JPH05205464A - 半導体記憶回路 - Google Patents
半導体記憶回路Info
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- JPH05205464A JPH05205464A JP4003443A JP344392A JPH05205464A JP H05205464 A JPH05205464 A JP H05205464A JP 4003443 A JP4003443 A JP 4003443A JP 344392 A JP344392 A JP 344392A JP H05205464 A JPH05205464 A JP H05205464A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】短時間かつ容易に、メモリセルの信頼性試験,
動作マージン試験が実施できるようにする。 【構成】プレート電圧発生回路10を、直列接続された
2つの可変抵抗回路11,12と、これら可変抵抗回路
11,12の抵抗値を抵抗制御信号により切換える切換
制御回路13とを備えた構成とする。可変抵抗回路1
1,12の直列接続点からVcc/2より高いプレート
電圧Vp及び低いプレート電圧Vpを出力しメモリセル
のプレート節点Pへ供給する。
動作マージン試験が実施できるようにする。 【構成】プレート電圧発生回路10を、直列接続された
2つの可変抵抗回路11,12と、これら可変抵抗回路
11,12の抵抗値を抵抗制御信号により切換える切換
制御回路13とを備えた構成とする。可変抵抗回路1
1,12の直列接続点からVcc/2より高いプレート
電圧Vp及び低いプレート電圧Vpを出力しメモリセル
のプレート節点Pへ供給する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体記憶回路に関
し、特にメモリセルの容量素子のプレート節点に所定の
電圧を供給するプレート電圧発生回路を有する半導体記
憶回路に関する。
し、特にメモリセルの容量素子のプレート節点に所定の
電圧を供給するプレート電圧発生回路を有する半導体記
憶回路に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の半導体記憶回路の一例を
図6に示す。
図6に示す。
【0003】この半導体記憶回路は、ソース,ドレイン
の一方をビット線BLに接続しゲートを対応するワード
線WLj(j=1〜m)に接続してこのワード線WLj
のレベルに応答してオン,オフするトランジスタTs、
及び一端をこのトランジスタTsのソース,ドレインの
他方に接続し他端をプレート節点Pとする容量素子Cs
をそれぞれ含む複数のメモリセルMCと、一端に電源電
圧Vccが供給され他端をプレート節点Pに接続する固
定抵抗R1、及びこの固定抵抗R1と同一抵抗値で一端
をプレート節点Pに接続し他端を接地電位点に接続する
固定抵抗R2を含みプレート節点にVcc/2のプレー
ト電圧Vpを供給するプレート電圧発生回路10xとを
有する構成となっていた。
の一方をビット線BLに接続しゲートを対応するワード
線WLj(j=1〜m)に接続してこのワード線WLj
のレベルに応答してオン,オフするトランジスタTs、
及び一端をこのトランジスタTsのソース,ドレインの
他方に接続し他端をプレート節点Pとする容量素子Cs
をそれぞれ含む複数のメモリセルMCと、一端に電源電
圧Vccが供給され他端をプレート節点Pに接続する固
定抵抗R1、及びこの固定抵抗R1と同一抵抗値で一端
をプレート節点Pに接続し他端を接地電位点に接続する
固定抵抗R2を含みプレート節点にVcc/2のプレー
ト電圧Vpを供給するプレート電圧発生回路10xとを
有する構成となっていた。
【0004】ダイナミックRAM等の半導体記憶回路に
おいては、高集積化が進んでいるためにメモリセルMC
の容量素子Csの酸化膜の電界が高電界となっており、
酸化膜の絶縁破壊等の信頼性の低下が問題となってい
る。そのため、上述のように、固定抵抗R1,R2を等
しい値としてプレート節点に電源電圧Vccの1/2の
電圧を印加し、容量素子Csの酸化膜に加わる電界強度
を小さくしている。
おいては、高集積化が進んでいるためにメモリセルMC
の容量素子Csの酸化膜の電界が高電界となっており、
酸化膜の絶縁破壊等の信頼性の低下が問題となってい
る。そのため、上述のように、固定抵抗R1,R2を等
しい値としてプレート節点に電源電圧Vccの1/2の
電圧を印加し、容量素子Csの酸化膜に加わる電界強度
を小さくしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体記憶
回路では、抵抗分割によって発生したVcc/2のプレ
ート電圧VpをメモリセルMCの容量素子Csのプレー
ト節点に供給する構成となっているので、テスト時にプ
レート電圧Vpを変えてメモリセルMCのバーンインテ
ストなどの信頼性試験や動作マージン試験を短時間で行
うことが極めて困難であった。
回路では、抵抗分割によって発生したVcc/2のプレ
ート電圧VpをメモリセルMCの容量素子Csのプレー
ト節点に供給する構成となっているので、テスト時にプ
レート電圧Vpを変えてメモリセルMCのバーンインテ
ストなどの信頼性試験や動作マージン試験を短時間で行
うことが極めて困難であった。
【0006】本発明の目的は、短時間にかつ容易にメモ
リセルの信頼性試験や動作マージン試験を行うことがで
きる半導体記憶回路を提供することである。
リセルの信頼性試験や動作マージン試験を行うことがで
きる半導体記憶回路を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶回路
は、ソース,ドレインの一方をビット線に接続しゲート
を対応するワード線に接続してオン,オフするトランジ
スタ、及び一端をこのトランジスタのソース,ドレイン
の他方に接続し他端をプレート節点とする容量素子をそ
れぞれ含む複数のメモリセルと、一端に所定のレベルの
電圧が供給され他端を前記プレート節点に接続し第1の
制御信号に従ってこれら両端間の抵抗値を複数段に切換
える第1の可変抵抗回路、一端を前記プレート節点に接
続し他端を基準電位点に接続し第2の制御信号に従って
これら両端間の抵抗値を複数段に切換える第2の可変抵
抗回路、並びにテスト信号が非能動レベルのときは前記
第1及び第2の可変抵抗回路の両端間を互いに等しい抵
抗値となるように制御し前記テスト信号が能動レベルの
ときは前記第1及び第2の可変抵抗回路の両端間を抵抗
制御信号に従って互いに異なる抵抗値になるように制御
する前記第1及び第2の制御信号を発生する切換制御回
路を含み前記プレート節点に前記テスト信号及び抵抗制
御信号に応答したプレート電圧を供給するプレート電圧
発生回路とを有している。
は、ソース,ドレインの一方をビット線に接続しゲート
を対応するワード線に接続してオン,オフするトランジ
スタ、及び一端をこのトランジスタのソース,ドレイン
の他方に接続し他端をプレート節点とする容量素子をそ
れぞれ含む複数のメモリセルと、一端に所定のレベルの
電圧が供給され他端を前記プレート節点に接続し第1の
制御信号に従ってこれら両端間の抵抗値を複数段に切換
える第1の可変抵抗回路、一端を前記プレート節点に接
続し他端を基準電位点に接続し第2の制御信号に従って
これら両端間の抵抗値を複数段に切換える第2の可変抵
抗回路、並びにテスト信号が非能動レベルのときは前記
第1及び第2の可変抵抗回路の両端間を互いに等しい抵
抗値となるように制御し前記テスト信号が能動レベルの
ときは前記第1及び第2の可変抵抗回路の両端間を抵抗
制御信号に従って互いに異なる抵抗値になるように制御
する前記第1及び第2の制御信号を発生する切換制御回
路を含み前記プレート節点に前記テスト信号及び抵抗制
御信号に応答したプレート電圧を供給するプレート電圧
発生回路とを有している。
【0008】また、第1及び第2の可変抵抗回路がそれ
ぞれ、複数の固定抵抗と、ソース,ドレインの一方をこ
れら固定抵抗の一端にそれぞれ対応して接続し対応する
制御信号に応じてオン,オフする複数のMOSトランジ
スタとを備えて構成される。
ぞれ、複数の固定抵抗と、ソース,ドレインの一方をこ
れら固定抵抗の一端にそれぞれ対応して接続し対応する
制御信号に応じてオン,オフする複数のMOSトランジ
スタとを備えて構成される。
【0009】また、切換制御回路が、nビットの抵抗制
御信号を入力し選択信号に従って各nビットの第1及び
第2の制御信号のうちの一方を全ビット非能動レベルに
し他方の全ビットを前記抵抗制御信号と同一にして出力
する選択回路を備えて構成される。
御信号を入力し選択信号に従って各nビットの第1及び
第2の制御信号のうちの一方を全ビット非能動レベルに
し他方の全ビットを前記抵抗制御信号と同一にして出力
する選択回路を備えて構成される。
【0010】また、電圧切換信号に従って第1の可変抵
抗回路の一端に所定のレベルの電圧及びこの電圧の1/
2の電圧のうちの一方を選択して供給する供給電圧切換
回路を設け、前記第1の可変抵抗回路及び第2の可変抵
抗回路の一方を固定抵抗に置換えて構成される。
抗回路の一端に所定のレベルの電圧及びこの電圧の1/
2の電圧のうちの一方を選択して供給する供給電圧切換
回路を設け、前記第1の可変抵抗回路及び第2の可変抵
抗回路の一方を固定抵抗に置換えて構成される。
【0011】また、第1及び第2の可変抵抗回路の接続
点とプレート節点との間に、前記第1及び第2の可変抵
抗回路の接続点の電圧及び電圧切換信号に応答したレベ
ルの電圧を出力する出力電圧切換回路を設け、前記第1
及び第2の可変抵抗回路の一方を固定抵抗に置換えて構
成される。
点とプレート節点との間に、前記第1及び第2の可変抵
抗回路の接続点の電圧及び電圧切換信号に応答したレベ
ルの電圧を出力する出力電圧切換回路を設け、前記第1
及び第2の可変抵抗回路の一方を固定抵抗に置換えて構
成される。
【0012】また、テスト信号を、読出し制御信号及び
書込み制御信号のうちの一方と前記テスト信号との論理
積の信号に置換えて構成される。
書込み制御信号のうちの一方と前記テスト信号との論理
積の信号に置換えて構成される。
【0013】
【作用】本発明の半導体記憶回路では、テスト時に、通
常動作時の電源電圧の1/2の電圧より高い複数のプレ
ート電圧と低い複数のプレート電圧を外部信号により選
択,切換えてプレート節点に印加できるため、メモリセ
ルの信頼性試験や動作マージン試験等を効率よく短時間
に行うことができる。
常動作時の電源電圧の1/2の電圧より高い複数のプレ
ート電圧と低い複数のプレート電圧を外部信号により選
択,切換えてプレート節点に印加できるため、メモリセ
ルの信頼性試験や動作マージン試験等を効率よく短時間
に行うことができる。
【0014】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
【0015】図1(A)〜(C)はそれぞれ本発明の第
1の実施例の回路図及び第1,第2の可変抵抗回路の具
体例を示す回路図である。
1の実施例の回路図及び第1,第2の可変抵抗回路の具
体例を示す回路図である。
【0016】この実施例は、ソース,ドレインの一方を
ビット線BLに接続しゲートを対応するワード線WLj
(j=1〜m)に接続してオン,オフするトランジスタ
Ts、及び一端をこのトランジスタTsのソース,ドレ
インの他方に接続し他端をプレート節点Pとする容量素
子Csをそれぞれ含む複数のメモリセルMCと、一端に
電源電圧Vccが供給され他端をプレート節点Pに接続
し第1の制御信号B1〜Bnに従ってこれら両端間の抵
抗値を複数段に切換える第1の可変抵抗回路11、一端
をプレート節点Pに接続し他端を接地電位点に接続し第
2の制御信号Bn+1〜B2nに従ってこれら両端間の
抵抗値を複数段に切換える第2の可変抵抗回路12、並
びにテスト信号TSTが非能動レベルのときは第1及び
第2の可変抵抗回路11,12の両端間を互いに等しい
抵抗値となるように制御しテスト信号TSTが能動レベ
ルのときは第1及び第2の可変抵抗回路11,12の両
端間を第1及び第2の抵抗制御信号A1〜An,An+
1〜A2nに従って互いに異なる抵抗値になるように制
御する第1及び第2の制御信号B1〜Bn,Bn+1〜
B2nを発生する切換制御回路13を含みプレート節点
Pにテスト信号TST及び抵抗制御信号A1〜A2nに
応答したプレート電圧Vpを供給するプレート電圧発生
回路10とを有する構成となっている。
ビット線BLに接続しゲートを対応するワード線WLj
(j=1〜m)に接続してオン,オフするトランジスタ
Ts、及び一端をこのトランジスタTsのソース,ドレ
インの他方に接続し他端をプレート節点Pとする容量素
子Csをそれぞれ含む複数のメモリセルMCと、一端に
電源電圧Vccが供給され他端をプレート節点Pに接続
し第1の制御信号B1〜Bnに従ってこれら両端間の抵
抗値を複数段に切換える第1の可変抵抗回路11、一端
をプレート節点Pに接続し他端を接地電位点に接続し第
2の制御信号Bn+1〜B2nに従ってこれら両端間の
抵抗値を複数段に切換える第2の可変抵抗回路12、並
びにテスト信号TSTが非能動レベルのときは第1及び
第2の可変抵抗回路11,12の両端間を互いに等しい
抵抗値となるように制御しテスト信号TSTが能動レベ
ルのときは第1及び第2の可変抵抗回路11,12の両
端間を第1及び第2の抵抗制御信号A1〜An,An+
1〜A2nに従って互いに異なる抵抗値になるように制
御する第1及び第2の制御信号B1〜Bn,Bn+1〜
B2nを発生する切換制御回路13を含みプレート節点
Pにテスト信号TST及び抵抗制御信号A1〜A2nに
応答したプレート電圧Vpを供給するプレート電圧発生
回路10とを有する構成となっている。
【0017】なお、可変抵抗回路11は、電源電圧Vc
c供給端とプレート節点P接続端との間に直列接続され
た複数の抵抗Rと、ドレインを各抵抗Rのプレート節点
Pに接続端側の端に接続しソースを電源電圧Vcc供給
端に共通接続しゲートにインバータIV1〜IVnを介
して入力される対応する第1の制御信号B1〜Bnによ
りオン,オフするP型のトランジスタT1〜Tnとを備
えた構成となっており、また、可変抵抗回路12は、プ
レート節点P接続端と接地電位点との間に直列接続され
た複数の抵抗Rと、ドレインを各抵抗Rのプレート節点
P接続端側の端に接続しソースを接地電位点に共通に接
続しゲートに入力される対応する第2の制御信号Bn+
1〜B2nによりオン,オフするN型のトランジスタT
n+1〜T2nとを備えた構成となっている。
c供給端とプレート節点P接続端との間に直列接続され
た複数の抵抗Rと、ドレインを各抵抗Rのプレート節点
Pに接続端側の端に接続しソースを電源電圧Vcc供給
端に共通接続しゲートにインバータIV1〜IVnを介
して入力される対応する第1の制御信号B1〜Bnによ
りオン,オフするP型のトランジスタT1〜Tnとを備
えた構成となっており、また、可変抵抗回路12は、プ
レート節点P接続端と接地電位点との間に直列接続され
た複数の抵抗Rと、ドレインを各抵抗Rのプレート節点
P接続端側の端に接続しソースを接地電位点に共通に接
続しゲートに入力される対応する第2の制御信号Bn+
1〜B2nによりオン,オフするN型のトランジスタT
n+1〜T2nとを備えた構成となっている。
【0018】通常動作では、テスト信号TSTが低レベ
ルの非能動レベルであるために抵抗制御信号A1〜A2
nの高レベル,低レベルにかかわらず制御信号B1〜B
2nが低レベルとなるために、すべてのトランジスタT
1〜T2nが非導通になる。したがって、可変抵抗回路
11,12の各両端間が同じ抵抗値となり、プレート節
点Pには電源電圧Vccの1/2のプレート電圧Vpが
印加される。また、テスト時には、テスト信号TSTが
高レベルの能動レベルになり、抵抗制御信号A1〜A2
nのうちのいずれかを高レベルにすると、その信号が入
力されたトランジスタが導通して可変抵抗回路11,1
2の抵抗値が変化し、プレート電圧Vpが電源電圧Vc
cの1/2の電圧に対し変化する。
ルの非能動レベルであるために抵抗制御信号A1〜A2
nの高レベル,低レベルにかかわらず制御信号B1〜B
2nが低レベルとなるために、すべてのトランジスタT
1〜T2nが非導通になる。したがって、可変抵抗回路
11,12の各両端間が同じ抵抗値となり、プレート節
点Pには電源電圧Vccの1/2のプレート電圧Vpが
印加される。また、テスト時には、テスト信号TSTが
高レベルの能動レベルになり、抵抗制御信号A1〜A2
nのうちのいずれかを高レベルにすると、その信号が入
力されたトランジスタが導通して可変抵抗回路11,1
2の抵抗値が変化し、プレート電圧Vpが電源電圧Vc
cの1/2の電圧に対し変化する。
【0019】抵抗制御信号AX(X=1〜2n)を高レ
ベルにした場合のプレート電圧Vpxを求めると、 X≦nのとき、Vpx=Vcc・n/(2n−X) …(1) X>nのとき、Vpx=Vcc・(X−1−n)/(X−1) …(2) となる。すなわち、抵抗制御信号A1〜An(X≦n)
のうちの1つを高レベルにすると、 Vcc≧Vpx≧Vcc・n/(2n−1)>Vcc/
2 のプレート電圧Vpxを得ることができ、また抵抗制御
信号An+1〜A2n(X>n)のうちの1つを高レベ
ルにすると、 Vcc/2>(n−1)/(2n−1)≧Vpx≧Vc
c/n のプレート電圧Vpxを得ることができる。このため、
バーンインなどのスクリーニングテスト等において、最
適なプレート電圧Vpを印加することができるために、
短時間で動作マージンの少ないメモリセル等のテスト
を、抵抗制御信号AXの高レベルのビットを変えるとい
う極めて単純な操作で行うことができる。
ベルにした場合のプレート電圧Vpxを求めると、 X≦nのとき、Vpx=Vcc・n/(2n−X) …(1) X>nのとき、Vpx=Vcc・(X−1−n)/(X−1) …(2) となる。すなわち、抵抗制御信号A1〜An(X≦n)
のうちの1つを高レベルにすると、 Vcc≧Vpx≧Vcc・n/(2n−1)>Vcc/
2 のプレート電圧Vpxを得ることができ、また抵抗制御
信号An+1〜A2n(X>n)のうちの1つを高レベ
ルにすると、 Vcc/2>(n−1)/(2n−1)≧Vpx≧Vc
c/n のプレート電圧Vpxを得ることができる。このため、
バーンインなどのスクリーニングテスト等において、最
適なプレート電圧Vpを印加することができるために、
短時間で動作マージンの少ないメモリセル等のテスト
を、抵抗制御信号AXの高レベルのビットを変えるとい
う極めて単純な操作で行うことができる。
【0020】図2(A),(B)はそれぞれ本発明の第
2の実施例の第1及び第2の可変抵抗回路の回路図であ
る。
2の実施例の第1及び第2の可変抵抗回路の回路図であ
る。
【0021】この実施例の可変抵抗回路11a,12a
においては、トランジスタT1〜T2nの接続が第1の
実施例と異っており、プレート変圧Vpxは X≦nのとき、Vpx=Vcc・n/(n+X−1) …(3) X>nのとき、Vpx=Vcc・(2n−X)/(3n−X) …(4) となる。基本的な動作及び効果は第1の実施例と同様で
ある。
においては、トランジスタT1〜T2nの接続が第1の
実施例と異っており、プレート変圧Vpxは X≦nのとき、Vpx=Vcc・n/(n+X−1) …(3) X>nのとき、Vpx=Vcc・(2n−X)/(3n−X) …(4) となる。基本的な動作及び効果は第1の実施例と同様で
ある。
【0022】図3は本発明の第3の実施例を示す回路図
である。
である。
【0023】この実施例は、抵抗制御信号をnビットの
A1〜Anとし、切換制御回路13aを、このnビット
の抵抗制御信号A1〜Anを入力し選択信号S1,S2
に従って各nビットの第1及び第2の制御信号のうちの
一方を全ビット非能動レベルにし他方の全ビットを抵抗
制御信号A1〜Anと同一にして出力する選択回路13
1を備えた構成としたものである。
A1〜Anとし、切換制御回路13aを、このnビット
の抵抗制御信号A1〜Anを入力し選択信号S1,S2
に従って各nビットの第1及び第2の制御信号のうちの
一方を全ビット非能動レベルにし他方の全ビットを抵抗
制御信号A1〜Anと同一にして出力する選択回路13
1を備えた構成としたものである。
【0024】従って、抵抗制御信号の入力端子の数を半
減することができるという利点がある。その他の基本的
な動作及び効果は第1の実施例と同様である。なお、選
択信号S1,S2は1つの信号とし、一方に反転回路を
設ける構成でもよい。
減することができるという利点がある。その他の基本的
な動作及び効果は第1の実施例と同様である。なお、選
択信号S1,S2は1つの信号とし、一方に反転回路を
設ける構成でもよい。
【0025】図4(A),(B)はそれぞれ本発明の第
4の実施例の回路及び実施例の供給電圧切換回路の回路
図である。
4の実施例の回路及び実施例の供給電圧切換回路の回路
図である。
【0026】この実施例は、電圧切換信号VSに従って
第1の可変抵抗回路11の一端に電源電圧Vcc及びこ
の電源電圧Vccの1/2の電圧のうちの一方を選択し
て供給する供給電圧切換回路14を設け、第2の可変抵
抗回路を固定抵抗R10に置換え、これに伴って切換制
御回路13bを第1の可変抵抗回路11の制御のみにし
たものである。固定抵抗R10の抵抗値は可変抵抗回路
11の最大抵抗値と同一である。
第1の可変抵抗回路11の一端に電源電圧Vcc及びこ
の電源電圧Vccの1/2の電圧のうちの一方を選択し
て供給する供給電圧切換回路14を設け、第2の可変抵
抗回路を固定抵抗R10に置換え、これに伴って切換制
御回路13bを第1の可変抵抗回路11の制御のみにし
たものである。固定抵抗R10の抵抗値は可変抵抗回路
11の最大抵抗値と同一である。
【0027】この実施例においては、通常動作時、トラ
ンジスタT40が導通し、供給電圧切換回路14から電
源電圧Vccが可変抵抗回路11に供給されており、こ
のときテスト信号TSTが低レベルであるために抵抗制
御信号A1〜Anの高レベル,低レベルにかかわらず可
変抵抗回路11の抵抗値と固定抵抗R10は同じ値にし
ているため、プレート電圧Vpは電源電圧Vccの1/
2の電圧となる。
ンジスタT40が導通し、供給電圧切換回路14から電
源電圧Vccが可変抵抗回路11に供給されており、こ
のときテスト信号TSTが低レベルであるために抵抗制
御信号A1〜Anの高レベル,低レベルにかかわらず可
変抵抗回路11の抵抗値と固定抵抗R10は同じ値にし
ているため、プレート電圧Vpは電源電圧Vccの1/
2の電圧となる。
【0028】テスト時、電圧切換信号VSを低レベルに
して、供給電圧切換回路14から電源電圧Vccを可変
抵抗回路11に供給することで、プレート電圧Vpとし
て電源電圧Vccの1/2の電圧よりも高いいくつかの
電圧を得ることができる。また、電圧切換信号VSを高
レベルにして、可変抵抗回路11に電源電圧Vccの1
/2の電圧を供給することで、プレート電圧Vpとして
電源電圧Vccの1/2の電圧よりも低いいくつかの電
圧を得ることができる。
して、供給電圧切換回路14から電源電圧Vccを可変
抵抗回路11に供給することで、プレート電圧Vpとし
て電源電圧Vccの1/2の電圧よりも高いいくつかの
電圧を得ることができる。また、電圧切換信号VSを高
レベルにして、可変抵抗回路11に電源電圧Vccの1
/2の電圧を供給することで、プレート電圧Vpとして
電源電圧Vccの1/2の電圧よりも低いいくつかの電
圧を得ることができる。
【0029】この実施例は、抵抗制御信号の入力端子を
半減することができ、切換制御回路,可変抵抗回路等の
ハードウェア量を低減できるという利点がある。
半減することができ、切換制御回路,可変抵抗回路等の
ハードウェア量を低減できるという利点がある。
【0030】なお、抵抗制御信号AX(X=1〜n)を
高レベルにしたときのプレート電圧Vpxは供給電圧切
換回路14の出力電圧をVaとして、 Vpx=Va・n/(2n−X) …(5) となる。
高レベルにしたときのプレート電圧Vpxは供給電圧切
換回路14の出力電圧をVaとして、 Vpx=Va・n/(2n−X) …(5) となる。
【0031】図5は本発明の第5の実施例を示す回路図
である。
である。
【0032】この実施例は、第2の可変抵抗回路を固定
抵抗R10に置換え、第1の可変抵抗回路11と固定抵
抗R10との接続点とプレート節点Pとの間に、この接
続点の電圧と電圧切換信号VS3,VS4とに応答した
レベルのプレート電圧Vpを出力する出力電圧切換回路
15を設けたものである。出力電圧切換回路15は、電
圧切換信号VS3,VS4をゲートに入力するトランジ
スタTG10,TG20,T30,T40と、電源電圧
Vcc供給端と接地電位点との間に直列接続されたトラ
ンジスタT50,T60及びこれらトランジスタと並列
接続された2本の抵抗R50とを備えて構成される。
抵抗R10に置換え、第1の可変抵抗回路11と固定抵
抗R10との接続点とプレート節点Pとの間に、この接
続点の電圧と電圧切換信号VS3,VS4とに応答した
レベルのプレート電圧Vpを出力する出力電圧切換回路
15を設けたものである。出力電圧切換回路15は、電
圧切換信号VS3,VS4をゲートに入力するトランジ
スタTG10,TG20,T30,T40と、電源電圧
Vcc供給端と接地電位点との間に直列接続されたトラ
ンジスタT50,T60及びこれらトランジスタと並列
接続された2本の抵抗R50とを備えて構成される。
【0033】通常動作時は、電圧切換信号VS3,VS
4を低レベルにして、トランジスタTG10,TG20
を非導通、トランジスタT30,T40を導通とする。
このため、トランジスタT50,T60は非導通とな
る。したがって、プレート電圧Vpは電源電圧Vccの
1/2の電圧となる。テスト時は、通常の電圧より高い
電圧を得るためには、電圧切換信号VS3を高レベルに
してトランジスタTG10を導通させ、抵抗制御信号A
1〜Anを入力してそのときに得られる電圧をトランジ
スタT50のゲートに印加する。ここで、抵抗制御信号
を変化させるとトランジスタT50のゲートに印加され
る電圧が変化するために、このトランジスタT50のオ
ン抵抗が変化して通常の電圧よりも高いいくつかの電圧
をプレート節点Pに印加することができる。また、通常
の電圧より低い電圧を得るためには、電圧切換信号VS
4を高レベルにしてトランジスタTG20を導通させ、
抵抗制御信号A1〜Anを入力してそのとき得られる電
圧をトランジスタT60のゲートに電圧を印加する。こ
こで、抵抗制御信号を変化させるとトランジスタT60
のゲートに印加される電圧が変化するために、トランジ
スタT50のオン抵抗が変化して通常の電圧よりも低い
電圧をプレート節点Pに印加することができる。
4を低レベルにして、トランジスタTG10,TG20
を非導通、トランジスタT30,T40を導通とする。
このため、トランジスタT50,T60は非導通とな
る。したがって、プレート電圧Vpは電源電圧Vccの
1/2の電圧となる。テスト時は、通常の電圧より高い
電圧を得るためには、電圧切換信号VS3を高レベルに
してトランジスタTG10を導通させ、抵抗制御信号A
1〜Anを入力してそのときに得られる電圧をトランジ
スタT50のゲートに印加する。ここで、抵抗制御信号
を変化させるとトランジスタT50のゲートに印加され
る電圧が変化するために、このトランジスタT50のオ
ン抵抗が変化して通常の電圧よりも高いいくつかの電圧
をプレート節点Pに印加することができる。また、通常
の電圧より低い電圧を得るためには、電圧切換信号VS
4を高レベルにしてトランジスタTG20を導通させ、
抵抗制御信号A1〜Anを入力してそのとき得られる電
圧をトランジスタT60のゲートに電圧を印加する。こ
こで、抵抗制御信号を変化させるとトランジスタT60
のゲートに印加される電圧が変化するために、トランジ
スタT50のオン抵抗が変化して通常の電圧よりも低い
電圧をプレート節点Pに印加することができる。
【0034】なお、これら実施例においては、テスト信
号TSTによってテスト時のプレート電圧を切換える構
成となっているが、テスト信号TSTと読出し制御信号
の論理積をテスト信号TSTと置換えることで、テスト
時にメモリセルのプレート節点Pに印加する電圧をデー
タ読出し動作時と書込み時とで違えることが可能とな
る。このため、メモリセルの動作マージンテストがチッ
プ外部の信号や電源を用いず短時間で容易に実現でき
る。
号TSTによってテスト時のプレート電圧を切換える構
成となっているが、テスト信号TSTと読出し制御信号
の論理積をテスト信号TSTと置換えることで、テスト
時にメモリセルのプレート節点Pに印加する電圧をデー
タ読出し動作時と書込み時とで違えることが可能とな
る。このため、メモリセルの動作マージンテストがチッ
プ外部の信号や電源を用いず短時間で容易に実現でき
る。
【0035】さらに、テスト信号TSTと書込み制御信
号の論理積をとっても同様に、メモリセルの動作マージ
ンテストが可能である。
号の論理積をとっても同様に、メモリセルの動作マージ
ンテストが可能である。
【0036】以上述べた実施例において、抵抗制御信号
はテスト時にチップ動作制御信号を印加しない信号の外
部入力端子の中の空き端子より入力してもよい。
はテスト時にチップ動作制御信号を印加しない信号の外
部入力端子の中の空き端子より入力してもよい。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、抵抗制御
信号によりプレート電圧を切換える構成とすることによ
り、メモリセルのプレート節点に、通常動作時のVcc
/2の電圧に対して高い電圧,低い電圧を複数段に切換
えて供給し試験できるので、メモリセルの信頼性試験や
動作マージン試験等を効率よく短時間に極めて容易に行
うことができる効果がある。
信号によりプレート電圧を切換える構成とすることによ
り、メモリセルのプレート節点に、通常動作時のVcc
/2の電圧に対して高い電圧,低い電圧を複数段に切換
えて供給し試験できるので、メモリセルの信頼性試験や
動作マージン試験等を効率よく短時間に極めて容易に行
うことができる効果がある。
【図1】本発明の第1の実施例の回路図及びこの実施例
の第1,第2の可変抵抗回路の回路図である。
の第1,第2の可変抵抗回路の回路図である。
【図2】本発明の第2の実施例の第1及び第2の可変抵
抗回路の回路図である。
抗回路の回路図である。
【図3】本発明の第3の実施例の回路図である。
【図4】本発明の第4の実施例の回路図及びこの実施例
の供給電圧切換回路の回路図である。
の供給電圧切換回路の回路図である。
【図5】本発明の第5の実施例の回路図である。
【図6】従来の半導体記憶回路の一例を示す回路図であ
る。
る。
10,10a〜10c,10x プレート電圧発生回
路 11,11a,12,12a 可変抵抗回路 13,13a,13b 切換制御回路 14 供給電圧切換回路 15 出力電圧切換回路 BL ビット線 MC メモリセル R1,R2,R10 固定抵抗
路 11,11a,12,12a 可変抵抗回路 13,13a,13b 切換制御回路 14 供給電圧切換回路 15 出力電圧切換回路 BL ビット線 MC メモリセル R1,R2,R10 固定抵抗
Claims (6)
- 【請求項1】 ソース,ドレインの一方をビット線に接
続しゲートを対応するワード線に接続してオン,オフす
るトランジスタ、及び一端をこのトランジスタのソー
ス,ドレインの他方に接続し他端をプレート節点とする
容量素子をそれぞれ含む複数のメモリセルと、一端に所
定のレベルの電圧が供給され他端を前記プレート節点に
接続し第1の制御信号に従ってこれら両端間の抵抗値を
複数段に切換える第1の可変抵抗回路、一端を前記プレ
ート節点に接続し他端を基準電位点に接続し第2の制御
信号に従ってこれら両端間の抵抗値を複数段に切換える
第2の可変抵抗回路、並びにテスト信号が非能動レベル
のときは前記第1及び第2の可変抵抗回路の両端間を互
いに等しい抵抗値となるように制御し前記テスト信号が
能動レベルのときは前記第1及び第2の可変抵抗回路の
両端間を抵抗制御信号に従って互いに異なる抵抗値にな
るように制御する前記第1及び第2の制御信号を発生す
る切換制御回路を含み前記プレート節点に前記テスト信
号及び抵抗制御信号に応答したプレート電圧を供給する
プレート電圧発生回路とを有することを特徴とする半導
体記憶回路。 - 【請求項2】 第1及び第2の可変抵抗回路がそれぞ
れ、複数の固定抵抗と、ソース,ドレインの一方をこれ
ら固定抵抗の一端にそれぞれ対応して接続し対応する制
御信号に応じてオン,オフする複数のMOSトランジス
タとを備えて構成された請求項1記載の半導体記憶回
路。 - 【請求項3】 切換制御回路が、nビットの抵抗制御信
号を入力し選択信号に従って各nビットの第1及び第2
の制御信号のうちの一方を全ビット非能動レベルにし他
方の全ビットを前記抵抗制御信号と同一にして出力する
選択回路を備えた請求項1記載の半導体記憶回路。 - 【請求項4】 電圧切換信号に従って第1の可変抵抗回
路の一端に所定のレベルの電圧及びこの電圧の1/2の
電圧のうちの一方を選択して供給する供給電圧切換回路
を設け、前記第1の可変抵抗回路及び第2の可変抵抗回
路の一方を固定抵抗に置換えた請求項1記載の半導体記
憶回路。 - 【請求項5】 第1及び第2の可変抵抗回路の接続点と
プレート節点との間に、前記第1及び第2の可変抵抗回
路の接続点の電圧及び電圧切換信号に応答したレベルの
電圧を出力する出力電圧切換回路を設け、前記第1及び
第2の可変抵抗回路の一方を固定抵抗に置換えた請求項
1記載の半導体記憶回路。 - 【請求項6】 テスト信号を、読出し制御信号及び書込
み制御信号のうちの一方と前記テスト信号との論理積の
信号に置換えた請求項1記載の半導体記憶回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4003443A JP2903824B2 (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | 半導体記憶回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4003443A JP2903824B2 (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | 半導体記憶回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05205464A true JPH05205464A (ja) | 1993-08-13 |
JP2903824B2 JP2903824B2 (ja) | 1999-06-14 |
Family
ID=11557494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4003443A Expired - Lifetime JP2903824B2 (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | 半導体記憶回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2903824B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000353398A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-12-19 | Infineon Technologies Ag | 集積メモリおよびメモリに対する作動方法 |
JP2006323949A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置及びそのテスト方法 |
JP2007328899A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Hynix Semiconductor Inc | 半導体メモリの基準電圧発生装置及び方法 |
JP2009003886A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 電圧レギュレータ回路 |
-
1992
- 1992-01-13 JP JP4003443A patent/JP2903824B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000353398A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-12-19 | Infineon Technologies Ag | 集積メモリおよびメモリに対する作動方法 |
JP2006323949A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置及びそのテスト方法 |
JP2007328899A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Hynix Semiconductor Inc | 半導体メモリの基準電圧発生装置及び方法 |
JP2009003886A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Samsung Electronics Co Ltd | 電圧レギュレータ回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2903824B2 (ja) | 1999-06-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990223 |