JPH05203800A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH05203800A JPH05203800A JP3394092A JP3394092A JPH05203800A JP H05203800 A JPH05203800 A JP H05203800A JP 3394092 A JP3394092 A JP 3394092A JP 3394092 A JP3394092 A JP 3394092A JP H05203800 A JPH05203800 A JP H05203800A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧力タンクを開けずに電子流検出装置の較正
を行うこと。 【構成】 圧力タンク１０の内部に、フィラメント変圧
器６の１次巻線と２次巻線間に接続された電子流検出用
分流抵抗器１１、電圧・光変換器１４、光ファイバ１５
及び光・電圧変換器１６を有する電子流検出装置が設け
られている。この検出装置の較正時、ロッド駆動装置２
１はスイッチ開閉指令信号Ｖｓに応動し、絶縁ロッド２
０を操作してスイッチ１９を閉じる。較正信号発生装置
を構成する交流・直流変換器１８が動作し、較正用の直
流出力信号を分流抵抗器１１に与える。この較正信号に
応答する光・電圧変換器１６の出力Ｖｒを圧力タンク外
で計測し、電子流検出装置の較正を行う。
を行うこと。 【構成】 圧力タンク１０の内部に、フィラメント変圧
器６の１次巻線と２次巻線間に接続された電子流検出用
分流抵抗器１１、電圧・光変換器１４、光ファイバ１５
及び光・電圧変換器１６を有する電子流検出装置が設け
られている。この検出装置の較正時、ロッド駆動装置２
１はスイッチ開閉指令信号Ｖｓに応動し、絶縁ロッド２
０を操作してスイッチ１９を閉じる。較正信号発生装置
を構成する交流・直流変換器１８が動作し、較正用の直
流出力信号を分流抵抗器１１に与える。この較正信号に
応答する光・電圧変換器１６の出力Ｖｒを圧力タンク外
で計測し、電子流検出装置の較正を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧力タンク内に電子流
計測装置に対する較正用信号発生装置を内蔵させた電子
線照射装置に関する。
計測装置に対する較正用信号発生装置を内蔵させた電子
線照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は電子流計測装置を備えた電子線照
射装置の電気系の構成図であり、電子線照射装置の電源
部は、直流高圧発生装置１及びフィラメント電源２から
給電される絶縁変圧器３からなり、直流高圧発生装置１
及び絶縁変圧器３は高圧絶縁ガスが充填される電源部の
圧力タンク４の内部に収容されている。電子ビーム発生
部は、電子源フィラメント５、同フィラメントに給電す
るフィラメント変圧器６、加速管７、走査コイル８、走
査管９を有し、フィラメント５、フィラメント変圧器６
及び加速管７は絶縁ガスが充填されるビーム発生部の圧
力タンク１０の内部に収容されている。直流高電圧発生
装置１の正極端子は圧力タンク４を介して接地されてお
り、負極端子は絶縁変圧器３の出力端子の一つに接続
し、同変圧器の出力端子を、高圧ケーブルあるいは電源
部とビーム発生部の圧力タンク４、１０との間に設けら
れた管路の内部に配設したケーブルによって電子ビーム
発生部のフィラメント変圧器５の１次巻線に接続し、直
流高電圧及びフィラメント電力を電子ビーム発生部に供
給する。
射装置の電気系の構成図であり、電子線照射装置の電源
部は、直流高圧発生装置１及びフィラメント電源２から
給電される絶縁変圧器３からなり、直流高圧発生装置１
及び絶縁変圧器３は高圧絶縁ガスが充填される電源部の
圧力タンク４の内部に収容されている。電子ビーム発生
部は、電子源フィラメント５、同フィラメントに給電す
るフィラメント変圧器６、加速管７、走査コイル８、走
査管９を有し、フィラメント５、フィラメント変圧器６
及び加速管７は絶縁ガスが充填されるビーム発生部の圧
力タンク１０の内部に収容されている。直流高電圧発生
装置１の正極端子は圧力タンク４を介して接地されてお
り、負極端子は絶縁変圧器３の出力端子の一つに接続
し、同変圧器の出力端子を、高圧ケーブルあるいは電源
部とビーム発生部の圧力タンク４、１０との間に設けら
れた管路の内部に配設したケーブルによって電子ビーム
発生部のフィラメント変圧器５の１次巻線に接続し、直
流高電圧及びフィラメント電力を電子ビーム発生部に供
給する。
【０００３】電子源フィラメント５はフィラメント変圧
器６の２次巻線に接続され、同変圧器の１次巻線と２次
巻線の各一端を電子流検出用分流抵抗器１１で接続し、
フィラメント５に負の高電圧を印加し、加速管７の各電
極には負の高電圧をブリーダ抵抗１２で分圧した電圧が
印加されており、加速管７の最終端電極及び走査管９は
接地される。フィラメント５で発生した電子は加速管７
で加速され、同加速管からの電子ビーム、電子流は走査
コイル８による磁場で偏向、走査され、走査管９から接
地電位部にある図示しない被照射材料に照射される。
器６の２次巻線に接続され、同変圧器の１次巻線と２次
巻線の各一端を電子流検出用分流抵抗器１１で接続し、
フィラメント５に負の高電圧を印加し、加速管７の各電
極には負の高電圧をブリーダ抵抗１２で分圧した電圧が
印加されており、加速管７の最終端電極及び走査管９は
接地される。フィラメント５で発生した電子は加速管７
で加速され、同加速管からの電子ビーム、電子流は走査
コイル８による磁場で偏向、走査され、走査管９から接
地電位部にある図示しない被照射材料に照射される。
【０００４】電子ビーム、電子流は正極端子が接地され
ている直流高電圧発生装置１から電子流検出用分流抵抗
器１１、フィラメント５、そして加速管７と走査管９を
通って接地部へと流れるから、分流抵抗器１１の端子電
圧Ｖｉは電子流の実際の大きさ、実電子流を表示する。
この端子電圧Ｖｉは増幅器１３に導入され、その増幅出
力は、増幅器と共に圧力タンク１０内における負の高電
位部に設けられている電圧・光変換器１４によって光信
号に変換され、光ファイバ１５でビーム発生部の圧力タ
ンク１０内の接地電位ないし低電位部に設けられている
光・電圧変換器１６に伝送される。この変換器１６の実
電子流を示す電圧信号Ｖｒは圧力タンク外の計測制御装
置１７に導入され、電子流の管理、電子流の制御、例え
ば電圧信号Ｖｒに応じてフィラメント電源２の出力電圧
Ｖｏを調節し、フィラメント５の加熱電力の調節による
電子流の制御が行われる。
ている直流高電圧発生装置１から電子流検出用分流抵抗
器１１、フィラメント５、そして加速管７と走査管９を
通って接地部へと流れるから、分流抵抗器１１の端子電
圧Ｖｉは電子流の実際の大きさ、実電子流を表示する。
この端子電圧Ｖｉは増幅器１３に導入され、その増幅出
力は、増幅器と共に圧力タンク１０内における負の高電
位部に設けられている電圧・光変換器１４によって光信
号に変換され、光ファイバ１５でビーム発生部の圧力タ
ンク１０内の接地電位ないし低電位部に設けられている
光・電圧変換器１６に伝送される。この変換器１６の実
電子流を示す電圧信号Ｖｒは圧力タンク外の計測制御装
置１７に導入され、電子流の管理、電子流の制御、例え
ば電圧信号Ｖｒに応じてフィラメント電源２の出力電圧
Ｖｏを調節し、フィラメント５の加熱電力の調節による
電子流の制御が行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、電子流
検出装置を構成する分流抵抗器１１、増幅器１３、電圧
・光変換器１４、光ファイバ１５及び光・電圧変換器１
６はビーム発生部の圧力タンク内に密封されているか
ら、かかる電子流検出装置の動作特性について較正を行
うときには圧力タンク１０を開けなければならない。し
かしながら、ビーム発生部の圧力タンク１０を開けるに
は、同タンクないし、このタンクと電源部の圧力タンク
４が給電ケーブル配置管路で結合されている場合には両
タンクと管路内に充填されている絶縁ガスを回収し、次
いで、タンク、管路内を大気と完全に入れ替えるエア・
パージ作業を要し、全体としてタンク開放の事前作業に
かなりの時間がかかり、簡単には電子流検出装置の較正
を行うことができない。
検出装置を構成する分流抵抗器１１、増幅器１３、電圧
・光変換器１４、光ファイバ１５及び光・電圧変換器１
６はビーム発生部の圧力タンク内に密封されているか
ら、かかる電子流検出装置の動作特性について較正を行
うときには圧力タンク１０を開けなければならない。し
かしながら、ビーム発生部の圧力タンク１０を開けるに
は、同タンクないし、このタンクと電源部の圧力タンク
４が給電ケーブル配置管路で結合されている場合には両
タンクと管路内に充填されている絶縁ガスを回収し、次
いで、タンク、管路内を大気と完全に入れ替えるエア・
パージ作業を要し、全体としてタンク開放の事前作業に
かなりの時間がかかり、簡単には電子流検出装置の較正
を行うことができない。
【０００６】そこで、本発明は、圧力タンクを開けず
に、電子流検出装置の較正、チェックを行うことができ
る電子線照射装置を提供することを目的とするものであ
る。
に、電子流検出装置の較正、チェックを行うことができ
る電子線照射装置を提供することを目的とするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、電子ビーム発
生部を収容した圧力タンク内に電子流検出装置を有する
電子線照射装置において、前記圧力タンク内に前記電子
流検出装置の較正信号発生装置を設けたことを特徴とす
るものである。
生部を収容した圧力タンク内に電子流検出装置を有する
電子線照射装置において、前記圧力タンク内に前記電子
流検出装置の較正信号発生装置を設けたことを特徴とす
るものである。
【０００８】
【作用】電子流検出装置の較正時、圧力タンクの外部か
ら指令操作し、較正信号発生装置の出力端子を電子流検
出装置の入力端、例えば分流抵抗器の両端に接続し、電
子流検出装置に較正用信号を導入する。較正信号に対す
る電子流検出装置の出力を圧力タンクの外部でチェック
することにより同検出装置の較正を行うことができる。
ら指令操作し、較正信号発生装置の出力端子を電子流検
出装置の入力端、例えば分流抵抗器の両端に接続し、電
子流検出装置に較正用信号を導入する。較正信号に対す
る電子流検出装置の出力を圧力タンクの外部でチェック
することにより同検出装置の較正を行うことができる。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例について図面を参照し説明
する。図１は電子線照射装置の電気系の構成図であり、
図２と同一符号は同等部分を示す。ビーム発生部の圧力
タンク１０内の高電位部に較正信号発生装置を構成する
交流・直流変換器１８を設ける。同変換器１８の交流入
力（ＡＣｉｎ）端子はスイッチ１９の接点１９1を介し
てフィラメント変圧器５の１次巻線回路に接続され、接
点１９1の閉成時、絶縁変圧器３の出力電圧、したがっ
てフィラメント変圧器６の１次巻線の印加電圧が導入さ
れる。交流・直流変換器１８の直流出力（ＤＣｏｕｔ）
端子はスイッチ１９の接点１９2を介して電子流検出用
分流抵抗器１１の両端に接続されている。スイッチ１９
は絶縁ロッド２０によって操作され、同ロッドは圧力タ
ンク１０内の低電位部に設けられたロッド駆動装置２１
に結合されており、同駆動装置は圧力タンク外からのス
イッチ開閉指令信号Ｖｓに応動する。
する。図１は電子線照射装置の電気系の構成図であり、
図２と同一符号は同等部分を示す。ビーム発生部の圧力
タンク１０内の高電位部に較正信号発生装置を構成する
交流・直流変換器１８を設ける。同変換器１８の交流入
力（ＡＣｉｎ）端子はスイッチ１９の接点１９1を介し
てフィラメント変圧器５の１次巻線回路に接続され、接
点１９1の閉成時、絶縁変圧器３の出力電圧、したがっ
てフィラメント変圧器６の１次巻線の印加電圧が導入さ
れる。交流・直流変換器１８の直流出力（ＤＣｏｕｔ）
端子はスイッチ１９の接点１９2を介して電子流検出用
分流抵抗器１１の両端に接続されている。スイッチ１９
は絶縁ロッド２０によって操作され、同ロッドは圧力タ
ンク１０内の低電位部に設けられたロッド駆動装置２１
に結合されており、同駆動装置は圧力タンク外からのス
イッチ開閉指令信号Ｖｓに応動する。
【００１０】電子流検出装置を構成する電子流検出用分
流抵抗器１１、増幅器１３、電圧・光変換器１４、光フ
ァイバ１５及び光・電圧変換器１６の較正時、直流高電
圧発生装置１の動作を停止させる。スイッチ開閉指令信
号Ｖｓによりロッド駆動装置２１を動作させて絶縁ロッ
ド２０を操作し、スイッチ１９の接点１９1、１９2を閉
成する。較正信号発生装置を構成する交流・直流変換器
１８に交流入力が供給され、この交流入力に基づいて、
直流出力端子から較正信号としての所定の直流電流ある
いは電圧信号が電子流検出用分流抵抗器１１に与えられ
る。かかる較正信号の導入に対する電子流検出装置の出
力、即ち光・電圧変換器１６の出力Ｖｒを計測制御装置
１７で計測することにより、電子流検出装置の動作特性
の較正を行う。
流抵抗器１１、増幅器１３、電圧・光変換器１４、光フ
ァイバ１５及び光・電圧変換器１６の較正時、直流高電
圧発生装置１の動作を停止させる。スイッチ開閉指令信
号Ｖｓによりロッド駆動装置２１を動作させて絶縁ロッ
ド２０を操作し、スイッチ１９の接点１９1、１９2を閉
成する。較正信号発生装置を構成する交流・直流変換器
１８に交流入力が供給され、この交流入力に基づいて、
直流出力端子から較正信号としての所定の直流電流ある
いは電圧信号が電子流検出用分流抵抗器１１に与えられ
る。かかる較正信号の導入に対する電子流検出装置の出
力、即ち光・電圧変換器１６の出力Ｖｒを計測制御装置
１７で計測することにより、電子流検出装置の動作特性
の較正を行う。
【００１１】較正信号発生装置である交流・直流変換器
１８の交流入力に対する直流出力の特性を、次に述べる
ものとすることにより、電子流検出装置の較正に加えて
電子源フィラメント５の経年変化、損耗状態を判断する
ことができる。電子線照射装置が動作状態のもとで、フ
ィラメント電源２の出力電圧Ｖｏを変化させるとフィラ
メント５の加熱電力が変化し、電子流の大きさが変化す
る。即ち、フィラメント電源２の出力電圧Ｖｏの変化に
伴いフィラメント変圧器６の１次巻線印加電圧Ｖｔが変
化し、電子流の大きさ、したがって、電子流検出用分流
抵抗器１１の端子電圧Ｖｉ、電子流検出装置の出力であ
る光・電圧変換器１６の出力Ｖｒが変化する。フィラメ
ント５は、その使用につれて損耗し、やせ細り、加熱電
力に対する熱電子発生量の関係が変わる。そこで、交流
・直流変換器１８を電子流検出装置に接続したときに、
フィラメント５の初期使用段階におけるフィラメント電
源２の出力電圧Ｖｏに対する光・電圧変換器１６の出力
Ｖｒの特性と同じ特性が得られるように、同変換器１８
の交流入力に対する直流出力の特性を選定する。これ
は、同変換器の入出力特性を、フィラメント５の初期使
用段階におけるフィラメント変圧器の１次巻線印加電圧
Ｖｔと電子流検出用分流抵抗器１１の端子電圧Ｖｉとの
関係を模擬するものとなるように構成することである。
交流・直流変換器１８は、例えば、整流部、平滑部によ
り構成することができるが、平滑部のコンデンサと抵抗
による時定数の選定、あるいは整流部に縦続して関数発
生部を設けることにより所要の入出力特性を得ることが
できる。
１８の交流入力に対する直流出力の特性を、次に述べる
ものとすることにより、電子流検出装置の較正に加えて
電子源フィラメント５の経年変化、損耗状態を判断する
ことができる。電子線照射装置が動作状態のもとで、フ
ィラメント電源２の出力電圧Ｖｏを変化させるとフィラ
メント５の加熱電力が変化し、電子流の大きさが変化す
る。即ち、フィラメント電源２の出力電圧Ｖｏの変化に
伴いフィラメント変圧器６の１次巻線印加電圧Ｖｔが変
化し、電子流の大きさ、したがって、電子流検出用分流
抵抗器１１の端子電圧Ｖｉ、電子流検出装置の出力であ
る光・電圧変換器１６の出力Ｖｒが変化する。フィラメ
ント５は、その使用につれて損耗し、やせ細り、加熱電
力に対する熱電子発生量の関係が変わる。そこで、交流
・直流変換器１８を電子流検出装置に接続したときに、
フィラメント５の初期使用段階におけるフィラメント電
源２の出力電圧Ｖｏに対する光・電圧変換器１６の出力
Ｖｒの特性と同じ特性が得られるように、同変換器１８
の交流入力に対する直流出力の特性を選定する。これ
は、同変換器の入出力特性を、フィラメント５の初期使
用段階におけるフィラメント変圧器の１次巻線印加電圧
Ｖｔと電子流検出用分流抵抗器１１の端子電圧Ｖｉとの
関係を模擬するものとなるように構成することである。
交流・直流変換器１８は、例えば、整流部、平滑部によ
り構成することができるが、平滑部のコンデンサと抵抗
による時定数の選定、あるいは整流部に縦続して関数発
生部を設けることにより所要の入出力特性を得ることが
できる。
【００１２】かかる較正信号発生装置としての交流・直
流変換器１８を接続し、フィラメント電源２の出力電圧
Ｖｏに対する光・電圧変換器１６の出力Ｖｒを計測する
ことにより、電子流検出装置の動作範囲について較正を
行うことができ、この計測結果と実際の電子線照射装置
の動作状態における前記出力電圧Ｖｏと出力Ｖｒについ
ての計測結果を比較することによりフィラメント５の損
耗、経年劣化状態を診断することができる。
流変換器１８を接続し、フィラメント電源２の出力電圧
Ｖｏに対する光・電圧変換器１６の出力Ｖｒを計測する
ことにより、電子流検出装置の動作範囲について較正を
行うことができ、この計測結果と実際の電子線照射装置
の動作状態における前記出力電圧Ｖｏと出力Ｖｒについ
ての計測結果を比較することによりフィラメント５の損
耗、経年劣化状態を診断することができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、電子流検出装置の較正時、圧力タンクの外部から
の指令により、較正信号発生装置から較正信号を電子流
検出装置に導入し、同信号に対する電子流検出装置の出
力を圧力タンクの外部でチェックすれば同検出装置の較
正が行えるから、圧力タンクを開けずに電子流検出装置
の較正を簡単に行うことができる。
ので、電子流検出装置の較正時、圧力タンクの外部から
の指令により、較正信号発生装置から較正信号を電子流
検出装置に導入し、同信号に対する電子流検出装置の出
力を圧力タンクの外部でチェックすれば同検出装置の較
正が行えるから、圧力タンクを開けずに電子流検出装置
の較正を簡単に行うことができる。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】従来の電子流検出装置を有する電子線照射装置
の構成図である。
の構成図である。
2 フィラメント電源 5 フィラメント 6 フィラメント変圧器 11 電子流検出用分流抵抗器 14 電圧・光変換器 15 光ファイバ 16 光・電圧変換器 17 計測制御装置 18 構成信号発生装置 19 スイッチ 20 絶縁ロッド 21 ロッド駆動装置
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビーム発生部を収容した圧力タンク
内に電子流検出装置を有する電子線照射装置において、
前記圧力タンク内に前記電子流検出装置の較正信号発生
装置を設けたことを特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3394092A JPH05203800A (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3394092A JPH05203800A (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05203800A true JPH05203800A (ja) | 1993-08-10 |
Family
ID=12400508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3394092A Pending JPH05203800A (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05203800A (ja) |
-
1992
- 1992-01-27 JP JP3394092A patent/JPH05203800A/ja active Pending
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