JPH05181009A - Production of color filter - Google Patents

Production of color filter

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JPH05181009A
JPH05181009A JP35768391A JP35768391A JPH05181009A JP H05181009 A JPH05181009 A JP H05181009A JP 35768391 A JP35768391 A JP 35768391A JP 35768391 A JP35768391 A JP 35768391A JP H05181009 A JPH05181009 A JP H05181009A
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JP
Japan
Prior art keywords
color
light
shielding film
color filter
pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP35768391A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshinobu Kashima
敏信 鹿島
Takashi Sugiyama
貴 杉山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Stanley Electric Co Ltd
Original Assignee
Stanley Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH05181009A publication Critical patent/JPH05181009A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain the process for production of the color filter which can be formed to a larger film thickness and can be smoothed by forming a light shielding film simultaneously with formation of one color pattern. CONSTITUTION:A color resist 8 of the final one color is applied on a color filter substrate 6 formed with color patterns 7, 71 of at least two colors by a method, such as dyeing, pigment dispersing or electrodeposition, and is subjected to back exposing by irradiation with UV light 9; thereafter, baking 10 for smoothing and developing 11 are executed to form the light shielding film 82. The light shielding film pattern is formed as well simultaneously with the formation of the color pattern of the final one color.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示素子に利用
されるカラーフィルターの製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used in a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、染色、顔料分散、電着等の方法に
よりカラーフィルターを作製する場合において、遮光膜
のブラックマスクは図2又は図3に示す方法で形成され
ている。すなわち、図2に図示した従来の第1の方法
は、ガラス等透明基板1上に、Crや有機顔料、カーボ
ン等をスパッタやフォトリソにより遮光膜2を形成し、
その後3色(R.G.B)パターン3、31、32を形
成している。
2. Description of the Related Art Conventionally, when a color filter is manufactured by a method such as dyeing, pigment dispersion, electrodeposition, etc., a black mask of a light shielding film is formed by the method shown in FIG. 2 or 3. That is, in the first conventional method shown in FIG. 2, the light shielding film 2 is formed on the transparent substrate 1 such as glass by sputtering or photolithography with Cr, an organic pigment, carbon or the like,
After that, three-color (R.G.B.) patterns 3, 31, and 32 are formed.

【0003】また、図3に図示した従来の第2の方法
は、3色(R.G.B)パターン3、31、32が形成
されているガラス等透明基板1上にブラックレジスト2
1を塗布し、背面露光により既存のパターンをマスクと
して遮光膜4を形成している。
In the second conventional method shown in FIG. 3, a black resist 2 is formed on a transparent substrate 1 such as glass on which three color (R.G.B) patterns 3, 31, 32 are formed.
1 is applied and the light-shielding film 4 is formed by backside exposure using the existing pattern as a mask.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の技
術では、スパッタやフォトリソにより遮光膜を作製する
工程があるため、コストがかかるという問題点がある。
However, in the above-mentioned conventional technique, there is a problem that the cost is high because there is a step of forming the light-shielding film by sputtering or photolithography.

【0005】また、特に、カラーSTN対応の場合は、
視覚特性の点からカラーフィルター基板の平滑性が重要
視されるが、上記2方法では、遮光膜部への厚膜化が困
難であり、平滑化が充分にできないという問題点があ
る。
In particular, in the case of color STN compatible,
Although the smoothness of the color filter substrate is important from the viewpoint of visual characteristics, the above two methods have a problem that it is difficult to increase the thickness of the light-shielding film portion and the smoothing cannot be sufficiently performed.

【0006】そこで、本発明は上記従来の技術の問題点
に鑑み案出されたもので、厚膜化及び平滑化が可能なカ
ラーフィルターの製造方法の提供を目的としている。
Therefore, the present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art, and an object thereof is to provide a method of manufacturing a color filter capable of thickening and smoothing a film.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明におけるカラーフィルターの製造方法におい
ては、染色、顔料分散、電着等の方法により、少なくと
も2色のカラーパターンが形成されたカラーフィルター
基板に最後の1色のカラーレジストを塗布し、UV光を
照射して背面露光を行った後、厚膜と平滑化のための焼
成及び現像を行って遮光膜を形成し、前記最後の1色の
カラーパターン形成と同時に遮光膜パターンも形成する
ことを特徴としている。
In order to achieve the above object, in the method for producing a color filter of the present invention, at least two color patterns are formed by a method such as dyeing, pigment dispersion and electrodeposition. The color filter substrate is coated with the last color resist of one color, UV light is irradiated to perform back exposure, and then a thick film and baking and smoothing for smoothing are performed to form a light-shielding film. The feature is that the light-shielding film pattern is formed at the same time when the color pattern of one color is formed.

【0008】また、上記の場合において、背面露光後に
焼成(PES)を行うことを特徴としている。
In the above case, baking (PES) is performed after backside exposure.

【0009】さらに、複数のカラーパターンからなるカ
ラーフィルターの場合には、1色のカラーパターンが他
色のカラーパターン以外の全ての部分に形成されている
事を特徴としている。
Further, in the case of a color filter composed of a plurality of color patterns, one color pattern is formed in all parts other than the other color patterns.

【0010】[0010]

【作用】1つのカラーパターン形成工程と兼ねて遮光膜
を形成することができるため、工程の簡略化が可能にな
り、更に厚膜化が可能になる。特に、青色を遮光膜とし
て焼成を行った場合には、充分な厚膜化、平滑化が可能
になる。
Since the light-shielding film can be formed in one color pattern forming process, the process can be simplified and the film can be made thicker. In particular, when baking is performed using blue as a light-shielding film, it is possible to sufficiently thicken and smooth the film.

【0011】[0011]

【実施例】実施例について図1を参照して説明すると、
第1工程aでは、染色、顔料分散、電着等の方法によ
り、R(赤).G(緑).B(青)のうちの2色のカラ
ーパターン7、71が形成されたカラーフィルター基板
6に形成されている。
EXAMPLE An example will be described with reference to FIG.
In the first step a, R (red) is formed by a method such as dyeing, pigment dispersion, and electrodeposition. G (green). It is formed on the color filter substrate 6 on which the color patterns 7 and 71 of two colors of B (blue) are formed.

【0012】また、上記カラーフィルター基板6には、
残りの最後の1色のカラーレジスト8が塗布されてい
る。前記最後に塗布する1色のカラーレジスト8は、U
V光9の透過からB(青)を用い、残りの2色のカラー
パターン7、71はR(赤)又はG(緑)であることが
望ましい。
Further, the color filter substrate 6 has
The remaining last one color resist 8 is applied. The color resist 8 of one color applied at the end is U
It is preferable that B (blue) is used from the transmission of the V light 9 and the remaining two color patterns 7, 71 are R (red) or G (green).

【0013】第2工程bでは、上記カラーフィルター基
板6を背面よりUV光9を適当なエネルギーで照射し、
他の2色のカラーパターン7、71をフォトマスクとし
て塗布した残りの最後の1色のカラーレジスト8を露光
する。
In the second step b, the color filter substrate 6 is irradiated with UV light 9 from the rear surface with appropriate energy,
The last color resist 8 of the last one color applied with the other two color patterns 7 and 71 as a photomask is exposed.

【0014】第3工程cでは、より厚膜とし、かつ平滑
化するために、第2工程bで形成されたカラーフィルタ
ー基板6を100℃、20min程度で焼成(post
exposure bakeを省略してP.E.B)
10するのが望ましい。
In the third step c, in order to make the film thicker and smoother, the color filter substrate 6 formed in the second step b is baked at 100 ° C. for about 20 minutes (post).
Omitting the exposure bake, P. E. B)
10 is desirable.

【0015】第4工程dでは、第3工程cで形成された
カラーフィルター基板6を現像11し、3色目カラーパ
ターン81と同時に遮光膜82も形成する。
In the fourth step d, the color filter substrate 6 formed in the third step c is developed 11 and the light shielding film 82 is formed simultaneously with the third color pattern 81.

【0016】また、複数のカラーパターンからなるカラ
ーフィルターの場合は、1色のカラーパターンが他色の
カラーパターン以外の全ての部分に形成されている。
In the case of a color filter composed of a plurality of color patterns, one color pattern is formed in all parts except the other color patterns.

【0017】上記の説明では、R.G.Bの3色のカラ
ーパターン7、71、81を形成する場合であるが、2
色又は4色以上のカラーパターンを形成するときも同様
な工程で行われる。
In the above description, R. G. In the case of forming color patterns 7, 71, 81 of three colors of B,
The same process is performed when forming a color pattern or a color pattern of four or more colors.

【0018】なお、遮光膜82は、R.G.Bのうちの
1色のB(青色)で代用可能な理由は、STN対応等と
してフイルム補償等で白黒補償とした場合、可視光全波
長域に渡って均一に黒レベルを出すことは難しく、ある
特定波長で光ヌケが大きくなる。そこで、その特定波長
のみを吸収するようなマスクを施せば充分となるために
代用が可能になる。
The light shielding film 82 is formed of R. G. One of the colors of B can be substituted by B (blue). When black and white compensation such as film compensation is used as STN correspondence, it is difficult to obtain a uniform black level over the entire visible light wavelength range. Light loss increases at a specific wavelength. Therefore, it suffices to provide a mask that absorbs only the specific wavelength, and thus a substitute can be used.

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明は上述の通り構成されているの
で、次に記載する効果を奏する。 A.従来のカラーフィルター作製工程では、遮光膜の形
成工程が必要であったが、本発明では1つのカラーパタ
ーン形成工程と兼ねて遮光膜を形成することができるた
め、工程の簡略化、コストの低減化が可能になる。
Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. A. In the conventional color filter manufacturing process, a light-shielding film forming process is required, but in the present invention, the light-shielding film can be formed also as one color pattern forming process, so that the process is simplified and the cost is reduced. It becomes possible.

【0020】B.従来のカラーフィルター作製における
遮光膜形成は、スパッタやブラックレジストにUV光を
照射し形成していたため、厚膜化したり、カラーフィル
ター基板を平滑化することは困難であったが、本発明で
は、カラーパターンの1色を遮光膜と兼ねるため、厚膜
化が可能になる。
B. In the conventional formation of the color filter, the light-shielding film was formed by irradiating UV light onto a spatter or a black resist, so it was difficult to increase the film thickness or smooth the color filter substrate. Since one color of the color pattern also serves as the light-shielding film, the film can be made thicker.

【0021】特に、青色を遮光膜として焼成を行った場
合には、充分な厚膜化、平滑化が可能になる。
In particular, when baking is performed using blue as a light-shielding film, it is possible to sufficiently thicken and smooth the film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のカラーフィルター製造工程図である。FIG. 1 is a process drawing of a color filter of the present invention.

【図2】従来の第1のカラーフィルター製造方法の断面
図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a conventional first color filter manufacturing method.

【図3】従来の第2のカラーフィルター製造方法の断面
図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a second conventional method of manufacturing a color filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 基板 7 カラーパターン(R又はG) 71 カラーパターン(R又はG) 8 最後の1色(B)のカラーレジスト 81 カラーパターン(B) 82 遮光膜 9 UV光 10 焼成 11 現像 a 第1工程 b 第2工程 c 第3工程 d 第4工程 6 substrate 7 color pattern (R or G) 71 color pattern (R or G) 8 color resist of the last one color (B) 81 color pattern (B) 82 light-shielding film 9 UV light 10 baking 11 development a first step b 2nd process c 3rd process d 4th process

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】染色、顔料分散、電着等の方法により、少
なくとも2色のカラーパターンが形成されたカラーフィ
ルター基板に最後の1色のカラーレジストを塗布し、U
V光を照射して背面露光を行った後、厚膜と平滑化のた
めの焼成及び現像を行って遮光膜を形成し、前記最後の
1色のカラーパターン形成と同時に遮光膜パターンも形
成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
1. A final color resist of one color is applied to a color filter substrate on which a color pattern of at least two colors is formed by a method such as dyeing, pigment dispersion, and electrodeposition.
After irradiating V light to perform back exposure, a thick film and baking and development for smoothing are performed to form a light-shielding film, and a light-shielding film pattern is also formed simultaneously with the formation of the last color pattern of one color. A method for producing a color filter, characterized by
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