JPH05203582A - 画像処理方法 - Google Patents

画像処理方法

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JPH05203582A
JPH05203582A JP4012620A JP1262092A JPH05203582A JP H05203582 A JPH05203582 A JP H05203582A JP 4012620 A JP4012620 A JP 4012620A JP 1262092 A JP1262092 A JP 1262092A JP H05203582 A JPH05203582 A JP H05203582A
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JP
Japan
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signal
image
image processing
inspected
processing device
Prior art date
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Pending
Application number
JP4012620A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuji Takegawa
周史 武川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority to JP4012620A priority Critical patent/JPH05203582A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検査物の表面検査をする画像処理装置のメ
モリの小容量化、処理速度の高速化。 【構成】 被検査物表面(2)をビデオカメラ(4)で
走査撮像し、その映像信号Aを画像処理装置(5)で演
算して、被検査物表面(2)の不規則箇所(3)の有無
等を検査する際の画像処理方法で、映像信号Aから同期
信号Cを除去した映像信号Bが比較回路(7)で一定電
圧の基準信号Fと比較され、映像信号Bに含まれる不規
則変位信号Dが検出されると、画像処理装置(5)にタ
イミング信号Eが出力されて、画像処理装置(5)が映
像信号Aの取り込みを開始し、映像信号Aを演算処理し
てメモリに記憶させる。画像処理装置(5)は、タイミ
ング信号Eが入力されると、所定の時間帯だけ動作し
て、映像信号Aの取り込みを停止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査物の表面の欠点
や異物などの不規則箇所の有無等を検査するための画像
処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ELや液晶の面発光体や、積層セラミッ
クコンデンサの絶縁シートなどの被検査物の表面検査
は、表面の黒色欠点や異物などの不規則箇所の有無、位
置、大きさ、形状などを検査する目的で行われる。この
表面検査は、ビデオカメラなどの映像装置で被検査物の
表面を撮像し、その映像信号をコンピュータの画像処理
装置で演算処理することで行われている。
【0003】即ち、被検査物の表面を走査して撮像する
ビデオカメラの映像信号を、コンピュータの画像処理装
置に取り込み、被検査物の検査される表面全域の画像デ
ータを画像処理装置のメモリに記憶させる。次に、メモ
リの記憶データを随時読み出し、読み出したデータを随
時演算処理して、被検査物の不規則箇所の有無を検査
し、不規則箇所が有る場合はその位置、大きさ、形状な
どの演算を行う。必要に応じて検査結果をディスプレイ
画面に表示し、プリントアウトする。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記被検査物の表面検
査のための画像処理方法は、信頼度において問題ない
が、構造的に、且つ、機能的に次なる問題があった。
【0005】被検査物の検査される表面全域の画像デー
タを画像処理装置のメモリに一度記憶させるため、メモ
リに大容量のものが必要であり、画像処理装置がコスト
高になる。
【0006】画像処置装置のメモリに画像データを随時
取り込み、メモリから画像データを随時取り出すメモリ
読み書きに要する時間が長く、この時間が被検査物の表
面検査速度に制約を与えて、被検査物の表面検査の高速
化を難しくしていた。
【0007】そこで、本発明の目的とするところは、被
検査物の表面検査をする画像処理装置のメモリの小容量
化、処理速度の高速化を容易にする画像処理方法を提供
することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、被検査物表面
を走査して撮像する映像装置からの映像信号を画像処理
装置で演算処理することで、被検査物の不規則箇所の有
無等を検査する画像処理方法であって、映像装置の映像
信号に含まれる、被検査物の不規則箇所に相当する不規
則変位信号を、一定電圧の基準信号との比較から検出
し、この検出のタイミング信号で映像信号を画像処理装
置に取り込んで演算処理を行わせるようにすることで、
上記目的を達成する。
【0009】画像処理装置は、タイミング信号で取り込
んだ映像信号を、タイミング信号を発生させた被検査物
の1不規則箇所の検査に必要な所定の時間帯だけ演算処
理を行わせ、演算処理終了時点で画像処理装置への映像
信号取り込みを停止させる機能のものが望ましい。
【0010】
【作用】被検査物の検査される表面に不規則箇所が無い
場合、画像処理装置には映像信号が取り込まれず、画像
処理装置は一度も演算処理することなく被検査物の表面
検査が終了する。この検査時間は、映像装置が被検査物
の表面全域を走査するだけの最短時間である。
【0011】また、被検査物の検査される表面に不規則
箇所が有る場合、映像装置が被検査物表面を随時走査し
て不規則箇所を撮像したときの映像信号中の不規則変位
信号の検出タイミングで、始めて映像信号が画像処理装
置に取り込まれて演算処理され、処理された画像データ
がメモリに記憶される。つまり、画像処理装置は、映像
装置からの映像信号中の不規則変位信号が検出されるま
で動作せず、この動作をするまでの映像信号の画像デー
タはメモリに記憶されず、また、映像信号の取込みは、
1不規則箇所の検査に必要な所定の時間だけ行なわれる
ので、その後不規則信号が発生するまでの画像データも
メモリに記憶されない。従って、メモリは小容量のもの
で十分間に合う。
【0012】
【実施例】以下、本発明を図面を参照して説明する。な
お、図1は本発明方法の実施装置と動作波形が、図2は
被検査物の検査される表面視野が示してある。
【0013】図1の(イ)の装置は、被検査物(1)の
表面(2)を映像装置、例えばビデオカメラ(4)で走
査撮像した映像信号Aを必要に応じて画像処理装置
(5)で演算して、被検査物(1)の表面(2)を検査
する。被検査物(1)の表面(2)は例えば白色で、こ
の白色表面に黒色欠点や異物などの非白色の不規則箇所
(3)が有ると、これの位置、形状などが演算される。
【0014】図1の(イ)の装置は、ビデオカメラ
(4)とメモリ内蔵の画像処理装置(5)の他に、同期
信号除去回路(6)と不規則箇所検出手段の比較回路
(7)の2つのハードウェアを備える。同期信号除去回
路(6)は、ビデオカメラ(4)の映像信号Aからタイ
ミング信号発生のため余分な同期信号Cを除去する。比
較回路(7)は、同期信号Cが除去された映像信号Bを
一定電圧の基準信号Fと比較して、映像信号Bに含まれ
る不規則変位信号Dを検出する。比較回路(7)が不規
則変位信号Dを検出すると、画像処理装置(5)に映像
信号Aの取り込みを開始させるタイミング信号Eが出力
される。
【0015】画像処理装置(5)は、比較回路(7)か
らのタイミング信号Eでトリガされて映像信号Aの取り
込みを開始し、映像信号Aを演算処理してメモリに記憶
させる。画像処理装置(5)は、タイミング信号Eが入
力されるまで動作しない。このところを具体的に説明す
る。
【0016】仮に図2の(イ)に示すように、ビデオカ
メラ(4)で撮像される被検査物(1)の表面(2)の
1箇所に点状の不規則箇所(3)が有るとする。ビデオ
カメラ(4)は被検査物表面(2)を、図2の(ロ)の
矢印方向に順に走査して撮像し、ビデオカメラ(4)か
ら映像信号Aが随時に画像処理装置(5)と同期信号除
去回路(6)に出力される。ビデオカメラ(4)が被検
査物表面(2)の不規則箇所(3)の1走査線上を走査
したときの映像信号Aに、不規則箇所(3)に相当する
低電位レベルの不規則変位信号Dが生じる。
【0017】同期信号除去回路(6)は、入力される映
像信号Aから同期信号Cを除去した映像信号Bを比較回
路(7)に出力する。比較回路(7)は、入力される映
像信号Bと、この映像信号Bの平均電圧レベルより低
く、不規則変位信号Dの平均電圧レベルより高い一定電
圧の基準信号Fとを比較することで、不規則変位信号D
を検出する。この検出時点で比較回路(7)から、図1
の(ロ)に示すタイミング信号Eが画像処理装置(5)
に出力される。
【0018】ここでビデオカメラ(4)が被検査物表面
(2)を走査し始めてから不規則箇所(3)を撮像する
までの捜査線を、図2の(ロ)の破線で示すと、被検査
物表面(2)の破線捜査線Naの領域Maでの映像信号
Aは画像処理装置(5)に取り込まれない。そして、ビ
デオカメラ(4)が被検査物表面(2)の不規則箇所
(3)を撮像した時点のタイミング信号Eで、画像処理
装置(5)が映像信号Aの取り込みを開始する。画像処
理装置(5)は取り込んだ映像信号Aをビデオカメラ
(4)から直接未加工で入力される信号Aを参照して演
算処理し、不規則箇所(3)の位置、大きさなどを算出
してメモリに記憶させる。
【0019】画像処理装置(5)が映像信号Aを取り込
んでからの被検査物表面(2)の捜査線を図2の(ロ)
の実線で示すと、この実線捜査線Nbの領域Mbの画像
データだけが画像処理装置(5)のメモリに記憶され
る。つまり、被検査物表面(2)の先の破線捜査線Na
の領域Maは、ビデオカメラ(4)で撮像されるのみ
で、この領域Maでの画像処理は行われず、その分、被
検査物表面(2)全域の検査のための画像処理時間が短
縮され、画像処理装置(5)のメモリ容量が少なくて済
む。画像処理装置(5)が映像信号Aを取り込む領域M
bは、少なくとも不規則箇所(3)の位置、大きさ、形
状などの必要な検査項目が検査できる範囲で被検査物の
種類等に応じて設定される。
【0020】画像処理装置(5)は、映像信号Aを取り
込むと、このときの被検査物表面(2)の1不規則箇所
(3)を検査するに必要な最小の時間帯だけ映像信号A
を演算処理して、その演算処理終了時点で映像信号Aの
取り込みを停止する機能のものが望ましい。
【0021】例えば画像処理装置(5)は、図2の
(ハ)の実線捜査線Ncに示すように、タイミング信号
Eの入力と同時に映像信号Aの取り込みと演算処理を開
始し、タイミング信号Eの入力から一定時間経過後に映
像信号Aの取り込みを停止する。この間の被検査物表面
(2)の検査される領域Mcは、不規則箇所(3)の検
査項目の内容によって決められる。例えば不規則箇所
(3)の有無だけを検査する場合の領域Mcは、数本の
連続する捜査線の領域でよい。また、不規則箇所(3)
の大きさを検査する場合の領域Mcは、不規則箇所
(3)の推定される最大幅が検査できる幅に設定すれば
よい。
【0022】このように画像処理装置(5)が映像信号
Aの取り込みを停止すると、画像処理装置(5)は次の
タイミング信号Eが入力されるまで動作を停止する。通
常、被検査物(1)の表面(2)の不規則箇所(3)は
稀に有るだけであるので、被検査物(1)の表面検査で
画像処理装置(5)が実働するのは稀である。そのた
め、画像処理装置(5)のメモリは、稀に検出される不
規則箇所(3)に備えた小容量のものを用意すればよ
い。
【0023】また、画像処理装置(5)は、図2の
(ニ)に示すように、被検査物表面(2)のある1捜査
線Ndの途中でタイミング信号Eが発生すると、捜査線
Ndからの所定本数の実線捜査線Neの領域Mdだけ映
像信号Aを取り込み、その演算処理をするようにしても
よい。
【0024】
【発明の効果】本発明によれば、映像装置が被検査物表
面を随時走査して、不規則箇所を撮像したときの映像信
号中の不規則変位信号の検出タイミングで、始めて映像
信号が画像処理装置に取り込まれて演算処理されるの
で、被検査物表面に不規則箇所が無い場合は画像処理装
置が動作せず、不規則箇所が有っても画像処理装置が一
時的に動作するだけであり、被検査物の表面検査の高速
化が可能となると共に、画像処理装置の画像データを記
憶するメモリの小容量化、低コスト化を容易にする効果
がある。
【0025】また、本発明は、被検査物表面を走査する
映像装置からの映像信号を随時に読み込み、必要時だけ
画像処理装置で演算処理するので、被検査物表面をリア
ルタイムで連続して高速で検査できる効果もある。特
に、被検査物がテープ状の長尺なもので、その表面を部
分的に連続して検査するような場合に、その連続検査の
高速化に有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法を説明するための図で、(イ)は被
検査物の表面検査装置の概略を示すブロック図、(ロ)
はその装置の各点の波形図
【図2】図1における被検査物表面の検査要領を説明す
るための図で、(イ)は被検査物表面の図、(ロ)〜
(ニ)は検査時の被検査物表面の図
【符号の説明】
1 被検査物 2 表面 3 不規則箇所 4 映像装置 5 画像処理装置 6 同期信号除去回路 7 比較回路 A 映像信号 B 映像信号 C 同期信号 D 不規則変位信号 E タイミング信号 F 基準信号

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査物表面を走査して撮像する映像装
    置からの映像信号を画像処理装置で演算処理すること
    で、被検査物の検査対象である不規則箇所の有無等を検
    査する画像処理方法であって、 映像装置の映像信号に含まれる、被検査物の不規則箇所
    に相当する不規則変位信号を、一定電圧の基準信号との
    比較から検出し、この検出のタイミング信号で映像信号
    を画像処理装置に取り込んで演算処理を行わせることを
    特徴とする画像処理方法。
  2. 【請求項2】 映像装置の映像信号に含まれる、被検査
    物の不規則箇所に相当する不規則変位信号を、一定電圧
    の基準信号との比較から検出し、この検出のタイミング
    信号で映像信号を画像処理装置に取り込んで、このとき
    の被検査物の1不規則箇所の検査に必要な所定の時間帯
    だけ映像信号の演算処理を行わせ、演算処理終了時点で
    画像処理装置への映像信号取り込みを停止させることを
    特徴とする請求項1記載の画像処理方法。
JP4012620A 1992-01-28 1992-01-28 画像処理方法 Pending JPH05203582A (ja)

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