JPH05232166A

JPH05232166A - 体積・表面抵抗率測定装置

Info

Publication number: JPH05232166A
Application number: JP7234092A
Authority: JP
Inventors: Hideyuki Takahashi; 秀行高橋
Original assignee: Yokogawa Hewlett Packard Ltd
Current assignee: Hewlett Packard Japan Inc
Priority date: 1992-02-22
Filing date: 1992-02-22
Publication date: 1993-09-07
Anticipated expiration: 2017-07-24
Also published as: JP3306087B2

Abstract

(57)【要約】【目的】試料に与える圧力の設定値を変更することな
しに、かつ試料を傷つけることなしに上蓋部の取付けや
取外しをワンタッチで行い、また固定電極の交換を簡単
に行う。【構成】上蓋部１の取付け，取外しの際には、ガイド
手段（１３，１５）により、上蓋部１は垂直方向に移動
し、該上蓋部１は基台２に所定高さで係合する。したが
って、圧力調整機構６による設定を解除することなく、
上蓋部１を基台２に取り付け、または基台２から取り外
しても、可動電極５の平面は固定電極１４上の試料に平
面状態を維持したまま押圧するので、試料が傷つくこと
はない。また、固定電極は、絶縁物を介して該固定電極
中央部一か所において基台に螺合されているので、該電
極の交換は容易となる。このとき、絶縁物は導体により
シールドされているので、分極による測定精度の劣化が
生じることはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、合成樹脂製のプレート
やシート、回路基板等の絶縁性被測定試料の体積・表面
抵抗率の測定に用いる体積・表面抵抗率測定装置に関
し、試料に与える挟圧の設定値を変更することなしに、
かつ試料を傷つけることなしに上蓋部の取付けや取外し
をワンタッチで行うことができるとともに、基台に取り
付けられた電極（特に、固定電極）の交換を簡単に行う
ことができる体積・表面抵抗率測定装置に関する。

【０００２】

【技術背景】従来、絶縁性の被測定試料の体積・表面抵
抗率を測定するための装置として、上蓋部非開閉方式の
ものおよび上蓋部開閉方式のものが知られている（例え
ば、実開平２−２０１７４号公報参照）。

【０００３】図６は上蓋部非開閉方式の測定装置の一例
を示しており、基台５１の中央に固定電極５２（同図で
は円板状の対電極）が取り付けられ、該電極５２の上部
には可動電極５３（主電極５３ａとガード電極５３ｂと
により構成される）を上下動させる圧力調整機構（図に
は表れていない）を有する上蓋部５４が設けられてい
る。上記圧力調整機構には、スプリング付勢手段が内蔵
されており、上蓋部５４の上面側に設けられたノブ５５
を回転操作することにより、可動電極５３と固定電極５
２間に介在した試料５６を所定圧力で挟圧することがで
きる。また、上記ガード電極５３ｂには複数のガイド棒
５７が取り付けられ、これらのガイド棒５７は上蓋部５
４のガイド穴に挿通されている。これらのガイド棒５
７、はスプリング押圧する前には、ガード電極５３ｂは
主電極５３ａより固定電極５２ａ側にやや迫り出してお
り、可動電極５３が試料を押圧する際においては、ガー
ド電極５３ａの電極面は、主電極５３ａの電極面と同一
垂直位置となるまで押し上げられる。

【０００４】上記構成の測定装置により試料５６の抵抗
率を測定する場合、まず、可動電極５３を上方に押し上
げた状態で固定電極５２上に試料５６を載せておく。こ
の後、可動電極５３を押し下げて、該可動電極５３と固
定電極５２とにより試料５６を挟圧する。なお、この挟
圧力は、圧力調整機構に設けられた圧力ゲージ５８（同
図では、ノブ５５の上部に設けられている）に表示され
る。そして、試料５６の体積抵抗率あるいは表面抵抗率
が上記挟圧が加えられた状態で測定される。なお、詳細
は省略するが、図６の装置において、主電極５２，対電
極５２（図６では固定電極）間に測定電圧を印加し、対
電極５２を流れる電流を測定することで、試料５６の体
積抵抗率を測定することができる。また、主電極５３
ａ，ガード電極５３ｂ間に測定電圧を印加し、対電極５
２を流れる電流を測定することで、試料５６の表面抵抗
率を測定することができる。

【０００５】ところが、図６に示す装置においては、あ
る試料の抵抗率測定を行った後に、試料を交換して新た
な試料の測定を行う場合、ノブ５５を回転操作すること
により、試料の除去や載置が行える程度にまで可動電極
５３を押し上げなければならないと言った煩わしさがあ
る。さらに、交換後の試料についても、前回と同一の圧
力条件で抵抗率の測定を行いたい場合、一旦ノブ５５の
操作により圧力調整機構の設定を解除して試料５６を取
り去り、この後試料を新たなものに交換し、再び圧力ゲ
ージ５８の表示を見ながら圧力調整を行わなければなら
ず、測定効率が低下するといった不都合がある。

【０００６】一方、上記の不都合を解消するために、図
６のＨで示す部分にヒンジを設けた上蓋部開閉方式の測
定装置も従来から知られている。図７（Ａ），（Ｂ）は
ヒンジを設けた上記装置の開閉の状態を簡略して示す説
明図である。なお、これらの図では、説明の便宜上、圧
力調整手段をスプリング６０で示してある。また、図示
は省略してあるが、上蓋部５４の開放端（ヒンジ５９に
より固定された側とは反対側）は基台５１に対して締め
具等によりロックできる。

【０００７】この装置では、測定時においては同図
（Ａ）に示すように、可動電極（簡略のため、主電極と
ガード電極とを一体のものとして表してある）５３と固
定電極５２とにより試料５６を所定圧力で挟圧すること
ができる。また、試料５６を交換して、繰り返し、同一
圧力で体積・表面抵抗率の測定を行う場合に、上蓋部５
４をヒンジ５９を中心に回動させるのみで試料５６の交
換を容易に行うことができる。

【０００８】しかし、同一圧力で、すなわち圧力調整機
構における設定を一定に保った状態で試料を交換する場
合、以下の問題が生じる。すなわち、図７（Ａ）に示し
た状態で試料５６の測定を行った後、上蓋部５４のロッ
クを解除し、ヒンジ５９を中心に上蓋部５４を開いた場
合、可動電極５３はスプリング６０によりバネ付勢され
ているので、同図（Ｂ）に示すように可動電極５３のヒ
ンジ５９に近い側の端部が試料５６を傷つける危険性が
ある。一方、新たな試料５６を装着する場合にも同様の
問題は生じ、同じく可動電極５３のヒンジ側の端部が試
料５６を傷つける危険性が高い。また、設置した試料が
位置ずれを起こすといった不都合もある。さらに、特
に、試料５６が極薄のフィルムであるような場合、上記
のようにして試料５６が破れると、固定電極５２の電極
面に可動電極５３の端部が衝突し、これにより電極５
２，５３が損傷するといった問題がある。

【０００９】上述した体積・表面抵抗率測定装置では、
通常、固定電極や可動電極は絶縁物を介して基台または
上蓋部に取り付けられる。この絶縁物は、電極と基台，
上蓋部との絶縁を十分に行うために不可欠ではあるが、
測定に使用する電圧は高圧であるため、絶縁物を多量に
使用すると誘電分極による測定への影響が顕著となる場
合がある。このため、従来、この種の装置に使用する絶
縁物の使用量は著しく制限されている。

【００１０】図８は固定電極（同図では、主電極６１ａ
およびガード電極６１ｂとにより構成されている）の基
台５１への従来の取付け態様を示す図であり、主電極６
１ａ，ガード電極６１ｂはリング状の絶縁物６２ａ，６
２ｂを介してそれぞれ、基台の底面側からネジ（同図で
は、主電極と取り付けるネジ６３，ナット６４のみを示
す）により固定されている。なお、参考のため、同図で
は可動電極６５、固定電極６５に接続された体積抵抗率
測定用の電源６６、ガード電極６１ｂに接続された表面
抵抗測定用の電源６７、および電流計６８を示してあ
る。

【００１１】上記測定装置では、主電極６１ａについて
みると、（ｉ）電極を基台にバランス良くかつ強固に取
り付ける必要があること、（ｉｉ）絶縁物６２ａのリン
グ幅を絶縁物の少量化の観点から狭くするが、これによ
りネジ６３として小径のものを使用せざるを得ないこ
と、等により複数か所でのネジ止めが不可欠となる。と
ころで、体積・表面抵抗率測定装置においては、ＪＩＳ
等の規格に合致させる必要から、電極交換の必要が頻繁
に生じる。しかし、図８に例示したような装置では、主
電極６１ａの基台５１への固定を複数か所のネジ止めに
より行っているため、部品点数が増える等、電極の交換
作業が煩雑となり、またネジの大きさが小さいため、交
換作業が容易ではないと言った問題がある。また、測定
装置の複数か所がネジ止めされているため、ネジの位置
によっては、電極の基台底面側からの交換が極めて困難
となると言った問題もある。

【００１２】

【発明の目的】本発明の測定装置は、上記のような問題
を解消するために提案されたものであって、装置の使用
勝手を向上させるべく、（１）試料に与える圧力の設定
値を変更することなしに、かつ試料を傷つけることなし
に上蓋部の取付けや取外しをワンタッチで行うことがで
きるとともに、（２）固定電極の交換を簡単に行うこと
ができる体積・表面抵抗率測定装置を提供することを目
的とする。

【００１３】

【発明の概要】本発明の体積・表面抵抗率測定装置は、
上蓋部に支持された可動電極と、基台に固定された固定
電極との間に試料を介在させ、圧力調整機構により試料
を所定圧力で挟圧するとともに両電極間に測定電圧を印
加し、試料を流れる電流を測定することで該試料の体積
・表面抵抗率を測定する体積・表面抵抗測定装置におい
て、上蓋部の、基台面に対する垂直移動をガイドする手
段と、該上蓋部を基台に係合する手段と、を有してなる
ことを特徴とする（以下、「第１発明」と言う）。

【００１４】また、固定電極が、絶縁物を介して該固定
電極中央部において基台に螺合され、該絶縁物の一部ま
たは全部が、導体によりシールドされてなることをも特
徴とする（以下、「第２発明」と言う）。

【００１５】第１発明の体積・表面抵抗率測定装置で
は、主電極およびガード電極、あるいは対電極は基台ま
たは上蓋部の何れに設けてもよい。すなわち、可動電極
が、主電極（通常、円板状）と該主電極を囲むリング状
のガード電極とからなる電極であり、固定電極が通常円
板状の対電極であってもよい。また、可動電極が対電極
であり、固定電極が主電極およびガード電極であっても
よい。なお、実際の装置では、これらの電極形状，大き
さ、試料を押圧する圧力等、各種条件はＪＩＳ等により
規定される。

【００１６】上蓋部の基台面に対する垂直移動をガイド
する手段は、例えば、上部電極に取り付けられたガイド
棒と、基台に設けらたガイド穴とにより構成してもよ
い。また、その逆に基台に取り付けたガイド棒と、上部
電極に設けたガイド穴とにより構成してもよい。なお、
この場合のガイド棒は、可動電極の回転を阻止させるた
めの回転阻止手段しての作用をも果たす。また、上蓋部
を基台に対して係合する手段を、ガイド手段として使用
することもできる。上蓋部を基台に対して係合する手段
として、例えば、アームの先端に爪を有するラッチと該
爪と係合する被嵌部材とからなる手段を用いることがで
きる。この被嵌部材は、単に基台面にラッチの穴が系合
できる係合用穴を設けることにより構成しても良いが、
通常、系合強度をアップさせる等の理由から、固定電極
を基台に取り付けるための部材（後述する図５、３１ａ
参照）に一体に設けられる。また、上蓋部と基台とを固
定できる手段であれば、フック式締め具、カム式締め
具、キャッチクリップ式締め具等の他の係合手段を用い
ることができる。

【００１７】第２発明において、固定電極は、絶縁物を
介して固定電極中央部において基台に螺合されるが、固
定電極の底面中央に雌ネジを切り、基台底面側から絶縁
物を介して雄ネジにより、固定電極を基台に固定するこ
ともできるし、固定電極の底面中央に雄ネジ部を形成し
ておき、基台上面側から絶縁物を介して該固定電極を基
台に固定することもできる。なお、第２発明における固
定電極は、通常、周囲がガード電極により囲まれた主電
極であるが、固定電極が対電極である場合にも本発明が
適用できる。

【００１８】以下、本発明の作用を説明する。第１発明
において、まず固定電極上に試料を載せ、上蓋部を基台
上に配置する。このとき、ガイド手段の上蓋部側要素
（例えば、ガイド棒）と、基台側要素（例えば、ガイド
穴）に合わせる。上蓋部を上方から基台側に近づける
と、上蓋部に設けた可動電極の電極面と、基台に固定さ
れている固定電極の電極面とは、対向した平行関係を維
持した状態で近接する。そして、上蓋部が所定位置にま
で下げられると、上蓋部は係合手段により基台に固定さ
れる。なお、このとき可動電極を上蓋部の上方に位置さ
せておけば、可動電極は固定電極に接触することはな
い。

【００１９】この後、試料を固定電極上に載せ、可動電
極を押し下げて所定圧力で、試料を挟圧する。可動電極
の押し下げは、上蓋部に設けたノブ等により行われ、上
記所定圧力は上記圧力調整機構により与えられる。な
お、該押し下げによる圧力は例えば圧力調整機構に設け
られたゲージ等により測定される。さらに、同一圧力条
件での測定を繰り返し行うような場合には、可動電極に
よる押圧を緩めることなく、上蓋部を基台から取り外
す。なお、可動電極による押圧を緩めて、該電極を固定
電極から離れるように移動させて上蓋部を基台から取り
外してもよいことはもちろんである。なお、上蓋部はガ
イド手段により基台に垂直に移動する（すなわち、可動
電極の電極面は固定電極の電極面に対して垂直に乖離す
る）ので、可動電極による押圧を緩めることなく上蓋部
を基台から取り外す場合であっても、可動電極の端部が
試料を傷つけると言った不都合は生じない。

【００２０】つぎに、上蓋部を取り外して試料を交換
し、再び上蓋部を基台側に押し下げるが、この場合、上
蓋部を押し下げるに従って上蓋部に設けた可動電極の電
極面と基台に固定されている固定電極の電極面とは、対
向した平行関係を維持した状態で試料を介して押圧され
る。したがって、可動電極の端部により固定電極上に設
けた試料が傷つくことはなく、たとえ試料が極薄である
ような場合であっても、該試料が破けて可動電極の端部
が固定電極にぶつかるといった不都合は生じない。

【００２１】第２発明において、固定電極（主電極およ
びガード電極が固定電極である場合には主電極、対電極
が固定電極である場合には対電極）を交換する場合、固
定電極は中央において螺合されているので、容易に基台
から取り外すことができるし、新たな電極の取付けも容
易に行うことができる。すなわち、固定電極の取付けや
取外しは、基台底面側から固定電極と基台とがネジによ
り螺合している場合には通常ドライバ等により簡単に行
われるし、また固定電極自体に雄ネジが切ってあり該雄
ネジにより固定電極が基台に取り付けられている場合に
は、通常、固定電極を手で回転させることで容易に行わ
れる。なお、固定電極が主電極である場合、ガード電極
を主電極と一体に取り付け、取り外しができるように構
成することで、ガード電極の交換も容易となる。

【００２２】本発明では、螺合箇所を電極の中央部に設
けているために、絶縁物の使用量が増大することもある
が、該絶縁物は導体によりシールドされるようにしたの
で、分極による測定精度の低下が生じることはない。ま
た、絶縁物の使用量を従来に比べて多く使用することが
できるので、螺合手段として径の比較的大きなものを使
用することができる。これにより、固定電極の基台への
取付け強度を従来よりも強力にすることができる。

【００２３】

【実施例】

（１）第１発明について図１は第１発明の測定装置の一実施例を示す説明図であ
る。同図において、測定装置は上蓋部１と基台２とによ
り構成されている。そして、上蓋部１のケーシング３上
部には、ノブ４が設けられており、該ノブ４を回転させ
ることで、可動電極５（同図では、可動電極の面には絶
縁物５ａが取り付けられている）を上下に移動させるこ
とができ、また圧力調整機構６内に組み込まれている付
勢手段（バネ６ａ）の付勢力が調整される。ケーシング
３の垂直面のうち対向する二面３ａ，３ａの内側には、
アーム７ａの下端に爪７ｂを有するラッチ７がそれぞれ
設けられ、ケーシング３の前記二面３ａ，３ａのラッチ
７が設けられた部位には、指を差し込むことができる程
度の係合解除穴８が設けられている。

【００２４】また、各爪７ｂは内側に対向して設けられ
ており、各ラッチ７は下端が内側に力を受けるように図
示しないバネ等により付勢されている。また、アーム７
に設けられる回転軸は、前記係合解除穴８の下部に設け
た軸支体９により支持されている。なお、ケーシング３
からはアース用プローブ１０ａが下方に突出して設けら
れている。

【００２５】前記可動電極５の上面に設けられた絶縁体
５ａの上面の四隅にはスペーサ１１が設けられており、
これらのスペーサ１１上には一対の支持材１２が取り付
けられている（各支持材の長さは、可動板の両端から多
少はみ出る長さとしてある）。そして、各支持材の両端
には下方に向けて垂直に合計４本のガイド棒１３が取り
付けられている。一方、基台２の上面には、固定電極１
４（主電極１４ａおよびガード電極１４ｂにより構成さ
れる）が設けられている。なお、図には表れていない
が、ガード電極１４ｂは、主電極１４ａを基台に取りつ
けるための部材（図５の３１ａ参照）にスプリング（同
図４１参照）を介して取りつけられており、ガード電極
１４ｂは自由な状態でその電極面が主電極１４ａの電極
面よりやや上方に突き出している。そして、ガード電極
１４ｂは押圧を上方から受けることで、その電極面は主
電極１４ａの電極面高さと同一高さに変位することがで
きる。この固定電極１４の周囲４か所には、前記ガイド
棒１３が挿通できるスプリングが内設されたガイド穴１
５が設けられている。ガイド穴１５の略中間位置（ガイ
ド穴１５にガイド棒を挿通し、上蓋部を下方に押し下げ
た際に前記ラッチ７の爪７ｂが位置する部位）には四角
形状の係合用穴１６が設けられている。係合用穴１６ａ
下部には図示はしないが、主電極１４ａを基台２に取り
つけるための部材（例えば、図５において後述する３１
ａ）に形成したラッチの爪と係合できる被嵌部材が設け
られている。この被嵌部材は、その上部が、ラッチ７が
バネ付勢された状態で上蓋部１が下方に押し下げられた
際に、爪７ｂの斜面７ｃと当接して、ラッチ７をやや押
し広げ、この後に、爪７ｂと係合できる。なお、基台２
の上面には、蓋部１を押し下げた場合に、前記プローブ
１０ａが挿着できる位置にプローブ穴１０ｂが設けられ
ている。なお、上記ガイド棒１３は、通常金属により構
成するか、この場合、電極１４、１５等を損傷しないよ
うに、下端部を合成樹脂等により構成してもよい。

【００２６】以下、上記測定装置の作用を説明する。ま
ず、ノブ４を回転操作して、可動電極５を上方に持ち上
げておき、ガイド棒１３をガイド穴１５に、ラッチ７の
爪７ａ部を係合用穴に合わせ、上蓋部１を押し下げる。
このとき、ガイド棒１３は下方からガイド穴１５内部の
スプリングにより上方にバネ付勢される。また、ラッチ
７の爪７ｂの斜面部分は係合用穴の側端をバネ付勢によ
り固定電極側に押圧しているため結果として上方に力を
受けている。このため、上蓋部は、これらの力に対抗し
て押し下げられる。このようにして、上蓋部が押し下げ
られ、爪７ｂの斜面７ｃが該係合用穴１６に埋没する
と、爪部分はラッチ７に設けられたバネの付勢力により
前記図示しない被嵌部材と係合することになる。

【００２７】ここで、図示しない試料を固定電極１４上
に載せ、ノブ４を回転させることで可動電極５を押し下
げる。可動電極５は、ガイド棒１３にガイドされつつ、
試料を介在して固定電極１４を押圧する。なお、このと
きのガイド棒１３およびガイド穴１５は、前述のように
上蓋部１の基台２への取り付けの際のガイドとしての役
目を果たす他、上述のように、可動電極５の押し下げの
際のガイドの役目をも果たす。

【００２８】このようにして、可動電極５と固定電極１
４とにより試料は挟圧されるが、このときの圧力は図示
しないゲージを目視しつつ適切な値に調整することがで
きる。そして、試料に上記圧力が加えられた状態で、体
積抵抗率，表面抵抗率が測定される。この後、試料を交
換して測定を行うが、上記圧力条件と同一条件での測定
を行う場合には圧力調整機構６の設定を解除することな
く（具体的には、ノブ４を操作することなく）、上蓋部
１と基台２との係合を解除することができる。すなわ
ち、操作者は係合解除穴８から指を押入れて、アーム７
ａの上部を内側に押しやる。これにより、ラッチ７の下
端の爪７ｂと係合用穴１６下部の前記被嵌部材との係合
は解除される。上蓋部１は、圧力調整機構６内のスプリ
ング６ａおよびガイド穴１５内部のスプリングにより上
向きの力を受けているので、上記係合解除と同時に、上
蓋部１は上方に押し上げられて基台２から離脱する。

【００２９】ついで、試料を交換し前述の場合と同様
に、ガイド棒１３がガイド穴１５に挿通した状態で上蓋
部１を押し下げる。このとき、上蓋部１は、ガイド棒１
３を介してガイド穴１５内部のスプリングから受ける上
向きの力および爪７ａの斜面部分７ｃが前記被嵌部材の
上部固定電極１４側に押圧することにより生ずる上向き
の力を受けつつ下方に押し下げられ、可動電極５の電極
面は試料面と平行を維持した状態で接触する。この後、
上蓋部１は圧力調整機構６に内蔵されているスプリング
６ａによる力をさらに受けつつ押し下げられ、ラッチ７
の爪ｂの水平面が係合用穴１６下の前記被嵌部材と係合
する。そして、前述と同様にして体積抵抗率，表面抵抗
率が測定されるが、このとき、可動電極５と固定電極１
４とが試料を挟圧する圧力は、前回の測定において設定
された圧力と等しいので、同一圧力条件での測定を行う
ことができる。

【００３０】このようにして、何度でも同一圧力条件で
の試料の体積抵抗率，表面抵抗率を測定することができ
る。なお、図１ではラッチ７の爪７ｂが固定電極側に向
くように設け、該ラッチ７の下端が内側に付勢される受
ける向きにバネ力を与えたが、爪７ｂを固定電極１４側
とは反対側に向くように設け（すなわち、外向きに設
け）、該ラッチ７の下端が外向きに力を受ける向きにバ
ネ付勢を与えるようにしてもよい。この場合には、ラッ
チ７の軸支体９を係合解除穴８の上側に設けられる。ま
た、係合用穴１６下の被嵌部材は、ラッチ７の爪７ｂと
係合できるように設けられていることはもちろんであ
る。なお、ガード電極１４ｂは通常主電極１４ａに対し
上方にバネ付勢されるが、同図では、説明の便宜上これ
を省略してある。

【００３１】図２は本発明の測定装置の他の実施例を示
す説明図である。同図では、係合手段として、図１のラ
ッチ式の係合手段に代えてカム式の係合手段を用いてい
る。同図では基台２にガイド柱１７が設けられており、
上蓋部１には該ガイド柱１７を挿嵌した状態で上下方向
に摺動できるガイド溝１８が設けられている。そして、
このガイド溝１８の上部には係合用カム１９が、ガイド
１７柱には該係合用ピン２０がそれぞれ設けられてい
る。この係合用ピン２０は、係合用カム１９のカム溝１
９ａに挿嵌され、係合用カム１９に設けられたレバー１
９ｂ回動させることで、上蓋部１を上下動させることが
できる。

【００３２】図２に示した係合機構を用いた場合には、
圧力調整機構６に内蔵されているスプリング６ａによる
力が大きく、上蓋部１を押し下げらることが容易でない
場合であっても、ワンタッチで上蓋部１を押し下げるこ
とができる。なお、図２において、一対の係合用カム１
９は別個に動作する構成となっているが、レバー１９
ｂ，１９ｂ同士を連結して、両係合用カム１９の動作の
同期をとることもできる。また、図２では、係合用カム
１９を上蓋部１に、係合用ピン２０をガイド柱１７にそ
れぞれ設けたが、これとは逆に、係合用カム１９をガイ
ド柱１７に、係合用ピン２０を上蓋部１に設けることも
できる。

【００３３】（２）第２発明について図３は、第２発明の一実施例を示す模式図であり、主電
極１４ａおよびガード電極１４ｂを固定電極１４として
基台１に取り付けた場合を示している。同図において、
主電極１４は基台２上に絶縁物３０を介して取り付けら
れており、該絶縁物３０の周囲は、基台２と同電位の金
属からなるシールド部材３１により囲繞されている。ま
た、上面が主電極１４ａの上面と同一高さのリング状の
ガード電極１４ｂが、基台上に絶縁物３２を介して雄ネ
ジ３３ａ，絶縁物からなるナット３３ｂにより取り付け
られている。さらに、同図では主電極５とガード電極１
４の上方に対電極５が図示されている。また、該主電極
１４ａには体積抵抗率測定用の電源３４が、ガード電極
１４ｂには表面抵抗率測定用の電源３５がそれぞれ接続
され、かつ主電極１４ａには電流計３６が接続された状
態が示されている。

【００３４】同図では、絶縁物を比較的多く使用してい
る。しかし、絶縁物はシールド部材３１によりガード電
極１４ｂと遮蔽されているので、例えば、試料の表面抵
抗率を測定する場合において、絶縁物３０の分極により
生じる電流の発生を防止することができる。なお、図３
では、主電極１４ａの中心部に雌ネジを切り（図示は省
略してある）、該主電極１４ａと基台２とを該基台の底
面側から雄ネジ３３ａ，ナット３３ｂにより螺合してい
るが、後述するように（図４および図５参照）、主電極
に雄ネジ部を設けナット等により主電極１４ａと基台２
とを螺合することもできる。さらに、本実施例では主電
極１４ａおよびガード電極３２が基台２に取り付けられ
た場合を例示したが、対電極５を固定電極として基台２
に取り付ける場合にも本発明が適用できる。

【００３５】図４，図５は、図３に示した第２発明をよ
り具体的に示す説明図であり、図４は主電極の分解説明
図、図５は該主電極の組立後の状態をガード電極ととも
に示す説明図である。図４において、円板状の主電極１
４ａの表面は平面に加工されており、主電極１４ａの裏
面の中心には雄ネジ部１４ｃ（下端にはコンタクト面が
形成されている）が形成されている。そして、該雄ネジ
部１４ｃにはリング状の第１の絶縁体３０ａが、フラッ
トワッシャー，スプリングワッシャーおよびナット（こ
れらを３７で示す）により取り付けられる。

【００３６】一方、主電極保持部材３１ａ（裏面に、電
極端子３８を有する）には金属製の筒状のシールド部材
（ガード部材）３１が取り付けられており、該シールド
部材３１には、中心にコンタクトプローブ挿着用の穴が
形成され（同図ではコンタクトプローブ３９が取り付け
られた状態で示す）、かつ前記ナット部分を被嵌するナ
ット収容空間が形成された第２の絶縁体３０ｂが挿着さ
れる。なお、上記主電極保持部材３１ａは、基台２に絶
縁物を介して、あるいは絶縁物を介することなく固定さ
れる。また、上記シールド部材３１は第２の絶縁体３０
ｂが挿着された際に、前記第１の絶縁体３０ａをも挿着
できる深さの空隙が形成されており、両絶縁体３０ａ，
３０ｂのシールドを十分に担保できる。

【００３７】図５において、ガード電極１４ｂは絶縁物
により形成されたガード電極保持部材３２ａがシールド
部材３２を囲うように設けられており、シールド部材３
２上には、ガード電極１４ｂがネジ４０により取り付け
られている。また、ガード電極保持部材３２ａは、主電
極保持部材３１ａにスプリング４１（同図において点線
で示す）を介して取り付けられている。同図では、ガー
ド電極１４ｂの電極面は主電極１４ａの電極面高さと同
一高さで示してあるが、前述したように自由な状態では
ガード電極１４ｂは主電極１４ａよりやや上方に突き出
している。なお、図５では、電流計３６とコンタクトプ
ローブ３９と主電極１４ａとの電気的接続状態を示すと
ともに、電流計３６をインナーシールド４２により遮蔽
した様子を併せて示してある。

【００３８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の測定装置に
よれば以下の効果を奏することができる。（１）同一圧力で、すなわち圧力調整機構における設定
を一定に保った状態で試料を交換する場合であっても、
可動電極は基台に対して常に垂直方向に移動するので、
可動電極が試料を傷つけるといった不都合は生じない。
また、可動電極の電極面と固定電極の電極面は常に平行
関係を維持しているので、電極同士がぶつかり損傷する
といった不都合も生じない。さらに、ラッチ等の係合手
段によりワンタッチで上蓋部を基台に装着できるので、
測定能率が向上する。

【００３９】（２）固定電極（主電極や対電極）の絶縁
に使用する絶縁物をシールドしたので、該絶縁物を多量
に使用しても、分極等により測定精度が劣化することは
ない。したがって、固定電極中央の１か所で、該電極を
基台に取り付けることができるので、電極の交換が著し
く容易となる。また、螺合手段（ネジ）として、大径の
ものを使用できるので、固定電極の取付け強度を高める
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１発明の一実施例を示す説明図である。

【図２】第１発明の他の実施例を示す説明図である。

【図３】第２発明の一実施例を示す説明図である。

【図４】第２発明を具体的に示す、主電極の分解説明図
である。

【図５】図４の主電極の組立後の様子をガード電極とと
もに示す図である。

【図６】従来の測定装置の一例を示す図である。

【図７】従来技術の問題点を説明するための図である。

【図８】従来技術および従来の問題点を示すための図で
ある。

【符号の説明】

１上蓋部２基台３ケーシング４ノブ５可動電極６圧力調整機構７係合手段（ラッチ）８係合解除穴１３ガイド棒１４固定電極１４ａ主電極１４ｂガード電極１５ガイド穴１６係合用穴

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上蓋部に支持された可動電極と、基台に
固定された固定電極との間に試料を介在させ、圧力調整
機構により試料を所定圧力で挟圧するとともに両電極間
に測定電圧を印加し、試料を流れる電流を測定すること
で該試料の体積・表面抵抗率を測定する体積・表面抵抗
測定装置において、上蓋部の、基台面に対する垂直移動をガイドする手段
と、該上蓋部を基台に係合する手段と、を有してなるこ
とを特徴とする体積・表面抵抗率測定装置。
【請求項２】固定電極が、絶縁物を介して該固定電極
中央部において基台に螺合され、該絶縁物の一部または
全部が、導体によりシールドされてなることを特徴とす
る体積・表面抵抗率測定装置。