JPH052163B2 - - Google Patents
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- JPH052163B2 JPH052163B2 JP60202371A JP20237185A JPH052163B2 JP H052163 B2 JPH052163 B2 JP H052163B2 JP 60202371 A JP60202371 A JP 60202371A JP 20237185 A JP20237185 A JP 20237185A JP H052163 B2 JPH052163 B2 JP H052163B2
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- detection device
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はピン位置検出装置に関し、特にピンを
他部材に挿入するに際し有効なピンの曲り等の欠
陥の検出が容易なピン位置検出装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a pin position detection device, and more particularly to a pin position detection device that can easily detect defects such as bent pins, which are effective when inserting a pin into another member. .
一般にICパツケージやリレー等のピンを他部
材のピン穴位置に挿入するにはピン先端位置に誤
差が少なく正しいピン先端位置を維持することが
特にピンの挿入を自動化する上で重要である。
Generally, when inserting pins of IC packages, relays, etc. into pin holes in other components, it is important to maintain the correct pin tip position with little error in the pin tip position, especially when automating pin insertion.
従来、この種ICパツケージやリレー等のピン
（足）の曲りの検出を行なうには、第３図に示す
ように、IC吸着器３で保持されたICパツケージ
１のピンの先端部を側方から互いに直交位置に配
設したカメラ６Ｘ，６Ｙにて撮像し、その撮像画
像をそれぞれモニタ７Ｘと７Ｙにて観察するか、
又は画像処理装置８による画像処理によつて判
断、位置検出を行なつていた。即ち、ピンの配列
およびピン先端位置が全て正常であればモニター
７Ｘ，７Ｙ画面上では一列ピン画像として認めら
れる。例えばモニター７Ｘ上ではＸ方向に配列さ
れた各ピン画像７５は、Ｙ方向に完全に重畳して
いるため１本にしか見えない。一方、モニター７
Ｙ上では、ピンの少なくとも一本の先端部７４が
曲がつていると図のように他のピン７３と識別で
きることになる。 Conventionally, in order to detect bent pins (feet) of this type of IC package, relay, etc., as shown in Fig. , images are captured by cameras 6X and 6Y arranged orthogonally to each other, and the captured images are observed on monitors 7X and 7Y, respectively, or
Alternatively, judgment and position detection were performed through image processing by the image processing device 8. That is, if the arrangement of the pins and the positions of the pin tips are all normal, the image will be recognized as a single row of pins on the monitors 7X and 7Y. For example, on the monitor 7X, each pin image 75 arranged in the X direction is completely overlapped in the Y direction, so that only one image appears. On the other hand, monitor 7
On Y, if at least one of the pins has a bent tip 74, it can be distinguished from other pins 73 as shown in the figure.
これに対して、第４図に示すようにピンの配列
面（ICパツケージ面）に対向してカメラ６を配
置することにより、上記第３図に示す如き装置の
欠点を解決する装置も提案されている。 On the other hand, a device has been proposed which solves the drawbacks of the device shown in FIG. 3 by arranging the camera 6 opposite the pin arrangement surface (IC package surface) as shown in FIG. ing.
しかし、前者の装置では撮像方向に並んだピン
先端の曲がりは識別できるもののどのピンに曲が
りが生じているかの識別は困難であつた。また撮
像手段としてのカメラは２台必要であるため構成
が複雑化し、コスト面でも不利であつた。
However, with the former device, although it is possible to identify the bending of the tips of the pins arranged in the imaging direction, it is difficult to identify which pin is bent. In addition, since two cameras are required as imaging means, the configuration becomes complicated and is disadvantageous in terms of cost.
また、後者の装置においても、ピン画像と背景
画像（ICパツケージ面画像）との識別が一般に
コントラスト比がそれ程良好でないことに起因し
て困難であつた。 Furthermore, even in the latter device, it is difficult to distinguish between a pin image and a background image (IC package surface image) because the contrast ratio is generally not very good.
本発明は、ピンを有するパツケージを保持する
保持部と、前記ピンの長さ方向に対して直角方向
からスリツトレーザ光を前記ピンの先端部分に照
射するレーザ光源部と、前記ピンからの前記レー
ザ光の反射光、散乱光を受光し前記ピンの長さ方
向から見たピン画像を一括して撮像する撮像部
と、前記ピン画像からピン位置を判定演算する画
像処理部とを備えて成ることを特徴とするピン位
置検出装置である。
The present invention includes a holding part that holds a package having a pin, a laser light source part that irradiates a tip of the pin with a slit laser beam from a direction perpendicular to the length direction of the pin, and the laser beam from the pin. an imaging unit that receives reflected light and scattered light of the pin and collectively captures a pin image viewed from the length direction of the pin; and an image processing unit that determines and calculates the pin position from the pin image. This is a characteristic pin position detection device.
以下本発明の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は本発明になるピン位置検出装置の一基
本例を示す図である。IC吸着器３で保持された
ICパツケージ９上に配設されたピン２の先端部
にはスリツトビーム光が照射される。即ち、He
−Neレーザ９からのレーザビーム光B1は、例え
ば凸レンズ１０とコリメータ１１から構成される
エキスパンダーでビーム径が拡大された後（ビー
ム光B2）、円柱レンズ１２にてスリツト光（扇形
光）B3が発生され、このスリツト光B3がピン２
の先端部に照射される。こうして照射されたピン
先端部からの反射光、散乱光は、レンズ４、接写
リンク５を介してカメラ６に入射され、その撮像
画面がモニター３にて表示されるとともに、画像
信号が画像処理部８にてピン位置検出のための画
像処理が為される。スリツト光B3の厚さはエキ
スパンダーで定められ、ピンの先端を含む或る厚
さに設定される。本発明ではピン２の先端部分で
レーザスリツト光B3が効率的に反射、散乱され、
この反射、散乱光がピン２の真下に配置され、焦
点深度をピン２の先端を中心にして狭い範囲にな
るように調整されたカメラ６にて撮像される。従
つて、ICパツケージの表面からの反射光は画像
信号としては無視でき、ピン画像だけがきわめて
高コントラストで得られるので、ピン位置判定の
ための画像処理やモニタ７上でのピン位置検出が
視覚的にも容易に行なえる。ここで、ピン位置算
定のためにはピン画像信号を基にしてその重心位
置をピン位置基準点とすることが高精度化を計る
上で有効である。また、スリツトレーザ光B3の
照射域以外の部分を第１図に示すように外光蔽光
板１３で覆うことによつてよりコントラスト比の
高い高精度なピン位置検出が可能となる。 FIG. 1 is a diagram showing a basic example of a pin position detection device according to the present invention. Retained by IC adsorber 3
The tip of the pin 2 disposed on the IC package 9 is irradiated with slit beam light. That is, He
The laser beam B 1 from the -Ne laser 9 is expanded in beam diameter (beam light B 2 ) with an expander consisting of, for example, a convex lens 10 and a collimator 11, and then slit into a slit beam (fan-shaped beam) with a cylindrical lens 12. B 3 is generated, and this slit light B 3 is connected to pin 2.
The tip of the beam is irradiated. The reflected light and scattered light from the irradiated pin tip are incident on the camera 6 via the lens 4 and the close-up link 5, and the captured image is displayed on the monitor 3, and the image signal is sent to the image processing section. At step 8, image processing for pin position detection is performed. The thickness of the slit light B3 is determined by an expander, and is set to a certain thickness that includes the tip of the pin. In the present invention, the laser slit light B3 is efficiently reflected and scattered at the tip of the pin 2,
This reflected and scattered light is imaged by a camera 6 placed directly below the pin 2 and whose depth of focus is adjusted to a narrow range centered on the tip of the pin 2. Therefore, the reflected light from the surface of the IC package can be ignored as an image signal, and only the pin image can be obtained with extremely high contrast, so image processing for pin position determination and pin position detection on the monitor 7 can be done visually. It is also easy to do. Here, in order to calculate the pin position, it is effective to use the center of gravity position as the pin position reference point based on the pin image signal in order to improve accuracy. Further, by covering the portion other than the irradiation area of the slit laser beam B3 with an external light shielding plate 13 as shown in FIG. 1, it becomes possible to detect the pin position with higher contrast ratio and with higher accuracy.
第２図ＡとＢは本発明の他の実施例を示し、ピ
ンの曲がりによる位置検出精度の劣化を防止する
とともに、ピン曲がり位置の検出をも可能とする
例を示す。 FIGS. 2A and 2B show another embodiment of the present invention, in which deterioration in position detection accuracy due to bent pins is prevented, and the position of bent pins can also be detected.
この実施例では、２個のHe−Neレーザ９ａ，
９ｂからのレーザ光をポリゴンミラー１２ａ，１
２ｂにてスリツト化してスリツト光B3a，B3bを
互いに反対側からICパツケージ上のピン２の先
端部分に照射し、ピン２からの反射光、散乱光
を、レンズ４、接写リンク５を介してカメラ６に
て撮像する。一方向からのスリツト光の照射を行
なう場合、ピンが照射方向に曲がつていると、ピ
ンの曲がり部のカメラ側部分（背面部）はスリツ
ト光が照射されずその部分からの反射光強度は小
さい値となるためコントラストが小さくなり、当
該ピンの曲がりの検出が困難となる。本実施例で
は互いに反対方向からピン先端部を照射している
ので、ピンがどの方向に曲がつていようとも常に
ピン先端部からの反射光はカメラにて受光され、
このような問題が生じない。また、第２図Ｂに示
すように、ピン２の上下位置はＺ軸テーブル１４
にて調整可能であるので、スリツトビーム光の照
射領域をピンの根元部近辺から先端部分に至るま
で徐々に移動させてやればピンの各高さ位置に応
じた曲がり状況が簡単に得られる。 In this embodiment, two He-Ne lasers 9a,
The laser beam from 9b is transmitted to polygon mirrors 12a, 1
The slit lights B 3a and B 3b are irradiated onto the tip of the pin 2 on the IC package from opposite sides, and the reflected light and scattered light from the pin 2 are transmitted through the lens 4 and the close-up link 5. An image is taken with the camera 6. When irradiating slit light from one direction, if the pin is bent in the irradiation direction, the slit light will not be irradiated on the camera side (back side) of the bent part of the pin, and the intensity of the reflected light from that part will be Since the value is small, the contrast becomes small and it becomes difficult to detect the bending of the pin. In this example, the pin tips are irradiated from opposite directions, so no matter which direction the pin is bent, the reflected light from the pin tips is always received by the camera.
Such a problem does not occur. In addition, as shown in FIG. 2B, the vertical position of the pin 2 is determined by the Z-axis table 14.
Therefore, by gradually moving the irradiation area of the slit beam light from the vicinity of the root of the pin to the tip, a bending condition corresponding to each height position of the pin can be easily obtained.
尚、スリツトビーム光を得るためにはガルバノ
ミラーを用いることも勿論可能である。また、カ
ミラにスリツトレーザ光の波長を有する光のみ通
す色フイルターや干渉フイルターを取り付けるこ
とにより外来光の影響を除去し、より高精度なピ
ン位置の検出を可能にすることもできる。 Note that it is of course possible to use a galvanometer mirror to obtain the slit beam light. Furthermore, by attaching a color filter or an interference filter to the camera that allows only light having the wavelength of the slit laser beam to pass through, the influence of extraneous light can be removed and the pin position can be detected with higher precision.
本発明は以上説明したように、比較的簡単な構
成でピン位置の高精度な検出が可能となり、ピン
の自動挿入装置等に用いるとその効果はきわめて
大きい。
As described above, the present invention enables highly accurate detection of pin positions with a relatively simple configuration, and its effects are extremely large when used in automatic pin insertion devices and the like.
第１図は本発明によるピン位置検出装置の基本
構成図、第２図ＡとＢは本発明の一実施例を示す
要部構成図、第３図と第４図は従来のピン位置検
出装置の構成図である。
１……ICパツケージ、２……ピン、３……IC
吸着器、４……レンズ、５……接写リンク、６，
６Ｘ，６Ｙ……カメラ、７，７Ｘ，７Ｙ……モニ
ター、８……画像処理部、９……He−Neレー
ザ、１０……凸レンズ、１１……コリメータ、１
２……円柱レンズ、１２ａ，１２ｂ……ポリゴン
ミラー、１３……外光蔽光板、１４……Ｚ軸テー
ブル。
FIG. 1 is a basic configuration diagram of a pin position detection device according to the present invention, FIGS. 2A and B are essential configuration diagrams showing an embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are conventional pin position detection devices. FIG. 1...IC package, 2...pin, 3...IC
Adsorption device, 4... Lens, 5... Close-up link, 6,
6X, 6Y... Camera, 7, 7X, 7Y... Monitor, 8... Image processing section, 9... He-Ne laser, 10... Convex lens, 11... Collimator, 1
2...Cylindrical lens, 12a, 12b...Polygon mirror, 13...External light shielding plate, 14...Z-axis table.
Claims (1)
と、前記ピンの長さ方向に対して直角方向からス
リツトレーザ光を前記のピンの先端部分に照射す
るレーザ光源部と、前記ピンからの前記レーザ光
の反射光、散乱光を受光し前記ピンの長さ方向か
ら見たピン画像を一括して撮像する撮像部と、前
記ピン画像からピン位置を判定演算する画像処理
部とを備えて成ることを特徴とするピン位置検出
装置。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記レーザ
光源部は、円柱レンズ、ガルバノミラー又はポリ
ゴンミラーを備え、前記スリツトレーザ光を発生
させていることを特徴とするピン位置検出装置。 ３ 特許請求の範囲第１項において前記レーザ光
源部は、２つのスリツト光レーザ光を発生させ、
各々直交する方向から前記レーザ光を前記ピンに
照射させる手段を備えることを特徴とするピン位
置検出装置。 ４ 特許請求の範囲第１項おいて、前記保持部と
前記レーザ光源部の少なくとも一方は前記ピンの
長さ方向に移動可能であることを特徴とするピン
位置検出装置。 ５ 特許請求の範囲第１項において、前記レーザ
光源部はレーザ光径を所定値に拡大するエキスパ
ンダーを備えることを特徴とするピン位置検出装
置。 ６ 特許請求の範囲第１項において、前記保持部
および前記ピンの前記レーザ光の照射部以外部分
には遮光板が設けられていることを特徴とするピ
ン位置検出装置。[Scope of Claims] 1. A holding part that holds a package having a pin, a laser light source part that irradiates a slit laser beam to the tip of the pin from a direction perpendicular to the length direction of the pin, and an imaging unit that receives reflected light and scattered light of the laser beam and collectively captures a pin image viewed from the length direction of the pin, and an image processing unit that determines and calculates a pin position from the pin image. A pin position detection device characterized by comprising: 2. The pin position detection device according to claim 1, wherein the laser light source section includes a cylindrical lens, a galvano mirror, or a polygon mirror, and generates the slit laser light. 3. In claim 1, the laser light source section generates two slit laser beams,
A pin position detection device comprising means for irradiating the pin with the laser beam from directions orthogonal to each other. 4. The pin position detection device according to claim 1, wherein at least one of the holding section and the laser light source section is movable in the length direction of the pin. 5. The pin position detection device according to claim 1, wherein the laser light source section includes an expander that expands the diameter of the laser beam to a predetermined value. 6. The pin position detection device according to claim 1, wherein a light shielding plate is provided in a portion of the holding portion and the pin other than the laser beam irradiation portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202371A JPS6262252A (en) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | Pin position detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202371A JPS6262252A (en) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | Pin position detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6262252A JPS6262252A (en) | 1987-03-18 |
| JPH052163B2 true JPH052163B2 (en) | 1993-01-11 |
Family
ID=16456390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60202371A Granted JPS6262252A (en) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | Pin position detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6262252A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2730054B2 (en) * | 1988-05-25 | 1998-03-25 | 松下電器産業株式会社 | Electronic component inspection equipment |
| US6755367B2 (en) | 2002-04-02 | 2004-06-29 | International Business Machines Corporation | Sensing position of pin on tape inside cartridge shell |
-
1985
- 1985-09-11 JP JP60202371A patent/JPS6262252A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6262252A (en) | 1987-03-18 |
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