JPH0521883Y2 - - Google Patents
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- JPH0521883Y2 JPH0521883Y2 JP1988147185U JP14718588U JPH0521883Y2 JP H0521883 Y2 JPH0521883 Y2 JP H0521883Y2 JP 1988147185 U JP1988147185 U JP 1988147185U JP 14718588 U JP14718588 U JP 14718588U JP H0521883 Y2 JPH0521883 Y2 JP H0521883Y2
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- point
- capillary
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- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H—ELECTRICITY
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- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
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- Computer Hardware Design (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
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Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案はワイヤボンデイング装置の改良に関
し、ボールが作りにくく曲がりにくいアルミワイ
ヤなどの超音波ボンデイングをキヤピラリを用い
て行えるようにする改良に関する。
し、ボールが作りにくく曲がりにくいアルミワイ
ヤなどの超音波ボンデイングをキヤピラリを用い
て行えるようにする改良に関する。
（従来の技術）
従来、ボールが作りにくいアルミワイヤなどの
ボンデイングには超音波ボンデイング装置が用い
られている。この超音波ボンデイング装置では、
ボンデイングツールとしてウエツジが用いられて
おり、このウエツジはワイヤをパツドやリードの
ボンデイング点に押し付けながら超音波振動を行
い、ワイヤとパツドあるいはワイヤとリードを接
合する。
ボンデイングには超音波ボンデイング装置が用い
られている。この超音波ボンデイング装置では、
ボンデイングツールとしてウエツジが用いられて
おり、このウエツジはワイヤをパツドやリードの
ボンデイング点に押し付けながら超音波振動を行
い、ワイヤとパツドあるいはワイヤとリードを接
合する。
（考案が解決しようとする課題）
しかるに上述した従来の超音波ボンデイング装
置には次のような問題がある。
置には次のような問題がある。
すなわち、ウエツジにはボンデイング面に対し
て斜め方向の真直ぐな穴が設けられており、ワイ
ヤは常にこの穴を通つているが、この穴の向きは
１方向に固定されているので、ワイヤはその向き
にしか繰り出されない。
て斜め方向の真直ぐな穴が設けられており、ワイ
ヤは常にこの穴を通つているが、この穴の向きは
１方向に固定されているので、ワイヤはその向き
にしか繰り出されない。
このため、第１ボンデイング点と第２ボンデイ
ング点が、該穴の方向と対応する方向に、且つウ
エツジの移動と対応する順序で並んでいないとこ
の２点をワイヤで結ぶことができない。このた
め、従来の超音波ボンデイング装置には、ボンデ
イング対象物を回転させる手段と回転中心を正確
に検出する手段が不可欠となつて装置が複雑にな
るという問題がある。またこの回転のために、ボ
ンデイング点とボンデイングツールとの位置合わ
せのための相対移動量が大きくなつてＸ−Ｙテー
ブルの可動範囲を越えてしまうことから、ボンデ
イングができなくなる品種がでてくるという問題
もある。
ング点が、該穴の方向と対応する方向に、且つウ
エツジの移動と対応する順序で並んでいないとこ
の２点をワイヤで結ぶことができない。このた
め、従来の超音波ボンデイング装置には、ボンデ
イング対象物を回転させる手段と回転中心を正確
に検出する手段が不可欠となつて装置が複雑にな
るという問題がある。またこの回転のために、ボ
ンデイング点とボンデイングツールとの位置合わ
せのための相対移動量が大きくなつてＸ−Ｙテー
ブルの可動範囲を越えてしまうことから、ボンデ
イングができなくなる品種がでてくるという問題
もある。
以上の問題を解決するためにウエツジの替わり
にキヤピラリを用いることが考えられるが、この
場合にはワイヤテールを所定の長さにせねばなら
ず、またワイヤが曲がりにくいものであると次の
ような問題が生ずる。すなわち、ワイヤループが
ボンデイング面内でゆるくしか曲がれないため
に、第１ボンデイング点に圧着されたワイヤテー
ルの方向が、この第１ボンデイング点とこれに対
応する第２ボンデイング点を結ぶ直線のボンデイ
ング面内での方向と大きく異なつていると、所定
の第２ボンデイング点でボンデイングが行われな
くなるという問題が生ずる。
にキヤピラリを用いることが考えられるが、この
場合にはワイヤテールを所定の長さにせねばなら
ず、またワイヤが曲がりにくいものであると次の
ような問題が生ずる。すなわち、ワイヤループが
ボンデイング面内でゆるくしか曲がれないため
に、第１ボンデイング点に圧着されたワイヤテー
ルの方向が、この第１ボンデイング点とこれに対
応する第２ボンデイング点を結ぶ直線のボンデイ
ング面内での方向と大きく異なつていると、所定
の第２ボンデイング点でボンデイングが行われな
くなるという問題が生ずる。
本考案の目的は、ワイヤを所定の位置に導くこ
とと超音波ボンデイングとをキヤピラリに行わせ
ることによつて、ボンデイング対象物を回転させ
る手段や回転中心を正確に検出する手段を用いず
に超音波ボンデイングを行えるようにし、また前
記キヤピラリの位置を現在の第２ボンデイング点
の座標と次の第１ボンデイング点および第２ボン
デイング点の各座標とワイヤテール長さに基づい
て変えるようにすることによつて、次の第１ボン
デイング点に圧着されるワイヤテールを所定の長
さにするとともに、そのボンデイング面内での方
向を該ワイヤテールの圧着される第１ボンデイン
グ点とこれに対応する第２ボンデイング点を結ぶ
直線のボンデイング面内での方向と同じかあるい
はあまり異ならない所定の方向に定めてワイヤル
ープをボンデイング面内でほぼまつすぐに形成で
きるようにし、その結果、アルミワイヤなどのボ
ールが作りにくく曲がりにくいワイヤを第２ボン
デイング点で正確に超音波ボンデイングできる、
構造の簡単なワイヤボンデイング装置を提供する
ことである。
とと超音波ボンデイングとをキヤピラリに行わせ
ることによつて、ボンデイング対象物を回転させ
る手段や回転中心を正確に検出する手段を用いず
に超音波ボンデイングを行えるようにし、また前
記キヤピラリの位置を現在の第２ボンデイング点
の座標と次の第１ボンデイング点および第２ボン
デイング点の各座標とワイヤテール長さに基づい
て変えるようにすることによつて、次の第１ボン
デイング点に圧着されるワイヤテールを所定の長
さにするとともに、そのボンデイング面内での方
向を該ワイヤテールの圧着される第１ボンデイン
グ点とこれに対応する第２ボンデイング点を結ぶ
直線のボンデイング面内での方向と同じかあるい
はあまり異ならない所定の方向に定めてワイヤル
ープをボンデイング面内でほぼまつすぐに形成で
きるようにし、その結果、アルミワイヤなどのボ
ールが作りにくく曲がりにくいワイヤを第２ボン
デイング点で正確に超音波ボンデイングできる、
構造の簡単なワイヤボンデイング装置を提供する
ことである。
（課題を解決するための手段）
本考案のワイヤボンデイング装置は上記の目的
を達成するために次の手段構成を有する。
を達成するために次の手段構成を有する。
すなわち本考案のワイヤボンデイング装置は、
ワイヤを所定の位置に導くこととボンデイングと
を行うキヤピラリと；ワイヤカツトのためにワイ
ヤを拘束するワイヤクランプと；キヤピラリとボ
ンデイング対象物との相対位置を変える位置変更
手段と；キヤピラリに超音波振動を行わせる超音
波励振手段と；ボンデイング対象物の複数の第１
ボンデイング点および複数の第２ボンデイング点
の各座標と、キヤピラリの先端半径と、第２ボン
デイング点からのキヤピラリ上昇高さと、ワイヤ
テール長さと、キヤピラリのワイヤカツト移動量
とを記憶する記憶部と；現在の第２ボンデイング
点の座標と、記憶部から読み出した次の第１ボン
デイング点および第２ボンデイング点の各座標
と、キヤピラリの先端半径と、第２ボンデイング
点からのキヤピラリ上昇高さと、ワイヤテール長
さと、キヤピラリのワイヤカツト移動量とから、
キヤピラリ先端が現在の第２ボンデイング点から
次の第１ボンデイング点に移動する間の、前記の
キヤピラリ上昇高さにあるキヤピラリ先端と現在
の第２ボンデイング点との最短距離がワイヤテー
ル長さに等しい時のキヤピラリ先端中心位置であ
るクランプ点の座標と、クランプされたワイヤを
現在の第２ボンデイング点から所定の方向に引張
り始める時のキヤピラリ先端中心位置である引張
り開始点の座標と、カツトされたワイヤのテール
先端を現在の第２ボンデイング点から所定の距離
だけはなす時のキヤピラリ先端中心位置である引
張り移動終了点の座標を算出する算出部と；現在
の第２ボンデイング点の座標を算出部へ送出する
ことと、算出部から受けた各座標に基づき、キヤ
ピラリ中心を現在の第２ボンデイング点を中心と
してクランプ点を通る円の内部のみを経由させて
クランプ点に到達させ、ついで該クランプ点から
引張り開始点へ移動させ、引張り開始点から引張
り移動終了点へはこれを結ぶ直線をたどつて移動
させる制御信号を位置交更手段へ送出することと
を行う制御部と；を具備することを特徴とするも
のである。
ワイヤを所定の位置に導くこととボンデイングと
を行うキヤピラリと；ワイヤカツトのためにワイ
ヤを拘束するワイヤクランプと；キヤピラリとボ
ンデイング対象物との相対位置を変える位置変更
手段と；キヤピラリに超音波振動を行わせる超音
波励振手段と；ボンデイング対象物の複数の第１
ボンデイング点および複数の第２ボンデイング点
の各座標と、キヤピラリの先端半径と、第２ボン
デイング点からのキヤピラリ上昇高さと、ワイヤ
テール長さと、キヤピラリのワイヤカツト移動量
とを記憶する記憶部と；現在の第２ボンデイング
点の座標と、記憶部から読み出した次の第１ボン
デイング点および第２ボンデイング点の各座標
と、キヤピラリの先端半径と、第２ボンデイング
点からのキヤピラリ上昇高さと、ワイヤテール長
さと、キヤピラリのワイヤカツト移動量とから、
キヤピラリ先端が現在の第２ボンデイング点から
次の第１ボンデイング点に移動する間の、前記の
キヤピラリ上昇高さにあるキヤピラリ先端と現在
の第２ボンデイング点との最短距離がワイヤテー
ル長さに等しい時のキヤピラリ先端中心位置であ
るクランプ点の座標と、クランプされたワイヤを
現在の第２ボンデイング点から所定の方向に引張
り始める時のキヤピラリ先端中心位置である引張
り開始点の座標と、カツトされたワイヤのテール
先端を現在の第２ボンデイング点から所定の距離
だけはなす時のキヤピラリ先端中心位置である引
張り移動終了点の座標を算出する算出部と；現在
の第２ボンデイング点の座標を算出部へ送出する
ことと、算出部から受けた各座標に基づき、キヤ
ピラリ中心を現在の第２ボンデイング点を中心と
してクランプ点を通る円の内部のみを経由させて
クランプ点に到達させ、ついで該クランプ点から
引張り開始点へ移動させ、引張り開始点から引張
り移動終了点へはこれを結ぶ直線をたどつて移動
させる制御信号を位置交更手段へ送出することと
を行う制御部と；を具備することを特徴とするも
のである。
（作用）
以下、上記の手段構成を有する本考案のワイヤ
ボンデイング装置の作用を説明する。
ボンデイング装置の作用を説明する。
記憶部は、ボンデイング対象物の複数の第１ボ
ンデイング点および複数の第２ボンデイング点の
各座標と、第２ボンデイング点からのキヤピラリ
上昇高さと、ワイヤテール長さと、キヤピラリの
ワイヤカツト移動量とを記憶している。算出部
は、制御部から現在の第２ボンデイング点の座標
を受け、記憶部から次の第１ボンデイング点およ
び第２ボンデイング点の各座標、キヤピラリ先端
半径、第２ボンデイング点からのキヤピラリ上昇
高さ、ワイヤテール長さ、ならびにキヤピラリの
ワイヤカツト移動量を読み出し、ついで前記のキ
ヤピラリ上昇高さにあるキヤピラリ先端と現在の
第２ボンデイング点との最短距離が前記のワイヤ
テール長さに等しい時のキヤピラリ先端中心位置
であるクランプ点の座標を算出する。また、算出
部はクランプされたワイヤを現在の第２ボンデイ
ング点から所定の方向に引張り始める時のキヤピ
ラリ先端中心位置である引張り開始点の座標と、
カツトされたワイヤのテール先端を現在の第２ボ
ンデイング点から所定の距離だけはなす時のキヤ
ピラリ先端中心の位置である引張り移動終了点の
座標を算出する。引張り開始点と引張り終了点の
各座標は、この２点を結ぶ直線が次の第１ボンデ
イング点と第２ボンデイング点を結ぶ直線とボン
デイング面内で同じ方向となるか、あるいはあま
り異ならない所定の方向となるように定められ
る。
ンデイング点および複数の第２ボンデイング点の
各座標と、第２ボンデイング点からのキヤピラリ
上昇高さと、ワイヤテール長さと、キヤピラリの
ワイヤカツト移動量とを記憶している。算出部
は、制御部から現在の第２ボンデイング点の座標
を受け、記憶部から次の第１ボンデイング点およ
び第２ボンデイング点の各座標、キヤピラリ先端
半径、第２ボンデイング点からのキヤピラリ上昇
高さ、ワイヤテール長さ、ならびにキヤピラリの
ワイヤカツト移動量を読み出し、ついで前記のキ
ヤピラリ上昇高さにあるキヤピラリ先端と現在の
第２ボンデイング点との最短距離が前記のワイヤ
テール長さに等しい時のキヤピラリ先端中心位置
であるクランプ点の座標を算出する。また、算出
部はクランプされたワイヤを現在の第２ボンデイ
ング点から所定の方向に引張り始める時のキヤピ
ラリ先端中心位置である引張り開始点の座標と、
カツトされたワイヤのテール先端を現在の第２ボ
ンデイング点から所定の距離だけはなす時のキヤ
ピラリ先端中心の位置である引張り移動終了点の
座標を算出する。引張り開始点と引張り終了点の
各座標は、この２点を結ぶ直線が次の第１ボンデ
イング点と第２ボンデイング点を結ぶ直線とボン
デイング面内で同じ方向となるか、あるいはあま
り異ならない所定の方向となるように定められ
る。
制御部は、現在の第２ボンデイング点の座標を
算出部へ送出することと、算出部から受けた各座
標に基づいてキヤピラリとボンデイング対象物と
の相対位置を変える制御信号を位置変更手段へ送
出することとを行う。位置変更手段は、制御信号
に基づいてキヤピラリ先端中心を次のように移動
させる。すなわち、キヤピラリ先端中心は、キヤ
ピラリ先端が現在の第２ボンデイング点にある位
置から、現在の第２ボンデイング点を中心として
クランプ点を通る円の内部のみを経由して、クラ
ンプ点に到達する。ついでキヤピラリ先端中心は
該クランプ点から引張り開始点に移動し、引張り
開始点から引張り移動終了点にこれを結ぶ直線を
たどつて移動する。ワイヤクランプはキヤピラリ
先端中心がクランプ点に達した時にワイヤを拘束
し、ワイヤはキヤピラリ先端中心が引張り開始点
から引張り終了点に向かう間で引き千切られるの
で、所定の長さで所定の方向を向いたワイヤテー
ルが形成される。この後キヤピラリ先端中心は、
キヤピラリ先端が次の第１ボンデイング点にある
位置に達し、ついでキヤピラリ先端が次の第２ボ
ンデイング点にある位置に移動する。キヤピラリ
は上記の各点にワイヤを導き、各ボンデイング点
で超音波励振手段に加振させられて超音波ボンデ
イングを行う。
算出部へ送出することと、算出部から受けた各座
標に基づいてキヤピラリとボンデイング対象物と
の相対位置を変える制御信号を位置変更手段へ送
出することとを行う。位置変更手段は、制御信号
に基づいてキヤピラリ先端中心を次のように移動
させる。すなわち、キヤピラリ先端中心は、キヤ
ピラリ先端が現在の第２ボンデイング点にある位
置から、現在の第２ボンデイング点を中心として
クランプ点を通る円の内部のみを経由して、クラ
ンプ点に到達する。ついでキヤピラリ先端中心は
該クランプ点から引張り開始点に移動し、引張り
開始点から引張り移動終了点にこれを結ぶ直線を
たどつて移動する。ワイヤクランプはキヤピラリ
先端中心がクランプ点に達した時にワイヤを拘束
し、ワイヤはキヤピラリ先端中心が引張り開始点
から引張り終了点に向かう間で引き千切られるの
で、所定の長さで所定の方向を向いたワイヤテー
ルが形成される。この後キヤピラリ先端中心は、
キヤピラリ先端が次の第１ボンデイング点にある
位置に達し、ついでキヤピラリ先端が次の第２ボ
ンデイング点にある位置に移動する。キヤピラリ
は上記の各点にワイヤを導き、各ボンデイング点
で超音波励振手段に加振させられて超音波ボンデ
イングを行う。
以上説明したように、本考案のワイヤボンデイ
ング装置は、キヤピラリにワイヤを所定の位置に
導くことと超音波ボンデイングとを行わせるよう
にしたことによつて、ボンデイング対象物を回転
させる手段や回転中心を正確に検出する手段を用
いずに超音波ボンデイングが行え、また前記キヤ
ピラリの位置を現在の第２ボンデイング点の座標
と次の第１ボンデイング点および第２ボンデイン
グ点の各座標とワイヤテール長さに基づいて変え
るようにしたことによつて、次の第１ボンデイン
グ点に圧着されるワイヤテールを所定の長さにす
るとともに、そのボンデイング面内での方向を該
ワイヤテールの圧着される第１ボンデイング点と
これに対応する第２ボンデイング点を結ぶ直線の
ボンデイング面内での方向と同じかあるいはあま
り異ならない所定の方向に定めてワイヤループを
ボンデイング面内でほぼ真直ぐに形成することが
可能となるので、アルミワイヤなどのボールが作
りにくく曲がりにくいワイヤを第２ボンデイング
点に正しく超音波ボンデイングすることができ、
しかもボンデイング装置としての構造が簡単にな
る。
ング装置は、キヤピラリにワイヤを所定の位置に
導くことと超音波ボンデイングとを行わせるよう
にしたことによつて、ボンデイング対象物を回転
させる手段や回転中心を正確に検出する手段を用
いずに超音波ボンデイングが行え、また前記キヤ
ピラリの位置を現在の第２ボンデイング点の座標
と次の第１ボンデイング点および第２ボンデイン
グ点の各座標とワイヤテール長さに基づいて変え
るようにしたことによつて、次の第１ボンデイン
グ点に圧着されるワイヤテールを所定の長さにす
るとともに、そのボンデイング面内での方向を該
ワイヤテールの圧着される第１ボンデイング点と
これに対応する第２ボンデイング点を結ぶ直線の
ボンデイング面内での方向と同じかあるいはあま
り異ならない所定の方向に定めてワイヤループを
ボンデイング面内でほぼ真直ぐに形成することが
可能となるので、アルミワイヤなどのボールが作
りにくく曲がりにくいワイヤを第２ボンデイング
点に正しく超音波ボンデイングすることができ、
しかもボンデイング装置としての構造が簡単にな
る。
（実施例）
以下、本考案のワイヤボンデイング装置の実施
例を図面を参照して説明する。
例を図面を参照して説明する。
第１図は本考案のワイヤボンデイング装置の実
施例の構成図、第２図はキヤピラリ先端中心の移
動説明図である。
施例の構成図、第２図はキヤピラリ先端中心の移
動説明図である。
第１図において、記憶部１１は、ボンデイング
対象物の複数の第１ボンデイング点および複数の
第２ボンデイング点の各座標と、第２ボンデイン
グ点からのキヤピラリ上昇高さと、ワイヤテール
長さと、キヤピラリのワイヤカツト移動量とを記
憶している。算出部１２は、位置決め制御部１４
から第２図に示す現在の第２ボンデイング点４２
の座標を受け、記憶部１１から第２図に示す次の
第１ボンデイング点５１および次の第２ボンデイ
ング点５２の各座標、キヤピラリ先端半径、第２
ボンデイング点からのキヤピラリ上昇高さ、ワイ
ヤテール長さ、ならびにキヤピラリのワイヤカツ
ト移動量を読み出す。算出部１２は、前記のキヤ
ピラリ上昇高さにあるキヤピラリ先端１００と現
在の第２ボンデイング点４２との最短距離が前記
のワイヤテール長さに等しい時のキヤピラリ先端
中心位置であるクランプ点３３の座標を算出す
る。
対象物の複数の第１ボンデイング点および複数の
第２ボンデイング点の各座標と、第２ボンデイン
グ点からのキヤピラリ上昇高さと、ワイヤテール
長さと、キヤピラリのワイヤカツト移動量とを記
憶している。算出部１２は、位置決め制御部１４
から第２図に示す現在の第２ボンデイング点４２
の座標を受け、記憶部１１から第２図に示す次の
第１ボンデイング点５１および次の第２ボンデイ
ング点５２の各座標、キヤピラリ先端半径、第２
ボンデイング点からのキヤピラリ上昇高さ、ワイ
ヤテール長さ、ならびにキヤピラリのワイヤカツ
ト移動量を読み出す。算出部１２は、前記のキヤ
ピラリ上昇高さにあるキヤピラリ先端１００と現
在の第２ボンデイング点４２との最短距離が前記
のワイヤテール長さに等しい時のキヤピラリ先端
中心位置であるクランプ点３３の座標を算出す
る。
この座標は、現在の第２ボンデイング点４２を
中心として該クランプ点３３を通る円であるクラ
ンプ位置円１０４の円周に任意に定めることがで
きるが、本実施例では、キヤピラリの動きを簡単
にするため、現在の第２ボンデイング点４２とク
ランプ点３３を結ぶ直線のボンデイング面内での
方向が、次の第１ボンデイング点５１と次の第２
ボンデイング点５２を結ぶ直線である次のボンデ
イング点接続線１０５のボンデイング面内での方
向と同じになるように、クランプ点３３の座標を
定めている。算出部１２は、現在の第２ボンデイ
ング点４２とクランプ点３３を結ぶ直線のボンデ
イング面内での方向に、クランプ点３３から現在
の第２ボンデイング点４２とは離れる向きにワイ
ヤカツト移動量だけ隔たつた引張り移動終了点３
４の座標を算出する。本実施例では、クランプ点
３３がワイヤ３０の引張り開始点になつており、
キヤピラリ先端中心がクランプ点３３から引張り
移動終了点３４に至る間、ワイヤ３０のボンデイ
ング面内での方向は次のボンデイング点接続線１
０５のボンデイング面内での方向と同じに定めら
れているが、算出部１２は、引張り開始点をクラ
ンプ点３３とは別の位置に定めることも、また引
張り開始点と引張り移動終了点３４を結ぶ直線の
ボンデイング面内での方向を次のボンデイング点
接続線１０５のボンデイング面内での方向とあま
り異ならない所定の方向とするように、この２点
の座標を定めることもできる。引張り開始点をク
ランプ点３３とは別の位置に定める場合は、該引
張り開始点はクランプ位置円１０４以内の範囲に
定められ、この引張り開始点と現在の第２ボンデ
イング点４２を結ぶ直線のボンデイング面内での
方向は、次のボンデイング点接続線１０５のボン
デイング面内での方向と同じかまたはこれとあま
り異ならない所定の方向に定められる。位置決め
制御部１４は、現在の第２ボンデイング点４２の
座標を算出部１２へ送出することと、算出部１２
から受けた各座標に基づいてキヤピラリ１とボン
デイング対象物９との相対位置を変える制御信号
を上下駆動部４、Ｘテーブル５およびＹテーブル
６（以下、まとめて位置変更手段と言う）へ送出
することとを行う。位置変更手段は、制御信号に
基づいてキヤピラリ先端中心を次のように移動さ
せる。すなわち第２図において、キヤピラリ先端
中心は、キヤピラリ先端中心位置３２から、クラ
ンプ位置円１０４の内部のみを経由してクランプ
点３３に到達する。ついでキヤピラリ先端中心は
クランプ点３３から引張り移動終了点３４にこれ
を結ぶ直線をたどつて移動する。本実施例と異な
り引張り開始点がクランプ点３３とは別に定めら
れる場合は、キヤピラリ先端中心はクランプ点３
３から引張り開始点へ移動し、ここから引張り移
動終了点３４にこれを結ぶ直線をたどつて移動す
る。ワイヤクランプ７はキヤピラリ先端中心がク
ランプ点３３に達した時にワイヤを拘束し、ワイ
ヤはクランプ点３３（引張り開始点が定められる
場合にはこの引張り開始点）から引張り移動終了
点３４に向かう間で引き千切られるので、所定の
長さで所定の方向を向いたワイヤテールが形成さ
れる。この後キヤピラリ先端中心はキヤピラリ先
端中心位置３５に達し、ついでキヤピラリ先端中
心位置３６に移動する。キヤピラリ１は上記の各
点にワイヤ３０を導き、キヤピラリ先端１００が
次の第１ボンデイング点５１および次の第２ボン
デイング点５２にある各位置で超音波振動子３に
加振させられて超音波ボンデイングを行う。
中心として該クランプ点３３を通る円であるクラ
ンプ位置円１０４の円周に任意に定めることがで
きるが、本実施例では、キヤピラリの動きを簡単
にするため、現在の第２ボンデイング点４２とク
ランプ点３３を結ぶ直線のボンデイング面内での
方向が、次の第１ボンデイング点５１と次の第２
ボンデイング点５２を結ぶ直線である次のボンデ
イング点接続線１０５のボンデイング面内での方
向と同じになるように、クランプ点３３の座標を
定めている。算出部１２は、現在の第２ボンデイ
ング点４２とクランプ点３３を結ぶ直線のボンデ
イング面内での方向に、クランプ点３３から現在
の第２ボンデイング点４２とは離れる向きにワイ
ヤカツト移動量だけ隔たつた引張り移動終了点３
４の座標を算出する。本実施例では、クランプ点
３３がワイヤ３０の引張り開始点になつており、
キヤピラリ先端中心がクランプ点３３から引張り
移動終了点３４に至る間、ワイヤ３０のボンデイ
ング面内での方向は次のボンデイング点接続線１
０５のボンデイング面内での方向と同じに定めら
れているが、算出部１２は、引張り開始点をクラ
ンプ点３３とは別の位置に定めることも、また引
張り開始点と引張り移動終了点３４を結ぶ直線の
ボンデイング面内での方向を次のボンデイング点
接続線１０５のボンデイング面内での方向とあま
り異ならない所定の方向とするように、この２点
の座標を定めることもできる。引張り開始点をク
ランプ点３３とは別の位置に定める場合は、該引
張り開始点はクランプ位置円１０４以内の範囲に
定められ、この引張り開始点と現在の第２ボンデ
イング点４２を結ぶ直線のボンデイング面内での
方向は、次のボンデイング点接続線１０５のボン
デイング面内での方向と同じかまたはこれとあま
り異ならない所定の方向に定められる。位置決め
制御部１４は、現在の第２ボンデイング点４２の
座標を算出部１２へ送出することと、算出部１２
から受けた各座標に基づいてキヤピラリ１とボン
デイング対象物９との相対位置を変える制御信号
を上下駆動部４、Ｘテーブル５およびＹテーブル
６（以下、まとめて位置変更手段と言う）へ送出
することとを行う。位置変更手段は、制御信号に
基づいてキヤピラリ先端中心を次のように移動さ
せる。すなわち第２図において、キヤピラリ先端
中心は、キヤピラリ先端中心位置３２から、クラ
ンプ位置円１０４の内部のみを経由してクランプ
点３３に到達する。ついでキヤピラリ先端中心は
クランプ点３３から引張り移動終了点３４にこれ
を結ぶ直線をたどつて移動する。本実施例と異な
り引張り開始点がクランプ点３３とは別に定めら
れる場合は、キヤピラリ先端中心はクランプ点３
３から引張り開始点へ移動し、ここから引張り移
動終了点３４にこれを結ぶ直線をたどつて移動す
る。ワイヤクランプ７はキヤピラリ先端中心がク
ランプ点３３に達した時にワイヤを拘束し、ワイ
ヤはクランプ点３３（引張り開始点が定められる
場合にはこの引張り開始点）から引張り移動終了
点３４に向かう間で引き千切られるので、所定の
長さで所定の方向を向いたワイヤテールが形成さ
れる。この後キヤピラリ先端中心はキヤピラリ先
端中心位置３５に達し、ついでキヤピラリ先端中
心位置３６に移動する。キヤピラリ１は上記の各
点にワイヤ３０を導き、キヤピラリ先端１００が
次の第１ボンデイング点５１および次の第２ボン
デイング点５２にある各位置で超音波振動子３に
加振させられて超音波ボンデイングを行う。
（考案の効果）
以上説明したように、本考案のワイヤボンデイ
ング装置は、キヤピラリにワイヤを所定の位置に
導くことと超音波ボンデイングとを行わせるよう
にしたことによつて、ボンデイング対象物を回転
させる手段や回転中心を正確に検出する手段を用
いずに超音波ボンデイングが行え、また前記キヤ
ピラリの位置を現在の第２ボンデイング点の座標
と次の第１ボンデイング点および第２ボンデイン
グ点の各座標とワイヤテール長さに基づいて変え
るようにしたことによつて、次の第１ボンデイン
グ点に圧着されるワイヤテールを所定の長さにす
るとともに、そのボンデイング面内での方向を該
ワイヤテールの圧着される第１ボンデイング点と
これに対応する第２ボンデイング点を結ぶ直線の
ボンデイング面内での方向と同じかあるいはあま
り異ならない所定の方向に定めてワイヤループを
ボンデイング面内でほぼ真直ぐに形成することが
可能となるので、アルミワイヤなどのボールが作
りにくく曲がりにくいワイヤを第２ボンデイング
点に正しく超音波ボンデイングすることができ、
しかもボンデイング装置としての構造が簡単にな
るという利点を有する。
ング装置は、キヤピラリにワイヤを所定の位置に
導くことと超音波ボンデイングとを行わせるよう
にしたことによつて、ボンデイング対象物を回転
させる手段や回転中心を正確に検出する手段を用
いずに超音波ボンデイングが行え、また前記キヤ
ピラリの位置を現在の第２ボンデイング点の座標
と次の第１ボンデイング点および第２ボンデイン
グ点の各座標とワイヤテール長さに基づいて変え
るようにしたことによつて、次の第１ボンデイン
グ点に圧着されるワイヤテールを所定の長さにす
るとともに、そのボンデイング面内での方向を該
ワイヤテールの圧着される第１ボンデイング点と
これに対応する第２ボンデイング点を結ぶ直線の
ボンデイング面内での方向と同じかあるいはあま
り異ならない所定の方向に定めてワイヤループを
ボンデイング面内でほぼ真直ぐに形成することが
可能となるので、アルミワイヤなどのボールが作
りにくく曲がりにくいワイヤを第２ボンデイング
点に正しく超音波ボンデイングすることができ、
しかもボンデイング装置としての構造が簡単にな
るという利点を有する。
第１図は本考案のワイヤボンデイング装置の実
施例の構成図、第２図はキヤピラリ先端中心の移
動説明図である。 １……キヤピラリ、２……ボンデイングアー
ム、３……超音波振動子、４……上下駆動部、５
……Ｘテーブル、６……Ｙテーブル、７……ワイ
ヤクランプ、９……ボンデイング対象物、１０…
…現在の第２ボンデイング点の座標信号、１１…
…記憶部、１２……算出部、１４……位置決め制
御部、３０……ワイヤ、３１，３２……キヤピラ
リ先端中心位置、３３……クランプ点、３４……
引張り移動終了点、３５，３６……キヤピラリ先
端中心位置、４１……現在の第１ボンデイング
点、４２……現在の第２ボンデイング点、５１…
…次の第１ボンデイング点、５２……次の第２ボ
ンデイング点、１００……キヤピラリ先端、１０
１……リード、１０２……ICチツプ、１０３…
…パツド、１０４……クランプ位置円、１０５…
…次のボンデイング点接続線。
施例の構成図、第２図はキヤピラリ先端中心の移
動説明図である。 １……キヤピラリ、２……ボンデイングアー
ム、３……超音波振動子、４……上下駆動部、５
……Ｘテーブル、６……Ｙテーブル、７……ワイ
ヤクランプ、９……ボンデイング対象物、１０…
…現在の第２ボンデイング点の座標信号、１１…
…記憶部、１２……算出部、１４……位置決め制
御部、３０……ワイヤ、３１，３２……キヤピラ
リ先端中心位置、３３……クランプ点、３４……
引張り移動終了点、３５，３６……キヤピラリ先
端中心位置、４１……現在の第１ボンデイング
点、４２……現在の第２ボンデイング点、５１…
…次の第１ボンデイング点、５２……次の第２ボ
ンデイング点、１００……キヤピラリ先端、１０
１……リード、１０２……ICチツプ、１０３…
…パツド、１０４……クランプ位置円、１０５…
…次のボンデイング点接続線。
Claims (1)
- ワイヤを所定の位置に導くこととボンデイング
とを行うキヤピラリと；ワイヤカツトのためにワ
イヤを拘束するワイヤクランプと；キヤピラリと
ボンデイング対象物との相対位置を変える位置変
更手段と；キヤピラリに超音波振動を行わせる超
音波励振手段と；ボンデイング対象物の複数の第
１ボンデイング点および複数の第２ボンデイング
点の各座標と、キヤピラリの先端半径と、第２ボ
ンデイング点からのキヤピラリ上昇高さと、ワイ
ヤテール長さと、キヤピラリのワイヤカツト移動
量とを記憶する記憶部と；現在の第２ボンデイン
グ点の座標と、記憶部から読み出した次の第１ボ
ンデイング点および第２ボンデイング点の各座標
と、キヤピラリの先端半径と、第２ボンデイング
点からのキヤピラリ上昇高さと、ワイヤテール長
さと、キヤピラリのワイヤカツト移動量とから、
キヤピラリ先端が現在の第２ボンデイング点から
次の第１ボンデイング点に移動する間の、前記の
キヤピラリ上昇高さにあるキヤピラリ先端と現在
の第２ボンデイング点との最短距離がワイヤテー
ル長さに等しい時のキヤピラリ先端中心位置であ
るクランプ点の座標と、クランプされたワイヤを
現在の第２ボンデイング点から所定の方向に引張
り始める時のキヤピラリ先端中心位置である引張
り開始点の座標と、カツトされたワイヤのテール
先端を現在の第２ボンデイング点から所定の距離
だけはなす時のキヤピラリ先端中心位置である引
張り移動終了点の座標を算出する算出部と；現在
の第２ボンデイング点の座標を算出部へ送出する
ことと、算出部から受けた各座標に基づき、キヤ
ピラリ中心を現在の第２ボンデイング点を中心と
してクランプ点を通る円の内部のみを経由させて
クランプ点に到達させ、ついで該クランプ点から
引張り開始点へ移動させ、引張り開始点から引張
り移動終了点へはこれを結ぶ直線をたどつて移動
させる制御信号を位置交換手段へ送出することと
を行う制御部と；を具備することを特徴とするワ
イヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988147185U JPH0521883Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988147185U JPH0521883Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268442U JPH0268442U (ja) | 1990-05-24 |
| JPH0521883Y2 true JPH0521883Y2 (ja) | 1993-06-04 |
Family
ID=31417358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988147185U Expired - Lifetime JPH0521883Y2 (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521883Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-11 JP JP1988147185U patent/JPH0521883Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0268442U (ja) | 1990-05-24 |
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