JPH0518049U - レーザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ガラス製の放電管１の両端大径部１ｂ，１ｃ
に円周方向等間隔で複数の突起１ｅを設けるとともに、
左方側の大径部１ｂの各突起１ｅに陰極ピン４を一体に
埋設し、また右方側の大径部１ｃの各突起１ｅに陽極ピ
ン５を一体に埋設する。 【効果】 陰極ピン４および陽極ピン５は、放電管１の
各突起１ｅに一体に埋設してあるので、レーザ発振器の
組立の際に陰極ピン４および陽極ピン５を放電管１に取
付ける手間を省略することができる。したがって、その
分だけレーザ発振器の組立作業を簡略化することができ
る。

Description

【考案の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本考案はレーザ発振器に関し、より詳しくはその放電管と電極の改良に関する 。

【従来の技術】

従来、レーザ発振器として、筒状に形成されて内部空間にガスが流通されるガ ラス製の放電管と、上記放電管の軸方向における一端側に設けた複数の陽極ピン と、放電管の軸方向における他端側に設けた複数の陰極ピンと、上記陽極ピンと 陰極ピンとに接続されてそれら陽極ピンと陰極ピンとに高圧電流を通電する電源 とを備えたものは知られている（例えば、特開昭６１−１７４６８２号公報、特 開昭６３−３０２５８３号公報）。

【考案が解決しようとする課題】

しかるに、上述した従来のレーザ発振器では、上記放電管とは別個に複数の陽 極ピンおよび陰極ピンを製造した後、レーザ発振器の組立の際に、上記放電管の 端部に連結用のブロックを固定し、該ブロックに上記複数の陽極ピンおよび陰極 ピンをねじ等によって一体に連結するようにしていた。したがって、上述した従 来の技術では、レーザ発振器の組み立て作業が煩雑になるという欠点があった。

【課題を解決するための手段】

上述した事情に鑑み、本考案は、筒状に形成されて内部空間にガスが流通され るガラス製の放電管と、上記放電管の軸方向における一端側に設けた複数の陽極 ピンと、放電管の軸方向における他端側に設けた複数の陰極ピンと、上記陽極ピ ンと陰極ピンとに接続されてそれら陽極ピンと陰極ピンとに高圧電流を通電する 電源とを備えたレーザ発振器において、上記陽極ピンおよび陰極ピンを上記放電 管に一体に埋設したものである。

【作用】

このような構成によれば、陽極ピンおよび陰極ピンは放電管に一体に埋設され ているので、レーザ発振器の組立の際に、それら陽極ピンおよび陰極ピンを放電 管に連結する手間を省略することができ、またアライメントを調整する必要がな い。 したがって、従来に比較して、レーザ発振器の組立作業を簡略化することがで きる。

【実施例】

以下、図示実施例について本考案を説明すると、図１において、１はレーザ発 振器の放電管であり、円筒状のガラスから構成している。放電管１は、その軸方 向の中央部１ａの外周を円筒状のホルダ２によって水平に保持してあり、このホ ルダ２はブラケット３を介して図示しない機枠に固定されている。 放電管１の内部空間Ａには、該放電管１の左方側となる開口から図示しないガ ス供給手段によってガスを供給するようにしてあり、矢印で示すように、放電管 １内に供給されたガスはその内部空間を右方側の開口にむけて流通するようにな っている。 放電管１における左方外周部には、タングステンからなる複数の陰極ピン４を 設けてあり、他方、放電管１の右方外周部にはタングステンからなる複数の陽極 ピン５を設けている。陽極ピン５と陰極ピン４はケーブル６を介して図示しない 高圧電源に接続してあり、放電管１の内部空間Ａにガスを流通させた状態におい て、陽極ピン５および陰極ピン４に高圧電源から電流を流すと上記両電極５，６ 間で放電が行われるようになっている。 放電管１の左右両端部の開口の外方側には、該放電管１の開口に対向させて図 示しない一対のミラーを設けてあり、これら一対のミラーによって上記電極５， ６間で放電されたプラズマを増幅して、放電管１の左方側に向けてレーザ光線を 発振させるようになっている。 しかして、上記放電管１の肉厚は軸方向の全域において同一にしているが、軸 方向における左右両端側の外径は、ホルダ２で保持した中央部１ａの外径に比較 して所定寸法だけ大きくした大径部１ｂ，１ｃとしてあり、中央部１ａと上記各 大径部１ｂ，１ｃとの接続部分は傾斜の緩やかなテーパ部１ｄとしている。 本実施例では、上述した陰極ピン４および陽極ピン５を放電管１の大径部１ｂ ，１ｃに一体に埋設するようにしたものである。すなわち、図２、図３にも拡大 して示すように、該放電管１における右方側の大径部１ｃにおけるテーパ部１ｄ に近い位置には，円周方向等間隔で放射状に突出する円柱状の突起１ｅを設けて あり、ガラス製の放電管１を製造する際にこれら円柱状の各突起１ｅの軸部に各 陽極ピン５の中央部５ａそれぞれを一体に埋設するようにしている。 各突起１ｅに埋設した各陽極ピン５の内方側の端部５ｂは放電管１の内部空間 Ａに位置させるとともに、ガスの流通方向上流側にむけてＬ字形に折り曲げてい る。図２に示すように、本実施例では、上流側にむけて折り曲げた上記内方側の 端部５ｂは、実質的に放電管１の半径方向において該放電管１の中央部１ａの内 周面よりもわずかに半径方向外方側に位置するようにしている。 また、図３に示すように、突起１ｅに埋設させた陽極ピン５の中央部５ａの外 周面と突起１ｅとの間には中間材としてのコバール７を介在させてあり、それに よって、突起１ｅ内に埋設した陽極ピン５が熱膨張した際に、該陽極ピン５の熱 膨張を吸収できるようにしている。 さらに陽極ピン５の外方側の端部５ｃは、各突起１ｅの先端部から外方側に突 出させてあり、上記ケーブル６の先端に連結したソケット８の孔８ａに嵌合する ようにしている（図４参照）。 そして、陽極ピン５の外方側の端部５ｃは、ソケット８の側部から孔８ａまで 螺合させたボルト９の先端によって、上記ソケット８の孔８ａ内に保持している 。 また、各ケーブル６は、放電管１の大径部１ｃに嵌着した絶縁体からなるリン グ状のケーブルホルダ１２によって保持するようにしている。すなわち、図５に 拡大して示すように，ケーブルホルダ１２の外周面軸方向には、円周方向等間隔 位置にケーブル６の外径に合わせた寸法の断面Ｕ字形の軸方向溝１２ａを設けて あり、この軸方向溝１２ａ内に各ケーブル６を係合させるようにしている。また 、図６に示すように、ケーブルホルダ１２における外周面の軸方向中央部には、 上記軸方向溝１２ａと直交させて環状溝１２ｂを設けている。そして、各ケーブ ル６を各軸方向溝１２ａ内に係合収納した状態において、各軸方向溝１２ａ内の ケーブル６の外方側から上記環状溝１２ｂにバンド１３を巻回するようにしてあ り、それによって、各ケーブル６が軸方向溝１２ａから脱落しないようにしてい る。 放電管１の左方側の大径部１ｂに設けた各陰極ピン４の構成、各陰極ピン４を 埋設した放電管１の突起１ｅ、ケーブル６、ソケット８、およびケーブルホルダ １２の構成は、上述した陽極ピン５側の構成と同じなので説明を省略する。ただ し、各陰極ピン４を埋設した放電管１の突起１ｅは、陽極ピン５側の突起１ｅと 対向させて設けてあり、また、各陰極ピン４における内方側の端部４ａは、ガス の流通方向下流側にむけてＬ字型に折り曲げている（図１参照）。この各陰極ピ ン４における内方側の端部４ａも上記陽極ピン５の内方側の端部５ｂと同様に、 放電管１の中央部１ａの内周面よりもわずかに半径方向外方に位置するようにし ている。 上述した本実施例の構成によれば、複数の陽極ピン５および陰極ピン４は、放 電管１に一体に埋設されているので、従来のように、放電管１の両端部にブロッ クを固定し、該ブロックに複数の陽極ピン５および陰極ピン４を取り付けるよう にしていたものと比較すると、レーザ発振器の組立作業を簡略化することができ るとともにアライメントを調整する必要がない。 また、陽極ピン５および陰極ピン４は、絶縁体であるガラス製の放電管１に埋 設してあるので、円周方向に隣り合う陽極ピン５（陰極ピン４）のために特別な 絶縁体を設ける必要がなく、したがって、その分だけ放電管１の構成を簡略化す ることができる。 さらに、陽極ピン５および陰極ピン４を設けた放電管１の大径部１ｂ，１ｃは 、放電管１の中央部１ａに比較して外径を大きくしてあるので、放電管１の軸方 向の長さを従来と同一に設定しても、放電管１の内部空間Ａの容積を従来よりも 増大させることができる。 なお、上記実施例では、陽極ピン５（陰極ピン４）をボルト９によってソケッ ト８の孔８ａに保持するようにしているが（図４参照）、次のような構成であっ ても良い。すなわち、図７、図８に示すように、概略鼓形の保持部材１４をソケ ット８の孔８ａに嵌着し、その保持部材１４の一端開口に陽極ピン５の端部５ｃ を挿入するようにしても良い。保持部材１４の軸方向中央側は円周方向に配置し た複数の板ばね１４ａから構成するとともに、それら板ばね１４ａの軸方向中央 部は、半径方向内方に向けて膨出させて内部空間を縮径してあるので、各板ばね １４ａの軸方向中央部によって陽極ピン５の端部５ｃを保持することができる。 このような構成によれば、放電管１と一体に埋設した陽極ピン５の端部５ｃに無 理な力が作用したとしても、上記板ばね１４ａの弾性変形によって吸収できるの で、陽極ピン５を埋設した位置の放電管１にクラックが生じることを良好に防止 することができる。

【考案の効果】

以上のように、本考案によれば、従来に比較してレーザ発振器の組立作業を簡 略化することができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本考案の一実施例を示す断面図

【図２】図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う要部の断面図

【図３】図３は図１の要部の拡大図

【図４】図４は図１の要部の拡大図

【図５】図５は図１のＶ−Ｖ線に沿う要部の断面図

【図６】図６は図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図

【図７】図７は本考案のほかの実施例を示す要部の断面
図

【図８】図８は図７の要部の斜視図

【符号の説明】

１ 放電管 ４ 陰極ピン ５ 陽極ピン

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 筒状に形成されて内部空間にガスが流通
   されるガラス製の放電管と、上記放電管の軸方向におけ
   る一端側に設けた複数の陽極ピンと、放電管の軸方向に
   おける他端側に設けた複数の陰極ピンと、上記陽極ピン
   と陰極ピンとに接続されてそれら陽極ピンと陰極ピンと
   に高圧電流を通電する電源とを備えたレーザ発振器にお
   いて、 上記陽極ピンおよび陰極ピンを上記放電管に一体に埋設
   したことを特徴とするレーザ発振器。
2. 【請求項２】 上記陽極ピンおよび陰極ピンを設けた位
   置の放電管の内径は、該放電管の軸方向中央側の内径よ
   りも大きく設定してあり、かつ、放電管の内部空間に位
   置する上記陽極ピンおよび陰極ピンの先端は、上記放電
   管の軸方向中央側の内周面よりも半径方向外方側に位置
   していることを特徴とする請求項１のレーザ発振器。