JPH05203449A - ジャイロ装置 - Google Patents
ジャイロ装置Info
- Publication number
- JPH05203449A JPH05203449A JP4011984A JP1198492A JPH05203449A JP H05203449 A JPH05203449 A JP H05203449A JP 4011984 A JP4011984 A JP 4011984A JP 1198492 A JP1198492 A JP 1198492A JP H05203449 A JPH05203449 A JP H05203449A
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- JP
- Japan
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- bar member
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- capacitor
- vibrating bar
- gyro device
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はジャイロ装置に関し、特に、角速度
入力時の振動バー部材の変位をキャパシタンスの差とし
て検出し、超小型のジャイロ装置を得ることを目的とす
る。 【構成】 本発明によるジャイロ装置は、振動自在な振
動バー部材(3)と、基台(1)の第１面(1a)に絶縁層(4)を
介して設けられた導電板(6)と、基台(1)の第２面(1b)に
設けられた一対の電極(10,11)とを有し、前記振動バー
部材(3)と各電極(10,11)間に一対のコンデンサ(C1,C2)
を形成した構成である。
入力時の振動バー部材の変位をキャパシタンスの差とし
て検出し、超小型のジャイロ装置を得ることを目的とす
る。 【構成】 本発明によるジャイロ装置は、振動自在な振
動バー部材(3)と、基台(1)の第１面(1a)に絶縁層(4)を
介して設けられた導電板(6)と、基台(1)の第２面(1b)に
設けられた一対の電極(10,11)とを有し、前記振動バー
部材(3)と各電極(10,11)間に一対のコンデンサ(C1,C2)
を形成した構成である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ジャイロ装置に関し、
特に、角速度入力時の振動バー部材の変位をキャパシタ
ンスの差として検出し、超小型のジャイロ装置を得るた
めの新規な改良に関する。
特に、角速度入力時の振動バー部材の変位をキャパシタ
ンスの差として検出し、超小型のジャイロ装置を得るた
めの新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種のジャイロ
装置としては、例えば、実開平１−61611号公報に開示
された機械式の構成を挙げることができる。
装置としては、例えば、実開平１−61611号公報に開示
された機械式の構成を挙げることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のジャイロ装置
は、以上のように構成されていたため、次のような課題
が存在していた。すなわち、従来のジャイロ装置の場
合、モータにより回転する回転体に対して角速度が印加
された場合の回転体の変位をトルカ−コイルにより電気
的に検出する構成であるため、構成が極めて複雑とな
り、コストダウンを達成し安価な製品として量産するこ
とは不可能であった。
は、以上のように構成されていたため、次のような課題
が存在していた。すなわち、従来のジャイロ装置の場
合、モータにより回転する回転体に対して角速度が印加
された場合の回転体の変位をトルカ−コイルにより電気
的に検出する構成であるため、構成が極めて複雑とな
り、コストダウンを達成し安価な製品として量産するこ
とは不可能であった。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、角速度入力時の振動バー部
材の変位をキャパシタンスの差として検出し、超小型の
構成としたジャイロ装置を提供することを目的とする。
めになされたもので、特に、角速度入力時の振動バー部
材の変位をキャパシタンスの差として検出し、超小型の
構成としたジャイロ装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によるジャイロ装
置は、基台にサスペンションを介して振動自在に設けら
れ断面三角形をなす振動バー部材と、前記基台の第１面
に絶縁層を介して設けられた導電板と、前記基台の第２
面に設けられ導電リードを接続した第１電極及び第２電
極を有する絶縁板とを備えた構成である。
置は、基台にサスペンションを介して振動自在に設けら
れ断面三角形をなす振動バー部材と、前記基台の第１面
に絶縁層を介して設けられた導電板と、前記基台の第２
面に設けられ導電リードを接続した第１電極及び第２電
極を有する絶縁板とを備えた構成である。
【０００６】さらに詳細には、前記振動バー部材は前記
基台に片持状に設けられている構成である。
基台に片持状に設けられている構成である。
【０００７】
【作用】本発明によるジャイロ装置においては、振動バ
ー部材と各電極間に第１コンデンサ及び第２コンデンサ
を形成しているため、この振動バー部材が振動状態下で
外部から角速度入力があった場合、コリオリの力による
この振動バー部材の変位をキャパシタンスの差として検
出することができる。
ー部材と各電極間に第１コンデンサ及び第２コンデンサ
を形成しているため、この振動バー部材が振動状態下で
外部から角速度入力があった場合、コリオリの力による
この振動バー部材の変位をキャパシタンスの差として検
出することができる。
【０００８】
【実施例】以下、図面と共に本発明によるジャイロ装置
の好適な実施例について詳細に説明する。図１から図３
において符号１で示されるものは単結晶シリコン板等を
エッチング処理して得られた基台であり、この基台１に
は二本のサスペンション２を介して一体に形成された断
面三角形をなす振動バー部材３が振動自在に設けられて
いる。
の好適な実施例について詳細に説明する。図１から図３
において符号１で示されるものは単結晶シリコン板等を
エッチング処理して得られた基台であり、この基台１に
は二本のサスペンション２を介して一体に形成された断
面三角形をなす振動バー部材３が振動自在に設けられて
いる。
【０００９】前記基台１の第１面１ａには、絶縁層４及
び凹部５を有する嘆結晶シリコン等よりなる導電板６が
接合して設けられ、前記振動バー部材３の底面３ａは、
前記凹部５とは非接触状態で所定の間隔をあけて配設さ
れている。
び凹部５を有する嘆結晶シリコン等よりなる導電板６が
接合して設けられ、前記振動バー部材３の底面３ａは、
前記凹部５とは非接触状態で所定の間隔をあけて配設さ
れている。
【００１０】前記振動バー部材３と前記導電板６間に
は、図２で示すように、交流電圧からなる振動信号源７
の駆動信号７ａが印加されており、この基台１の第２面
１ｂには、各導電リード８，９に接続され互いに離間し
て設けられた第１電極１０及び第２電極１１を有しパイ
レックスガラス等からなる絶縁板１２が接合して設けら
れている。
は、図２で示すように、交流電圧からなる振動信号源７
の駆動信号７ａが印加されており、この基台１の第２面
１ｂには、各導電リード８，９に接続され互いに離間し
て設けられた第１電極１０及び第２電極１１を有しパイ
レックスガラス等からなる絶縁板１２が接合して設けら
れている。
【００１１】前記各電極１０，１１と振動バー部材３の
各斜面３ｂ，３ｃ間には、図２で示されるように第１コ
ンデンサＣ1及び第２コンデンサＣ2が形成され、各々所
要のキャパシタンスを有している。
各斜面３ｂ，３ｃ間には、図２で示されるように第１コ
ンデンサＣ1及び第２コンデンサＣ2が形成され、各々所
要のキャパシタンスを有している。
【００１２】次に、前述の構成において、まず、駆動信
号７ａを印加し、振動バー部材３を静電的に振動させた
状態で、外部から角速度ωの入力がなされた場合、この
振動バー部材３の振動は変位するため、各コンデンサＣ
1，Ｃ2間のキャパシタンスに差が表われ、この差を導電
リード８，９を介して取り出すことにより、角速度入力
の大きさを検出することができる。
号７ａを印加し、振動バー部材３を静電的に振動させた
状態で、外部から角速度ωの入力がなされた場合、この
振動バー部材３の振動は変位するため、各コンデンサＣ
1，Ｃ2間のキャパシタンスに差が表われ、この差を導電
リード８，９を介して取り出すことにより、角速度入力
の大きさを検出することができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によるジャイロ装置は、以上のよ
うに構成されているため、次のような効果を得ることが
できる。すなわち、角速度入力により振動する振動バー
部材の変位をキャパシタンスの差として検出することが
できるため、機械的な構成を大幅に簡略化することがで
き、超小型で安価なジャイロ装置を得ることができる。
うに構成されているため、次のような効果を得ることが
できる。すなわち、角速度入力により振動する振動バー
部材の変位をキャパシタンスの差として検出することが
できるため、機械的な構成を大幅に簡略化することがで
き、超小型で安価なジャイロ装置を得ることができる。
【図１】本発明によるジャイロ装置の要部を示す斜視図
である。
である。
【図２】動作原理を示す構成図である。
【図３】全体の分解図である。
１ 基台 １ａ 第１面 １ｂ 第２面 ２ サスペンション ３ 振動バー部材 ４ 絶縁層 ６ 導電板 ８，９ 導電リード １０ 第１電極 １１ 第２電極 １２ 絶縁板 Ｃ1 第１コンデンサ Ｃ2 第２コンデンサ
Claims (2)
- 【請求項１】 基台(1)にサスペンション(2)を介して振
動自在に設けられ断面三角形をなす振動バー部材(3)
と、前記基台(1)の第１面(1a)に絶縁層(4)を介して設け
られた導電板(6)と、前記基台(1)の第２面(1b)に設けら
れ導電リード(8,9)を接続した第１電極(10)及び第２電
極(11)を有する絶縁板(12)とを備え、前記各電極(10,1
1)と振動バー部材(3)との間で第１コンデンサ(C1)及び
第２コンデンサ(C2)を構成し、各コンデンサ(C1,C2)の
キャパシタンスの差により角速度入力を検出する構成で
あることを特徴とするジャイロ装置。 - 【請求項２】 前記振動バー部材(3)は前記基台(1)に片
持状に設けられていることを特徴とする請求項１記載の
ジャイロ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04011984A JP3138518B2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | ジャイロ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04011984A JP3138518B2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | ジャイロ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05203449A true JPH05203449A (ja) | 1993-08-10 |
| JP3138518B2 JP3138518B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=11792865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04011984A Expired - Fee Related JP3138518B2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | ジャイロ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3138518B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9740343B2 (en) | 2012-04-13 | 2017-08-22 | Apple Inc. | Capacitive sensing array modulation |
| US9030440B2 (en) | 2012-05-18 | 2015-05-12 | Apple Inc. | Capacitive sensor packaging |
| US9984270B2 (en) | 2013-08-05 | 2018-05-29 | Apple Inc. | Fingerprint sensor in an electronic device |
| US10296773B2 (en) | 2013-09-09 | 2019-05-21 | Apple Inc. | Capacitive sensing array having electrical isolation |
-
1992
- 1992-01-27 JP JP04011984A patent/JP3138518B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3138518B2 (ja) | 2001-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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