JPH05235235A - Lead frame - Google Patents
Lead frameInfo
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- JPH05235235A JPH05235235A JP3592492A JP3592492A JPH05235235A JP H05235235 A JPH05235235 A JP H05235235A JP 3592492 A JP3592492 A JP 3592492A JP 3592492 A JP3592492 A JP 3592492A JP H05235235 A JPH05235235 A JP H05235235A
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- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- runner
- semiconductor chip
- residue
- lead
- Prior art date
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- Pending
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームに係り、
詳しくは、リードフレームに搭載された半導体チップを
モールドするモールド体の成形時に、湯道で硬化した樹
脂の残滓を、リードフレームから簡単に分離できるリー
ドフレームの構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame,
More specifically, the present invention relates to a lead frame structure capable of easily separating resin residue, which has been cured in a runner, from the lead frame when forming a mold body for molding a semiconductor chip mounted on the lead frame.
【0002】[0002]
【従来の技術】IC,LSIなどの電子部品は、リード
フレームのランドにウェハーから切り出された半導体チ
ップを搭載し、次にリードフレームのリードと半導体チ
ップの電極をワイヤで接続した後、樹脂成形装置により
半導体チップをモールドするモールド体を形成し、更に
リードフレームのリードを打抜き装置により打ち抜いて
造られる。2. Description of the Related Art For electronic parts such as ICs and LSIs, a semiconductor chip cut out from a wafer is mounted on a land of a lead frame, and then a lead of the lead frame and an electrode of the semiconductor chip are connected by a wire, followed by resin molding. It is manufactured by forming a mold body for molding a semiconductor chip by an apparatus and punching the leads of a lead frame by a punching apparatus.
【0003】樹脂成形装置によるモールド体の成形は、
次のようにして行われる。リードフレームを上型と下型
の間に密閉したうえで、ヒータにより加熱されて溶融し
た溶融樹脂を下型に形成された湯道を通してリードフレ
ーム側へ圧送し、半導体チップを包囲する空間(キャビ
ティと呼ばれる)に充填する。次にこの溶融樹脂を硬化
させた後、上型と下型を開いて、下型上のリードフレー
ムを取り出す。Molding of a molded body by a resin molding device is
This is done as follows. After sealing the lead frame between the upper mold and the lower mold, the molten resin heated and melted by the heater is pressure-fed to the lead frame side through the runner formed in the lower mold to surround the semiconductor chip (cavity). Called). Next, after the molten resin is cured, the upper mold and the lower mold are opened, and the lead frame on the lower mold is taken out.
【0004】モールド体は以上のようにして成形される
が、下型から取り出されたリードフレームには、湯道の
内部で硬化した樹脂の残滓(カル、コールドスラグ等と
呼ばれる)が付着しており、この残滓はリードフレーム
のリードを打抜装置で打ち抜く前に除去しなければなら
ない。The mold body is molded as described above, but the lead frame taken out from the lower mold has the residue of resin (called cull, cold slag, etc.) cured inside the runner. However, this residue must be removed before the lead of the lead frame is punched by the punching device.
【0005】ところが、残滓はリードフレームに強固に
付着しており、簡単には除去しにくいものである。そこ
で実公昭62−44528号公報に開示された残滓剥離
手段が提案されている。このものは、特にその第6図に
特徴が示されているが、別紙図5及び図6を参照しなが
ら、更に分かり易くその要旨を説明する。なお符号は、
上記公報と同一符号を付している。However, the residue remains firmly attached to the lead frame and is difficult to remove easily. Therefore, a residue removing means disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 62-44528 is proposed. The features of this one are shown in FIG. 6 in particular, but the gist thereof will be explained in a more understandable manner with reference to FIGS. The code is
The same reference numerals as those in the above publication are attached.
【0006】図5において、1はリードフレーム、13
は樹脂成形装置により形成されたモールド体(樹脂成形
体)、3は残滓(コールドスラグ)である。このもの
は、被圧体8によりリードフレーム1を挾持し、図示す
るようにリードフレーム1を屈曲させることにより、残
滓3を強制的にリードフレームから剥離させて分離する
ようになっている。In FIG. 5, 1 is a lead frame, 13
Is a molded body (resin molded body) formed by a resin molding device, and 3 is a residue (cold slag). In this device, the lead frame 1 is held by the pressure target body 8 and the lead frame 1 is bent as shown in the drawing, so that the residue 3 is forcibly separated from the lead frame.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところが上記従来手段
よっても、残滓3は必ずしも完全にリードフレーム1か
ら剥離されず、図6に示すように、その一部がリードフ
レーム1に付着残存しやすい問題点があった。殊に、モ
ールド体13 に連続する残滓3の基端部3’の付着力は
強く、この基端部3’の残滓3が図6に示すように残存
しやすい傾向にある。However, even with the above-mentioned conventional means, the residue 3 is not always completely peeled off from the lead frame 1, and as shown in FIG. There was a point. In particular, the adhesive force of the base end portion 3'of the residue 3 continuous with the mold body 13 is strong, and the residue 3 of the base end portion 3 'tends to remain as shown in FIG.
【0008】そこで本発明は、リードフレームから残滓
を簡単確実に分離除去できる手段を提供することを目的
とする。Therefore, an object of the present invention is to provide means for easily and surely separating and removing the residue from the lead frame.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】このために本発明は、半
導体チップをモールドする溶融樹脂が通過する湯道に対
応する箇所に、切欠部を形成している。To this end, according to the present invention, a notch is formed at a portion corresponding to a runner through which a molten resin for molding a semiconductor chip passes.
【0010】[0010]
【作用】上記構成によれば、リードフレームの湯道に対
応する箇所は切欠部になっているので、溶融樹脂がリー
ドフレームに付着することはなく、したがって溶融樹脂
の硬化後には、硬化した残滓を難なくリードフレームか
ら分離除去できる。According to the above construction, since the portion of the lead frame corresponding to the runner is a notch, the molten resin does not adhere to the lead frame. Therefore, after the molten resin is cured, the cured residue remains. Can be separated and removed from the lead frame without difficulty.
【0011】[0011]
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図1は下型上にセットされたリードフレーム
の平面図、図2は樹脂成形装置の要部の断面図である。
本実施例では、2枚のリードフレーム1が下型12上に
セットされている。リードフレーム1は金属板であり、
ランド2がピッチをおいて形成されている。またランド
2には、半導体チップ5が搭載されている。4はリード
フレーム1をピッチ送りするための送りピン(図外)が
嵌入するピン孔である。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a lead frame set on a lower mold, and FIG. 2 is a sectional view of a main part of a resin molding device.
In this embodiment, two lead frames 1 are set on the lower die 12. The lead frame 1 is a metal plate,
The lands 2 are formed with a pitch. A semiconductor chip 5 is mounted on the land 2. Reference numeral 4 is a pin hole into which a feed pin (not shown) for feeding the lead frame 1 by pitch is inserted.
【0012】上型11は下型12に対して昇降自在であ
り、上型11が下型12上に下降すると、図2に示すよ
うにリードフレーム1は上型12と下型11により密閉
される。上型11と下型12には、半導体チップ5を包
囲するキャビティ13が凹設されており、このキャビテ
ィ13内に溶融樹脂が圧入される。下型12には、チッ
プ形の原料樹脂(タブレットと呼ばれる)が収納される
孔部16と、この孔部16から上記キャビティ13に連
通する湯道17が形成されている。18は樹脂15を押
し上げるプランジャ、19はキャビティ13内で硬化し
たモールド体を突き上げるエジェクタピン、20はキャ
ビティ13の内圧を測定する感圧素子、21は感圧素子
20が設けられたベース板、22はベース板21の突き
上げ部材である。The upper die 11 is movable up and down with respect to the lower die 12, and when the upper die 11 descends onto the lower die 12, the lead frame 1 is sealed by the upper die 12 and the lower die 11 as shown in FIG. It A cavity 13 surrounding the semiconductor chip 5 is provided in the upper mold 11 and the lower mold 12, and a molten resin is pressed into the cavity 13. The lower mold 12 is formed with a hole 16 for accommodating a chip-shaped raw material resin (called a tablet) and a runner 17 communicating with the cavity 13 from the hole 16. Reference numeral 18 is a plunger that pushes up the resin 15, 19 is an ejector pin that pushes up the molded body cured in the cavity 13, 20 is a pressure-sensitive element that measures the internal pressure of the cavity 13, 21 is a base plate on which the pressure-sensitive element 20 is provided, 22 Is a push-up member of the base plate 21.
【0013】図3は、図1のA部分の拡大図である。6
はリードフレーム1に形成されたスリット状の切欠部で
あり、上記湯道17に対応する箇所に形成されている。
図2において、ヒータ(図外)で加熱溶融された樹脂1
5は、プランジャ18に押し上げられ、湯道17を通っ
てキャビティ13に圧入される。樹脂15がキャビティ
13に充填されたならば、樹脂15を硬化させた後、上
型11と下型12を開き、突き上げ部材22によりベー
ス板21を突き上げてエジェクタピン19を上昇させ、
リードフレーム1を下型11から取り出す。FIG. 3 is an enlarged view of portion A in FIG. 6
Is a slit-shaped notch formed in the lead frame 1, and is formed at a position corresponding to the runner 17.
In FIG. 2, resin 1 heated and melted by a heater (not shown)
5 is pushed up by the plunger 18 and is press-fitted into the cavity 13 through the runner 17. After the resin 15 is filled in the cavity 13, after the resin 15 is cured, the upper mold 11 and the lower mold 12 are opened, the push-up member 22 pushes up the base plate 21, and the ejector pin 19 is raised.
The lead frame 1 is taken out from the lower mold 11.
【0014】このようにしてモールド体を形成した後、
リード3を打抜き装置により打ち抜くのに先立ち、湯道
17で硬化した残滓はリードフレーム1から分離しなけ
ればならないが、残滓の硬化箇所は切欠部6であるか
ら、残滓はリードフレーム1にまったく付着していない
か、若しくは部分的に弱く付着しているだけであり、し
たがって簡単にリードフレーム1から分離できる。After forming the mold body in this way,
Prior to punching the lead 3 with a punching device, the residue hardened by the runner 17 has to be separated from the lead frame 1, but since the hardening part of the residue is the notch 6, the residue remains on the lead frame 1 at all. It is either not present or is only partially weakly attached, and thus can be easily separated from the lead frame 1.
【0015】切欠部の形状は上記実施例に限定されない
のであって、例えば上述したように付着力の強い基端部
付近(図4参照)に局部的に形成してもよいものであ
り、要は湯道17に対応する箇所に切欠部を形成して、
残滓がリードフレーム1に強く付着しないようにすれば
よい。The shape of the notch is not limited to the above-mentioned embodiment, and it may be locally formed near the base end (see FIG. 4) where the adhesive force is strong as described above. Forms a notch in the area corresponding to the runner 17,
It suffices that the residue does not adhere strongly to the lead frame 1.
【0016】[0016]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体チ
ップをモールドする溶融樹脂が通過する湯道に対応する
箇所に切欠部を形成しているので、溶融樹脂がリードフ
レームに強く付着することはなく、したがって樹脂の残
滓を難なくリードフレームから分離除去できる。As described above, according to the present invention, since the notch is formed in the portion corresponding to the runner through which the molten resin for molding the semiconductor chip passes, the molten resin strongly adheres to the lead frame. Therefore, the resin residue can be separated and removed from the lead frame without difficulty.
【図1】本発明に係る下型上のリードフレームの平面図FIG. 1 is a plan view of a lead frame on a lower mold according to the present invention.
【図2】本発明に係る樹脂成形装置の要部断面図FIG. 2 is a sectional view of a main part of a resin molding device according to the present invention.
【図3】本発明に係るリードフレームの部分拡大図FIG. 3 is a partially enlarged view of a lead frame according to the present invention.
【図4】本発明の他の実施例のリードフレームの部分拡
大図FIG. 4 is a partially enlarged view of a lead frame according to another embodiment of the present invention.
【図5】従来手段に係る残滓剥離手段の側面図FIG. 5 is a side view of a residue removing means according to a conventional means.
【図6】従来手段に係るリードフレームの正面図FIG. 6 is a front view of a lead frame according to a conventional means.
1 リードフレーム 2 ランド 3 リード 5 半導体チップ 6 切欠部 17 湯道 1 lead frame 2 land 3 lead 5 semiconductor chip 6 notch 17 runner
Claims (1)
リードを形成して成るリードフレームにおいて、上記半
導体チップをモールドする溶融樹脂が通過する湯道に対
応する箇所に、切欠部を形成したことを特徴とするリー
ドフレーム。1. A lead frame formed by forming a lead on a side of a land on which a semiconductor chip is mounted, wherein a notch is formed at a location corresponding to a runner through which a molten resin for molding the semiconductor chip passes. A lead frame characterized by that.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3592492A JPH05235235A (en) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | Lead frame |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3592492A JPH05235235A (en) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | Lead frame |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05235235A true JPH05235235A (en) | 1993-09-10 |
Family
ID=12455586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3592492A Pending JPH05235235A (en) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | Lead frame |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05235235A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07135286A (en) * | 1993-11-09 | 1995-05-23 | Nec Corp | Lead frame for semiconductor device and manufacture of semiconductor device |
-
1992
- 1992-02-24 JP JP3592492A patent/JPH05235235A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07135286A (en) * | 1993-11-09 | 1995-05-23 | Nec Corp | Lead frame for semiconductor device and manufacture of semiconductor device |
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