JPH05183291A - Manufacture of emi shield printed wiring board - Google Patents

Manufacture of emi shield printed wiring board

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JPH05183291A
JPH05183291A JP34640091A JP34640091A JPH05183291A JP H05183291 A JPH05183291 A JP H05183291A JP 34640091 A JP34640091 A JP 34640091A JP 34640091 A JP34640091 A JP 34640091A JP H05183291 A JPH05183291 A JP H05183291A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed wiring
metal paste
wiring board
layer
curing
Prior art date
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Pending
Application number
JP34640091A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiko Isshiki
和彦 一色
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Japan Metals and Chemical Co Ltd
Original Assignee
Japan Metals and Chemical Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH05183291A publication Critical patent/JPH05183291A/en
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Abstract

PURPOSE:To reduce specific resistance by a method wherein a coated metal paste for magnetic shield is heated in a vacuum oven and cured. CONSTITUTION:After through holes 5 are formed in a board 6, a conductor circuit 1 is formed by plating a metal. A resin insulating layer 2 is formed on the conductor circuit 1 except the through holes 5, and coated with metal paste for magnetic shield. Said metal paste is heated at 50-140 deg.C in a vacuum oven and precured, and then finally cured at 150-220 deg.C in a vapor phase soldering vessel or a far infrared furnace. Thereby specific resistance can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、EMIシールドプリン
ト配線板の製造方法に関し、特に、EMIシールド特性
を害することなく比抵抗ならびにシート抵抗の小さいE
MIシールド対策を施してなるプリント配線板を製造す
る方法について提案する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an EMI shielded printed wiring board, and more particularly, to an E having a small specific resistance and a small sheet resistance without impairing the EMI shielding characteristics.
We propose a method for manufacturing printed wiring boards with MI shield measures.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に電子機器は、それらに固有の電磁
波, すなわち各電磁エネルギー源から電磁波を放射して
いる。このため、他の電磁機器に対して不可避的に影響
(電磁波障害)を与えている。このような、いわゆる
“電磁波障害”(エレクトロマグネティックインターフ
ェアレンス, 以下、本発明では「EMI」と略記す
る。)を防止するために、従来、電磁機器のケーシング
等を導電性プラスチックなどにより磁気シールドする方
法がとられている。
2. Description of the Related Art Generally, electronic devices emit electromagnetic waves specific to them, that is, electromagnetic waves from each electromagnetic energy source. Therefore, it inevitably affects other electromagnetic devices (electromagnetic interference). In order to prevent such a so-called "electromagnetic interference" (electromagnetic interference, hereinafter abbreviated as "EMI" in the present invention), a casing of an electromagnetic device is conventionally magnetically shielded by a conductive plastic or the like. The way to do is taken.

【0003】しかし、このような磁気シールド方法は、
コストや装置が大型化するなどの問題があり、あまり用
いられていない。しかも、本発明の対象とするプリント
配線板などの電子部品については、個々に磁気シールド
することが必要である。こうした要請に対し、最近で
は、プリント配線板それ自体をシールドする技術が幾つ
か既に提案され、実用化されている。このようなEMI
シールドプリント配線板の一例を図1に示す。
However, such a magnetic shield method is
It is not used so much because of problems such as cost and size increase. Moreover, it is necessary to individually magnetically shield electronic components such as printed wiring boards to which the present invention is applied. In response to such a demand, recently, some techniques for shielding the printed wiring board itself have been already proposed and put into practical use. EMI like this
An example of the shield printed wiring board is shown in FIG.

【0004】図1に示したシールドプリント配線板は、
スルーホール5を設けてなる基板6上に、直接アディテ
ィブ法またはサブトラクティブ法によって導体回路1を
形成し、さらに樹脂絶縁層2を形成し、この樹脂絶縁層
2上にCuまたはAgなどのEMIシールドのための金属ペ
ーストの硬化処理層からなるシールド層3を形成し、そ
の後、このシールド層3の金属ペーストを露出させない
ようにオーバーコート層4を被成した構造となってい
る。
The shielded printed wiring board shown in FIG.
A conductor circuit 1 is formed directly on a substrate 6 having through holes 5 by an additive method or a subtractive method, a resin insulating layer 2 is further formed, and an EMI shield such as Cu or Ag is formed on the resin insulating layer 2. The shield layer 3 is formed of a hardened layer of a metal paste for, and then an overcoat layer 4 is formed so as not to expose the metal paste of the shield layer 3.

【0005】このような、従来EMIシールド多層プリ
ント配線板において、前記シールド層3を形成するため
の金属ペースト硬化方法としては、前記金属ペーストを
送風オーブンまたは遠赤外炉を用いることが知られてい
る。そして、このようにして形成したシールド層3を具
えるものは、輻射ノイズを10〜20dB低減することがで
きるほか、クロストークノイズも低減できる。
In such a conventional EMI shield multilayer printed wiring board, as a metal paste curing method for forming the shield layer 3, it is known to use a blower oven or a far infrared furnace for the metal paste. There is. The one having the shield layer 3 thus formed can reduce the radiation noise by 10 to 20 dB and also reduce the crosstalk noise.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したE
MIシールドプリント配線板は、EMI障害は低減でき
るものの、比抵抗が5〜20×10-5Ω・cmとCu箔に比べて
かなり高く、さらにシールド効果を高めるためには、こ
の比抵抗を極力小さくすることが望まれている。本発明
の目的は、このようなEMIシールドプリント配線板に
おいて、前記比抵抗の低減に有効な金属ペーストの硬化
処理技術を確立することにある。
However, the above-mentioned E
Although the MI shield printed wiring board can reduce EMI interference, its specific resistance is 5 to 20 × 10 -5 Ω · cm, which is considerably higher than that of Cu foil. To further enhance the shielding effect, this specific resistance should be minimized. It is desired to make it smaller. An object of the present invention is to establish a hardening treatment technique for a metal paste that is effective in reducing the specific resistance in such an EMI shielded printed wiring board.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】このような目的の実現に
向け鋭意研究した結果、本発明者らは、この種のプリン
ト配線板において、前記EMIシールド層の形成に当た
って、塗布した金属ペーストを硬化させる際の善し悪し
が、前記シート抵抗などに強く影響することを突き止
め、本発明に想到した。
As a result of intensive studies aimed at achieving such an object, the present inventors have found that, in the printed wiring board of this type, the applied metal paste is hardened in forming the EMI shield layer. The inventors of the present invention have come to the present invention by discovering that the goodness and badness of the effect strongly influence the sheet resistance and the like.

【0008】すなわち、本発明は、基板上に導体回路を
形成すると共に樹脂絶縁層を形成し、この樹脂絶縁層上
に金属ペーストを塗布したのち硬化させて磁気シールド
層を形成し、この磁気シールド層上に、オーバーコート
層を形成してなるEMIシールドプリント配線基板の製
造方法において、塗布した磁気シールド用金属ペースト
の硬化に当り、この金属ペーストを真空オーブン中で加
熱硬化することを第1の発明とし、また、この金属ペー
ストを真空オーブン中で50〜140 ℃の温度に加熱して予
備硬化させ、ついで、ベーパーフェーズソルダリング槽
または遠赤外炉中にて 150〜220 ℃の温度で本硬化させ
ることを第2の発明とする。
That is, according to the present invention, a conductor circuit is formed on a substrate, a resin insulating layer is formed, and a metal paste is applied on the resin insulating layer and then cured to form a magnetic shield layer. In a method of manufacturing an EMI shielded printed wiring board in which an overcoat layer is formed on a layer, when curing the applied magnetic shield metal paste, the first step is to heat and cure the metal paste in a vacuum oven. This invention is also an invention, and this metal paste is pre-cured by heating it in a vacuum oven at a temperature of 50 to 140 ° C, and then in a vapor phase soldering tank or far infrared furnace at a temperature of 150 to 220 ° C. Curing is the second invention.

【0009】[0009]

【作用】本発明の製造方法は、片面プリント配線板、両
面プリント配線板、多層プリント配線板などに対し、基
板上に形成した導体回路上に、磁気シールド用金属ペー
ストを塗布したのち硬化させることにより、EMIシー
ルド層を形成する場合に適用される技術である。例え
ば、エポキシ樹脂基板上に直接無電解めっきする方法も
しくは銅張積層板上に樹脂絶縁層を形成した後エッチン
グ法により導体回路1を設けてなるプリント配線板に適
用される。すなわち、本発明方法は、まず、穴あけ加工
によってスルーホール5を形成したのち、Cuめっきを施
して導体回路1を形成し、そして上記スルーホール5以
外の導体回路1上に、樹脂絶縁層2を形成する。次い
で、この樹脂絶縁層2上に、磁気シールドのために金属
ペーストを塗布し、真空オーブン中で、150 〜220 ℃の
温度で硬化処理を施してシールド層3を形成する方法で
ある。
According to the manufacturing method of the present invention, for a single-sided printed wiring board, a double-sided printed wiring board, a multilayer printed wiring board, etc., a magnetic shield metal paste is applied onto a conductor circuit formed on the substrate and then cured. Is a technique applied when the EMI shield layer is formed. For example, it is applied to a printed wiring board in which the conductor circuit 1 is provided by a method of directly electroless plating on an epoxy resin substrate or by forming a resin insulating layer on a copper clad laminate and then etching the same. That is, in the method of the present invention, first, the through hole 5 is formed by drilling, then Cu plating is performed to form the conductor circuit 1, and the resin insulating layer 2 is formed on the conductor circuit 1 other than the through hole 5. Form. Then, a metal paste is applied to the resin insulating layer 2 for magnetic shielding, and a curing process is performed at a temperature of 150 to 220 ° C. in a vacuum oven to form the shield layer 3.

【0010】また、本発明の他の適合例としては、前記
金属ペースト塗布層を、50〜140 ℃の温度で真空オーブ
ン中で予備硬化し、ついで、硬化する際に通常使用され
ているベーパーフェーズソルダリング層または遠赤外炉
で 150〜220 ℃の温度で本焼成の硬化を行う。
In another embodiment of the present invention, the metal paste coating layer is pre-cured in a vacuum oven at a temperature of 50 to 140 ° C. and then vapor phase which is usually used for curing. Main baking is performed at a temperature of 150 to 220 ° C in a soldering layer or a far infrared furnace.

【0011】上述のような処理によって金属ペーストを
硬化した金属ペーストのシールド層3上に、今度はその
保護のためにオーバーコート層4を形成する。このオー
バーコート層4の形成手段は、既知の塗布方法をそのま
ま適用することができる。
An overcoat layer 4 is formed on the shield layer 3 of the metal paste obtained by hardening the metal paste by the above-mentioned treatment, for protection thereof. As a means for forming the overcoat layer 4, a known coating method can be applied as it is.

【0012】本発明方法において、金属ペーストの硬化
処理に当たって、真空オーブンを用いる理由は次のとお
りである。すなわち、真空中で硬化処理を行うことで、
金属ペーストが酸化されないので、課題とされていたシ
ート抵抗が小さくなるためであり、そのための真空度は
100 Torr以下でなければならない。それ以上だと酸化を
受け、シート抵抗が大きくなるからである。
In the method of the present invention, the reason why the vacuum oven is used for hardening the metal paste is as follows. That is, by performing the curing treatment in vacuum,
This is because the sheet resistance, which had been a problem, is reduced because the metal paste is not oxidized.
Must be 100 Torr or less. This is because if it is more than that, the sheet resistance is increased due to oxidation.

【0013】また、上述した本発明の他の適合例におい
て、まず50〜140 ℃という低い温度で予備硬化する理由
は、CuやAgのような金属ペーストには溶剤が含まれてい
るので、これを急激に加熱したのでは、溶剤が完全に揮
散しないまま、金属ペーストが硬化する場合があり、こ
の場合、金属ペーストが密にならずにシート抵抗が大き
くなることや、ふくれが起こる場合があるからである。
また、50℃以下だと、溶剤の揮散が充分でなく、140 ℃
超だと、上述した問題によりシート抵抗が大きくなるか
ら、予備硬化温度は50〜140 ℃の温度範囲としなければ
ならない。
Further, in the other application example of the present invention described above, the reason for first pre-curing at a low temperature of 50 to 140 ° C. is that the metal paste such as Cu or Ag contains a solvent. If heated rapidly, the metal paste may be hardened without completely evaporating the solvent.In this case, the metal paste may not be dense and the sheet resistance may be increased, or blistering may occur. Because.
Also, if the temperature is 50 ° C or lower, the evaporation of the solvent is insufficient,
If it is over, the sheet resistance becomes large due to the above-mentioned problems, so the pre-curing temperature must be in the temperature range of 50 to 140 ° C.

【0014】[0014]

【実施例】ガラスエポキシ基板(G−10, 板厚1.0mm)
に 0.6mmφの穴あけ加工を施し、次いで無電解および電
解Cuめっきを施したのち感光性ラミネートの皮膜を形成
し、エッチング処理を施して導体回路層を形成した。次
に、印刷法を用いて樹脂絶縁層を形成した後、この樹脂
絶縁層上に、Cuペーストを20〜60μm厚で塗布し、表1
に示すような条件の真空オーブン処理により硬化させ、
または真空オーブンで予備硬化したのち、さらにベーパ
ーフェーズソルダリング槽で本焼成の硬化処理を行っ
た。次いで、前記樹脂絶縁層上にソルダーレジストによ
りオーバーコート層を形成してプリント配線板とした。
このようなプリント配線板の比抵抗を測定した結果を表
1に示す。
[Example] Glass epoxy substrate (G-10, plate thickness 1.0 mm)
Then, a hole of 0.6 mmφ was drilled, electroless and electrolytic Cu plating was performed, a photosensitive laminate film was formed, and an etching process was performed to form a conductor circuit layer. Next, after forming a resin insulating layer using a printing method, a Cu paste is applied on the resin insulating layer to a thickness of 20 to 60 μm, and
Cured by vacuum oven treatment under the conditions shown in
Alternatively, after pre-curing in a vacuum oven, main baking treatment was further performed in a vapor phase soldering tank. Then, an overcoat layer was formed on the resin insulating layer with a solder resist to obtain a printed wiring board.
Table 1 shows the results of measuring the specific resistance of such a printed wiring board.

【0015】 [0015]

【0016】表1から、本発明のNo.1の処理条件のプリ
ント配線板は、比抵抗 4.0×10-5Ω・cmと、送風オーブ
ン, ベーパーフェーズソルダリング槽で硬化したものと
比べ、極めて小さい比抵抗であり、特に、予備硬化処理
したプリント配線板は、3.5×10-5Ω・cmと良好な値を
示した。
From Table 1, it can be seen that the printed wiring board under the No. 1 processing condition of the present invention has a specific resistance of 4.0 × 10 −5 Ω · cm, which is extremely higher than that of the printed wiring board cured in a blower oven or a vapor phase soldering tank. The specific resistance was small, and particularly, the pre-cured printed wiring board showed a good value of 3.5 × 10 −5 Ω · cm.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明したように本発明方法によれ
ば、比抵抗が小さいEMIシールドプリント配線板を得
ることができるので、電子機器のEMI対策に有用なシ
ールド基板を提供できる。
As described above, according to the method of the present invention, it is possible to obtain an EMI shielded printed wiring board having a small specific resistance, so that it is possible to provide a shield substrate useful as an EMI countermeasure for electronic equipment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、EMIシールド基板の一例を示す断面
図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an EMI shield substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 導体回路 2 樹脂絶縁層 3 シールド層 4 オーバーコート層 5 スルーホール 6 基板 1 Conductor Circuit 2 Resin Insulation Layer 3 Shield Layer 4 Overcoat Layer 5 Through Hole 6 Board

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に直接もしくは間接的に導体回路
を形成すると共に樹脂絶縁層を形成し、この樹脂絶縁層
上に金属ペーストを塗布したのち硬化させて磁気シール
ド層を形成し、この磁気シールド層上に、オーバーコー
ト層を形成してなるEMIシールドプリント配線基板の
製造方法において、塗布した磁気シールド用金属ペース
トの硬化に当り、この金属ペーストを真空オーブン中で
加熱硬化することを特徴とするEMIシールドプリント
配線基板の製造方法。
1. A magnetic shield layer is formed by directly or indirectly forming a conductor circuit on a substrate and forming a resin insulating layer, applying a metal paste on the resin insulating layer, and then curing the paste to form a magnetic shield layer. In a method for manufacturing an EMI shielded printed wiring board having an overcoat layer formed on a shield layer, when curing the applied magnetic shield metal paste, the metal paste is heated and cured in a vacuum oven. Manufacturing method of EMI shielded printed wiring board.
【請求項2】 請求項1に記載のEMIシールドプリン
ト配線板の製造方法において、基板に塗布した磁気シー
ルド用金属ペーストの硬化に当り、まず、この金属ペー
ストを真空オーブン中で50〜140 ℃の温度に加熱して予
備硬化させ、ついで、ベーパーフェーズソルダリング槽
または遠赤外炉中にて 150〜220 ℃の温度で本硬化させ
ることを特徴とするEMIシールドプリント配線板の製
造方法。
2. The method of manufacturing an EMI shielded printed wiring board according to claim 1, wherein when curing the magnetic shield metal paste applied to the substrate, the metal paste is first heated in a vacuum oven at 50 to 140 ° C. A method for producing an EMI shielded printed wiring board, which comprises heating to a temperature to pre-cure, and then main curing at a temperature of 150 to 220 ° C. in a vapor phase soldering tank or a far infrared furnace.
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