JPH05177556A - 真空ピンセット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着用の真空圧源が不要であると共に、容易
に吸着具から被吸着物を離脱することが、簡単な構成で
達成できる真空ピンセット装置を提供する。 【構成】 ピンセット本体１の先端部に導管１１を介し
て装着される吸着具１３で被吸着物Ｗを吸着保持または
離脱させる真空ピンセット装置であり、外部からの吐出
用空気源８をピンセット本体１に設けた真空発生機構に
吐出流路１６を介して接続し、この真空発生機構に導い
た吐出空気を真空発生機構を通過させてピンセット本体
１に開口させた排気口１８から外部に排気させ、このと
き真空発生機構で発生した真空圧を導管１１を介して吸
着具１３に導いて、吸着具口部１３ａに生じた吸引圧で
被吸着物Ｗを吸着保持すると共に、排気口１８に通じる
排気流路１７を切換え弁２で閉止した際に吐出空気源８
からの吐出空気を真空発生機構から導管１１を介して吸
着具１３に導き、吸着具口部１３ａに生じた吐出圧で被
吸着物Ｗの離脱を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空ピンセット本体の
先端側に取り付けた吸着具で半導体チップなどの被吸着
物を吸着保持して搬送する際に用いる真空ピンセット装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般の真空ピンセットでは、ピンセット
本体に吸引用空気源を接続し、ピンセット本体の先端側
の吸着具に生じた吸引圧を利用して被吸着物を吸着保持
するようになっている。また被吸着物を離脱させる際
は、ピンセット本体の遮断弁を操作して吸引流路を遮断
し、被吸着物を自重により吸着具から離脱するようにな
っている。

【０００３】一方、図１５に示す実開平２−３５６７７
号の公報に記載される真空ピンセットでは、ピンセット
本体７０に吐出用空気源のみが接続されており、操作ボ
タン７１をばね７２に抗して押し込んだときに弁７３が
開いて、ピンセット本体１内の真空発生機構７４におい
て吐出空気流から吸引圧が作られ、吸着具７５で被吸着
物Ｗを吸着保持するようになっている。ボタン７１を離
したときは流路７６が遮断され、吸着具７５から吸引圧
が消失して被吸着物Ｗが自重で離脱される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、被吸着物が
非常に薄く小さな半導体チップであったり、微小な種子
または微小ベアリングのような小さな球状物などである
と、外気の流入で吸着具に発生した静電気の影響や空気
中の湿気の付着などによる影響で、自重だけでは被吸着
物が吸着具から容易に離脱しないという問題が生じる。

【０００５】そこで、ピンセット本体に吐出用空気源を
接続し、被吸着物の離脱の際に吸着具に吐出圧を作用さ
せることが考えられるが、このような構成にするとピン
セット本体には吸引用空気源の他に吐出用空気源を別途
接続する必要が出てくる。

【０００６】また、実開平２−３５６７７号の公報に記
載される真空ピンセットでは、ピンセット本体７０に接
続される吐出用空気源は単に吸引圧を作るためにのみ用
いられており、被吸着物Ｗの離脱を容易にするための改
善はなされていない。

【０００７】本発明は、このような従来の技術が有する
課題を解決するために提案されたものであり、静電気や
水分の付着による影響を受けることなく、容易に吸着具
から被吸着物を離脱すると共に、構成を簡単化する真空
ピンセット装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、ピンセット本体の先端部に導管を介して装
着される吸着具で被吸着物を吸着保持または離脱させる
真空ピンセット装置において、外部からの吐出用空気源
をピンセット本体に設けた真空発生部に吐出流路を介し
て接続し、この真空発生部に導いた吐出空気を真空発生
部を通過させてピンセット本体に開口させた排気口から
外部に排気させ、このとき真空発生部で発生した真空圧
を導管を介して吸着具に導いて、吸着具口部に生じた吸
引圧で被吸着物を吸着保持すると共に、上記排気口を開
閉手段で閉止した際に吐出空気源からの吐出空気を真空
発生部から導管を介して吸着具に導き、吸着具口部に生
じた吐出圧で被吸着物の離脱を行なえるような構成とな
っている。

【０００９】また本発明による真空ピンセット装置は、
上記排気口をピンセット本体の上面部に開口させ、この
排気口を手指で開閉して吸着具による被吸着物の吸着保
持の動作と離脱の動作を切り換えられる構成となってい
る。

【００１０】また本発明による真空ピンセット装置は、
上記排気口をピンセット本体の上面部に開口させ、この
排気口を開閉する手動操作つまみをピンセット本体にス
ライド自在に設け、この手動操作つまみを操作して吸着
具による被吸着物の吸着保持の動作と離脱の動作を切り
換えられる構成となっている。

【００１１】また本発明による真空ピンセット装置は、
切換え操作ボタンに連動して真空発生部と上記排気口と
の連通を開閉する切換え弁を上記真空発生部に設け、こ
の切換え操作ボタンを操作して吸着具による被吸着物の
吸着保持の動作と離脱の動作を切り換えられる構成とな
っている。

【００１２】また本発明による真空ピンセット装置は、
上記排気口をピンセット本体の後部に開口させ、上記真
空発生部と排気口を排気流路で接続した構成となってい
る。

【００１３】また本発明による真空ピンセット装置は、
上記排気口部分にこの排気口の開口度を変えられる吸引
圧調整用手段を設け、この吸引圧調整手段で吸引具にお
ける吸引圧を調整する構成となっている。

【００１４】また本発明による真空ピンセット装置は、
絶縁部材に間隔を隔てて配置した電極棒に高電圧を印加
してイオンを発生するイオン発生器を吸着具に近い導管
部分に取り付け、このイオン発生器で発生したイオンで
吸着具の静電気を除電する構成となっている。

【００１５】また本発明は、ピンセット本体の先端部に
導管を介して装着される吸着具で空気を吸引して被吸着
物を吸着保持すると共に、この吸着具から空気を吐出し
て被吸着物を離脱させる真空ピンセット装置において、
高電圧を印加してイオンを発生させる電極棒を絶縁部材
に間隔を隔てて配置し、この絶縁部材から突出する電極
棒の先端部に摺動板を遊嵌し、電極棒の先端部側を開口
させた筒状のガイド部材を絶縁部材の外周部に取り付け
て、絶縁部材とこのガイド部材間を上記摺動板が電極棒
の軸方向に移動自在とし、上記導管から絶縁部材と摺動
板との合せ面に通じる連通孔を絶縁部材に穿設し、上記
導管に流れる吸引空気または吐出空気がこの連通孔を介
して上記合せ面に導き、吸引圧または吐出圧を利用して
上記摺動板を電極棒の軸方向に往復移動するように構成
したイオン発生器を吸着具に近い導管部分に取り付け、
このイオン発生器で発生したイオンで吸着具の静電気を
除電する構成となっている。

【００１６】

【実施例】以下、本発明による真空ピンセット装置の具
体的な実施例を図面に基づき詳細に説明する。図１は真
空ピンセット装置の外観斜視図を示し、図２はピンセッ
ト装置の側面図を示し、図３はピンセット装置の縦断面
図を示す。この真空ピンセット装置のピンセット本体１
は、切換え弁２を有する真空発生機構が設けられる弁取
付け部４と、この弁取付け部４の後部に螺着される柄部
分５と、この柄部分５の内部に同心状に挿着される吐出
導管６とからなり、吐出導管６に連通する後部のチュー
ブ接続部７に吐出用空気源８から延びるチューブ９が接
続される。弁取付け部４の先端部には、自在球１０を介
して導管１１が押さえキッャプ１２よって接続される。
この導管１１の先端側には、吸着保持される被吸着物Ｗ
に応じて各種の吸着具１３が交換自在に装着される。ま
たこの吸着具１３の上方位置の導管部分には、吸着具１
３に発生した静電気を中和するためのイオン発生器１４
が取り付けられている。

【００１７】吐出導管６は、弁取付け部４の内側後部に
形成された嵌込み凹部にリング状の押え座１５を介して
嵌め込まれ、この吐出導管６が内管吐出流路１６を構成
し、吐出導管６の外周側の柄部分５が外管排気流路１７
を構成する。柄部分５の後部には、外管排気流路１７に
連通する排気口１８が穿設されており、排気口１８の形
成部分に螺合される圧力調整カラー１９を回すことで、
排気口１８の開口度を変えられ、この圧力調整カラー１
９で吸着具１３での吸引圧を調整するようになってい
る。

【００１８】弁取付け部４に上下方向に形成された弁室
２０内には、図４に示すように下部側の戻しばね２１で
上方に付勢された状態で弁体２２が収容されており、弁
室上部を塞ぐブッシュ２３から突出する弁棒２４の先端
部に切換え操作ボタン２５が取り付けられている。また
弁取付け部４には、内管吐出流路１６と弁室２２の下部
室とを連通する吐出孔２６、弁室２０の上部と排気流路
１７とを連通する排気孔２７が穿設されており、弁取付
け部４の前部側には弁室２０の中央部と導管１１側とを
連通する連通孔２８が穿設されている。弁体２２内の軸
心部には、上側に徐々に内径を小さくした真空発生用絞
り孔２９が上下方向に穿設され、この絞り孔２９の下部
には弁体２２の一部を構成する円錐状のノズル３０が嵌
め込まれている。このノズル３０の上下方向に穿設され
ている孔３０ａは上部側に拡径されている。弁体２２の
上部外周部には、弁体２２が押し上げられた状態で排気
孔２７に通じる外周溝３１が形成され、この外周溝３１
が横孔３２で真空発生用絞り孔２９に連通している。弁
体２２が押し下げられたときこの外周溝３１は排気孔２
７から外れ、排気孔２７との連通が遮断される。また弁
体２２の外周中央部には、上下方向に溝幅を広くした外
周溝３３が形成されており、この外周溝３３が横孔３４
で真空発生用絞り孔２９に連通している。この外周溝３
３は弁体２２の位置によらず連通孔２８に通じている。

【００１９】つぎに、このような真空発生機構を弁取付
け部４に設けた真空ピンセット装置の動作を説明する。
まず、吐出用空気源８からの吐出空気が内管吐出流路１
６と吐出孔２６を介して弁室２０の下部室に流入される
と、この吐出空気は弁体２０内のノズル３０から真空発
生用絞り孔２９に吐出され、この絞り孔２９を勢いよく
上昇して横孔３２、外周溝３１および排気孔２７を通っ
て外管排気流路１７に入り、後部の排気口１８から外部
に排気される。吐出空気流が真空発生用絞り孔２９を勢
いよく通過するときに、この絞り孔２９内が真空状態と
なって横孔３４と外周溝３３を介して連通孔２８内の空
気が絞り孔２９内に引き込こまれる。これにより導管１
１先端部の吸着具１３の口部１３ａに吸引圧が発生し
て、被吸着物Ｗを吸着保持するようになる。このときピ
ンセット本体１の後部側の圧力調整カラー１９を回して
カラー１９の位置を前後方向に変えると、排気口１８か
ら吐き出される空気量が変わるので、真空発生用絞り孔
２９に生じる真空圧が変化し、吸着具１３に発生する吸
引圧を調整することができる。このように排気がピンセ
ット本体１の後部側から行なわれるので、真空ピンセッ
トを操作する使用者に不快感を与えない。

【００２０】一方、図５に示すように切換え操作ボタン
２５を操作して戻しばね２１に抗して弁体２４を押し込
むと、絞り孔２９と排気孔２７が連通しなくなるので、
弁室２０内に流入した吐出空気は絞り孔２９から横孔３
４と外周溝３３を通って連通孔２８から抜け出し、導管
１１先端部の吸着具１３の口部１３ａに吐出空気が吹き
出される。これにより吸着具１３で保持されていた被吸
着物Ｗが吐出圧により離脱される。

【００２１】つぎに、吸着具１３に隣設されたイオン発
生器１４の構成を説明する。図６に示すように、ピンセ
ット本体１から延びる導管１１の先端部には、電極棒取
付け部３６を有する導管部３７が螺着され、この導管部
３７の先端部に吸着具１３が螺着される。絶縁部材から
なるこの導管部３７に一体な拡径の電極棒取付け部３６
には、外周寄りに穿設された電極取付け孔３８に、２本
の電極棒３９が軸方向に貫通されて取り付けられる。電
極棒取付け部３６から突出する電極棒３９の先端部３９
ａには、電極棒３９が差し込まれる孔４０が穿設された
摺動板をなす円板状の洗浄板４１が嵌め込まれる。図７
にこの洗浄板４１の平面図を示す。また電極棒取付け部
３６の外周部には、洗浄板４１の脱落を防止するガイド
部材である筒状のカバー４２が取り付けられる。このカ
バー４２は、図８に示すように電極棒３９の先端部側が
開口部４２ａとなっている。カバー４２の先端部の段部
４２ｂと電極棒取付け部３６との間が、洗浄板４１を電
極棒３９に沿って前後方向に移動させるための洗浄板収
容室４３となる。電極棒取付け部３６には、導管部３７
に連通する横孔４４が穿設され、これら横孔４４が縦孔
４５で洗浄板収容室４３に連通している。横孔４４と縦
孔４５は、導管部の流路と収容室とを接続する連通孔を
構成する。これにより導管部３７に被吸着物Ｗの吸着お
よび離脱に伴う吸引空気および吐出空気が流れるとき
に、横孔４４と縦孔４５を介して電極棒取付け部３６と
洗浄板４１の合せ面部に空気が出入りし、この空気流で
洗浄板４１が電極棒３９に対して前後方向に収容室４３
内を摺動する。このとき洗浄板４１で電極棒３９の先端
部３９ａの洗浄が行なわれる。なお、被吸着物Ｗが吸着
される際は、洗浄板４１が電極取付け部３６側に吸着さ
れてしまうので、縦孔４５が洗浄板４１で塞がれ、被吸
着物Ｗの吸着保持動作が阻害されない。

【００２２】また２本の電極棒３９に高電圧を印加する
ためのコネクタ４６は、図９および図１０に示すように
中央部に導管１１が嵌合する嵌込み凹部４７が形成さ
れ、両側に穿設された穴４８には筒状の接続用電極４９
が嵌め込まれている。これら電極４９は、接続ケーブル
５０で外部の高電圧発生装置に接続される。この構成か
らなるコネクタ４６は、電極棒取付け部３６の上部に突
出する電極棒３９の基部に接続用電極４９が上方から嵌
め込まれることで、電極棒３９に接続される。これによ
り２本の電極棒３９に高電圧が印加され、電極棒先端部
３９ａの周囲の空気がイオン化されて吸着具１３の除電
が行なわれる。このとき特に被吸着物Ｗの離脱動作の際
には、導管部３７から洗浄板収容室４３に流れ込む吐出
空気が、電極棒先端部３９ａと洗浄板４１の孔４０の隙
間からイオン流を巻き込みながら噴出されるので、イオ
ン化された空気で吸着具１３が良好に包み込まれ、吸着
具１３に発生していた静電気が効果的に中和される。従
って、吸着具１３に生じる静電気で被吸着物Ｗの離脱が
妨害される不具合は発生しなくなると共に、吸着具１３
の静電気で半導体チップが破壊される不具合が防止され
る。電極棒３９の先端部３９ａは、上述した洗浄板４１
で常に清浄に保たれるので、イオン流の発生が良好に行
なえる。

【００２３】導管部３７内の先端部には、球接触テーパ
ー部５１と上部側のストッパピン５２との間に吐出流量
調整用球５３が挿入されている。この調整球５３は、導
管部３７に螺合されている吸着具１３を回して導管部３
７先端部への取付け位置を前後方向に変えると、当該吸
着具１３の基端部に押圧されて球接触テーパー部５１と
の隙間を変化させ、この隙間から吐出される空気量を調
整する。この空気は吸着具１３の基端部外周から切欠溝
１３ｂを介して吸着具１３の内部に流入されるので、先
端側の口部１３ａに発生する吐出圧を被吸着物Ｗの種類
に応じて調節することができる。被吸着物Ｗの吸着動作
の際は、調整球５３がストッパピン５２側に移動するた
め、球接触テーパー部５１が塞がれるようなことはな
い。

【００２４】つぎに、図１１に示す他の実施例の真空ピ
ンセット装置を説明する。この実施例では、吐出導管６
が柄部分５の内部に挿着されておらず、図示しない柄部
分５後部のチューブ接続部７に吐出用空気源８から延び
るチューブ９が接続される。柄部分５の内周側が吐出流
路５４を構成し、この吐出流路５４が吐出孔５５で切換
え操作部の真空発生室５６の下部室に通じている。この
真空発生室５６内に、上部の排気口５７に連通する真空
発生用絞り孔５８が上下方向に穿設された筒体５９が嵌
め込まれており、この筒体５９の真空発生用絞り孔５８
に下方からノズル６０が装着されている。

【００２５】この構成の真空ピンセット装置では、吐出
流路５４からの吐出空気がノズル６０から真空発生用絞
り孔５８に吐出され、この絞り孔５８を勢いよく通過し
て排気口５７から抜け出るときに、絞り孔５８内に真空
が発生する。これにより、連通孔２８を介して導管１１
からの空気が絞り孔５８内に引き込まれるため、吸着具
１３の口部１３ａに吸引圧が生じて被吸着物Ｗを吸着保
持することができる。一方、筒体上部のフランジ面に開
口された排気口５７を手指６１で塞ぐと、吐出空気が連
通孔２８を介して導管１１に抜け出し、吸着具１３から
吐き出されるので、この吸着具１３に生じた吐出圧で被
吸着物Ｗを離脱できる。

【００２６】つぎに、図１２に示すさらに他の実施例の
真空ピンセット装置を説明する。この実施例では、筒体
５９上部のフランジ部５９ａに排気口５７を手動で開閉
できる操作つまみ６２を設けたものである。操作つまみ
６２には、図１３および図１４に示すようにフランジ部
５９ａの両側の溝部６３に係合して前後方向にスライド
するようにスライドガイド６４が形成されている。また
操作つまみ６２の内側中央部には、つまみ６２を前方に
スライドさせたときにだけ排気口５７を塞ぐことができ
る段部６５が突設されている。また操作つまみ６２を後
方にスライドさせたときは筒体５９の排気口５７が開
き、排気口５７から排気される空気がつまみ６２内部の
両側の流路６６を通って後部に開口された排気口６７か
ら抜け出るようになっている。このように排気が後方へ
行なわれるようにしたことで、使用者に直接空気が吹き
かからず、不快感を与えない。

【００２７】この構成の真空ピンセット装置では、操作
つまみ６２を後側にスライドさせると吐出空気が排気口
６７から排出され真空発生用絞り孔５８で真空が作ら
れ、吸着具１３で被吸着物Ｗを吸着保持ができる。一
方、操作つまみ６２を前方にスライドした場合には排気
口５７が塞がれるので、吐出空気が吸着具１３の口部１
３ａから抜け出し、吸着具１３に生じた吐出圧で被吸着
物Ｗを離脱できる。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ピ
ンセット本体に吐出用空気源だけを接続するだけで、被
吸着物を吸着保持するための吸引圧を吸着具に発生させ
ることができると共に、吐出空気を吸着具に導くことで
吸着具に生じた吐出圧で被吸着物を離脱させることがで
きる。従って、ピンセット本体に吸引用と吐出用の２つ
の空気源を接続する必要がないので、簡単な構成により
積極的に被吸着物の吸着保持と離脱とを行なえる。また
吐出圧を利用して被吸着物を離脱できるため、被吸着物
が微小物であっても静電気や水分による影響を受けず
に、良好に離脱操作を行なえる利点がある。また真空発
生部で吸引圧を作る際の排気をピンセット本体の後方側
に抜けるようにしているので、使用者の顔に直接空気が
吹きかかるような不快感がない。また吸着具に隣設させ
てイオン発生器を取り付けたので、吸着具に発生した静
電気を中和することができ、静電気の影響を受けること
なく被吸着物を離脱できると共に、吸着具の静電気で半
導体チップが破壊される不具合が発生しない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による真空ピンセット装置の一実施例を
示す外観斜視図である。

【図２】図１の真空ピンセット装置の側面図である。

【図３】上記真空ピンセット装置の縦断面図である。

【図４】上記真空ピンセット装置の切換え弁部分を拡大
して示す縦断面図である。

【図５】操作ボタンが押された状態を示す上記真空ピン
セット装置の縦断面図である。

【図６】上記真空ピンセット装置のイオン発生器部分を
示す縦断面図である。

【図７】イオン発生器に用いられる洗浄板の平面図であ
る。

【図８】図６のＡ−Ａ線断面図である。

【図９】イオン発生器に接続されるコネクタの縦断面図
である。

【図１０】図９のＢ−Ｂ線断面図である。

【図１１】他の実施例の真空ピンセット装置を示す要部
縦断面図である。

【図１２】さらに他の実施例の真空ピンセット装置を示
す要部縦断面図である。

【図１３】図１１のＣ−Ｃ線断面図である。

【図１４】図１２の真空ピンセット装置に用いられる操
作つまみの底面図である。

【図１５】従来の真空ピンセットを示す縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１ ピンセット本体 ２ 切換え弁 ４ 弁取付け部 ５ 柄部分 ６ 吐出導管 ７ チューブ接続部 ８ 吐出用空気源 ９ チューブ １１ 導管 １３ 吸着具 １４ イオン発生器 １６ 内管吐出流路 １７ 外管排気流路 １８ 排気口 １９ 圧力調整カラー ２０ 弁室 ２１ 戻しばね ２２ 弁体 ２５ 切換え操作ボタン ２６ 吐出孔 ２７ 排気孔 ２８ 連通孔 ２９ 真空発生用絞り孔 ３０ ノズル ３１，３３ 外周溝 ３２ 横孔 ３４ 横孔 ３６ 電極棒取付け
部 ３７ 導管部 ３９ 電極棒 ４１ 洗浄板 ４２ カバー ４４ 横孔 ４５ 縦孔 ４６ コネクタ ４９ 接続用電極 ５０ 接続ケーブル ５１ 球接触テーパ
ー部 ５２ ストッパピン ５３ 吐出流量調整
用球 ５４ 吐出流路 ５５ 吐出孔 ５６ 真空発生室 ５７ 排気口 ５８ 真空発生用絞り孔 ５９ 筒体 ５９ａ フランジ部 ６０ ノズル ６２ 手指 ６３ 溝部 ６４ スライドガイド ６５ 段部 ６６ 流路 ６７ 排気口

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ピンセット本体の先端部に導管を介して
   装着される吸着具で被吸着物を吸着保持または離脱させ
   る真空ピンセット装置において、 外部からの吐出用空気源をピンセット本体に設けた真空
   発生部に吐出流路を介して接続し、この真空発生部に導
   いた吐出空気を真空発生部を通過させてピンセット本体
   に開口させた排気口から外部に排気させ、このとき真空
   発生部で発生した真空圧を導管を介して吸着具に導い
   て、吸着具口部に生じた吸引圧で被吸着物を吸着保持す
   ると共に、上記排気口を開閉手段で閉止した際に吐出空
   気源からの吐出空気を真空発生部から導管を介して吸着
   具に導き、吸着具口部に生じた吐出圧で被吸着物の離脱
   を行なうことを特徴とする真空ピンセット装置。
2. 【請求項２】 上記排気口をピンセット本体の上面部に
   開口させ、この排気口を手指で開閉して、吸着具による
   被吸着物の吸着保持の動作と離脱の動作を切り換えられ
   ることを特徴とする請求項１記載の真空ピンセット装
   置。
3. 【請求項３】 上記排気口をピンセット本体の上面部に
   開口させ、この排気口を開閉する手動操作つまみをピン
   セット本体にスライド自在に設け、この手動操作つまみ
   を操作して、吸着具による被吸着物の吸着保持の動作と
   離脱の動作を切り換えられることを特徴とする請求項１
   記載の真空ピンセット装置。
4. 【請求項４】 切換え操作ボタンに連動して真空発生部
   と上記排気口との連通を開閉する切換え弁を上記真空発
   生部に設け、この切換え操作ボタンを操作して、吸着具
   による被吸着物の吸着保持の動作と離脱の動作を切り換
   えられることを特徴とする請求項１記載の真空ピンセッ
   ト装置。
5. 【請求項５】 上記排気口をピンセット本体の後部に開
   口させ、上記真空発生部とこの排気口を排気流路で接続
   したことを特徴とする請求項４記載の真空ピンセット装
   置。
6. 【請求項６】 上記排気口部分にこの排気口の開口度を
   変えられる吸引圧調整用手段を設け、この吸引圧調整手
   段で吸引具における吸引圧を調整するようにしたことを
   特徴とする請求項５記載の真空ピンセット装置。
7. 【請求項７】 ピンセット本体の先端部に導管を介して
   装着される吸着具で被吸着物を吸着保持または離脱させ
   る真空ピンセット装置において、 絶縁部材に間隔を隔てて配置した電極棒に高電圧を印加
   してイオンを発生するイオン発生器を吸着具に近い導管
   部分に取り付け、このイオン発生器で発生したイオンで
   吸着具の静電気を除電することを特徴とする真空ピンセ
   ット装置。
8. 【請求項８】 ピンセット本体の先端部に導管を介して
   装着される吸着具で空気を吸引して被吸着物を吸着保持
   すると共に、この吸着具から空気を吐出して被吸着物を
   離脱させる真空ピンセット装置において、 高電圧の印加でイオンを発生する電極棒を絶縁部材に間
   隔を隔てて配置し、この絶縁部材から突出する電極棒の
   先端部に摺動板を遊嵌し、電極棒の先端部側を開口させ
   た筒状のガイド部材を絶縁部材の外周部に取り付けて、
   絶縁部材とこのガイド部材間を上記摺動板が電極棒の軸
   方向に移動自在とし、上記導管から絶縁部材と摺動板と
   の合せ面に通じる連通孔を絶縁部材に穿設し、上記導管
   に流れる吸引空気または吐出空気をこの連通孔を介して
   上記合せ面に導き、吸引圧または吐出圧を利用して上記
   摺動板を電極棒の軸方向に往復移動するように構成した
   イオン発生器を吸着具に近い導管部分に取り付け、この
   イオン発生器で発生したイオンで吸着具の静電気を除電
   することを特徴とする真空ピンセット装置。