JPH05183223A - 固体レーザ発振器 - Google Patents
固体レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH05183223A JPH05183223A JP34563491A JP34563491A JPH05183223A JP H05183223 A JPH05183223 A JP H05183223A JP 34563491 A JP34563491 A JP 34563491A JP 34563491 A JP34563491 A JP 34563491A JP H05183223 A JPH05183223 A JP H05183223A
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- JP
- Japan
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- laser
- output
- shutter
- internal shutter
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 内部シャッターの誤動作等による不用意なレ
ーザ光の放射を防止することができる安全な固体レーザ
発振器を提供する。 【構成】 内部シャッター５は、レーザ光路１２を遮断
することによってレーザ発振を停止させることができ
る。発光素子９及び受光素子１０は、内部シャッター５
の誤動作を検出するための光センサである。レーザ電源
８は、受光素子１０等から内部シャッター５の誤動作検
出信号を受けると、励起用光源４の入力電流をレーザ発
振させるためのしきい値以下に強制的に抑えることによ
り、レーザ発振を停止させることができる。
ーザ光の放射を防止することができる安全な固体レーザ
発振器を提供する。 【構成】 内部シャッター５は、レーザ光路１２を遮断
することによってレーザ発振を停止させることができ
る。発光素子９及び受光素子１０は、内部シャッター５
の誤動作を検出するための光センサである。レーザ電源
８は、受光素子１０等から内部シャッター５の誤動作検
出信号を受けると、励起用光源４の入力電流をレーザ発
振させるためのしきい値以下に強制的に抑えることによ
り、レーザ発振を停止させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体レーザ発振器に関
し、特に、内部シャッターが正常に機能しないことによ
り不用意にレーザ光が放射されることを防止することが
できる固体レーザ発振器に関する。
し、特に、内部シャッターが正常に機能しないことによ
り不用意にレーザ光が放射されることを防止することが
できる固体レーザ発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の固体レーザ発振器は、連続励起方
式の場合において、連続発振出力形式とＱスイッチパル
ス発振出力形式の２種類がある。連続発振出力形式にお
いては、通常、内部シャッターによりレーザの発振及び
停止をする。このため、レーザ光に対する防御機能とし
て外部シャッターを設ける場合が多い。
式の場合において、連続発振出力形式とＱスイッチパル
ス発振出力形式の２種類がある。連続発振出力形式にお
いては、通常、内部シャッターによりレーザの発振及び
停止をする。このため、レーザ光に対する防御機能とし
て外部シャッターを設ける場合が多い。
【０００３】一方、Ｑスイッチパルス発振出力形式にお
いては、通常、Ｑスイッチ動作のＯＮ／ＯＦＦによりレ
ーザの発振及び停止をしており、内部シャッターがレー
ザ光に対する防御機能をもっている。Ｑスイッチ動作に
おける誤動作時には、もれ光検出器等によりその誤動作
を検出して、内部シャッターを閉じる等の安全対策が施
されている。
いては、通常、Ｑスイッチ動作のＯＮ／ＯＦＦによりレ
ーザの発振及び停止をしており、内部シャッターがレー
ザ光に対する防御機能をもっている。Ｑスイッチ動作に
おける誤動作時には、もれ光検出器等によりその誤動作
を検出して、内部シャッターを閉じる等の安全対策が施
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の固体レーザ発振器では、連続発振出力形式において
は、内部シャッターをレーザ光出力量の制御に用いてお
り、内部シャッターの誤動作に対して発振停止をするた
めの安全対策は施されていない。また、仮に、内部シャ
ッターの誤動作によるレーザ光を外部シャッターで遮断
したとしても、レーザが発振している限りその外部シャ
ッターに強力なレーザ光が照射され続けるため、固体レ
ーザ発振器の加熱及び破損等の危険はなくならないとい
う問題点がある。一方、Ｑスイッチパルス発振出力形式
においては、近年、レーザマーキング等において、連続
発振出力形式とＱスイッチパルス発振出力形式との両形
式を用いる場合が多くなり、内部シャッターによるレー
ザの発振及び停止が行われており、前述のもれ光検出器
等の使用では十分にレーザ光に対する安全対策を施せな
くなっているという問題点がある。
来の固体レーザ発振器では、連続発振出力形式において
は、内部シャッターをレーザ光出力量の制御に用いてお
り、内部シャッターの誤動作に対して発振停止をするた
めの安全対策は施されていない。また、仮に、内部シャ
ッターの誤動作によるレーザ光を外部シャッターで遮断
したとしても、レーザが発振している限りその外部シャ
ッターに強力なレーザ光が照射され続けるため、固体レ
ーザ発振器の加熱及び破損等の危険はなくならないとい
う問題点がある。一方、Ｑスイッチパルス発振出力形式
においては、近年、レーザマーキング等において、連続
発振出力形式とＱスイッチパルス発振出力形式との両形
式を用いる場合が多くなり、内部シャッターによるレー
ザの発振及び停止が行われており、前述のもれ光検出器
等の使用では十分にレーザ光に対する安全対策を施せな
くなっているという問題点がある。
【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、固体レーザ発振器において、内部シャッタ
ーの誤動作等による不用意なレーザ光の放射を防止する
ことができる安全な固体レーザ発振器を提供することを
目的とする。
のであって、固体レーザ発振器において、内部シャッタ
ーの誤動作等による不用意なレーザ光の放射を防止する
ことができる安全な固体レーザ発振器を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る固体レーザ
発振器は、全反射ミラー，出力ミラー，レーザ用活性媒
質，励起用光源及び内部シャッターを有する共振器と、
前記励起用光源を駆動するレーザ電源部とを有する固体
レーザ発振器において、前記共振器内において前記内部
シャッターの動作を検出する光センサと、この光センサ
から出力される信号を増幅して２値化レベルに変換する
手段と、この２値化レベルに変換する手段の出力信号と
前記内部シャッターを閉じさせる信号との論理積をとる
論理積回路と、この論理積回路の出力により前記レーザ
電源部の出力電流値をレーザ発振しきい値以下に設定す
る手段とを有することを特徴とする。
発振器は、全反射ミラー，出力ミラー，レーザ用活性媒
質，励起用光源及び内部シャッターを有する共振器と、
前記励起用光源を駆動するレーザ電源部とを有する固体
レーザ発振器において、前記共振器内において前記内部
シャッターの動作を検出する光センサと、この光センサ
から出力される信号を増幅して２値化レベルに変換する
手段と、この２値化レベルに変換する手段の出力信号と
前記内部シャッターを閉じさせる信号との論理積をとる
論理積回路と、この論理積回路の出力により前記レーザ
電源部の出力電流値をレーザ発振しきい値以下に設定す
る手段とを有することを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明に係る固体レーザ発振器においては、内
部シャッターの誤動作等によりレーザ光の出力を制御で
きない異常事態が発生したときは、この異常事態を発光
素子及び受光素子よりなる光センサで検出する。論理積
回路は、この光センサの検出信号と内部シャッターを閉
じさせる信号との論理積をとる。レーザ電源部は、論理
積回路の出力がハイレベルになると、レーザ電源部の出
力電流値をレーザ発振しきい値以下に強制的に抑えるこ
とにより、レーザ発振を停止させる。従って、本発明に
係る固体レーザ発振器は、内部シャッターの誤動作等に
よる不用意なレーザ光の放射を防止することができる。
部シャッターの誤動作等によりレーザ光の出力を制御で
きない異常事態が発生したときは、この異常事態を発光
素子及び受光素子よりなる光センサで検出する。論理積
回路は、この光センサの検出信号と内部シャッターを閉
じさせる信号との論理積をとる。レーザ電源部は、論理
積回路の出力がハイレベルになると、レーザ電源部の出
力電流値をレーザ発振しきい値以下に強制的に抑えるこ
とにより、レーザ発振を停止させる。従って、本発明に
係る固体レーザ発振器は、内部シャッターの誤動作等に
よる不用意なレーザ光の放射を防止することができる。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について添付の図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【０００９】図１は、本発明の実施例に係る固体レーザ
発振器を示す構成図である。図１に示すように、固体レ
ーザ発振器７は、全反射ミラー１，出力ミラー２，レー
ザ用活性媒質３及び内部シャッター５から構成される。
励起用光源４から放射される励起光は、集光器６により
効率的にレーザ用活性媒質３に集光される。励起用光源
４は、レーザ電源８により駆動される。
発振器を示す構成図である。図１に示すように、固体レ
ーザ発振器７は、全反射ミラー１，出力ミラー２，レー
ザ用活性媒質３及び内部シャッター５から構成される。
励起用光源４から放射される励起光は、集光器６により
効率的にレーザ用活性媒質３に集光される。励起用光源
４は、レーザ電源８により駆動される。
【００１０】図２は、図１に示すレーザ電源８の要部の
一実施例を示す回路図である。通常、レーザ光の出力
は、励起用光源４の入力電力の要素である入力電流によ
って制御される。また、レーザ光の出力は、可変抵抗器
１５によって増減される。ノーマルクローズ型リレー１
６の接点が開放しているときは、励起用光源４の入力電
流であるレーザ電源８の出力電流は最低値となるので、
レーザ光の出力は、レーザ発振しきい値以下となり、レ
ーザ発振が停止される。
一実施例を示す回路図である。通常、レーザ光の出力
は、励起用光源４の入力電力の要素である入力電流によ
って制御される。また、レーザ光の出力は、可変抵抗器
１５によって増減される。ノーマルクローズ型リレー１
６の接点が開放しているときは、励起用光源４の入力電
流であるレーザ電源８の出力電流は最低値となるので、
レーザ光の出力は、レーザ発振しきい値以下となり、レ
ーザ発振が停止される。
【００１１】増幅部１１の出力信号２１とシャッター閉
指令信号２２とは、論理積回路２０により論理積され
る。論理積回路２０の出力は、トランジスタ１９を介し
てノーマルクローズ型リレー１６を駆動する。出力信号
２１とシャッター閉指令信号２２とが共にハイレベルの
ときは、ノーマルクローズ型リレー１６の接点は開放と
なる。レーザ電源８の出力電流は、オペアンプ１３及び
抵抗１４等により増幅及び制御される。
指令信号２２とは、論理積回路２０により論理積され
る。論理積回路２０の出力は、トランジスタ１９を介し
てノーマルクローズ型リレー１６を駆動する。出力信号
２１とシャッター閉指令信号２２とが共にハイレベルの
ときは、ノーマルクローズ型リレー１６の接点は開放と
なる。レーザ電源８の出力電流は、オペアンプ１３及び
抵抗１４等により増幅及び制御される。
【００１２】図３は、図１に示す内部シャッター５が正
常に動作しているか否かを検出する構造の一実施例を示
す説明図である。通常、内部シャッター５は、電磁ソレ
ノイドによって駆動され、内部シャッター５を構成する
シャッター羽根１７がレーザ光路１２を遮断することに
よってレーザ発振を停止する。発光素子９及び受光素子
１０は、シャッター羽根１７が駆動したときにレーザ光
路１２をシャッター羽根１７が遮断することによってで
きる遮断面１８に対向するように配置される。受光素子
１０の出力は、増幅部１１によって増幅され、さらにハ
イレベル及びローレベルの２値レベルに変換される。
常に動作しているか否かを検出する構造の一実施例を示
す説明図である。通常、内部シャッター５は、電磁ソレ
ノイドによって駆動され、内部シャッター５を構成する
シャッター羽根１７がレーザ光路１２を遮断することに
よってレーザ発振を停止する。発光素子９及び受光素子
１０は、シャッター羽根１７が駆動したときにレーザ光
路１２をシャッター羽根１７が遮断することによってで
きる遮断面１８に対向するように配置される。受光素子
１０の出力は、増幅部１１によって増幅され、さらにハ
イレベル及びローレベルの２値レベルに変換される。
【００１３】次に、上述の如く構成された本実施例に係
る固体レーザ発振器の動作について説明する。本実施例
に係る固体レーザ発振器の正常動作時においては、シャ
ッター羽根１７がレーザ光路１２を遮断しているとき
は、レーザ発振を停止し、シャッター羽根１７がレーザ
光路１２を遮断していないときは、レーザ発振をする。
シャッター閉指令信号２２がでているときは、正常動作
時においては、シャッター羽根１７がレーザ光路１２を
遮断しているので、出力信号２１はローレベルとなり、
論理積回路２０の出力はローレベルとなりノーマルクロ
ーズ型リレー１６の接点は短絡され、レーザの出力は可
変抵抗器１５により調整できる状態となる。
る固体レーザ発振器の動作について説明する。本実施例
に係る固体レーザ発振器の正常動作時においては、シャ
ッター羽根１７がレーザ光路１２を遮断しているとき
は、レーザ発振を停止し、シャッター羽根１７がレーザ
光路１２を遮断していないときは、レーザ発振をする。
シャッター閉指令信号２２がでているときは、正常動作
時においては、シャッター羽根１７がレーザ光路１２を
遮断しているので、出力信号２１はローレベルとなり、
論理積回路２０の出力はローレベルとなりノーマルクロ
ーズ型リレー１６の接点は短絡され、レーザの出力は可
変抵抗器１５により調整できる状態となる。
【００１４】一方、シャッター閉指令信号２２がでてい
るのに何らかの理由でシャッター羽根１７がレーザ光路
１２を遮断できないという異常な場合には、出力信号２
１及びシャッター閉指令信号２２が共にハイレベルであ
るので、論理積回路２０の出力はハイレベルとなりノー
マルクローズ型リレー１６の接点は開放される。従っ
て、励起用光源４の入力電流は最低値となり、レーザ発
振が停止する。
るのに何らかの理由でシャッター羽根１７がレーザ光路
１２を遮断できないという異常な場合には、出力信号２
１及びシャッター閉指令信号２２が共にハイレベルであ
るので、論理積回路２０の出力はハイレベルとなりノー
マルクローズ型リレー１６の接点は開放される。従っ
て、励起用光源４の入力電流は最低値となり、レーザ発
振が停止する。
【００１５】以上説明したように、本実施例に係る固体
レーザ発振器は、内部シャッターの誤動作等による異常
事態が発生しても、不用意なレーザ光の放射を防止する
ことができる。
レーザ発振器は、内部シャッターの誤動作等による異常
事態が発生しても、不用意なレーザ光の放射を防止する
ことができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る固体レ
ーザ発振器によれば、内部シャッターの誤動作によりレ
ーザ光の出力を制御できない異常事態が発生しても、こ
の異常事態を光センサにより検出して、励起用光源の入
力電流をレーザ発振させるためのしきい値以下に強制的
に抑えることにより、レーザ発振を停止させることがで
きる。従って、異常事態による不用意なレーザ光の放射
を防止することができる安全な固体レーザ発振器を提供
することができる。
ーザ発振器によれば、内部シャッターの誤動作によりレ
ーザ光の出力を制御できない異常事態が発生しても、こ
の異常事態を光センサにより検出して、励起用光源の入
力電流をレーザ発振させるためのしきい値以下に強制的
に抑えることにより、レーザ発振を停止させることがで
きる。従って、異常事態による不用意なレーザ光の放射
を防止することができる安全な固体レーザ発振器を提供
することができる。
【図１】本発明の実施例に係る固体レーザ発振器を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】図１に示すレーザ電源８の要部の一実施例を示
す回路図である。
す回路図である。
【図３】図１に示す内部シャッター５が正常に動作して
いるか否かを検出する構造の一実施例を示す説明図であ
る。
いるか否かを検出する構造の一実施例を示す説明図であ
る。
４ ；励起用光源 ５ ；内部シャッター ７ ；固体レーザ発振器 ９ ；発光素子 １０ ；受光素子 １２ ；レーザ光路
Claims (2)
- 【請求項１】 全反射ミラー，出力ミラー，レーザ用活
性媒質，励起用光源及び内部シャッターを有する共振器
と、前記励起用光源を駆動するレーザ電源部とを有する
固体レーザ発振器において、前記共振器内において前記
内部シャッターの動作を検出する光センサと、この光セ
ンサから出力される信号を増幅して２値化レベルに変換
する手段と、この２値化レベルに変換する手段の出力信
号と前記内部シャッターを閉じさせる信号との論理積を
とる論理積回路と、この論理積回路の出力により前記レ
ーザ電源部の出力電流値をレーザ発振しきい値以下に設
定する手段とを有することを特徴とする固体レーザ発振
器。 - 【請求項２】 前記光センサは、前記内部シャッターが
閉じたときに生じるこの内部シャッターにより遮断され
たレーザ光路の遮断面に対向するように配置され、か
つ、検出光が前記遮断面を通過するように配置される発
光素子と受光素子とを有することを特徴とする請求項１
に記載の固体レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34563491A JPH05183223A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 固体レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34563491A JPH05183223A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 固体レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05183223A true JPH05183223A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18377935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34563491A Pending JPH05183223A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 固体レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05183223A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI394336B (zh) * | 2007-05-28 | 2013-04-21 | Sony Corp | Semiconductor light emitting element |
| JP2016162849A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | ファナック株式会社 | 温度調整が可能なガスレーザ発振器 |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP34563491A patent/JPH05183223A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI394336B (zh) * | 2007-05-28 | 2013-04-21 | Sony Corp | Semiconductor light emitting element |
| JP2016162849A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | ファナック株式会社 | 温度調整が可能なガスレーザ発振器 |
| CN105932524A (zh) * | 2015-02-27 | 2016-09-07 | 发那科株式会社 | 能够进行温度调整的气体激光振荡器 |
| CN105932524B (zh) * | 2015-02-27 | 2018-04-10 | 发那科株式会社 | 能够进行温度调整的气体激光振荡器 |
| DE102016001981B4 (de) | 2015-02-27 | 2019-06-27 | Fanuc Corporation | Temperatursteuerbarer Gaslaseroszillator |
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