JPH05238717A - Method and device for producing fullerene - Google Patents

Method and device for producing fullerene

Info

Publication number
JPH05238717A
JPH05238717A JP4041255A JP4125592A JPH05238717A JP H05238717 A JPH05238717 A JP H05238717A JP 4041255 A JP4041255 A JP 4041255A JP 4125592 A JP4125592 A JP 4125592A JP H05238717 A JPH05238717 A JP H05238717A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge
graphite
fullerene
microwave
cavity resonator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4041255A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuya Ikeda
哲哉 池田
Tsugitoshi Ogura
次利 小倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP4041255A priority Critical patent/JPH05238717A/en
Publication of JPH05238717A publication Critical patent/JPH05238717A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/12Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
    • B01J19/122Incoherent waves
    • B01J19/126Microwaves

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the production efficiency by supplying a graphite powder into a microwave discharge field, sublimating the powder by the discharge plasma and subjecting the sublimate to a reaction. CONSTITUTION:The microwave outputted from a microwave oscillator 5 is introduced into a cylindrical cavity resonator 1 through a waveguide 6. A graphite powder is added into a quartz discharge tube 2 for generating the electric discharge of gaseous He 4 by the electric field. The surface temp. of the graphite powder is increased by the high-temp. uniform plasma produced in the electric field formed in the resonator 1, and the graphite powder is vaporized at a temp. higher than the sublimation temp. of graphite. The vaporized graphite is subjected to a reaction in the plasma, and fullerene and soot are finally formed. The product present in a carrier gas as the fine particles is recovered by a cyclone 8 and extracted by a solvent such as toluene, and fullerene is obtained in high yield.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は触媒担体や電子材料とし
て使用するフラーレン(C60、C70等からなる球状炭素
クラスター)の製造方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for producing fullerenes (spherical carbon clusters composed of C60, C70 etc.) used as catalyst carriers and electronic materials.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のフラーレン製造装置を図4を参照
して説明する。図4は従来装置の正面図である。真空容
器10中の約100Torrのヘリウムガス9の雰囲気
中で、グラファイト電極11の間で直流電源12により
50V,100Aのアーク放電を起こさせることによ
り、グラファイトを蒸発させる。種々のヘリウム圧力で
約1時間の放電後、真空容器内壁及び水冷銅パイプ13
に付着したフラーレンを含有するすすを回収する。従来
技術によるフラーレンの収率の一例を図3に示す。
2. Description of the Related Art A conventional fullerene manufacturing apparatus will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a front view of a conventional device. In the atmosphere of the helium gas 9 of about 100 Torr in the vacuum vessel 10, the DC power supply 12 causes an arc discharge of 50 V, 100 A between the graphite electrodes 11 to evaporate the graphite. After discharging for about 1 hour at various helium pressures, the inner wall of the vacuum vessel and the water-cooled copper pipe 13
The soot containing the fullerenes attached to is collected. An example of the yield of fullerene according to the prior art is shown in FIG.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、アーク
放電で生成したフラーレンが真空容器内全体に飛散する
ため回収率が低下し、不純物が混入しやすいこと、アー
ク放電による加熱法であるため放電電流がグラファイト
表面の一部分で局在化するためグラファイトの表面温度
が一部領域で高いだけで、グラファイトの昇華量が少量
で一定しないため反応効率が低下すること等の欠点があ
る。さらに、原料であるグラファイト棒がアーク放電の
電極を兼ねているため、グラファイトの蒸発によって電
極形状の時間的変動が大きく、安定した反応条件が得ら
れない欠点がある。
In the prior art, fullerene generated by arc discharge scatters in the entire vacuum vessel, so the recovery rate is lowered, impurities are easily mixed, and the heating method by arc discharge causes discharge. Since the electric current is localized at a part of the graphite surface, the surface temperature of the graphite is high only in a partial area, and the sublimation amount of the graphite is not constant in a small amount, so that the reaction efficiency is lowered. Further, since the graphite rod as a raw material also serves as an electrode for arc discharge, there is a drawback that the shape of the electrode changes greatly with time due to evaporation of graphite and stable reaction conditions cannot be obtained.

【0004】本発明は上記技術水準に鑑み、フラーレン
生成の反応効率及びフラーレンの回収率を従来技術より
も向上させることのできるフラーレンの製造方法及び装
置を提供しようとするものである。
In view of the above-mentioned state of the art, the present invention is to provide a method and apparatus for producing fullerenes capable of improving the reaction efficiency of fullerene production and the recovery rate of fullerenes as compared with the prior art.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は (1)マイクロ波放電場中にグラファイト粉末を供給
し、該粉末を放電プラズマによって昇華および反応させ
ることを特徴とするフラーレン合成方法。
The present invention provides (1) a method for synthesizing fullerenes, characterized in that graphite powder is supplied into a microwave discharge field and the powder is sublimated and reacted by discharge plasma.

【0006】(2)マイクロ波発振器と、同発振器で発
信されたマイクロ波を伝播させる導波管と、同導波管に
接続された空洞共振器と、同空洞共振器に挿入された放
電管と、同放電管に放電用媒体を導入流過させるガス供
給手段と、上記放電用媒体中にグラファイト粉末を供給
するグラファイト供給手段とを特徴とするフラーレン合
成装置。
(2) Microwave oscillator, waveguide for propagating microwaves emitted by the oscillator, cavity resonator connected to the waveguide, and discharge tube inserted in the cavity resonator A fullerene synthesizing apparatus comprising: a gas supply means for introducing and flowing a discharge medium into the discharge tube; and a graphite supply means for supplying graphite powder into the discharge medium.

【0007】(3)上記放電管が空洞共振器からの出口
近傍に断熱膨張部有していることを特徴とする上記
(2)記載のフラーレン合成装置。である。
(3) The fullerene synthesizing apparatus as described in (2) above, wherein the discharge tube has an adiabatic expansion section near the outlet from the cavity resonator. Is.

【0008】[0008]

【作用】本発明方法によれば、マイクロ波放電によって
発生した高温プラズマ中に、ヘリウムガスをキャリヤガ
スとして比表面積の大きいグラファイト粉末を添加する
ことによって高温プラズマをグラファイト表面に広範囲
で接触させることができる。プラズマ中において、グラ
ファイト粉末の急速な温度上昇と均一な温度分布が得ら
れ、グラファイトの蒸発量が増加するため、フラーレン
の反応効率をあげることができる。さらに、ヘリウムガ
スをキャリヤとして生成フラーレンを回収用フィルタあ
るいはサイクロンまで誘導することができるのでフラー
レンの回収率も向上させることができる。
According to the method of the present invention, by adding graphite powder having a large specific surface area using helium gas as a carrier gas, it is possible to bring the high temperature plasma into wide contact with the high temperature plasma generated by the microwave discharge. it can. In plasma, a rapid temperature rise of the graphite powder and a uniform temperature distribution can be obtained, and the evaporation amount of graphite increases, so that the reaction efficiency of fullerene can be increased. Furthermore, since the generated fullerene can be guided to the recovery filter or the cyclone using helium gas as a carrier, the recovery rate of the fullerene can be improved.

【0009】また、本発明の装置によれば、マイクロ波
発振器から出力されたマイクロ波を導波管を介して空洞
共振器(例えば円筒型空洞共振器)に導入し、その電界
によってヘリウムガスの放電を発生させる放電管内にグ
ラファイト粉末を添加し、当該空洞共振器内部で形成す
るマイクロ波電磁界モードをTM( Transvers Magneti
c ) モードの遮断周波数に選ぶことによって形成する電
界で発生した高温で空間的に均一な放電プラズマにより
グラファイト粉末表面の温度が上昇し、グラファイトの
昇華温度3500℃以上で蒸発する。蒸発したグラファ
イトはプラズマ中で種々の反応を行うことにより最終的
にはフラーレンとすすが生成する。生成物はキャリヤガ
スのヘリウム中に微粒子として存在するため、放電管終
端をフィルタ構造として回収する。
Further, according to the device of the present invention, the microwave output from the microwave oscillator is introduced into the cavity resonator (for example, the cylindrical cavity resonator) through the waveguide, and the electric field thereof causes the helium gas to be emitted. Graphite powder is added to the inside of the discharge tube for generating a discharge, and the microwave electromagnetic field mode formed inside the cavity resonator is TM (Transvers Magneti
c) The temperature of the graphite powder surface rises due to the high temperature and spatially uniform discharge plasma generated by the electric field formed by selecting the cutoff frequency of the mode, and the graphite is evaporated at a sublimation temperature of 3500 ° C or higher. The vaporized graphite finally undergoes various reactions in plasma to form fullerenes and soot. Since the product exists as fine particles in helium as the carrier gas, the end of the discharge tube is collected as a filter structure.

【0010】上記したTMモードの遮断周波数で誘起す
るマイクロ波放電を用いる装置では直流アーク放電の場
合と比較して、グラファイト粉末全体が放電プラズマ全
体に拡散するため蒸発面積が大きくなる。しかも、グラ
ファイト表面の温度分布が一定する。したがって、グラ
ファイト表面から蒸発する物質の分子量がほぼ均等化す
るため、生成物にばらつきがなくなるのでフラーレンの
反応効率が向上する。さらに、マイクロ波放電で生成し
たフラーレンを含む生成物はサイクロンやフィルタで回
収することにより回収率も向上する。
In the apparatus using the microwave discharge induced by the cutoff frequency of the TM mode, the entire graphite powder diffuses into the entire discharge plasma, so that the evaporation area becomes large as compared with the case of the DC arc discharge. Moreover, the temperature distribution on the graphite surface is constant. Therefore, the molecular weights of the substances evaporated from the graphite surface are substantially equalized, and there is no variation in the products, and the reaction efficiency of fullerenes is improved. Further, the product containing the fullerene produced by the microwave discharge is recovered by a cyclone or a filter, so that the recovery rate is also improved.

【0011】さらに、上記した装置において、放電管が
空洞共振器からの出口近傍に断熱膨張部を有するように
すると、生成したフラーレンに対する電子あるいはイオ
ン等による分解反応等が抑制されるためフラーレンの反
応効率をあげることができる。
Further, in the above-mentioned device, when the discharge tube has an adiabatic expansion portion near the outlet from the cavity resonator, the decomposition reaction of the generated fullerene by electrons or ions is suppressed, so that the reaction of fullerene. You can improve efficiency.

【0012】[0012]

【実施例】【Example】

(実施例1)本発明のマイクロ波放電によるフラーレン
製造についての一実施例を図1を参照して説明する。こ
こでは空洞共振器として円筒型空洞共振器を用いる場合
を例示しており、図1はその正面断面図を示す。
(Example 1) An example of fullerene production by microwave discharge according to the present invention will be described with reference to FIG. Here, a case where a cylindrical cavity resonator is used as the cavity resonator is illustrated, and FIG. 1 shows a front sectional view thereof.

【0013】円筒型空洞共振器1を内径86mm、長さ
100mmとし、内径25mmの石英製の放電管2の内
部に、グラファイト粉末3を圧力20Torr、流量5
00ml/minのヘリウムガス9をキャリヤとしてグ
ラファイト粉末供給部4から導入し、放電管2内で放電
させた。マイクロ波は2.45GHzの発振器5で発生
させ、導波管6を用いて空洞共振器1に導いた。放電中
のグラファイトの蒸発による共振周波数のずれは空洞共
振器1の端板にとりつけたチューナ7で常時均一な放電
で得られるようにした。30分間の放電後、サイクロン
8中の黒色生成物を回収し、トルエンを溶媒としたソッ
クスレー抽出によりフラーレンを回収した。圧力を変化
させて得られたフラーレンの収率を求めた結果を図3に
示す。
The cylindrical cavity resonator 1 has an inner diameter of 86 mm and a length of 100 mm, and a graphite powder 3 is placed inside a quartz discharge tube 2 having an inner diameter of 25 mm with a pressure of 20 Torr and a flow rate of 5.
A helium gas 9 of 00 ml / min was used as a carrier and introduced from the graphite powder supply part 4 and discharged in the discharge tube 2. Microwaves were generated by the 2.45 GHz oscillator 5 and guided to the cavity resonator 1 using the waveguide 6. The deviation of the resonance frequency due to the evaporation of graphite during discharge is always obtained by the uniform discharge by the tuner 7 attached to the end plate of the cavity resonator 1. After discharging for 30 minutes, the black product in the cyclone 8 was recovered, and the fullerene was recovered by Soxhlet extraction using toluene as a solvent. The result of obtaining the yield of fullerene obtained by changing the pressure is shown in FIG.

【0014】さらに、グラファイトの形状に合わせてマ
イクロ波電磁界モードをTMの高次モードあるいはTE
( Transvers Electric ) モードに選んで空洞共振器内
部で形成させることによっても同様の結果が得られる。
また、グラファイト形状によっては、空洞共振器内に定
在波を形成させる必要はなく、通常の進行波型の導波管
内でグラファイトを放電させてもよい。
Further, the microwave electromagnetic field mode is set to the higher order mode of TM or TE according to the shape of graphite.
The same result can be obtained by selecting the (Transvers Electric) mode and forming it inside the cavity resonator.
Further, depending on the shape of graphite, it is not necessary to form a standing wave in the cavity resonator, and graphite may be discharged in a normal traveling wave type waveguide.

【0015】(実施例2)本発明のマイクロ波放電によ
るフラーレン装置についての他の実施例を図2を参照し
て説明する。図2に示す装置の図1の装置と異なる点は
図1の放電管2が空洞共振器1からの出口近傍に断熱膨
張させるノズル4を用いた点のみで他は図1の装置の構
成と同じである。
(Embodiment 2) Another embodiment of the fullerene device by microwave discharge of the present invention will be described with reference to FIG. The apparatus shown in FIG. 2 is different from the apparatus shown in FIG. 1 only in that the discharge tube 2 shown in FIG. 1 uses a nozzle 4 that adiabatically expands in the vicinity of the outlet from the cavity resonator 1. Is the same.

【0016】円筒型空洞共振器1を内径86mm、長さ
100mmとし、空洞下端に断熱膨張用ノズル4を設け
た内径25mmの石英製の放電管2の内部に、グラファ
イト粉末3を圧力20Torr、流量500ml/mi
nのヘリウムガス9をキャリヤとしてグラファイト粉末
供給部4から導入し、放電管2内で放電させた。マイク
ロ波は2.45GHzの発振器5で発生させ、導波管6
を用いて空洞共振器に導いた。放電中のグラファイトの
蒸発による共振周波数のずれは空洞共振器端板にとりつ
けたチューナ7で常時均一な放電が得られるようにし
た。ここで発生した気化したグラファイトを含む放電プ
ラズマは10-2Torrの真空中にノズル4を介して噴
出させた。30分間の放電後、サイクロン8中の黒色生
成物を回収し、トルエンを溶媒としたソックスレー抽出
によりフラーレンを回収した。圧力を変化させて得られ
たフラーレンの収率を求めた結果を図3に示す。
The cylindrical cavity resonator 1 has an inner diameter of 86 mm and a length of 100 mm, and a graphite discharge tube 2 having an inner diameter of 25 mm with an adiabatic expansion nozzle 4 provided at the lower end of the cavity has a graphite powder 3 at a pressure of 20 Torr and a flow rate. 500 ml / mi
Helium gas 9 of n was introduced as a carrier from the graphite powder supply part 4 and discharged in the discharge tube 2. The microwave is generated by the 2.45 GHz oscillator 5, and the waveguide 6
Was introduced into the cavity resonator. The deviation of the resonance frequency due to the evaporation of graphite during discharge was set so that the tuner 7 attached to the end plate of the cavity resonator could always obtain a uniform discharge. The discharge plasma containing vaporized graphite generated here was ejected through a nozzle 4 into a vacuum of 10 -2 Torr. After discharging for 30 minutes, the black product in the cyclone 8 was recovered, and the fullerene was recovered by Soxhlet extraction using toluene as a solvent. The result of obtaining the yield of fullerene obtained by changing the pressure is shown in FIG.

【0017】さらに、グラファイトの形状に合わせてマ
イクロ波電磁界モードをTMの高次モードあるいはTE
( Transvers Electric ) モードに選んで空洞共振器内
部で形成させることによっても同様の結果が得られる。
また、グラファイト形状によっては、空洞共振器内に定
在波を形成させる必要はなく、通常の進行波型の導波管
内でグラファイトを放電させてもよい。
Further, the microwave electromagnetic field mode is set to the higher order mode of TM or TE according to the shape of graphite.
The same result can be obtained by selecting the (Transvers Electric) mode and forming it inside the cavity resonator.
Further, depending on the shape of graphite, it is not necessary to form a standing wave in the cavity resonator, and graphite may be discharged in a normal traveling wave type waveguide.

【0018】なお、本発明で製造したフラーレンはK,
Rb,Csなどと共にHeガスの減圧封管中で加熱する
ことにより多数のフラーレン分子からなる結晶中に、こ
れら金属がドーピングされた超伝導材料を得ることがで
きる。例えばRbCs2 60の場合は臨界温度が35K
となる。
The fullerenes produced in the present invention are K,
It is possible to obtain a superconducting material in which crystals of a large number of fullerene molecules are doped with these metals by heating together with Rb, Cs and the like in a reduced pressure sealed tube of He gas. For example, in the case of RbCs 2 C 60 , the critical temperature is 35K
Becomes

【0019】また、Arガス下の還元トルエン中でフラ
ーレンとPd,Pt(ポリフェニルフォスフィン)2
OsO4 (4−t−ブチルピリジン)2 のいずれかを攪
拌することによりフラーレンの結晶中にこれらがドーピ
ングされた酸化触媒や還元触媒が得られる。それらの例
としてはC60Pdn ,C60〔Pt(ポリフェニルフォス
フィン)2 〕,C60〔OsO4 (4−t−ブチルピリジ
ン)〕などがある。
Further, fullerene, Pd, Pt (polyphenylphosphine) 2 , in reduced toluene under Ar gas,
By stirring any of OsO 4 (4-t-butylpyridine) 2 , an oxidation catalyst or a reduction catalyst having fullerene crystals doped with them can be obtained. C 60 Pd n as examples thereof, C 60 [Pt (poly triphenylphosphine) 2], C 60 [OsO 4 (4-t- butylpyridine)] and the like.

【0020】さらに、フラーレン生成過程中の放電プラ
ズマ中に、Laを添加すると、フラーレン分子中(すな
わち、球状体中)にLaがドーピングされて電気伝導性
のある機能材が得られる。この機能材は寸法制御が可能
で、反応性も大きく、電極、電線、センサ(温度、光、
ガス、イオンなど)、分子素子、超電導体などの用途と
して用いられうる。
Further, when La is added to the discharge plasma during the fullerene generation process, La is doped in the fullerene molecule (ie, in the spherical body) to obtain a functional material having electrical conductivity. This functional material is dimensionally controllable and highly reactive, and can be used for electrodes, wires, sensors (temperature, light,
Gas, ions, etc.), molecular devices, superconductors, etc.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明によれば、フラーレンの製造に際
し、TMモードによるグラファイト放電によりグラファ
イト表面の温度を均一にあげることができ、ヘリウムガ
スの流量を適正化することによって、グラファイトの蒸
発量及びフラーレンの生成効率を向上させることができ
る。また、気化したグラファイトを含む高温プラズマを
断熱膨張することによって、適正なプラズマ状態でフラ
ーレンの合成反応を起こすことができる。さらに、ま
た、サイクロン形状やフィルタのメッシュサイズを適宜
選ぶことにより、従来技術の欠点であるフラーレンを含
有するすすの回収率の低下が抑えられる。
According to the present invention, in the production of fullerene, the temperature of the graphite surface can be raised uniformly by the graphite discharge in the TM mode, and the evaporation amount of graphite and the amount of graphite can be adjusted by optimizing the flow rate of helium gas. The production efficiency of fullerenes can be improved. Further, adiabatic expansion of high-temperature plasma containing vaporized graphite can cause a fullerene synthesis reaction in an appropriate plasma state. Furthermore, by appropriately selecting the cyclone shape and the mesh size of the filter, it is possible to suppress the decrease in the recovery rate of the soot containing fullerenes, which is a drawback of the prior art.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のマイクロ波放電によるフラーレン製造
の一実施例の説明図。
FIG. 1 is an explanatory view of an embodiment of fullerene production by microwave discharge according to the present invention.

【図2】本発明のマイクロ波放電によるフラーレン製造
の他の実施例の説明図。
FIG. 2 is an explanatory view of another example of fullerene production by microwave discharge according to the present invention.

【図3】本発明の二つの実施例と従来法における圧力を
変化させた時のフラーレンの収率を示す図表。
FIG. 3 is a graph showing the yields of fullerenes when the pressure is changed in the two examples of the present invention and the conventional method.

【図4】従来のフラーレンの製造装置の説明図。FIG. 4 is an explanatory view of a conventional fullerene manufacturing apparatus.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マイクロ波放電場中にグラファイト粉末
を供給し、該粉末を放電プラズマによって昇華および反
応させることを特徴とするフラーレンの合成方法。
1. A method for synthesizing fullerene, which comprises supplying a graphite powder into a microwave discharge field, and sublimating and reacting the powder by discharge plasma.
【請求項2】 マイクロ波発振器と、同発振器で発振さ
れたマイクロ波を伝播させる導波管と、同導波管に接続
された空洞共振器と、同空洞共振器に挿入された放電管
と、同放電管に放電用媒体を導入流過させるガス供給手
段と、上記放電用媒体中にグラファイト粉末を供給する
グラファイト供給手段とを特徴とするフラーレン合成装
置。
2. A microwave oscillator, a waveguide for propagating microwaves oscillated by the same, a cavity resonator connected to the waveguide, and a discharge tube inserted in the cavity resonator. A fullerene synthesizing apparatus comprising: a gas supply unit for introducing and flowing a discharge medium into the discharge tube; and a graphite supply unit for supplying graphite powder into the discharge medium.
【請求項3】 上記放電管が空洞共振器からの出口近傍
に断熱膨張部有していることを特徴とする請求項2記載
のフラーレン合成装置。
3. The fullerene synthesizing apparatus according to claim 2, wherein the discharge tube has an adiabatic expansion portion near an outlet from the cavity resonator.
JP4041255A 1992-02-27 1992-02-27 Method and device for producing fullerene Withdrawn JPH05238717A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4041255A JPH05238717A (en) 1992-02-27 1992-02-27 Method and device for producing fullerene

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4041255A JPH05238717A (en) 1992-02-27 1992-02-27 Method and device for producing fullerene

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05238717A true JPH05238717A (en) 1993-09-17

Family

ID=12603335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4041255A Withdrawn JPH05238717A (en) 1992-02-27 1992-02-27 Method and device for producing fullerene

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05238717A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101471762B1 (en) * 2013-06-04 2014-12-24 엄환섭 Apparatus for purification of graphite powder using microwave plasma
JP2017148802A (en) * 2011-11-30 2017-08-31 ノックス,マイケル,アール. Microwave device of uniform mode for producing peeled graphite

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017148802A (en) * 2011-11-30 2017-08-31 ノックス,マイケル,アール. Microwave device of uniform mode for producing peeled graphite
KR101471762B1 (en) * 2013-06-04 2014-12-24 엄환섭 Apparatus for purification of graphite powder using microwave plasma

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2737736B2 (en) Method for producing carbon single-walled nanotube
US7056479B2 (en) Process for preparing carbon nanotubes
US5876684A (en) Methods and apparati for producing fullerenes
US6884404B2 (en) Method of manufacturing carbon nanotubes and/or fullerenes, and manufacturing apparatus for the same
US4769064A (en) Method for synthesizing ultrafine powder materials
EP0565275A1 (en) Process for the synthesis of fullerenes
Yoshie et al. Novel method for C60 synthesis: A thermal plasma at atmospheric pressure
JP2001504753A (en) Microwave plasma chemical synthesis of ultrafine powder
KR20050091705A (en) Method for producing carbon nanotubes using a dc non-transferred thermal plasma torch
JP7115748B2 (en) Processes, reactors and systems for fabrication of self-supporting two-dimensional nanostructures using plasma technology
JPH10511430A (en) Plasma processing apparatus and processing method
RU2455119C2 (en) Method to produce nanoparticles
JP2546511B2 (en) Method for synthesizing fullerene and carbon nanotube
Harbec et al. Carbon nanotubes from the dissociation of C2Cl4 using a dc thermal plasma torch
JP3463091B2 (en) Method for producing carbon nanotube
KR100468845B1 (en) Method of fabricating carbon nano tube
JPH05238718A (en) Method and device for producing fullerene
JPH05238717A (en) Method and device for producing fullerene
JP2527150B2 (en) Microwave thermal plasma torch
JPH05327038A (en) Method and apparatus for manufacturing metallofullerene
KR100582249B1 (en) Carbon nanotubes composition apparatus using microwave plasma torch, and method thereof
JPH06122513A (en) Method and device for producing fullerene
JP4665113B2 (en) Fine particle production method and fine particle production apparatus
US6613198B2 (en) Pulsed arc molecular beam process
JPH0122813B2 (en)

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990518