JPH05190644A - Carrier cart of plate carrier - Google Patents
Carrier cart of plate carrierInfo
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- JPH05190644A JPH05190644A JP4001936A JP193692A JPH05190644A JP H05190644 A JPH05190644 A JP H05190644A JP 4001936 A JP4001936 A JP 4001936A JP 193692 A JP193692 A JP 193692A JP H05190644 A JPH05190644 A JP H05190644A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は大型のプレートの複数枚
を段積み状態で収納するキャリアを自在に搬送するため
のワゴン車に関するものであり、特に液晶デバイスの製
造に使われる投影露光装置、レーザリペア装置等へガラ
スプレートを供給するための搬送車に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wagon for freely carrying a carrier for accommodating a plurality of large plates in a stacked state, and more particularly to a projection exposure apparatus used for manufacturing liquid crystal devices, The present invention relates to a carrier for supplying a glass plate to a laser repair device or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶デバイス製造装置では、４０cm角以
上のサイズをもつガラスプレートに対して所望の加工を
施すことが行われている。投影露光装置においては、そ
のガラスプレートの表面にレジスト層が塗布され、液晶
表示パネル用のセルパターン配線パターン等を有するレ
チクル（マスク）を、投影光学系を介してレジスト層に
結像投影している。通常、露光対象となるガラスプレー
トはキャリアと呼ばれる専用の収納箱に保管される。キ
ャリアはその内壁に複数の段部を有し、この段部にガラ
スプレートの周辺が水平に載置される。またキャリア内
には同一サイズのプレートの複数枚が垂直方向に一定の
間隙をもって積み重ねられる。このため、プレートを満
載したキャリアの重量は相当なものとなる。また、この
ようなキャリアは投影露光装置のプレートローダ部のキ
ャリアステーション上に載置される。そしてキャリアス
テーション上のキャリア内から１枚のプレートを取り出
して投影露光装置またはレーザリペア装置のプレートス
テージ上へ搬送するために、多くの露光装置は自動ロー
ディング装置を備えている。2. Description of the Related Art In a liquid crystal device manufacturing apparatus, a glass plate having a size of 40 cm square or more is subjected to desired processing. In the projection exposure apparatus, a resist layer is applied to the surface of the glass plate, and a reticle (mask) having a cell pattern wiring pattern for a liquid crystal display panel is image-projected onto the resist layer via a projection optical system. There is. Usually, the glass plate to be exposed is stored in a dedicated storage box called a carrier. The carrier has a plurality of steps on its inner wall, and the periphery of the glass plate is horizontally placed on the steps. In addition, a plurality of plates of the same size are stacked in the carrier with a certain gap in the vertical direction. For this reason, the weight of the carrier loaded with the plates is considerable. Further, such a carrier is placed on the carrier station of the plate loader unit of the projection exposure apparatus. Then, in order to take out one plate from the carrier on the carrier station and convey it onto the plate stage of the projection exposure apparatus or the laser repair apparatus, many exposure apparatuses are equipped with an automatic loading device.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、重量のあるキャリアを人手で運搬してキャリ
アステーション上に載置しなければならず、その労力は
計り知れないものがあった。逆にその労力を考慮する
と、人手で運搬可能なキャリアの大きさ、重量、および
収納プレート枚数に制限を加えなければならなかった。However, in the conventional apparatus, a heavy carrier must be manually carried and placed on the carrier station, and the labor thereof is immeasurable. On the contrary, in consideration of the labor, it is necessary to limit the size and weight of the carrier that can be manually carried and the number of storage plates.
【０００４】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たもので、キャリアの大きさ、重量等に制限されること
なくキャリアを運搬可動にするとともに、露光装置やレ
ーザリペア装置等のキャリアステーション部への受け渡
しを容易にした搬送車を得ることを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and makes the carrier movable without being restricted by the size and weight of the carrier, and the carrier station such as an exposure apparatus and a laser repair apparatus. The purpose is to obtain a carrier that can be easily delivered to the department.
【０００５】[0005]
【課題を解決する為の手段】上記問題点の解決のために
本発明では、キャリアを載せて自在に走行可能なワゴン
車（台車）を設け、さらにそのワゴン車上でキャリアが
水平面内で２次元に所定量だけ移動可能なようにスライ
ダー部を設けるようにし、さらにキャリアの移動を係止
する手段を設けた。In order to solve the above problems, the present invention provides a wagon (carriage) on which a carrier is mounted and which can travel freely, and the carrier is mounted on the wagon in a horizontal plane. A slider portion is provided so as to be movable in a predetermined dimension, and a means for locking the movement of the carrier is provided.
【０００６】[0006]
【作用】本発明においては、キャリアがワゴン上で２次
元に可動に設けられているため、ワゴン上からキャリア
を受け取るキャリア受け取り部が、安定な受け渡し動作
を行なうことができる。またキャリアをワゴンに載置し
た状態で、走行させる際にはキャリアが不用意に移動す
ることがないようにキャリアをワゴンに係止するための
手段を設けたので、ワゴンの移動時の振動等によるキャ
リアの位置ずれ等が防止される。In the present invention, since the carrier is provided so as to be movable two-dimensionally on the wagon, the carrier receiving portion that receives the carrier from the wagon can perform a stable delivery operation. In addition, since there is a means for locking the carrier on the wagon so that the carrier does not move carelessly when traveling while the carrier is placed on the wagon, vibration etc. when moving the wagon Positional deviation of the carrier due to the above is prevented.
【０００７】[0007]
【実施例】図１は本発明の実施例によるワゴン（搬送
車）１１をステッパー方式の投影露光装置のためのプレ
ート供給に適用した場合の斜視図である。図１におい
て、水銀放電灯等の光源２からの照明光は楕円鏡１で集
光された後、不図示の照明光学系を介してレチクルＲを
均一な照度分布で照射する。レチクルＲに形成されたパ
ターンの透過光は投影レンズＰＬに入射し、その結像面
にパターン像として集光される。プレートＰは投影レン
ズＰＬの結像面と一致するようにホルダー３上に載置さ
れる。ホルダー３は、ベース５上をＸ方向とＹ方向とに
移動可能なＸＹステージ４上に取り付けられる。ＸＹス
テージ４はステップアンドリピート方式で移動する様に
作られているので、その移動ストロークもほぼプレート
のサイズ程度になる。1 is a perspective view when a wagon (transportation vehicle) 11 according to an embodiment of the present invention is applied to plate supply for a stepper type projection exposure apparatus. In FIG. 1, illumination light from a light source 2 such as a mercury discharge lamp is condensed by an elliptic mirror 1 and then is irradiated on a reticle R with a uniform illuminance distribution via an illumination optical system (not shown). The transmitted light of the pattern formed on the reticle R enters the projection lens PL and is condensed as a pattern image on the image forming surface thereof. The plate P is placed on the holder 3 so as to coincide with the image plane of the projection lens PL. The holder 3 is mounted on the XY stage 4 which is movable on the base 5 in the X and Y directions. Since the XY stage 4 is made to move by the step-and-repeat method, its moving stroke is also about the size of the plate.
【０００８】さらにホルダー３上のプレートＰを交換す
るために、露光装置の正面側にはプレートローダ７が設
けられている。ローダ７は、キャリア８内のプレートＰ
とホルダー３上のプレートＰとを交換するために、直進
移動と旋回とが可能なアーム６を備えている。またアー
ム６は必要に応じて上下方向にも可動に設けられる。そ
してアーム６が図１の状態から反時計方向に９０°だけ
旋回した位置に、キャリア８が配置される。図１ではキ
ャリア８の下方にワゴン１１が待機した状態を示し、キ
ャリア８の底部は上下動機構１０によって上下動するエ
レベータ部９の上に載置されている。上下動機構１０は
ベース５、（及びプレートローダ部７）に対して水平面
内で予め定められた位置関係に配置される。またキャリ
ア８には、図１では示していないが、オペレータが運搬
し易いような取手が設けられている。図１でも明らかな
ように、ワゴン１１には４個のキャスターが設けられ、
クリーンルーム内の床上を自在に移動させることができ
る。また図１の露光装置本体、プレートローダ部、上下
動駆動部１０、エレベータ部９、及びキャリア８は、通
常はクラス１０程度のクリーンチャンバー内に収納され
るが、ワゴン１１とキャリア８の出し入れのために、チ
ャンバー正面側に専用の扉を設け、この扉を開けた状態
でワゴン１１をエレベータ部９の方向へ進入させ、キャ
リア８をエレベータ部９へ受け渡した後は、ワゴン１１
のみをチャンバー外へ退出させて扉を閉じるようにす
る。Further, in order to replace the plate P on the holder 3, a plate loader 7 is provided on the front side of the exposure apparatus. The loader 7 is a plate P in the carrier 8.
In order to exchange the plate P on the holder 3, an arm 6 that can move straight and move is provided. Further, the arm 6 is also movably provided in the vertical direction as required. Then, the carrier 8 is arranged at a position where the arm 6 is turned counterclockwise by 90 ° from the state of FIG. FIG. 1 shows a state in which the wagon 11 stands by below the carrier 8, and the bottom of the carrier 8 is placed on an elevator unit 9 that moves up and down by a vertically moving mechanism 10. The vertical movement mechanism 10 is arranged in a predetermined positional relationship in the horizontal plane with respect to the base 5 (and the plate loader portion 7). Although not shown in FIG. 1, the carrier 8 is provided with a handle which is easy for an operator to carry. As is clear from FIG. 1, the wagon 11 is provided with four casters,
It can be moved freely on the floor in the clean room. The exposure apparatus main body, plate loader unit, vertical movement drive unit 10, elevator unit 9 and carrier 8 shown in FIG. 1 are normally housed in a clean chamber of class 10 or so. For this purpose, a dedicated door is provided on the front side of the chamber, the wagon 11 is advanced toward the elevator part 9 with the door opened, and the carrier 8 is handed over to the elevator part 9.
Only exit the chamber to close the door.
【０００９】さて、図２は図１に示したワゴン１１の状
態を上方から見た図であり、図３は図２中のＡＡ矢視断
面図である。また図４はキャリア８の底板８の平面図で
ある。図２、図３において、ワゴン車１１の後部にはオ
ペレータが運搬し易いような取手１１Ａが設けられ、ワ
ゴン車１１の底部には床面上を転動するキャスター１１
Ｂが設けられる。ワゴン車１１の先端から中央付近まで
は、上下動用のエレベータ部９が進入し得るように切り
取られている。図３はエレベータ部９が最下方に位置し
た状態である。図２中の斜線部分はキャリア８が載置さ
れる領域を表わし、エレベータ部９が図３のように下方
にあるとき、キャリア８の底板８Ａは、キャリア載置板
２２上に保持される。この載置板２２はエレベータ部９
の上昇によって干渉しないようにコの字状に作られ、キ
ャリア８の底板８Ａの周辺部を保持する。またキャリア
８を載置板２２上で位置決めするために、底板８Ａには
図４のように２つの位置決め穴８Ｂ1 、８Ｂ2 がＸ方向
に離れて形成されている。この穴のうち穴８Ｂ2 はＸ方
向に延びた長穴となっている。そして２つの穴８Ｂ 1 、
８Ｂ2 は図２、図３に示すように載置板２２上に突出し
た位置決めピン２１Ｃ、２１Ｄに係合する。また底板８
Ａの２つの穴８Ｂ1 、８Ｂ2 の内側には、エレベータ部
９の載置面上に突出した位置決めピン２１Ａ、２１Ｂと
係合し得る位置決め穴８Ｂ3 、８Ｂ4 が形成されてい
る。これらピン２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄは図３
にあるように、先端（上端）部がテーパになっており、
各穴との係合を容易にしてある。さらに、載置板２２は
一対のリニアガイド（スライド機構）２３を介して中間
板２４上に取り付けられ、Ｘ方向（図３の紙面と垂直な
方向）に一定量だけ可動となっている。そして中間板２
４は一対のリニアガイド（スライド機構）２５を介して
ワゴン車１１上に取り付けられ、Ｙ方向（図３の紙面内
左右方向）に一定量だけ可動となっている。尚、上記中
間板２４も載置板２２と同じ形状、寸法に作られてい
る。また載置板２２、中間板２４はそのままではワゴン
車１１上で任意の方向に移動してしまうので、ワゴン車
１１に対して係止するためのロックピン２６が設けられ
る。ロックピン２６はオペレータが操作しやすいよう
に、手押し用の取手１１Ａとキャリア８との間に配置さ
れ、載置板２２、中間板２４の夫々に形成されたピン穴
を貫通してワゴン車１１のピン穴まで達するように作ら
れている。このロックピン２６によって載置板２２はＸ
方向の移動ストローク（例えば数mm〜１０mm程度）のほ
ぼ中間にロックされ、中間板２４はＹ方向の移動ストロ
ーク（例えば数mm〜１０mm程度）のほぼ中間にロックさ
れる。FIG. 2 shows the shape of the wagon 11 shown in FIG.
FIG. 3 is a view of the state viewed from above, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
FIG. FIG. 4 is a plan view of the bottom plate 8 of the carrier 8.
is there. 2 and 3, the rear portion of the wagon vehicle 11 has an
A handle 11A is provided so that the operator can easily carry it.
At the bottom of the trolley car 11, casters 11 rolling on the floor surface
B is provided. From the tip of the wagon 11 to near the center
Is cut so that the elevator part 9 for vertical movement can enter.
Has been taken. 3 shows that the elevator part 9 is located at the bottom
It is in a state of being. The carrier 8 is placed on the shaded area in FIG.
Represents the area where the elevator section 9 is downward as shown in FIG.
The bottom plate 8A of the carrier 8 is a carrier mounting plate.
Held on 22. This mounting plate 22 is used for the elevator section 9
It is made in a U shape so as not to interfere with the rise of
The peripheral portion of the bottom plate 8A of the carrier 8 is held. Also career
In order to position 8 on the mounting plate 22, the bottom plate 8A has
Two positioning holes 8B as shown in FIG.1, 8B2Is in the X direction
Are formed apart. Hole 8B of this hole2Is X
It is a long hole extending in the direction. And two holes 8B 1,
8B2Is projected onto the mounting plate 22 as shown in FIGS.
It engages with the positioning pins 21C and 21D. Also the bottom plate 8
2 holes 8A1, 8B2Inside the elevator section
Positioning pins 21A and 21B protruding on the mounting surface of 9
Positioning hole 8B that can be engaged3, 8BFourIs formed
It These pins 21A, 21B, 21C and 21D are shown in FIG.
As shown in, the tip (upper end) is tapered,
The engagement with each hole is facilitated. Furthermore, the mounting plate 22
Intermediate via a pair of linear guides (slide mechanism) 23
It is mounted on the plate 24 and is in the X direction (perpendicular to the plane of FIG. 3).
It is movable by a fixed amount in the direction). And the intermediate plate 2
4 through a pair of linear guides (slide mechanism) 25
It is mounted on the wagon wheel 11 and is in the Y direction (in the plane of FIG. 3).
It is movable in the left-right direction by a fixed amount. Incidentally, in the above
The interstitial plate 24 is also made in the same shape and size as the mounting plate 22.
It The mounting plate 22 and the intermediate plate 24 are wagons as they are.
Since it will move in any direction on the car 11, it is a wagon car
A lock pin 26 for locking with respect to 11 is provided
It The lock pin 26 is easy for the operator to operate.
Is placed between the handle 11A for pushing and the carrier 8.
And pin holes formed in the mounting plate 22 and the intermediate plate 24, respectively.
Made so that it reaches through to the pin hole of the wagon 11
Has been. The mounting plate 22 is X
Direction movement stroke (for example, several mm to 10 mm)
The intermediate plate 24 is locked in the middle, and the intermediate plate 24 moves in the Y direction.
Locked in the middle of the peak (for example, several mm to 10 mm)
Be done.
【００１０】ところでワゴン車１１をエレベータ部９に
対してＸ−Ｙ平面内で位置決めするために、ワゴン車１
１の先端部下方でＸ方向に離れた２ケ所に位置決めロー
ラ２７Ａ、２７Ｂが突出して軸支される。これらローラ
２７Ａ、２７ＢはＸ−Ｙ平面と垂直な回転軸を有し、Ｘ
−Ｙ平面内で回転可能に設けられる。一方、ローラ２７
Ａと対向する上下動駆動部１０の構造体部分には、Ｖ型
駒２８が設けられ、ローラ２７Ｂと対向する構造体部分
には平型駒２９が設けられる。Ｖ型駒２８はローラ２７
ＡをＸ方向とＹ方向の両方向に関して位置規定し、平型
駒２９はＹ方向に関してローラ２７Ｂを位置規定する。
従ってローラ２７Ａ、２７Ｂが対応する駒２８、２９に
当接するようにワゴン車１１を位置決めすると、ワゴン
車１１は自ずと図２のようにエレベータ部９に対して位
置合わせされる。またその状態で、載置板２２、中間板
２４が移動ストローク内で移動しても、エレベータ部９
と接触、もしくは当接しないようになっている。さらに
図２のようにローラ２７Ａ、２７Ｂによって位置決めが
達成された状態のとき、エレベータ部９に植設されたピ
ン２１Ａ、２１Ｂはキャリア８の底板８Ａの穴８Ｂ3 、
８Ｂ4 と正確に上下方向で対向することになる。By the way, in order to position the wagon wheel 11 with respect to the elevator section 9 in the XY plane, the wagon wheel 1
Positioning rollers 27A and 27B project and are axially supported at two locations separated from each other in the X direction below the tip of the No. 1 unit. These rollers 27A and 27B have a rotation axis perpendicular to the XY plane,
-It is provided so as to be rotatable in the Y plane. On the other hand, the roller 27
A V-shaped piece 28 is provided in the structure portion of the vertical movement drive unit 10 facing A, and a flat-shaped piece 29 is provided in the structure portion facing the roller 27B. The V-shaped piece 28 is a roller 27
The position A is defined in both the X direction and the Y direction, and the flat piece 29 positions the roller 27B in the Y direction.
Therefore, when the wagon wheel 11 is positioned so that the rollers 27A and 27B come into contact with the corresponding pieces 28 and 29, the wagon wheel 11 is naturally aligned with the elevator section 9 as shown in FIG. Further, in this state, even if the mounting plate 22 and the intermediate plate 24 move within the moving stroke, the elevator section 9
It does not come into contact with or come into contact with. Further, when the positioning is achieved by the rollers 27A and 27B as shown in FIG. 2, the pins 21A and 21B planted in the elevator part 9 are provided with holes 8B 3 in the bottom plate 8A of the carrier 8.
8B 4 will face exactly in the vertical direction.
【００１１】以上のような構成において、図１の露光装
置にプレートキャリア８をセットするには、ワゴン車１
１上の載置板２２、中間板２４をロックピン２６で係止
した状態で、キャリア８をピン２１Ｃ、２１Ｄと係合す
るように載置板２２上に載置する。オペレータはその状
態でワゴン車１１を露光装置のところまで押していき、
チャンバーの正面側の扉を開き、チャンバー内にワゴン
車１１を進入させる。このとき位置決めローラ２７Ａ、
２７Ｂが対応する駒２８、２９に確実に当接するように
取手１１ＡをＹ方向に押圧する。もちろん、このときエ
レベータ部９は図３のように下方の退避位置にセットさ
れている。In order to set the plate carrier 8 in the exposure apparatus of FIG.
The carrier 8 is placed on the placing plate 22 so that the carrier 8 is engaged with the pins 21C and 21D in a state where the placing plate 22 and the intermediate plate 24 on the 1 are locked by the lock pins 26. The operator pushes the wagon 11 to the exposure device in that state,
Open the door on the front side of the chamber and let the wagon 11 enter the chamber. At this time, the positioning roller 27A,
The handle 11A is pressed in the Y direction so that 27B surely contacts the corresponding pieces 28 and 29. Of course, at this time, the elevator part 9 is set at the lower retracted position as shown in FIG.
【００１２】次にロックピン２６を引きぬいて載置板２
２、中間板２４を運動可能にする。その後、チャンバー
の扉近傍に設けられたスイッチを押すと、上下動駆動部
１０はエレベータ部９を上昇させ、キャリア８は載置板
２２からエレベータ部９へ受け渡される。そしてエレベ
ータ部９が所定の高さ位置で停止すると、オペレータは
ワゴン車１１をチャンバーの扉から引き出し、チャンバ
ーの扉を閉じてスタートスイッチを押す。これにより、
搬送アーム６はキャリア８内のプレートＰの搬送及び露
光装置の動作が開始する。尚、エレベータ部９がキャリ
ア受け取りのために上昇した位置では、キャリア８内の
最下段のプレートがアーム６によって取り出せるように
なっており、エレベータ部９は露光処理の枚数によって
一段ずつキャリア８を下方へ移動させていく。Next, the lock pin 26 is pulled out and the mounting plate 2 is placed.
2. Make the intermediate plate 24 movable. Then, when a switch provided near the door of the chamber is pressed, the vertical movement driving unit 10 raises the elevator unit 9, and the carrier 8 is transferred from the mounting plate 22 to the elevator unit 9. When the elevator unit 9 stops at a predetermined height position, the operator pulls out the wagon 11 from the chamber door, closes the chamber door, and presses the start switch. This allows
The transfer arm 6 starts the transfer of the plate P in the carrier 8 and the operation of the exposure apparatus. At the position where the elevator 9 is raised to receive the carrier, the lowermost plate in the carrier 8 can be taken out by the arm 6, and the elevator 9 lowers the carrier 8 step by step depending on the number of exposure processes. Move to.
【００１３】さて、キャリア８内の全プレートに対する
露光が終了したら、エレベータ部９はキャリア８を最も
上方へ移動させる。その段階でチャンバー外壁に設けら
れたアラーム（パトライト等）が起動され、その露光装
置がキャリア交換を要求していることを表示する。この
アラームを知ったオペレータは、ロックピン２６で載置
板２２を規制した空のワゴン車１１を押して行き、チャ
ンバーの扉を開いた後、ワゴン車１１を位置決め位置ま
で押す。ローラ２７Ａ、２７Ｂ、駒２８、２９によって
ワゴン車１１の位置出しができたら、オペレータはロッ
クピン２６を引きぬくとともに、エレベータ部９を降下
させるようにスイッチを押す。これによってエレベータ
部９上のキャリア８は載置板２２上に受け渡され、エレ
ベータ部９は下方の退避位置まで移動して停止する。そ
の後オペレータはロックピン２６によって載置板２２を
係止し、ワゴン車１１をチャンバー内から引き出す。When the exposure of all the plates in the carrier 8 is completed, the elevator unit 9 moves the carrier 8 to the uppermost position. At that stage, an alarm (such as a patrol light) provided on the outer wall of the chamber is activated to display that the exposure apparatus requires carrier exchange. The operator who knows this alarm pushes the empty wagon wheel 11 which controls the mounting plate 22 with the lock pin 26, opens the door of the chamber, and then pushes the wagon wheel 11 to the positioning position. When the wagon wheel 11 is positioned by the rollers 27A, 27B and the pieces 28, 29, the operator pulls out the lock pin 26 and presses the switch to lower the elevator section 9. As a result, the carrier 8 on the elevator section 9 is transferred onto the mounting plate 22, and the elevator section 9 moves to the lower retracted position and stops. After that, the operator locks the mounting plate 22 with the lock pin 26 and pulls the wagon wheel 11 out of the chamber.
【００１４】以上、本実施例では、ワゴン車１１の載置
板２２とエレベータ部９との間でキャリアを受け渡すと
き、載置板２２は２次元に可動となっているため、各ピ
ン２１Ａ〜２１Ｄと底板８Ａの穴８Ｂ1 〜８Ｂ4 との係
合の際に不要な力が加わらないようになる。すなわち受
け渡しの際にピン２１Ａ〜２１Ｄと対応する穴８Ｂ1 〜
８Ｂ4 とがわずかにずれて対向していたとしても、載置
板２２が自在にＸＹ方向に微動するため、ピン２１Ａ〜
２１Ｄと穴８Ｂ1 〜８Ｂ4 とは確実に係合することにな
る。As described above, in this embodiment, when the carrier is transferred between the mounting plate 22 of the wagon 11 and the elevator section 9, the mounting plate 22 is two-dimensionally movable, and therefore each pin 21A is moved. unnecessary force upon engagement of the ~21D and the bottom plate 8A hole 8B 1 ~8B 4 of is not applied. That is, at the time of delivery, the holes 8B 1- corresponding to the pins 21A-21D
Even if 8B 4 and 8B 4 face each other with a slight deviation, since the mounting plate 22 freely moves in the XY directions, the pins 21A to
It will reliably engage the 21D and the hole 8B 1 ~8B 4.
【００１５】以上本実施例では、ワゴン車１１をオペレ
ータが手押しするものとしたが、軌道（ガイドレール、
あるいは磁気誘導路）上を無人で自走する構成にしても
よい。またワゴン車１１上でのキャリア８の不要な移動
を防止するために、ロックピン２６を設けたが、これは
そのような方式に限られるものではない。要は載置板２
２がワゴン車１１上の所定位置に係止されさえすればよ
いので、機械的なフック機構にしてもよいし、電磁ロッ
ク方式にしてもよい。さらに、ワゴン車１１の位置決め
ローラ２７Ａ、２７Ｂを鉄等の磁性材とし、Ｖ型駒２
８、平型駒２９を電磁石等で磁化させるようにすると、
ワゴン車１１のエレベータ部９との位置決め状態を持続
させることができるので操作性が向上する。またそのよ
うに磁力によってワゴン車１１を保持できると、その場
所をワゴン車の収納スペースとして設定することがで
き、省スペース化がはかれる。As described above, in the present embodiment, the wagon vehicle 11 is manually pushed by the operator, but the track (guide rail,
Alternatively, it may be configured such that it is self-propelled on a magnetic guideway). Further, the lock pin 26 is provided in order to prevent unnecessary movement of the carrier 8 on the wagon vehicle 11, but this is not limited to such a system. In short, the mounting plate 2
Since it suffices that the 2 is locked at a predetermined position on the wagon wheel 11, a mechanical hook mechanism or an electromagnetic lock system may be used. Further, the positioning rollers 27A and 27B of the wagon wheel 11 are made of a magnetic material such as iron, and the V-shaped piece 2
8. When the flat piece 29 is magnetized with an electromagnet or the like,
Since the positioning state of the wagon vehicle 11 with the elevator portion 9 can be maintained, operability is improved. Further, if the wagon wheel 11 can be held by the magnetic force as described above, the place can be set as a storage space for the wagon wheel, and the space can be saved.
【００１６】ところで、上記実施例の構成をベースにし
て、自動化をはかったワゴン車、及びキャリア搬送方式
が考えられる。もちろんワゴン車の自走化もその一環で
あるが、特にワゴン車のエレベータ部９に対する位置決
め完了を検出するセンサーを設け、そのセンサー出力に
応答してロックピン２６を解除したり、エレベータ部９
を自動的に上下動させるようにすれば、オペレータの操
作はかなり簡単になる。またワゴン車上の載置板２２、
中間板２４はロックピン２６によって係止されるが、そ
れぞれコイルバネ、引張りバネ等の付勢部材のみで常時
はニュートラル位置（移動ストロークの中点）に付勢さ
れるような構成であってもよい。この場合、載置板２２
の不要な移動が完全に係止されるわけではないが、ロッ
クピン２６の取り扱いを考えなくてよい点では簡便にな
る。By the way, on the basis of the configuration of the above-mentioned embodiment, an automated wagon vehicle and a carrier transport system can be considered. Of course, making the wagon vehicle self-propelled is part of that, but in particular, a sensor that detects completion of positioning of the wagon vehicle with respect to the elevator portion 9 is provided, and the lock pin 26 is released in response to the sensor output or the elevator portion 9
If the is automatically moved up and down, the operation of the operator becomes considerably simple. In addition, the mounting plate 22 on the wagon vehicle,
Although the intermediate plate 24 is locked by the lock pin 26, the intermediate plate 24 may be always biased to the neutral position (the middle point of the moving stroke) by only biasing members such as a coil spring and a tension spring. .. In this case, the mounting plate 22
Although the unnecessary movement of the lock pin 26 is not completely locked, it is convenient in that the handling of the lock pin 26 need not be considered.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上、本発明によればキャリアと搬送
車、搬送車と搬送先の装置本体とを容易に位置決めでき
るとともに、キャリアの大きさ、重量に制限されること
なく容易に運搬可能となる。またキャリアを搬送先の装
置側に受け渡すときに、キャリアが搬送車上で２次元運
動できるようになっているから、キャリア底面と載置板
との係合力又は搬送先の装置とキャリア底面との係合
力、すなわち摩擦力を小さくすることができ、ダストの
発生や係合部の摩耗による位置決め精度の悪化を小さく
抑える効果もある。As described above, according to the present invention, the carrier and the carrier, and the carrier and the apparatus body of the destination can be easily positioned, and the carrier can be easily carried without being restricted by the size and weight of the carrier. Become. Further, when the carrier is transferred to the device at the destination, the carrier can move two-dimensionally on the carrier, so that the engaging force between the bottom face of the carrier and the mounting plate or the device at the destination and the bottom face of the carrier. The engaging force, that is, the frictional force, can be reduced, and there is also an effect that the deterioration of the positioning accuracy due to the generation of dust and the wear of the engaging portion can be suppressed.
【図１】本発明の実施例による搬送車を投影露光装置へ
のプレートキャリア供給に使う場合の構成を示す斜視図FIG. 1 is a perspective view showing a configuration when a transport vehicle according to an embodiment of the present invention is used to supply a plate carrier to a projection exposure apparatus.
【図２】ワゴン車の構成を示す平面図FIG. 2 is a plan view showing the structure of a wagon vehicle.
【図３】図２のワゴン車のＡＡ矢視断面図3 is a cross-sectional view of the wagon vehicle of FIG. 2 taken along the line AA.
【図４】プレートキャリアの底板を示す平面図FIG. 4 is a plan view showing a bottom plate of the plate carrier.
Ｐ プレート ８ キャリア １１ ワゴン車 ２２ キャリア載置板 ２４ 中間板 ２３、２５ リニアガイド ２６ ロックピン P plate 8 Carrier 11 Wagon vehicle 22 Carrier mounting plate 24 Intermediate plate 23, 25 Linear guide 26 Lock pin
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 35/00 Ｂ 9244−3Ｆ 47/52 １０１ Ｚ 8010−3Ｆ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI Technical display location B65G 35/00 B 9244-3F 47/52 101 Z 8010-3F
Claims (1)
可能なキャリアを載置して手動、もしくは自動で走行可
能な搬送車において、 前記キャリアの底部の一部分を保持する載置面を有する
とともに、該載置面上に前記キャリアの底部を水平面内
で位置決めするための位置決め部が形成されたキャリア
載置台と；該キャリア載置台をほぼ水平に保持して床
上、もしくは所定の軌道上を走行可能な台車と；該台車
上で前記キャリア載置台を水平面内で２次元に移動可能
に保持する可動スライド機構と；前記キャリア載置台を
前記台車上の所定位置に係止する係止手段とを備えたこ
とを特徴とするプレートキャリアの搬送車。1. A carrier vehicle on which a carrier capable of accommodating a plurality of large plates in a substantially horizontal direction is placed and which can be manually or automatically run, and which has a placement surface for holding a part of a bottom portion of the carrier. A carrier mounting table having a positioning portion for positioning the bottom of the carrier in a horizontal plane on the mounting surface; holding the carrier mounting table substantially horizontal and traveling on a floor or on a predetermined track. A movable carriage; a movable slide mechanism that holds the carrier mounting table on the carriage so that the carrier mounting table can move two-dimensionally in a horizontal plane; locking means that locks the carrier mounting table at a predetermined position on the carriage. A carrier for a plate carrier, which is characterized by being provided.
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| JP193692A JP3407306B2 (en) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | Carrier carrier and exposure system |
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ID=11515498
Family Applications (1)
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|---|---|
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Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10231023A (en) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Substrate carrying method and substrate carrying cassette |
| JPH10297742A (en) * | 1997-04-22 | 1998-11-10 | Tokin Corp | Docking device |
| JPH11255321A (en) * | 1998-03-11 | 1999-09-21 | Shinko Electric Co Ltd | Flatbed push dolly |
| JP2000072226A (en) * | 1998-08-31 | 2000-03-07 | Tomuko:Kk | Positioning mechanism for trackless traveling device |
| JP2000332079A (en) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Tdk Corp | Loading port for semiconductor manufacture device, load port fixing mechanism and load port fixing method |
| EP0991112A3 (en) * | 1998-10-02 | 2001-09-26 | Ortner Reinraumtechnik GmbH | Transport vehicle |
| JP2002060055A (en) * | 2000-08-18 | 2002-02-26 | Fujitsu Ltd | Fixing device for conveying truck |
| JP2003140323A (en) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Transport cart and method for transporting photosensitive plate |
| US6639654B2 (en) * | 2001-04-27 | 2003-10-28 | Nikon Corporation | Wafer stage carrier and removal assembly |
| US6935201B2 (en) * | 2001-02-10 | 2005-08-30 | Infineon Technologies Ag | Measurement configuration including a vehicle and method for performing measurements with the measurement configuration at various locations |
| WO2006054723A1 (en) * | 2004-11-22 | 2006-05-26 | Noriaki Yonezawa | Portable article and decoration member |
| WO2009063903A1 (en) * | 2007-11-15 | 2009-05-22 | Nikon Corporation | Mask case, transfer apparatus, exposure apparatus, mask transfer method and device manufacturing method |
| JP2010135387A (en) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Miraial Kk | Wafer storage container |
| CN106697820A (en) * | 2016-12-23 | 2017-05-24 | 郑飞 | Carrying device achieving weight visibility |
| CN106829361A (en) * | 2016-12-23 | 2017-06-13 | 郑飞 | A kind of wallboard can apparent weight conveying arrangement |
| JP2018107206A (en) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | Tdk株式会社 | Transport container connecting device, load port device, transport container storage stocker, and transport container connecting method |
| CN113044562A (en) * | 2021-02-08 | 2021-06-29 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Automatic feeding and discharging numerical control machining equipment |
| CN113479580A (en) * | 2021-06-09 | 2021-10-08 | 哈尔滨宇龙自动化有限公司 | Be applicable to multiple type of electric cabinet body travelling car of many specifications |
-
1992
- 1992-01-09 JP JP193692A patent/JP3407306B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10231023A (en) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Substrate carrying method and substrate carrying cassette |
| JPH10297742A (en) * | 1997-04-22 | 1998-11-10 | Tokin Corp | Docking device |
| JPH11255321A (en) * | 1998-03-11 | 1999-09-21 | Shinko Electric Co Ltd | Flatbed push dolly |
| JP2000072226A (en) * | 1998-08-31 | 2000-03-07 | Tomuko:Kk | Positioning mechanism for trackless traveling device |
| EP0991112A3 (en) * | 1998-10-02 | 2001-09-26 | Ortner Reinraumtechnik GmbH | Transport vehicle |
| JP2000332079A (en) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Tdk Corp | Loading port for semiconductor manufacture device, load port fixing mechanism and load port fixing method |
| JP2002060055A (en) * | 2000-08-18 | 2002-02-26 | Fujitsu Ltd | Fixing device for conveying truck |
| US6935201B2 (en) * | 2001-02-10 | 2005-08-30 | Infineon Technologies Ag | Measurement configuration including a vehicle and method for performing measurements with the measurement configuration at various locations |
| US6639654B2 (en) * | 2001-04-27 | 2003-10-28 | Nikon Corporation | Wafer stage carrier and removal assembly |
| JP2003140323A (en) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Transport cart and method for transporting photosensitive plate |
| WO2006054723A1 (en) * | 2004-11-22 | 2006-05-26 | Noriaki Yonezawa | Portable article and decoration member |
| WO2009063903A1 (en) * | 2007-11-15 | 2009-05-22 | Nikon Corporation | Mask case, transfer apparatus, exposure apparatus, mask transfer method and device manufacturing method |
| JP5316420B2 (en) * | 2007-11-15 | 2013-10-16 | 株式会社ニコン | Mask case, transfer device, transfer method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| JP2010135387A (en) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Miraial Kk | Wafer storage container |
| JP2018107206A (en) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | Tdk株式会社 | Transport container connecting device, load port device, transport container storage stocker, and transport container connecting method |
| CN106697820A (en) * | 2016-12-23 | 2017-05-24 | 郑飞 | Carrying device achieving weight visibility |
| CN106829361A (en) * | 2016-12-23 | 2017-06-13 | 郑飞 | A kind of wallboard can apparent weight conveying arrangement |
| CN113044562A (en) * | 2021-02-08 | 2021-06-29 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | Automatic feeding and discharging numerical control machining equipment |
| CN113479580A (en) * | 2021-06-09 | 2021-10-08 | 哈尔滨宇龙自动化有限公司 | Be applicable to multiple type of electric cabinet body travelling car of many specifications |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3407306B2 (en) | 2003-05-19 |
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