ２４を圧力を調整しておく必要がある。（加工途中
では通常調整しない）
らかじめオペレータが図４の圧力計２６を見ながら各バ
ルブ２４を圧力を調整しておく必要がある。（加工途中
では通常調整しない）
【０００９】図５は例えば特開昭６４−４４２９６号公
報に示されている従来のアシストガスのガス圧データテ
ーブルの一例を示す説明図である。図において、Ｑ１，
Ｑ２，…Ｑｎは加工プログラムにおいてこのデータテー
ブルのデータの位置を示すものである。また、Ｐｗはア
シストガス圧力、Ｐｐはプリフローのアシストガス圧
力、ｔｐはプリフローのアシストガスのフロー時間、Ｐ
ａはアフターフローのアシストガス圧力、ｔａはアフタ
ーフローのアシストガスのフロー時間を示す。
報に示されている従来のアシストガスのガス圧データテ
ーブルの一例を示す説明図である。図において、Ｑ１，
Ｑ２，…Ｑｎは加工プログラムにおいてこのデータテー
ブルのデータの位置を示すものである。また、Ｐｗはア
シストガス圧力、Ｐｐはプリフローのアシストガス圧
力、ｔｐはプリフローのアシストガスのフロー時間、Ｐ
ａはアフターフローのアシストガス圧力、ｔａはアフタ
ーフローのアシストガスのフロー時間を示す。
【００１０】このようなものにおいて、アシストガス圧
は制御を次のように行われる。すなわち、加工プログラ
ムにて例えば Ｇ３２，Ｐ１，Ｑ２ と指定することでアシストガスが制御される。 ここで、Ｇ３２：アシストガスを制御するためのＧコー
ド Ｐ１：アシストガスの種類を表す（例えば、Ｐ０はアシ
ストガス停止、Ｐ１は酸素、Ｐ２は窒素、Ｐ３は空気、
Ｐ４はアルゴン） Ｑ２：アシストガス圧テーブルのデータの位置を指定
（つまり圧力値と時間を指定）
は制御を次のように行われる。すなわち、加工プログラ
ムにて例えば Ｇ３２，Ｐ１，Ｑ２ と指定することでアシストガスが制御される。 ここで、Ｇ３２：アシストガスを制御するためのＧコー
ド Ｐ１：アシストガスの種類を表す（例えば、Ｐ０はアシ
ストガス停止、Ｐ１は酸素、Ｐ２は窒素、Ｐ３は空気、
Ｐ４はアルゴン） Ｑ２：アシストガス圧テーブルのデータの位置を指定
（つまり圧力値と時間を指定）
【００１１】図６乃至図１０は例えば特開昭６１−１２
３４９５号公報に示されている従来のアシストガス制御
のためのデータテーブルの他の例を示す説明図で、図６
はアシストガス種テーブル、図７はアシストガス圧テー
ブル、図８はレーザ出力テーブル、図９は加工速度テー
ブル、図１０はアシストガス流量テーブルである。
３４９５号公報に示されている従来のアシストガス制御
のためのデータテーブルの他の例を示す説明図で、図６
はアシストガス種テーブル、図７はアシストガス圧テー
ブル、図８はレーザ出力テーブル、図９は加工速度テー
ブル、図１０はアシストガス流量テーブルである。
【００１２】この従来例では、加工する前にオペレータ
が材質ＭＴ，板厚ＴＨを入力すると、それに対応したア
シストガスの種類、レーザ出力、加工速度、アシストガ
ス圧、アシストガス流量が一義的に決定される。
が材質ＭＴ，板厚ＴＨを入力すると、それに対応したア
シストガスの種類、レーザ出力、加工速度、アシストガ
ス圧、アシストガス流量が一義的に決定される。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３及
び図４の従来例の場合、アシストガス圧の大きさは加工
する前に予めオペレータが手動で調整しておくことが必
要で、異種材料のワークを加工する際に面倒であり、ミ
スも犯し易すかった。また、複数の異種材料が混じった
ワークのロットのローダ／アンローダを用いたスケジュ
ール運転（無人化運転）は、ガス圧調整にオペレータが
介在する必要があるため不可能であった。
び図４の従来例の場合、アシストガス圧の大きさは加工
する前に予めオペレータが手動で調整しておくことが必
要で、異種材料のワークを加工する際に面倒であり、ミ
スも犯し易すかった。また、複数の異種材料が混じった
ワークのロットのローダ／アンローダを用いたスケジュ
ール運転（無人化運転）は、ガス圧調整にオペレータが
介在する必要があるため不可能であった。
【００１４】また、図５の従来例の場合、一つの材質・
板厚に対する加工条件データベースとなっていないた
め、加工速度や加工形態に対してガス圧を変える時、ど
のガス圧を使うかガス圧テーブル上の位置を探して指定
する必要があり、加工プログラム作成時に非常に面倒で
あった。
板厚に対する加工条件データベースとなっていないた
め、加工速度や加工形態に対してガス圧を変える時、ど
のガス圧を使うかガス圧テーブル上の位置を探して指定
する必要があり、加工プログラム作成時に非常に面倒で
あった。
【００１５】また、図６乃至図１０の従来例の場合、一
つの材質・板厚に対して一つの加工条件となっているた
め、加工途中で条件を変えるのが困難で面倒であった。
つの材質・板厚に対して一つの加工条件となっているた
め、加工途中で条件を変えるのが困難で面倒であった。
【００１６】本発明は叙上の点に鑑み、複数のアシスト
ガス圧値を一つの材質・板厚毎にデータベースに登録で
きるレーザ加工機の加工条件設定方法を提供することを
目的とする。
ガス圧値を一つの材質・板厚毎にデータベースに登録で
きるレーザ加工機の加工条件設定方法を提供することを
目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ加工
機の加工条件設定方法は、レーザ加工機の制御装置の加
工条件データベースに、被加工物の材質・板厚毎にそれ
ぞれ複数のアシストガス圧のレベルと、それぞれの圧力
レベルの値を登録したことを特徴としている。
機の加工条件設定方法は、レーザ加工機の制御装置の加
工条件データベースに、被加工物の材質・板厚毎にそれ
ぞれ複数のアシストガス圧のレベルと、それぞれの圧力
レベルの値を登録したことを特徴としている。
【００１８】
【作用】本発明においては、加工プログラムにて指定さ
れた加工条件データベースのアシストガス圧の圧力レベ
ル値に応じて、登録されているアシストガス圧が設定さ
れる。
れた加工条件データベースのアシストガス圧の圧力レベ
ル値に応じて、登録されているアシストガス圧が設定さ
れる。
【００１９】
【実施例】以下、図示実施例に基づき本発明を説明す
る。図１は本実施例に係るレーザ加工機の加工条件設定
方法による一つの材質・板厚に対する加工条件データベ
ースの一例を示す説明図である。この実施例の加工条件
データベースは、図３の従来例の加工条件データベース
中のアシストガス圧のレベルを示す高圧Ｈ，中圧Ｍ、低
圧Ｌの他に、それぞれの圧力レベルの値をＨ＝８．０、
Ｍ＝５．５、Ｌ＝２．５Ｋｇｆ／ｃｍ2 のように登録し
た点に特徴を有している。そして、このような加工条件
データベースは、複数の材質・板厚に対し、制御装置の
メモリにそれぞれ登録されている。
る。図１は本実施例に係るレーザ加工機の加工条件設定
方法による一つの材質・板厚に対する加工条件データベ
ースの一例を示す説明図である。この実施例の加工条件
データベースは、図３の従来例の加工条件データベース
中のアシストガス圧のレベルを示す高圧Ｈ，中圧Ｍ、低
圧Ｌの他に、それぞれの圧力レベルの値をＨ＝８．０、
Ｍ＝５．５、Ｌ＝２．５Ｋｇｆ／ｃｍ2 のように登録し
た点に特徴を有している。そして、このような加工条件
データベースは、複数の材質・板厚に対し、制御装置の
メモリにそれぞれ登録されている。
【００２０】図２は本実施例の加工条件データベースを
用いたアシストガス圧制御のＨ／Ｗ構成を示すブロック
図である。図において、２７はアシストガス圧設定用の
アクチュエータ付の電空比例弁、２８はアシストガスの
オン、オフに対する電磁弁である。
用いたアシストガス圧制御のＨ／Ｗ構成を示すブロック
図である。図において、２７はアシストガス圧設定用の
アクチュエータ付の電空比例弁、２８はアシストガスの
オン、オフに対する電磁弁である。
【００２１】電空比例弁２７は、アシストガス制御部１
３からの圧力レベル値の信号と圧力計２６からのフィー
ドバック信号を入力とし、これら入力信号に基づいて給
・排気２方電磁弁を駆動し、その内部のサーボチャンバ
部にてアシストガス圧を制御するものである。それ以外
の構成は図４の従来例と同様であるので、その説明は省
略する。
３からの圧力レベル値の信号と圧力計２６からのフィー
ドバック信号を入力とし、これら入力信号に基づいて給
・排気２方電磁弁を駆動し、その内部のサーボチャンバ
部にてアシストガス圧を制御するものである。それ以外
の構成は図４の従来例と同様であるので、その説明は省
略する。
【００２２】次に、前述のように構成された本実施例の
レーザ加工機のアシストガス圧制御を含めた加工条件設
定方法について加工プログラムを例にとり説明する。加
工プログラム上における指定方法は図３の従来例と同様
である。 １）加工条件データベースの呼び出し Ｍ１００ ［ＳＵＳ］［０．３］ ２）Ｍ１０１〜Ｍ１１０コードによる指定 例えば、Ｍ１０５を指定すると図１の＃５の欄が選択さ
れ、選択された欄の加工条件出力、周波数、デューテ
ィ、ガス種、ガス圧等の条件が設定される。このとき、
アシストガス圧は高圧Ｈ＝８．０Ｋｇｆ／ｃｍ2 が設定
され、ガス圧調整は電空比例弁２７にて自動的に行われ
る。
レーザ加工機のアシストガス圧制御を含めた加工条件設
定方法について加工プログラムを例にとり説明する。加
工プログラム上における指定方法は図３の従来例と同様
である。 １）加工条件データベースの呼び出し Ｍ１００ ［ＳＵＳ］［０．３］ ２）Ｍ１０１〜Ｍ１１０コードによる指定 例えば、Ｍ１０５を指定すると図１の＃５の欄が選択さ
れ、選択された欄の加工条件出力、周波数、デューテ
ィ、ガス種、ガス圧等の条件が設定される。このとき、
アシストガス圧は高圧Ｈ＝８．０Ｋｇｆ／ｃｍ2 が設定
され、ガス圧調整は電空比例弁２７にて自動的に行われ
る。
【００２３】これを更に詳述すると、まずアシストガス
をオン（レーザビームをオンする命令と同時に指令され
る）すると、図２のガス種１に対応する電磁弁２２が開
かれ、同時に電磁弁２８も開かれる。次いで、アシスト
ガス制御部１３から電空比例弁２７に対してアシストガ
ス圧に応じた電圧Ｐが指令されると、電空比例弁２７の
アクチュエータが電圧Ｐに相当する分だけ動作し、所定
のガス圧（８．０Ｋｇｆ／ｃｍ2 ）に制御される。電空
比例弁２７が動作を開始すると、圧力計２６からフィー
ドバック信号が入力するので、電空比例弁２７はこのフ
ィードバック信号とアシストガス制御部１３からの指令
信号である電圧Ｐに基づきガス圧を正確に制御する。
をオン（レーザビームをオンする命令と同時に指令され
る）すると、図２のガス種１に対応する電磁弁２２が開
かれ、同時に電磁弁２８も開かれる。次いで、アシスト
ガス制御部１３から電空比例弁２７に対してアシストガ
ス圧に応じた電圧Ｐが指令されると、電空比例弁２７の
アクチュエータが電圧Ｐに相当する分だけ動作し、所定
のガス圧（８．０Ｋｇｆ／ｃｍ2 ）に制御される。電空
比例弁２７が動作を開始すると、圧力計２６からフィー
ドバック信号が入力するので、電空比例弁２７はこのフ
ィードバック信号とアシストガス制御部１３からの指令
信号である電圧Ｐに基づきガス圧を正確に制御する。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、加
工条件データベースに、被加工物の材質・板厚毎にそれ
ぞれ複数のアシストガス圧のレベルと、それぞれの圧力
レベルの値を登録したので、被加工物の材質・板厚が異
なる毎に手動でアシストガス圧を調整する必要がなく、
加工プログラムにて指定するのみで材質・板厚が異なる
被加工物に対するアシストガス圧制御が可能となり、異
なったワークのロットをローダ／アンローダを用いた無
人化運転にも対応できるという効果がある。
工条件データベースに、被加工物の材質・板厚毎にそれ
ぞれ複数のアシストガス圧のレベルと、それぞれの圧力
レベルの値を登録したので、被加工物の材質・板厚が異
なる毎に手動でアシストガス圧を調整する必要がなく、
加工プログラムにて指定するのみで材質・板厚が異なる
被加工物に対するアシストガス圧制御が可能となり、異
なったワークのロットをローダ／アンローダを用いた無
人化運転にも対応できるという効果がある。
【図１】本発明実施例の加工条件データベースの一例を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図２】本発明実施例の加工条件データベースを用いた
アシストガス圧制御のＨ／Ｗ構成を示すブロック図であ
る。
アシストガス圧制御のＨ／Ｗ構成を示すブロック図であ
る。
【図３】従来の加工条件データベースの一例を示す説明
図である。
図である。
【図４】図３の加工条件データベースを用いたアシスト
ガス圧制御のＨ／Ｗ構成を示すブロック図である。
ガス圧制御のＨ／Ｗ構成を示すブロック図である。
【図５】従来のガス圧データテーブルの一例を示す説明
図である。
図である。
【図６】従来のガス圧データテーブルの他の例を示す説
明図である。
明図である。
【図７】従来のガス圧データテーブルの他の例を示す説
明図である。
明図である。
【図８】従来のガス圧データテーブルの他の例を示す説
明図である。
明図である。
【図９】従来のガス圧データテーブルの他の例を示す説
明図である。
明図である。
【図１０】従来のガス圧データテーブルの他の例を示す
説明図である。
説明図である。
１ 制御装置 ２ レーザ加工機本体 ３ アシストガス供給部 １２ メモリ（加工条件データベース）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 レーザ加工機の制御装置の加工条件デー
タベースに、被加工物の材質・板厚毎にそれぞれ複数の
アシストガス圧のレベルと、それぞれの圧力レベルの値
を登録したことを特徴とするレーザ加工機の加工条件設
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180738A JPH0523883A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | レーザ加工機の加工条件設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180738A JPH0523883A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | レーザ加工機の加工条件設定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0523883A true JPH0523883A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16088451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3180738A Pending JPH0523883A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | レーザ加工機の加工条件設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0523883A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014503365A (ja) * | 2011-01-28 | 2014-02-13 | ガス、テクノロジー、インスティチュート | レーザ物体処理ツール |
-
1991
- 1991-07-22 JP JP3180738A patent/JPH0523883A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014503365A (ja) * | 2011-01-28 | 2014-02-13 | ガス、テクノロジー、インスティチュート | レーザ物体処理ツール |
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