JPH05195219A - スパッタカソード - Google Patents
スパッタカソードInfo
- Publication number
- JPH05195219A JPH05195219A JP2442192A JP2442192A JPH05195219A JP H05195219 A JPH05195219 A JP H05195219A JP 2442192 A JP2442192 A JP 2442192A JP 2442192 A JP2442192 A JP 2442192A JP H05195219 A JPH05195219 A JP H05195219A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- magnet
- spindle
- shaft
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】円筒型ターゲット１に直結したスピンドル２を
マグネット５とともに回転可能、及び軸９もマグネット
６とともに回転可能する。マグネット５と６が金属板７
をはさんで形成しているマグネットカップリングによ
り、軸９にベルト１１を介してモーター１２から導入さ
れた回転運動は、磁力の作用によりターゲットへ伝えら
れる。 【効果】真空チャンバーのリークの心配がなく、また、
グリースにより真空を汚す恐れがなくなる。
マグネット５とともに回転可能、及び軸９もマグネット
６とともに回転可能する。マグネット５と６が金属板７
をはさんで形成しているマグネットカップリングによ
り、軸９にベルト１１を介してモーター１２から導入さ
れた回転運動は、磁力の作用によりターゲットへ伝えら
れる。 【効果】真空チャンバーのリークの心配がなく、また、
グリースにより真空を汚す恐れがなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は回転導入方法にマグネッ
トカップリングを用いた円筒型スパッタカソードに関す
るものである。
トカップリングを用いた円筒型スパッタカソードに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、円筒型ターゲットで内部に磁石と
冷却水管を有し、冷却水が内部全体を満たし、ターゲッ
トを冷却し、ターゲットを円筒軸のまわりに回転させな
がら放電を行うスパッタカソードの技術は、米国特許第
４３５６０７３号、特表昭５８−５００１７４号公報な
どにより知られている。
冷却水管を有し、冷却水が内部全体を満たし、ターゲッ
トを冷却し、ターゲットを円筒軸のまわりに回転させな
がら放電を行うスパッタカソードの技術は、米国特許第
４３５６０７３号、特表昭５８−５００１７４号公報な
どにより知られている。
【０００３】これらの技術においては、ターゲットの回
転導入方法として、ターゲットと直接連結され、ターゲ
ットと同一の回転軸を持つスピンドルの一部、または、
ターゲットとギアまたはベルトで連結され、ターゲット
とは別の回転軸を持つシャフトの一部を、チャンバーの
外部、すなわち大気中に露出させ、そこにベルトやギア
でモーターの回転運動を伝える方法がとられていた。
転導入方法として、ターゲットと直接連結され、ターゲ
ットと同一の回転軸を持つスピンドルの一部、または、
ターゲットとギアまたはベルトで連結され、ターゲット
とは別の回転軸を持つシャフトの一部を、チャンバーの
外部、すなわち大気中に露出させ、そこにベルトやギア
でモーターの回転運動を伝える方法がとられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前項で述べたような、
スピンドルまたはシャフトを用いた回転導入方法では、
構造上、スピンドルまたはシャフトの一端は真空中また
は冷却水中で、残りの一端は大気中となっている。すな
わち、回転しながら真空−大気または冷却水−大気のシ
ールが行われている。従来、このようなシール方法には
スピンドルやシャフトのまわりに直接Ｏリングを当てる
か、オイルシール等が用いられてきた。しかしながら、
このような方法ではスピンドルまたはシャフトの摩耗に
よる損傷や回転軸の偏心等でシール不全が起きる可能性
がある。
スピンドルまたはシャフトを用いた回転導入方法では、
構造上、スピンドルまたはシャフトの一端は真空中また
は冷却水中で、残りの一端は大気中となっている。すな
わち、回転しながら真空−大気または冷却水−大気のシ
ールが行われている。従来、このようなシール方法には
スピンドルやシャフトのまわりに直接Ｏリングを当てる
か、オイルシール等が用いられてきた。しかしながら、
このような方法ではスピンドルまたはシャフトの摩耗に
よる損傷や回転軸の偏心等でシール不全が起きる可能性
がある。
【０００５】図２は従来からのスパッタカソードにおけ
る回転導入方法を示す一部断面図である。図では従来の
技術を特徴的に示す部分のみを描き、他は省略した。２
１は円筒型ターゲットの一部であり、２２はターゲット
に直結したスピンドルである。２４はチャンバー壁であ
り、ターゲットの存在する真空部分と大気の部分を分け
ている。スピンドル２２はＯ−リング２３を介し、チャ
ンバー壁２４によって支えられている。スピンドル２２
は回転可能な状態になっている。
る回転導入方法を示す一部断面図である。図では従来の
技術を特徴的に示す部分のみを描き、他は省略した。２
１は円筒型ターゲットの一部であり、２２はターゲット
に直結したスピンドルである。２４はチャンバー壁であ
り、ターゲットの存在する真空部分と大気の部分を分け
ている。スピンドル２２はＯ−リング２３を介し、チャ
ンバー壁２４によって支えられている。スピンドル２２
は回転可能な状態になっている。
【０００６】スピンドル２２の一部は大気側に露出して
おり、そこで、ベルト２５を介してモーター２６より回
転運動が導入されるようなっている。この方法では、大
気−真空のシールはＯ−リング２３とスピンドル２２の
接触面で行なわれているが、スピンドルが回転しており
接触面でＯ−リングまたはスピンドルの摩耗が発生する
恐れがある。
おり、そこで、ベルト２５を介してモーター２６より回
転運動が導入されるようなっている。この方法では、大
気−真空のシールはＯ−リング２３とスピンドル２２の
接触面で行なわれているが、スピンドルが回転しており
接触面でＯ−リングまたはスピンドルの摩耗が発生する
恐れがある。
【０００７】また、従来の方法では、Ｏリングまたはオ
イルシールには常にグリース等の潤滑剤が多量に塗布さ
れているが、このグリースが真空側に引き込まれ、また
は冷却水によって流され、真空または冷却水を汚すと同
時に、グリースを補充しなくてはならない。特に生産用
スパッタ装置のターゲットとして使用する場合、スパッ
タ膜の品質およびメンテナンスを考慮すると、このよう
なシール方法は適当ではないと考えられる。
イルシールには常にグリース等の潤滑剤が多量に塗布さ
れているが、このグリースが真空側に引き込まれ、また
は冷却水によって流され、真空または冷却水を汚すと同
時に、グリースを補充しなくてはならない。特に生産用
スパッタ装置のターゲットとして使用する場合、スパッ
タ膜の品質およびメンテナンスを考慮すると、このよう
なシール方法は適当ではないと考えられる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の問題点
を解決すべくなされたものであり、ターゲットが円筒型
で円筒内部に磁石と冷却用液体用配管を有し、冷却用液
体が内部を通ってターゲットを冷却し、ターゲットを円
筒軸のまわりに回転させながら放電を行うスパッタカソ
ードにおいて、マグネットカップリングによりターゲッ
トに回転運動を導入するようにしたスパッタカソードに
関するものである。
を解決すべくなされたものであり、ターゲットが円筒型
で円筒内部に磁石と冷却用液体用配管を有し、冷却用液
体が内部を通ってターゲットを冷却し、ターゲットを円
筒軸のまわりに回転させながら放電を行うスパッタカソ
ードにおいて、マグネットカップリングによりターゲッ
トに回転運動を導入するようにしたスパッタカソードに
関するものである。
【０００９】マグネットカップリングにおいては、一対
のマグネットの間に金属板が挿入されており、金属板を
はさむ一対のマグネットの磁力の作用により、回転を外
部から内部に伝えることができる。金属板はチャンバー
壁の役目をするので、真空漏れの恐れは全くない。
のマグネットの間に金属板が挿入されており、金属板を
はさむ一対のマグネットの磁力の作用により、回転を外
部から内部に伝えることができる。金属板はチャンバー
壁の役目をするので、真空漏れの恐れは全くない。
【００１０】図１は本発明のスパッタカソードにおける
回転導入方法を示す一部断面図である。図２と同様、図
では本発明に特徴的な部分のみを描き、他の部分は省略
した。１は円筒型ターゲットであり、２は円筒型ターゲ
ットに直結したスピンドルである。スピンドル２の先端
にはマグネット５が固定されている。３はエンドブロッ
クであり、上部でＯ−リングにより真空シールが施さ
れ、チャンバー壁１０に固定されている。
回転導入方法を示す一部断面図である。図２と同様、図
では本発明に特徴的な部分のみを描き、他の部分は省略
した。１は円筒型ターゲットであり、２は円筒型ターゲ
ットに直結したスピンドルである。スピンドル２の先端
にはマグネット５が固定されている。３はエンドブロッ
クであり、上部でＯ−リングにより真空シールが施さ
れ、チャンバー壁１０に固定されている。
【００１１】スピンドル２はベアリング４を介し、エン
ドブロック３により支えられており、ターゲット、マグ
ネット５とともに回転可能な状態になっている。同様に
軸９がベアリング８を介し、エンドブロック３により支
えられており、軸は回転可能な状態になっている。軸９
の先端にはマグネット６が固定されている。
ドブロック３により支えられており、ターゲット、マグ
ネット５とともに回転可能な状態になっている。同様に
軸９がベアリング８を介し、エンドブロック３により支
えられており、軸は回転可能な状態になっている。軸９
の先端にはマグネット６が固定されている。
【００１２】軸９にはベルト１１を介し、モーター１２
より回転運動が導入されるようになっている。この一対
のマグネットの間には金属板７が存在するが、この金属
板は大気と真空を分けている。すなわち、マグネット６
は大気中に存在し、マグネット５は真空中に存在する。
軸９の回転運動は磁力の作用により、マグネット６より
マグネット５に伝えられ、さらにスピンドル、ターゲッ
トへと伝えられる。
より回転運動が導入されるようになっている。この一対
のマグネットの間には金属板７が存在するが、この金属
板は大気と真空を分けている。すなわち、マグネット６
は大気中に存在し、マグネット５は真空中に存在する。
軸９の回転運動は磁力の作用により、マグネット６より
マグネット５に伝えられ、さらにスピンドル、ターゲッ
トへと伝えられる。
【００１３】以上のように、この方法では大気−真空の
シール部はエンドブロックとチャンバー壁の固定部だけ
であり、図２で示した従来の方法の回転しながら真空シ
ールを施す方法に比べて、シールの信頼性が格段に向上
する。
シール部はエンドブロックとチャンバー壁の固定部だけ
であり、図２で示した従来の方法の回転しながら真空シ
ールを施す方法に比べて、シールの信頼性が格段に向上
する。
【００１４】
【実施例】図１で示した回転導入方法による円筒型スパ
ッタターゲットを持つスパッタ装置を作成した。ここで
ターゲットはＴｉとし、外径７．６２ｃｍ，内径５．０
８ｃｍとした。スピンドル２と軸９はステンレスで作成
した。マグネット５、６はＮｄ系磁石を用いた。エンド
ブロック３、チャンバー壁１０はステンレスで作成し
た。チャンバー上部にモーター１２を固定し、軸９とモ
ーターの軸をゴム製のベルト１１で繋いだ。
ッタターゲットを持つスパッタ装置を作成した。ここで
ターゲットはＴｉとし、外径７．６２ｃｍ，内径５．０
８ｃｍとした。スピンドル２と軸９はステンレスで作成
した。マグネット５、６はＮｄ系磁石を用いた。エンド
ブロック３、チャンバー壁１０はステンレスで作成し
た。チャンバー上部にモーター１２を固定し、軸９とモ
ーターの軸をゴム製のベルト１１で繋いだ。
【００１５】次に、チャンバーを２×１０-6Ｔｏｒｒ以
下の真空に排気し、ターゲットを回転させた。従来の方
法では大気−真空のシール性に不安の生ずる１００ＲＰ
Ｍ以上の高速においても安定して回転させることができ
た。
下の真空に排気し、ターゲットを回転させた。従来の方
法では大気−真空のシール性に不安の生ずる１００ＲＰ
Ｍ以上の高速においても安定して回転させることができ
た。
【００１６】
【発明の効果】本発明はターゲット回転導入部にマグネ
ットカップリングを用いることにより、真空チャンバー
のリークの心配がなく、またグリースにより真空や冷却
水を汚す恐れを全くなくすることができる。
ットカップリングを用いることにより、真空チャンバー
のリークの心配がなく、またグリースにより真空や冷却
水を汚す恐れを全くなくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスパッタカソードにおける回転導入方
法を示す一部断面図
法を示す一部断面図
【図２】従来のスパッタカソードにおける回転導入方法
を示す一部断面図
を示す一部断面図
１：円筒型ターゲット ２：スピンドル ３：エンドブロック ４：ベアリング ５、６：マグネット ７：金属板 ８：ベアリング ９：軸 １０：チャンバー壁 １１：ベルト １２：モーター ２１：円筒型ターゲット ２２：スピンドル ２３：Ｏ−リング ２４：チャンバー壁 ２５：ベルト ２６：モーター
Claims (1)
- 【請求項１】ターゲットが円筒型で円筒内部に磁石と冷
却用液体用配管を有し、冷却用液体が内部を通ってター
ゲットを冷却し、ターゲットを円筒軸のまわりに回転さ
せながら放電を行うスパッタカソードにおいて、マグネ
ットカップリングによりターゲットに回転運動を導入す
るようにしたスパッタカソード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2442192A JPH05195219A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | スパッタカソード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2442192A JPH05195219A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | スパッタカソード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05195219A true JPH05195219A (ja) | 1993-08-03 |
Family
ID=12137695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2442192A Withdrawn JPH05195219A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | スパッタカソード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05195219A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003105595A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Hideyuki Kobayashi | メッキ装置における製品ガイド機構 |
| KR100738870B1 (ko) * | 2004-11-05 | 2007-07-12 | 어플라이드 머티어리얼즈 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 | 회전형 타깃관 스퍼터링용 음극설비 |
-
1992
- 1992-01-14 JP JP2442192A patent/JPH05195219A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003105595A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Hideyuki Kobayashi | メッキ装置における製品ガイド機構 |
| KR100738870B1 (ko) * | 2004-11-05 | 2007-07-12 | 어플라이드 머티어리얼즈 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 | 회전형 타깃관 스퍼터링용 음극설비 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |