JPH0523604B2 - - Google Patents
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- JPH0523604B2 JPH0523604B2 JP60202659A JP20265985A JPH0523604B2 JP H0523604 B2 JPH0523604 B2 JP H0523604B2 JP 60202659 A JP60202659 A JP 60202659A JP 20265985 A JP20265985 A JP 20265985A JP H0523604 B2 JPH0523604 B2 JP H0523604B2
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、導管中を流れる流体の流量を測定す
るための流量計に関する。
るための流量計に関する。
上記流量計の従来例として例えば、特公昭56−
23094号公報や特開昭57−88320号公報に示される
ものを挙げることができる。
23094号公報や特開昭57−88320号公報に示される
ものを挙げることができる。
前者は、導管に巻設される２つの感応コイルを
それぞれ発泡部材で被覆して、コイル相互の温度
影響を防止するようにしたものであり、後者は、
導管及びこれに巻設される２つの感応コイル及び
該コイルに接続されるターミナルの全てを、独立
発泡部材よりなる２個の半割状成形品で被覆し
て、温度、湿度等外乱影響を簡単かつ経済的に防
止するようにしたものである。
それぞれ発泡部材で被覆して、コイル相互の温度
影響を防止するようにしたものであり、後者は、
導管及びこれに巻設される２つの感応コイル及び
該コイルに接続されるターミナルの全てを、独立
発泡部材よりなる２個の半割状成形品で被覆し
て、温度、湿度等外乱影響を簡単かつ経済的に防
止するようにしたものである。
しかしながら、前者においては、感応コイルが
ヒータコイルを兼ねる所謂自己発熱式であるた
め、差温信号のＳ／Ｎ及び段階的変化に対する最
終応答性（ステツプ応答性）に欠けるところがあ
る。又、感応コイルが発泡部材に直接接触し、該
発泡部材によつて強く圧迫されるおそれがあり、
故障が発生しやすい欠点がある。更に、電磁外乱
の影響を受けやすい欠点がある。
ヒータコイルを兼ねる所謂自己発熱式であるた
め、差温信号のＳ／Ｎ及び段階的変化に対する最
終応答性（ステツプ応答性）に欠けるところがあ
る。又、感応コイルが発泡部材に直接接触し、該
発泡部材によつて強く圧迫されるおそれがあり、
故障が発生しやすい欠点がある。更に、電磁外乱
の影響を受けやすい欠点がある。
後者においても、前者ほどではないにしても同
様の欠点がある。
様の欠点がある。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもの
で、その目的とするところは、上記従来例の欠点
を悉く解消し、外乱影響を受けにくい、優れた測
定性能を有する流量計を提供することにある。
で、その目的とするところは、上記従来例の欠点
を悉く解消し、外乱影響を受けにくい、優れた測
定性能を有する流量計を提供することにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る流量
計は、流体が流れる導管の外側に巻設されるセン
サ部を、前記導管に接して巻設される感応コイル
と、該感応コイルを被覆する第１絶縁膜と、該第
１絶縁膜を介して前記感応コイルを被覆する如く
巻設されるヒータコイルと、該ヒータコイルを被
覆する第２絶縁膜及び前記感応コイル等を被覆す
る伝熱体とから構成すると共に、前記センサ部を
クツシヨン材の内部空間部に収納し、更に、前記
クツシヨン材を金属ケース内に収容した点に特徴
がある。
計は、流体が流れる導管の外側に巻設されるセン
サ部を、前記導管に接して巻設される感応コイル
と、該感応コイルを被覆する第１絶縁膜と、該第
１絶縁膜を介して前記感応コイルを被覆する如く
巻設されるヒータコイルと、該ヒータコイルを被
覆する第２絶縁膜及び前記感応コイル等を被覆す
る伝熱体とから構成すると共に、前記センサ部を
クツシヨン材の内部空間部に収納し、更に、前記
クツシヨン材を金属ケース内に収容した点に特徴
がある。
上記特徴的構成において、流体が流れる導管の
外側に巻設される感応コイルの外側に第１絶縁膜
を介してヒータコイルを設けているので、前記導
管内に流れる流体に付与する熱密度が略倍加し、
これによつてＳ／Ｎが大幅に向上する。又、感応
コイルの外側の温度差を無視することができるの
で、感応コイルが前記流体の温度だけに応答する
こととなり、ステツプ応答性が著しく改善され
る。
外側に巻設される感応コイルの外側に第１絶縁膜
を介してヒータコイルを設けているので、前記導
管内に流れる流体に付与する熱密度が略倍加し、
これによつてＳ／Ｎが大幅に向上する。又、感応
コイルの外側の温度差を無視することができるの
で、感応コイルが前記流体の温度だけに応答する
こととなり、ステツプ応答性が著しく改善され
る。
そして、ヒータコイルの外側に第２絶縁膜が形
成されているので、感応コイルに対する外部から
の温度影響を防止することができる。又、センサ
部をクツシヨン材の内部空間部に収納し、更に、
このクツシヨン材を金属ケースに収納して、セン
サ部を二重にシールドしているので、振動、熱、
電磁波等外乱に対する特性が著しく向上する。
成されているので、感応コイルに対する外部から
の温度影響を防止することができる。又、センサ
部をクツシヨン材の内部空間部に収納し、更に、
このクツシヨン材を金属ケースに収納して、セン
サ部を二重にシールドしているので、振動、熱、
電磁波等外乱に対する特性が著しく向上する。
更に、最外側に伝熱体を設けているので、２つ
のヒータコイル間の温度分布が均一化し、外部温
度影響が無視できるようになり、その結果、Ｓ／
Ｎが向上すると共に、姿勢誤差が低減される。
又、ヒータコイルの抵抗が周囲温度によつて変化
しても、ブリツジ回路へのゼロ点変化は無視し得
るほど小さくなる他、機械的な損傷をカバーでき
る。
のヒータコイル間の温度分布が均一化し、外部温
度影響が無視できるようになり、その結果、Ｓ／
Ｎが向上すると共に、姿勢誤差が低減される。
又、ヒータコイルの抵抗が周囲温度によつて変化
しても、ブリツジ回路へのゼロ点変化は無視し得
るほど小さくなる他、機械的な損傷をカバーでき
る。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る流量計の要部を示す断面
図、第２図はセンサ部を拡大して示す断面図、第
３図はクツシヨン材の一例を示す斜視図である。
図、第２図はセンサ部を拡大して示す断面図、第
３図はクツシヨン材の一例を示す斜視図である。
１は略逆Ｕ字形に形成されたステンレス等の金
属より成る薄肉の導管（内径約0.5mm）で、その
両端部１ａ，１ｂをステンレスより成るベース２
を挿通させた状態で該ベース２に固定され、その
内部を測定対象である流体が矢印方向に流れる。
属より成る薄肉の導管（内径約0.5mm）で、その
両端部１ａ，１ｂをステンレスより成るベース２
を挿通させた状態で該ベース２に固定され、その
内部を測定対象である流体が矢印方向に流れる。
３，４は前記導管１の外側にこれを囲繞するよ
うに互いに離間して（離間間隔約２mm以内）流体
が流れる方向に沿つて設けられる互いに同一構成
のセンサ部であり、次のように構成されている。
即ち、３１，４１は感応コイルで、白金、ニツケ
ル、銅等を芯線とするエナメル被覆金属線より成
り、例えば100〜200回ほど導管１の長さ方向に巻
回されている。
うに互いに離間して（離間間隔約２mm以内）流体
が流れる方向に沿つて設けられる互いに同一構成
のセンサ部であり、次のように構成されている。
即ち、３１，４１は感応コイルで、白金、ニツケ
ル、銅等を芯線とするエナメル被覆金属線より成
り、例えば100〜200回ほど導管１の長さ方向に巻
回されている。
３２，４２は前記感応コイル３１，４１を被覆
するように設けられた第１絶縁膜で、シリコーン
ワニスやポリイミド樹脂等をトルエン等の溶剤で
希釈し、これをハケ等により薄く（例え0.02〜
0.1mm）均一に塗布した後、乾燥して成膜したも
のである。
するように設けられた第１絶縁膜で、シリコーン
ワニスやポリイミド樹脂等をトルエン等の溶剤で
希釈し、これをハケ等により薄く（例え0.02〜
0.1mm）均一に塗布した後、乾燥して成膜したも
のである。
３３，４３は前記感応コイル３１，４１と電気
的に接続され、前記第１絶縁膜３２，４２を介し
て前記感応コイル３１，４１を被覆するように設
けられたヒータコイルで、前記感応コイル３１，
４１と同一の金属線より構成されている。
的に接続され、前記第１絶縁膜３２，４２を介し
て前記感応コイル３１，４１を被覆するように設
けられたヒータコイルで、前記感応コイル３１，
４１と同一の金属線より構成されている。
３４，４４は前記ヒータコイル３３，４３を被
覆するように設けられた第２絶縁膜で、前記第１
絶縁膜３２，４２と同一の材質より成る。
覆するように設けられた第２絶縁膜で、前記第１
絶縁膜３２，４２と同一の材質より成る。
３５，４５，３６，４６は前記感応コイル３
１，４１、ヒータコイル３３，４３に夫々接続さ
れたリード線である。
１，４１、ヒータコイル３３，４３に夫々接続さ
れたリード線である。
Ａは例えば薄いアルミ箔より成る伝熱体で、前
記感応コイル３１，４１、第１絶縁膜３２，４
２、ヒータコイル３３，４３、第２絶縁膜３４，
４４を一体的に被覆するように設けられる。図示
する例にあつては１つの伝熱体Ａによつて両セン
サ部３，４が被覆されている。尚、第２図に示す
ように、伝熱体Ａを、その両端部が導管１に接す
るようにした場合、両センサ部３，４の互いに遠
い側の端部において導管１との熱伝導が増加し、
その結果、温度平衡が促進され応答速度がより早
くなる。
記感応コイル３１，４１、第１絶縁膜３２，４
２、ヒータコイル３３，４３、第２絶縁膜３４，
４４を一体的に被覆するように設けられる。図示
する例にあつては１つの伝熱体Ａによつて両セン
サ部３，４が被覆されている。尚、第２図に示す
ように、伝熱体Ａを、その両端部が導管１に接す
るようにした場合、両センサ部３，４の互いに遠
い側の端部において導管１との熱伝導が増加し、
その結果、温度平衡が促進され応答速度がより早
くなる。
以上のように構成されたセンサ部３，４は図外
の２つの抵抗素子と共にブリツジ回路を構成す
る。そして、感応コイル３１，４１の抵抗値は導
管１内を流れる流体によつて変化し、前記回路に
不平衡電圧が発生する。導管１内を流れる流体の
流量はこの不平衡電圧に基づいて測定される。
の２つの抵抗素子と共にブリツジ回路を構成す
る。そして、感応コイル３１，４１の抵抗値は導
管１内を流れる流体によつて変化し、前記回路に
不平衡電圧が発生する。導管１内を流れる流体の
流量はこの不平衡電圧に基づいて測定される。
５は内部空間部５ａを有するクツシヨン材で、
例えば、海綿状物質、ハニカム状物質、発泡物
質、石英ウール等のウール状物質より構成され
る。例えば、第３図に示すように、判割状の２個
のクツシヨン材５１，５２の夫々片面に溝５１
ａ，５２ａを形成し、この溝５１ａ，５２ａ内に
導管１、センサ部３，４並びにリード線３５，４
５，３６，４６を収容した後、両クツシヨン材５
１，５２を接着剤等により互いに接着する。
例えば、海綿状物質、ハニカム状物質、発泡物
質、石英ウール等のウール状物質より構成され
る。例えば、第３図に示すように、判割状の２個
のクツシヨン材５１，５２の夫々片面に溝５１
ａ，５２ａを形成し、この溝５１ａ，５２ａ内に
導管１、センサ部３，４並びにリード線３５，４
５，３６，４６を収容した後、両クツシヨン材５
１，５２を接着剤等により互いに接着する。
尚、クツシヨン材５の構成は図示するものに限
られるものではないことは云うまでもない。
られるものではないことは云うまでもない。
６は前記クツシヨン材５を収容する金属ケース
で、例えば、アルミニウムより成り、ベース２に
固定される。尚、７，８はリード端子である。
で、例えば、アルミニウムより成り、ベース２に
固定される。尚、７，８はリード端子である。
而して、流体が流れる導管１の外側に巻設され
る感応コイル３１，４１の外側に第１絶縁膜３
２，４２を介してヒータコイル３３，４３を設け
ているので、前記導管１１内に流れる流体に付与
する熱密度が略倍加し、これによつてＳ／Ｎが大
幅に向上する。又、感応コイル３１，４１の外側
の温度差を無視することができるので、感応コイ
ル３１，４１が流体の温度だけに応答することと
なり、ステツプ応答性が著しく改善される。
る感応コイル３１，４１の外側に第１絶縁膜３
２，４２を介してヒータコイル３３，４３を設け
ているので、前記導管１１内に流れる流体に付与
する熱密度が略倍加し、これによつてＳ／Ｎが大
幅に向上する。又、感応コイル３１，４１の外側
の温度差を無視することができるので、感応コイ
ル３１，４１が流体の温度だけに応答することと
なり、ステツプ応答性が著しく改善される。
そして、ヒータコイル３３，４３の外側に第２
絶縁膜３４，４４が形成されているので、感応コ
イル３３，４１に対する外部からの温度影響を防
止することができる。又、センサ部３，４をクツ
シヨン材５の内部空間部５ａ内に収納し、更に、
このクツシヨン材５を金属ケース６内に収納し
て、センサ部３，４を二重にシールドしているの
で、振動、熱、電磁波等外乱に対する特性が著し
く向上する。
絶縁膜３４，４４が形成されているので、感応コ
イル３３，４１に対する外部からの温度影響を防
止することができる。又、センサ部３，４をクツ
シヨン材５の内部空間部５ａ内に収納し、更に、
このクツシヨン材５を金属ケース６内に収納し
て、センサ部３，４を二重にシールドしているの
で、振動、熱、電磁波等外乱に対する特性が著し
く向上する。
更に、各センサ部３，４の最外側に伝熱体Ａを
設けているので、ヒータコイル３３，４３間の温
度分布が均一化し、外部温度影響が無視できるよ
うになり、その結果、Ｓ／Ｎが向上すると共に、
姿勢誤差が低減される。又、ヒータコイル３３，
４３の抵抗が周囲温度によつて変化しても、ブリ
ツジ回路へのゼロ点変化は無視し得るほど小さく
なる他、機械的な損傷をカバーできる。
設けているので、ヒータコイル３３，４３間の温
度分布が均一化し、外部温度影響が無視できるよ
うになり、その結果、Ｓ／Ｎが向上すると共に、
姿勢誤差が低減される。又、ヒータコイル３３，
４３の抵抗が周囲温度によつて変化しても、ブリ
ツジ回路へのゼロ点変化は無視し得るほど小さく
なる他、機械的な損傷をカバーできる。
尚、上記実施例においては、感応コイル３１，
４１とヒータコイル３３，４３とは電気的に接続
してあるが、これら両コイルを互いに独立させ、
別々の材質を用い、別々の電源に接続するように
構成してもよい。
４１とヒータコイル３３，４３とは電気的に接続
してあるが、これら両コイルを互いに独立させ、
別々の材質を用い、別々の電源に接続するように
構成してもよい。
以上説明したように、本発明によれば外乱影響
の受けにくい、優れた測定性能を有する流量計を
安価に得ることができる。
の受けにくい、優れた測定性能を有する流量計を
安価に得ることができる。
第１図は本発明に係る流量計の要部を示す断面
図、第２図はセンサ部の拡大断面図、第３図はク
ツシヨン材の一例を示す斜視図である。 １……導管、３，４……センサ部、３１，４１
……感応コイル、３２，４２……第１絶縁膜、３
３，４３……ヒータコイル、３４，４４……第２
絶縁膜、５……クツシヨン材、６……金属ケー
ス、Ａ……伝熱体。
図、第２図はセンサ部の拡大断面図、第３図はク
ツシヨン材の一例を示す斜視図である。 １……導管、３，４……センサ部、３１，４１
……感応コイル、３２，４２……第１絶縁膜、３
３，４３……ヒータコイル、３４，４４……第２
絶縁膜、５……クツシヨン材、６……金属ケー
ス、Ａ……伝熱体。
Claims (1)
- １ 流体が流れる導管の外側に密接してこれを囲
繞するように互いに離間して流体が流れる方向に
沿つて設けられる２つのセンサ部を備えた流量計
において、前記各センサ部を、前記導管に接して
巻設される感応コイルと、該感応コイルを被覆す
る第１絶縁膜と、該第１絶縁膜を介して前記感応
コイルを被覆する如く巻設されるヒータコイル
と、ヒータコイルを被覆する第２絶縁膜及び前記
感応コイル等を被覆する伝熱体とから構成すると
共に、前記センサ部をクツシヨン材の内部空間部
に収納し、更に、前記クツシヨン材を金属ケース
内に収容したことを特徴とする流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202659A JPS6262221A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202659A JPS6262221A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6262221A JPS6262221A (ja) | 1987-03-18 |
| JPH0523604B2 true JPH0523604B2 (ja) | 1993-04-05 |
Family
ID=16461012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60202659A Granted JPS6262221A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6262221A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008107146A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Horiba Stec Co Ltd | 熱式質量流量センサ及びマスフローコントローラ |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP60202659A patent/JPS6262221A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008107146A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Horiba Stec Co Ltd | 熱式質量流量センサ及びマスフローコントローラ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6262221A (ja) | 1987-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |