JPH05215686A - Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムの定量分析方法 - Google Patents
Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムの定量分析方法Info
- Publication number
- JPH05215686A JPH05215686A JP2083192A JP2083192A JPH05215686A JP H05215686 A JPH05215686 A JP H05215686A JP 2083192 A JP2083192 A JP 2083192A JP 2083192 A JP2083192 A JP 2083192A JP H05215686 A JPH05215686 A JP H05215686A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum
- sample
- solution
- electrode
- added
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ａｌ−Ｓｉ電極の配合組成と特性の関係を定
量的に把握するため、上記Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニ
ウムを高感度に定量するＩＣＰ法を提供することを目的
とする。 【構成】 Ａｌ−Ｓｉ電極から採取した試料に希塩酸を
加えて所定温度で加熱分解した後、冷却し、この分解液
に精製水と標準物質としてのストロンチウムを加え、精
製水で一定量とし、これを試料溶液として高周波誘導結
合型プラズマ発光法を用いてアルミニウムの発光強度を
測定し、内部標準法によってアルミニウムを定量するよ
うにしたアルミニウムの定量分析方法を提供する。
量的に把握するため、上記Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニ
ウムを高感度に定量するＩＣＰ法を提供することを目的
とする。 【構成】 Ａｌ−Ｓｉ電極から採取した試料に希塩酸を
加えて所定温度で加熱分解した後、冷却し、この分解液
に精製水と標準物質としてのストロンチウムを加え、精
製水で一定量とし、これを試料溶液として高周波誘導結
合型プラズマ発光法を用いてアルミニウムの発光強度を
測定し、内部標準法によってアルミニウムを定量するよ
うにしたアルミニウムの定量分析方法を提供する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高周波誘導結合型プラズ
マ発光法（以下、ＩＣＰ法という）によるＡｌ−Ｓｉ電
極中のアルミニウムの定量分析方法に関する。
マ発光法（以下、ＩＣＰ法という）によるＡｌ−Ｓｉ電
極中のアルミニウムの定量分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にＳＩサイリスタ（Static Inducti
on Thyristor,静電誘導形サイリスタ）は静電誘導形パ
ワートランジスタのドレイン層に導電形の異なるエミッ
タ層が付加された高耐圧，大電力の高速デバイスであっ
て、電極材料としてＡｌ−Ｓｉ合金を原材料として、こ
の原材料を蒸着手段によって成膜して電極としている。
on Thyristor,静電誘導形サイリスタ）は静電誘導形パ
ワートランジスタのドレイン層に導電形の異なるエミッ
タ層が付加された高耐圧，大電力の高速デバイスであっ
て、電極材料としてＡｌ−Ｓｉ合金を原材料として、こ
の原材料を蒸着手段によって成膜して電極としている。
【０００３】しかしながら上記原材料を構成するシリコ
ンはアルミニウムに比べて蒸着膜中に入り難いという特
性を有しているため、最適な成膜条件を確立するために
は、Ａｌ−Ｓｉ電極を構成する蒸着膜の成分を定量分析
する技術が要求される。そして該蒸着膜の組成と特性の
関係を明確に且つ定量的に把握して、品質管理及び工程
管理を向上させる必要があるため、Ａｌ−Ｓｉ電極中の
微量アルミニウムの分析方法の確立が不可欠である。
ンはアルミニウムに比べて蒸着膜中に入り難いという特
性を有しているため、最適な成膜条件を確立するために
は、Ａｌ−Ｓｉ電極を構成する蒸着膜の成分を定量分析
する技術が要求される。そして該蒸着膜の組成と特性の
関係を明確に且つ定量的に把握して、品質管理及び工程
管理を向上させる必要があるため、Ａｌ−Ｓｉ電極中の
微量アルミニウムの分析方法の確立が不可欠である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点に着目して創案されたものであって、上記のＡｌ−
Ｓｉ電極中のアルミニウムを高感度に定量するＩＣＰ法
を提供するものである。
題点に着目して創案されたものであって、上記のＡｌ−
Ｓｉ電極中のアルミニウムを高感度に定量するＩＣＰ法
を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、Ａｌ−Ｓｉ電極試料を採取し、この試料
に希塩酸を加えて所定温度で加熱分解した後、冷却し、
この分解液に標準物質としてのストロンチウムを加え、
精製水で一定量とし、これを試料溶液として高周波誘導
結合型プラズマ発光法を用いてアルミニウムの発光強度
を測定し、内部標準法によってアルミニウムを定量する
ことをその解決手段としている。
成するために、Ａｌ−Ｓｉ電極試料を採取し、この試料
に希塩酸を加えて所定温度で加熱分解した後、冷却し、
この分解液に標準物質としてのストロンチウムを加え、
精製水で一定量とし、これを試料溶液として高周波誘導
結合型プラズマ発光法を用いてアルミニウムの発光強度
を測定し、内部標準法によってアルミニウムを定量する
ことをその解決手段としている。
【０００６】
【作用】かかる定量分析方法によれば、Ａｌ−Ｓｉ電極
試料を希塩酸を用いて加熱分解した際に試料溶液中に他
の共存物質の残査がなく、アルミニウムをほぼ完全に分
解することができる。
試料を希塩酸を用いて加熱分解した際に試料溶液中に他
の共存物質の残査がなく、アルミニウムをほぼ完全に分
解することができる。
【０００７】そして試料溶液をＩＣＰ法を用いてアルミ
ニウムの発光強度を測定し、ストロンチウムを標準物質
として内部標準法で定量した際に、分解試薬としての塩
酸が負の影響を示すが、検量線作成用溶液中に一定量の
塩酸を添加することにより、塩酸の存在による影響を抑
えることができる。
ニウムの発光強度を測定し、ストロンチウムを標準物質
として内部標準法で定量した際に、分解試薬としての塩
酸が負の影響を示すが、検量線作成用溶液中に一定量の
塩酸を添加することにより、塩酸の存在による影響を抑
えることができる。
【０００８】更に合成溶液を測定した時の変動係数、回
収率がともに実用上充分に満足できる分析精度が得ら
れ、その結果Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムが高感度
に定量され、これにより微量のアルミニウムの分析方法
が確立されて、Ａｌ−Ｓｉ蒸着電極の組成と特性の関係
を明確にすることができる。
収率がともに実用上充分に満足できる分析精度が得ら
れ、その結果Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムが高感度
に定量され、これにより微量のアルミニウムの分析方法
が確立されて、Ａｌ−Ｓｉ蒸着電極の組成と特性の関係
を明確にすることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明にかかるＡｌ−Ｓｉ電極中のア
ルミニウムの定量分析方法の具体的な実施例を説明す
る。
ルミニウムの定量分析方法の具体的な実施例を説明す
る。
【００１０】先ず図１のフローチャートに基づいて、本
実施例の基本的な操作手順を説明する。先ずステップ10
1で試料となるＡｌ−Ｓｉ電極を採取し、ステップ102で
コニカルビーカー内で希塩酸ＨＣｌ（１＋１）を加えて
所定温度で加熱分解する。次にステップ103でこの分解
液を冷却した後、ステップ104で分解液に精製水を加え
てメスフラスコに移し、ステップ105で標準物質として
ストロンチウム１．０ｍｇを加え、精製水で５０ｍｌの
一定量とする。これをステップ106でＩＣＰ法によるア
ルミニウムの定量分析方法における試料溶液とする。
実施例の基本的な操作手順を説明する。先ずステップ10
1で試料となるＡｌ−Ｓｉ電極を採取し、ステップ102で
コニカルビーカー内で希塩酸ＨＣｌ（１＋１）を加えて
所定温度で加熱分解する。次にステップ103でこの分解
液を冷却した後、ステップ104で分解液に精製水を加え
てメスフラスコに移し、ステップ105で標準物質として
ストロンチウム１．０ｍｇを加え、精製水で５０ｍｌの
一定量とする。これをステップ106でＩＣＰ法によるア
ルミニウムの定量分析方法における試料溶液とする。
【００１１】以下、本発明に係るＩＣＰ法によるＡｌ−
Ｓｉ電極中のアルミニウムの定量分析方法の詳細を実施
例に基づいて説明する。
Ｓｉ電極中のアルミニウムの定量分析方法の詳細を実施
例に基づいて説明する。
【００１２】〔１〕 分析方法の操作手順 〔１−１ 試料の分解および試料溶液調製方法〕Ａｌ−
Ｓｉ蒸着膜電極を試料として、分解試薬として希塩酸を
用いて加熱分解に供したところ、容易に分解できた。そ
こで試料の分解は希塩酸分解法を採用した。即ち、１０
０ｍｌのコニカルビーカーに試料を採取し、ＨＣｌ（１
＋１）を２０ｍｌ加えて加熱分解し、放冷後に精製水で
全量を５０ｍｌのメスフラスコに移し入れ、この溶液に
標準物質としてストロンチウム１．０ｍｇを加え、精製
水を加えて５０ｍｌの一定量とし、これをＩＣＰ法によ
るアルミニウムの定量分析方法における試料溶液とす
る。
Ｓｉ蒸着膜電極を試料として、分解試薬として希塩酸を
用いて加熱分解に供したところ、容易に分解できた。そ
こで試料の分解は希塩酸分解法を採用した。即ち、１０
０ｍｌのコニカルビーカーに試料を採取し、ＨＣｌ（１
＋１）を２０ｍｌ加えて加熱分解し、放冷後に精製水で
全量を５０ｍｌのメスフラスコに移し入れ、この溶液に
標準物質としてストロンチウム１．０ｍｇを加え、精製
水を加えて５０ｍｌの一定量とし、これをＩＣＰ法によ
るアルミニウムの定量分析方法における試料溶液とす
る。
【００１３】尚、上記精製水はイオン交換水を２回蒸留
して作製した。
して作製した。
【００１４】〔２〕 分析装置、測定条件および試薬 〔２−１ 分析装置〕ＩＣＰ発光分光装置は島津製作所
製ＩＣＰＳ−１０００−２型を用いた。
製ＩＣＰＳ−１０００−２型を用いた。
【００１５】〔２−２ 測定条件〕測定条件を表１に示
す。
す。
【００１６】
【表１】
【００１７】〔２−３ 試薬〕実験に使用した試薬のリ
ストを表２に示す。
ストを表２に示す。
【００１８】
【表２】
【００１９】〔２−４ 測定方法〕ピークサーチ内部標
準法とした。
準法とした。
【００２０】〔３〕 実験および結果 〔３−１ 分析線の選定〕アルミニウムの分析に最も適
した波長を選定するため、Ａｌ−Ｓｉ電極を構成する各
元素の単独溶液を用いて分析線の選定を定性的に行っ
た。その結果を図２〜図４に示す。
した波長を選定するため、Ａｌ−Ｓｉ電極を構成する各
元素の単独溶液を用いて分析線の選定を定性的に行っ
た。その結果を図２〜図４に示す。
【００２１】尚、溶液中の各元素の濃度はＡｌが８０．
０ｐｐｍ、Ｓｒが２０．０ｐｐｍ、Ｓｉが４．０ｐｐｍ
である。そしてアルミニウムの発光強度の高い３本の波
長を選び、分析線の選定を行った。
０ｐｐｍ、Ｓｒが２０．０ｐｐｍ、Ｓｉが４．０ｐｐｍ
である。そしてアルミニウムの発光強度の高い３本の波
長を選び、分析線の選定を行った。
【００２２】図２は波長３９６．１５３ｎｍの発光スペ
クトル、図３は波長３９４．４０３ｎｍの発光スペクト
ル、図４は波長１６７．０７９ｎｍの発光スペクトルで
あり、何れの波長もＡｌのスペクトルのみで共存元素の
スペクトルは全てベースライン上にあり、Ａｌに対する
影響はなかった。従って何れの波長も分析線として採用
可能であるが、ここでは分析線としてアルミニウムの発
光強度が最も高い波長３９６．１５３ｎｍを採用した。
クトル、図３は波長３９４．４０３ｎｍの発光スペクト
ル、図４は波長１６７．０７９ｎｍの発光スペクトルで
あり、何れの波長もＡｌのスペクトルのみで共存元素の
スペクトルは全てベースライン上にあり、Ａｌに対する
影響はなかった。従って何れの波長も分析線として採用
可能であるが、ここでは分析線としてアルミニウムの発
光強度が最も高い波長３９６．１５３ｎｍを採用した。
【００２３】〔３−２ 内部標準物質とその波長の選
定〕内部標準物質としてストロンチウムを採用し、この
ストロンチウムの分析線を選定するため、ストロンチウ
ムの代表的な波長３本（４０７．７７１ｎｍ、４２１．
５５２ｎｍ、２１６.５９６ｎｍ） の発光スペクトルを
測定して定性的に行った。その結果を図５〜図７に示
す。
定〕内部標準物質としてストロンチウムを採用し、この
ストロンチウムの分析線を選定するため、ストロンチウ
ムの代表的な波長３本（４０７．７７１ｎｍ、４２１．
５５２ｎｍ、２１６.５９６ｎｍ） の発光スペクトルを
測定して定性的に行った。その結果を図５〜図７に示
す。
【００２４】何れの波長もストロンチウムの発光線のみ
で共存物質は全てベースライン上にあり、ストロンチウ
ムに対する妨害は観察されなかった。以上の結果から何
れの波長も採用可能であるが、ここでは発光強度の最も
高い波長４０７．７７１ｎｍを採用した。
で共存物質は全てベースライン上にあり、ストロンチウ
ムに対する妨害は観察されなかった。以上の結果から何
れの波長も採用可能であるが、ここでは発光強度の最も
高い波長４０７．７７１ｎｍを採用した。
【００２５】〔３−３ 検量線の精度〕前記試料溶液中
のアルミニウムの濃度は約４０ｐｐｍである。このため
アルミニウム濃度０〜８０ｐｐｍの範囲で検量線の精度
を確かめた。その結果を図８に示す。この図から、検量
線はほぼ原点を通り、相関係数は０.９９９９６８６
１、標準偏差は０．０２０４３０９８ｐｐｍと非常に良
い精度を示していることがわかる。
のアルミニウムの濃度は約４０ｐｐｍである。このため
アルミニウム濃度０〜８０ｐｐｍの範囲で検量線の精度
を確かめた。その結果を図８に示す。この図から、検量
線はほぼ原点を通り、相関係数は０.９９９９６８６
１、標準偏差は０．０２０４３０９８ｐｐｍと非常に良
い精度を示していることがわかる。
【００２６】〔３−４ 試薬の影響〕アルミニウム濃度
４０ｐｐｍ溶液に分解試薬である塩酸を段階的に加えて
その影響を定量的に調べた。その結果を図９に示す。影
響の有無の判定は、Ａｌの回収率（測定値×１００／仕
込み値）の±２％として図中に許容範囲として破線で表
示した。
４０ｐｐｍ溶液に分解試薬である塩酸を段階的に加えて
その影響を定量的に調べた。その結果を図９に示す。影
響の有無の判定は、Ａｌの回収率（測定値×１００／仕
込み値）の±２％として図中に許容範囲として破線で表
示した。
【００２７】その結果、塩酸の添加量に比例してＡｌの
回収率が低下するという負の影響を示した。このことは
塩酸の存在により、試料溶液の粘度が上昇し、試料吸い
込み量が低下して見掛けの発光強度が低くなったためで
ある。
回収率が低下するという負の影響を示した。このことは
塩酸の存在により、試料溶液の粘度が上昇し、試料吸い
込み量が低下して見掛けの発光強度が低くなったためで
ある。
【００２８】従って検量線作成用溶液中に一定量の塩酸
を添加して、塩酸の存在による影響を抑えることにし
た。
を添加して、塩酸の存在による影響を抑えることにし
た。
【００２９】〔３−５ 共存元素の影響〕アルミニウム
濃度４０ｐｐｍ溶液にシリコン及び内部標準物質のスト
ロンチウムを各々段階的に加えてそれらの共存元素の影
響を定量的に調べた。その結果を図１０〜図１１に示
す。これらの影響の有無の判定はアルミニウムの回収率
の±２％以内とし、図中に許容範囲として破線で表示し
た。
濃度４０ｐｐｍ溶液にシリコン及び内部標準物質のスト
ロンチウムを各々段階的に加えてそれらの共存元素の影
響を定量的に調べた。その結果を図１０〜図１１に示
す。これらの影響の有無の判定はアルミニウムの回収率
の±２％以内とし、図中に許容範囲として破線で表示し
た。
【００３０】その結果、各元素ともに破線で示した許容
範囲内にあり、影響のないことが判明した。
範囲内にあり、影響のないことが判明した。
【００３１】〔３−６ 内部標準物質ストロンチウムに
対する試薬の影響〕ストロンチウム濃度２０ｐｐｍ溶液
に分解試薬である塩酸を段階的に加えてその影響を定量
的に調べた。その結果を図１２に示す。影響の有無の判
定は、Ｓｒの回収率（測定値×１００／仕込み値）の±
２％として図中に許容範囲として破線で表示した。その
結果、塩酸は添加量に比例してＳｒの回収率が低下する
という負の影響を示した。これは塩酸の存在により、試
料溶液の粘度が上昇して試料吸い込み量が低下し、見掛
けの発光強度が低くなったためである。
対する試薬の影響〕ストロンチウム濃度２０ｐｐｍ溶液
に分解試薬である塩酸を段階的に加えてその影響を定量
的に調べた。その結果を図１２に示す。影響の有無の判
定は、Ｓｒの回収率（測定値×１００／仕込み値）の±
２％として図中に許容範囲として破線で表示した。その
結果、塩酸は添加量に比例してＳｒの回収率が低下する
という負の影響を示した。これは塩酸の存在により、試
料溶液の粘度が上昇して試料吸い込み量が低下し、見掛
けの発光強度が低くなったためである。
【００３２】従って検量線作成用溶液中に一定量の塩酸
を加えて塩酸の存在による影響を抑えることにした。
を加えて塩酸の存在による影響を抑えることにした。
【００３３】〔３−７ 内部標準物質ストロンチウムに
対する共存元素の影響〕ストロンチウム濃度２０ｐｐｍ
溶液にアルミニウム及びシリコンを各々段階的に加えて
それぞれの元素のストロンチウムに対する影響を定量的
に調べた。その結果を図１３〜図１４に示す。各元素と
も破線で示した許容範囲にあり、ストロンチウムに対す
る影響はなかった。
対する共存元素の影響〕ストロンチウム濃度２０ｐｐｍ
溶液にアルミニウム及びシリコンを各々段階的に加えて
それぞれの元素のストロンチウムに対する影響を定量的
に調べた。その結果を図１３〜図１４に示す。各元素と
も破線で示した許容範囲にあり、ストロンチウムに対す
る影響はなかった。
【００３４】〔３−８ 合成溶液による分析精度の検
証〕上記検討した条件での分析精度を検証するため、合
成溶液を５個調整して実施した。表３に合成溶液の組成
を、表４に測定結果をそれぞれ示す。
証〕上記検討した条件での分析精度を検証するため、合
成溶液を５個調整して実施した。表３に合成溶液の組成
を、表４に測定結果をそれぞれ示す。
【００３５】
【表３】
【００３６】
【表４】
【００３７】表４から、アルミニウムの測定値平均は３
９．８ｐｐｍ，回収率は９９．５％、変動係数（ＣＶ）
は０．９８％と実用上十分満足出来る精度が得られた。
９．８ｐｐｍ，回収率は９９．５％、変動係数（ＣＶ）
は０．９８％と実用上十分満足出来る精度が得られた。
【００３８】検量線作成用溶液の組成を表５に示したよ
うに調整した。即ち、１００ｍｌのメスフラスコに希塩
酸４０ｍｌ、ストロンチウム２．０ｍｇを加え、アルミ
ニウム２〜８ｍｇとシリコン０．１〜０．４ｍｇを段階
的に加えて精製水で１００ｍｌの一定量とした。
うに調整した。即ち、１００ｍｌのメスフラスコに希塩
酸４０ｍｌ、ストロンチウム２．０ｍｇを加え、アルミ
ニウム２〜８ｍｇとシリコン０．１〜０．４ｍｇを段階
的に加えて精製水で１００ｍｌの一定量とした。
【００３９】
【表５】
【００４０】〔４〕 考察 以上の結果から、本実施例に係るＩＣＰ法によるＡｌ−
Ｓｉ電極中のアルミニウムの分析方法を検討することに
より、次の知見が得られた。
Ｓｉ電極中のアルミニウムの分析方法を検討することに
より、次の知見が得られた。
【００４１】（４−１） 試料の分解方法 Ａｌ−Ｓｉ電極は希塩酸を加えて一定の時間加熱するこ
とにより、容易にアルミニウムを分解することが可能と
なった。
とにより、容易にアルミニウムを分解することが可能と
なった。
【００４２】（４−２） 分析線 アルミニウムの発光強度及び感度の高い分析線３９６．
１５３ｎｍの共存元素の妨害を調べた結果、妨害ピーク
は見られなかった。
１５３ｎｍの共存元素の妨害を調べた結果、妨害ピーク
は見られなかった。
【００４３】（４−３） 分解試薬及び共存元素の影響
と抑制 分解試薬である希塩酸は負の干渉を示した。これは希塩
酸の存在により試料溶液中の粘度が上昇して試料の吸込
量が低下したことによるものと考えられるので、この影
響を抑えるため検量線作成用溶液中に一定量の塩酸を添
加し、更にストロンチウム内部標準法を用いて測定する
ことにより、上記の影響を抑えることが可能となった。
又、共存元素は何れも影響がなかった。
と抑制 分解試薬である希塩酸は負の干渉を示した。これは希塩
酸の存在により試料溶液中の粘度が上昇して試料の吸込
量が低下したことによるものと考えられるので、この影
響を抑えるため検量線作成用溶液中に一定量の塩酸を添
加し、更にストロンチウム内部標準法を用いて測定する
ことにより、上記の影響を抑えることが可能となった。
又、共存元素は何れも影響がなかった。
【００４４】（４−４） 分析精度 合成溶液を５個測定した時の回収率は９９．５％、変動
係数は０．９８％といずれも実用上十分満足できる精度
であった。
係数は０．９８％といずれも実用上十分満足できる精度
であった。
【００４５】
【発明の効果】本発明に係るＩＣＰ法によるＡｌ−Ｓｉ
電極中のアルミニウムの分析方法によれば、試料を希塩
酸を用いて加熱分解することにより、試料溶液中に他の
共存物質の残査がなく、アルミニウムをほぼ完全に分解
することができる。
電極中のアルミニウムの分析方法によれば、試料を希塩
酸を用いて加熱分解することにより、試料溶液中に他の
共存物質の残査がなく、アルミニウムをほぼ完全に分解
することができる。
【００４６】そして試料溶液をＩＣＰ法を用いてアルミ
ニウムの発光強度を測定し、内部標準法で定量した際
に、分解試薬としての塩酸は負の影響を示すが、検量線
作成用溶液中に一定量の分解試薬を添加することによ
り、塩酸の存在による影響を抑えることが可能となっ
た。又、試料溶液をＩＣＰ法によって測定した時の変動
係数、回収率がともに実用上充分に満足できる分析精度
が得られ、その結果Ａｌ−Ｓｉ電極中の微量のアルミニ
ウムの分析方法が確立されて、Ａｌ−Ｓｉ電極の組成と
特性の関係を明確にするとともに、品質管理及び工程管
理を向上させることができる。
ニウムの発光強度を測定し、内部標準法で定量した際
に、分解試薬としての塩酸は負の影響を示すが、検量線
作成用溶液中に一定量の分解試薬を添加することによ
り、塩酸の存在による影響を抑えることが可能となっ
た。又、試料溶液をＩＣＰ法によって測定した時の変動
係数、回収率がともに実用上充分に満足できる分析精度
が得られ、その結果Ａｌ−Ｓｉ電極中の微量のアルミニ
ウムの分析方法が確立されて、Ａｌ−Ｓｉ電極の組成と
特性の関係を明確にするとともに、品質管理及び工程管
理を向上させることができる。
【図１】本発明にかかるＡｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウ
ムの定量分析方法の基本的な操作手順を示すフローチャ
ート。
ムの定量分析方法の基本的な操作手順を示すフローチャ
ート。
【図２】波長３９６．１５３ｎｍにおける各種元素の発
光スペクトルを示すグラフ。
光スペクトルを示すグラフ。
【図３】波長３９４．４０３ｎｍにおける各種元素の発
光スペクトルを示すグラフ。
光スペクトルを示すグラフ。
【図４】波長１６７．０７９ｎｍにおける各種元素の発
光スペクトルを示すグラフ。
光スペクトルを示すグラフ。
【図５】分解後の試料中の各元素と内部標準物質として
のストロンチウムの波長４０７.７７１ｎｍにおける共
存物質のプロファイルを示すグラフ。
のストロンチウムの波長４０７.７７１ｎｍにおける共
存物質のプロファイルを示すグラフ。
【図６】分解後の試料中の各元素と内部標準物質として
のストロンチウムの波長４２１.５５２ｎｍにおける共
存物質のプロファイルを示すグラフ。
のストロンチウムの波長４２１.５５２ｎｍにおける共
存物質のプロファイルを示すグラフ。
【図７】分解後の試料中の各元素と内部標準物質として
のストロンチウムの波長２１６.５９６ｎｍにおける共
存物質のプロファイルを示すグラフ。
のストロンチウムの波長２１６.５９６ｎｍにおける共
存物質のプロファイルを示すグラフ。
【図８】アルミニウムの検量線を示すグラフ。
【図９】分解試薬としての塩酸の影響を示すグラフ。
【図１０】Ｓｉの影響によるアルミニウムの回収率の許
容範囲を定量的に示すグラフ。
容範囲を定量的に示すグラフ。
【図１１】Ｓｒの影響によるアルミニウムの回収率の許
容範囲を定量的に示すグラフ。
容範囲を定量的に示すグラフ。
【図１２】塩酸の影響によるストロンチウムの回収率の
許容範囲を定量的に示すグラフ。
許容範囲を定量的に示すグラフ。
【図１３】Ｓｉの影響によるストロンチウムの回収率の
許容範囲を定量的に示すグラフ。
許容範囲を定量的に示すグラフ。
【図１４】Ａｌの影響によるストロンチウムの回収率の
許容範囲を定量的に示すグラフ。
許容範囲を定量的に示すグラフ。
Claims (1)
- 【請求項１】 Ａｌ−Ｓｉ電極試料を採取し、この試料
に希塩酸を加えて所定温度で加熱分解した後、冷却し、
この分解液に標準物質としてのストロンチウムを加え、
精製水で一定量とし、これを試料溶液として高周波誘導
結合型プラズマ発光法を用いてアルミニウムの発光強度
を測定し、内部標準法によってアルミニウムを定量する
ことを特徴とするＡｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムの定
量分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2083192A JPH05215686A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムの定量分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2083192A JPH05215686A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムの定量分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05215686A true JPH05215686A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=12038003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2083192A Pending JPH05215686A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムの定量分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05215686A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103344627A (zh) * | 2013-06-26 | 2013-10-09 | 天津虹炎科技有限公司 | 水中铝含量的icp-aes测量法 |
-
1992
- 1992-02-06 JP JP2083192A patent/JPH05215686A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103344627A (zh) * | 2013-06-26 | 2013-10-09 | 天津虹炎科技有限公司 | 水中铝含量的icp-aes测量法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Bings | Direct determination of metals in lubricating oils by laser ablation coupled to inductively coupled plasma time-of-flight mass spectrometry | |
| Salin et al. | Signal-to-noise ratio performance characteristics of an inductively coupled plasma | |
| Rust et al. | Advances with tungsten coil atomizers: continuum source atomic absorption and emission spectrometry | |
| Shan et al. | X-ray photoelectron spectroscopic study of the mechanism of palladium matrix modification in the electrothermal atomic absorption spectrometric determination of lead and bismuth | |
| Vieira et al. | Multi-energy calibration for the determination of non-metals by high-resolution continuum source molecular absorption spectrometry | |
| Duan et al. | Direct determination of arsenic in soil samples by fast pyrolysis–chemical vapor generation using sodium formate as a reductant followed by nondispersive atomic fluorescence spectrometry | |
| Fernandes et al. | Evaluation and application of bismuth as an internal standard for the determination of lead in wines by simultaneous electrothermal atomic absorption spectrometry | |
| Borkowska-Burnecka et al. | Comparison of pneumatic and ultrasonic nebulizations in inductively coupled plasma atomic emission spectrometry—matrix effects and plasma parameters | |
| Shabani et al. | Recent advanced applications of AAS and ICP-MS in the semiconductor industry | |
| JPH05215686A (ja) | Ａｌ−Ｓｉ電極中のアルミニウムの定量分析方法 | |
| JPH05209833A (ja) | Ａｌ−Ｓｉ電極中のシリコンの定量分析方法 | |
| Zhao et al. | Microwave induced plasma desorption ionization (MIPDI) mass spectrometry for qualitative and quantitative analysis of preservatives in cosmetics | |
| Liu et al. | Dopant for detection of methamphetamine in the presence of nicotine with ion mobility spectrometry | |
| JP2001004565A (ja) | 石油系潤滑油中の金属の分析方法 | |
| Nault et al. | Laboratory evaluation of organic aerosol relative ionization efficiencies in the aerodyne aerosol mass spectrometer and aerosol chemical speciation monitor | |
| Tanabe et al. | Determination of ultratrace ammonium, nitrite, and nitrate nitrogens by atmospheric pressure helium microwave-induced plasma emission spectrometry with gas generation technique | |
| Redfield et al. | Identification and effect of pre-atomisation losses on the determination of aluminium by graphite furnace atomic absorption spectrometry | |
| Peng et al. | Slurry sampling fluorination assisted electrothermal vaporization-inductively coupled plasma-atomic emission spectrometry for the direct determination of metal impurities in aluminium oxide ceramic powders | |
| Pack et al. | Use of an air/argon microwave plasma torch for the detection of tetraethyllead | |
| Futoma et al. | Spectroscopic methods of analysis for polycyclic aromatic hydrocarbons in the aqueous environment | |
| Ghosh et al. | Determination of impurities in copper metal using total reflection X‐ray fluorescence spectrometry after matrix separation: Method validation and uncertainty assessment | |
| Muller et al. | TSC in HgI2 crystals grown by solution and vapor phase techniques | |
| JPH05157696A (ja) | 銅中の銀の定量分析方法 | |
| EP3913356A1 (en) | A method for measuring the trap density in a 2-dimensional semiconductor material | |
| JPH05142149A (ja) | 限流素子中のバナジウムの定量分析方法 |