JPH05175302A - Picture inspecting device - Google Patents
Picture inspecting deviceInfo
- Publication number
- JPH05175302A JPH05175302A JP35560991A JP35560991A JPH05175302A JP H05175302 A JPH05175302 A JP H05175302A JP 35560991 A JP35560991 A JP 35560991A JP 35560991 A JP35560991 A JP 35560991A JP H05175302 A JPH05175302 A JP H05175302A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image information
- inspected
- detecting means
- data
- picture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、画像検査装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image inspection device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、ＴＡＢテープ、回路基板、ＩＣ
チップ等の製造工程においては、パターンの良否の検査
が行われる。例えば、ＴＡＢテープでは、ポリエステル
フィルム等の絶縁性フィルム基板上に銅箔等の導電性薄
膜を設け、この導電性薄膜をフォトリソグラフィにより
パターン化して、フィルム回路基板のリードを形成して
いる。そして、このリードには半導体チップがボンディ
ングされる。製品の信頼性を高めるためには、半導体チ
ップを実装する前に、ＴＡＢテープにおけるパターンが
適正であるか否かを検査することが重要である。2. Description of the Related Art For example, TAB tape, circuit board, IC
In the manufacturing process of chips and the like, the quality of the pattern is inspected. For example, in a TAB tape, a conductive thin film such as a copper foil is provided on an insulating film substrate such as a polyester film, and the conductive thin film is patterned by photolithography to form leads of the film circuit board. Then, a semiconductor chip is bonded to this lead. In order to improve the reliability of the product, it is important to inspect whether or not the pattern on the TAB tape is proper before mounting the semiconductor chip.
【０００３】ＴＡＢテープにおけるパターンの良否の検
査は、従来、ＴＡＢテープの各１コマのパターンのすべ
てをＣＣＤセンサー等により多数の画素に分割して検出
し、かつ、検出した画像情報をすべて記憶手段に記憶さ
せ、この記憶した画像情報をソフト的に処理して、パタ
ーンの位置補正を行ったうえで、正規のパターン（マス
ター）との比較を行い、パターンの欠損等の有無を検査
していた。この方法によれば、検出手段とＴＡＢテープ
との厳密な位置合わせが不要である利点があった。Conventionally, the inspection of the quality of the pattern on the TAB tape is performed by dividing all the patterns of each frame of the TAB tape into a large number of pixels by a CCD sensor or the like, and storing all the detected image information. The stored image information was processed by software, the position of the pattern was corrected, and then the pattern was compared with the regular pattern (master) to inspect for pattern defects. .. According to this method, there is an advantage that strict alignment between the detecting means and the TAB tape is unnecessary.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の方
法では、ソフト的な処理によりパターンの位置補正を行
うため、パターンのすべてを多数の画素に分割して記憶
する必要があり、記憶すべきデータ量が例えば１×１０
7 〜１×１０8 程度と膨大となり、ＴＡＢテープの１コ
マの検査を行うのに２〜３分という多大の時間を要し、
実用的ではなかった。本発明の目的は、画像の検査を迅
速に行うことができる画像検査装置を提供することにあ
る。However, in the above-mentioned conventional method, since the position of the pattern is corrected by software processing, it is necessary to divide and store the entire pattern into a large number of pixels. Data amount is 1 × 10
It becomes huge, about 7 to 1 x 10 8, and it takes a lot of time of 2 to 3 minutes to inspect one frame of the TAB tape.
It wasn't practical. An object of the present invention is to provide an image inspection device that can quickly inspect an image.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、本発明の画像検査装置は、検査対象である画像情報
を有する被検査物を搬送する搬送手段と、被検査物の画
像情報を検出する画像情報検出手段と、搬送手段により
搬送された被検査物の位置を検出する位置検出手段と、
位置検出手段よりの信号を受けて被検査物と画像情報検
出手段との位置関係を調整する位置調節手段と、基準画
像情報を記憶する基準画像情報記憶手段と、画像情報検
出手段よりの検出信号を受けて、基準画像情報と比較す
る画像情報比較手段と、画像情報比較手段よりの信号を
受けて、検出した画像情報と基準画像情報との相違が検
査基準を超える場合にのみ、当該検出した画像情報を記
憶する画像情報記憶手段とを備えてなることを特徴とす
る。In order to achieve the above object, the image inspection apparatus of the present invention is configured to transfer a means for conveying an object to be inspected having image information to be inspected and image information of the object to be inspected. Image information detecting means for detecting, position detecting means for detecting the position of the inspection object conveyed by the conveying means,
Position adjustment means for receiving the signal from the position detection means and adjusting the positional relationship between the object to be inspected and the image information detection means, reference image information storage means for storing the reference image information, and detection signals from the image information detection means. In response to the image information comparing means for comparing with the reference image information and the signal from the image information comparing means, the detection is performed only when the difference between the detected image information and the reference image information exceeds the inspection reference. And an image information storage unit for storing image information.
【０００６】[0006]
【作用】被検査物の位置検出手段と、被検査物と画像情
報検出手段との位置関係を調整する位置調節手段を設け
たので、画像情報を検出する前に被検査物に対する画像
情報検出手段の位置を適正に調節することができる。従
って、位置補正のためにソフト的な処理が不要となり、
画像情報のすべてを記憶させる必要がない。画像情報記
憶手段では、検出した画像情報と基準画像情報との相違
が検査基準を超える場合にのみ画像情報を記憶させるの
で、記憶させるべき画像情報量が従来よりも格段に少な
くなり、画像情報の検査を短時間で行うことができる。Since the position detecting means for the object to be inspected and the position adjusting means for adjusting the positional relationship between the object to be inspected and the image information detecting means are provided, the image information detecting means for the object to be inspected before detecting the image information. The position of can be adjusted appropriately. Therefore, software processing is unnecessary for position correction,
It is not necessary to store all of the image information. In the image information storage means, the image information is stored only when the difference between the detected image information and the reference image information exceeds the inspection standard. Therefore, the amount of image information to be stored is significantly smaller than in the conventional case, and the image information The inspection can be performed in a short time.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。図１は、
ＴＡＢテープのパターンの検査を行う場合に好適な画像
検査装置の概略を示す。搬送手段１は、画像情報を有す
る被検査物であるＴＡＢテープ１０を搬送ステージ１１
上に１コマずつステップ的に搬送するものであり、巻出
しリール１２と、巻取りリール１３と、従動ローラ１４
と、駆動ローラ１５と、ローラ駆動手段１６と、スペー
サーリール１７，１８とを備えてなる。この搬送手段１
により、ＴＡＢテープ１０の１コマがプリアライメント
される。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. Figure 1
An outline of an image inspection apparatus suitable for inspecting a pattern of a TAB tape will be shown. The transport means 1 transports a TAB tape 10 which is an inspection object having image information to a transport stage 11
The frame is conveyed one step at a time upward, and is provided with a take-up reel 12, a take-up reel 13, and a driven roller 14.
Drive roller 15, roller drive means 16, and spacer reels 17 and 18. This transport means 1
Thus, one frame of the TAB tape 10 is pre-aligned.
【０００８】画像情報検出手段２は、ＴＡＢテープ１０
の１コマごとの画像情報を検出するものであり、図２に
も示すように、アライメント部材２１に固定された画像
情報検出用ＣＣＤセンサー２２を備えてなる。この画像
情報検出用ＣＣＤセンサー２２は、ＴＡＢテープ１０の
１コマに対して特定の軸に沿ってスキャンできるように
なっていて、１コマの画像情報を多数の画素に分割して
検出するものである。検出データ量は例えば１×１０7
〜１×１０8 程度である。The image information detecting means 2 is a TAB tape 10.
The image information of each frame is detected, and as shown in FIG. 2, the image information detecting CCD sensor 22 fixed to the alignment member 21 is provided. The image information detecting CCD sensor 22 can scan one frame of the TAB tape 10 along a specific axis, and detects the image information of one frame by dividing it into a large number of pixels. is there. The amount of detected data is, for example, 1 × 10 7.
It is about 1 × 10 8 .
【０００９】位置検出手段３は、搬送手段１により搬送
されたＴＡＢテープ１０の位置を検出するものであり、
ＴＡＢテープ１０のパターン表面の特定部分に対する照
明手段３１と、結像レンズ３２と、位置検出用ＣＣＤセ
ンサー３３と、ＣＰＵ等からなる画像処理手段３４とを
備えてなる。ＴＡＢテープ１０の１コマが搬送手段１に
より搬送ステージ１１上にステップ的に搬送され、プリ
アライメントされて一旦停止すると、その１コマの位置
が位置検出手段３により検出されて位置調節手段４によ
りファインアライメントが行われる。この位置検出にお
いては、ＴＡＢテープ１０の１コマの特定部分に着目し
て位置を検出してもよいし、また、パーフォレーション
やアライメントマークを用いて検出してもよい。The position detecting means 3 detects the position of the TAB tape 10 conveyed by the conveying means 1,
The TAB tape 10 is provided with an illumination unit 31 for a specific portion of the pattern surface, an image forming lens 32, a position detecting CCD sensor 33, and an image processing unit 34 including a CPU and the like. One frame of the TAB tape 10 is stepwise conveyed by the conveying means 1 onto the conveying stage 11, pre-aligned and once stopped, the position of the one frame is detected by the position detecting means 3 and fine by the position adjusting means 4. The alignment is done. In this position detection, the position may be detected by focusing on a specific portion of one frame of the TAB tape 10, or may be detected using perforations or alignment marks.
【００１０】位置調節手段４は、位置検出手段３よりの
信号を受けてＴＡＢテープ１０の１コマと画像情報検出
手段２との位置関係を調整するものであり、ＸＹ平面に
おける回転角θ、ＸＹ平面におけるＸ方向およびＹ方向
の３つの要素について調整できるようになっている。本
実施例では、画像情報検出手段２を構成するアライメン
ト部材２１が、ＴＡＢテープ１０の１コマに対して、Ｘ
Ｙ平面における回転と平行移動による位置調節がされる
ようになっている。The position adjusting means 4 receives the signal from the position detecting means 3 and adjusts the positional relationship between one frame of the TAB tape 10 and the image information detecting means 2, and the rotation angles θ and XY on the XY plane. Adjustment is possible for three elements in the X direction and the Y direction in the plane. In the present embodiment, the alignment member 21 constituting the image information detecting means 2 makes the X-axis for one frame of the TAB tape 10.
The position is adjusted by rotation and translation on the Y plane.
【００１１】基準画像情報記憶手段５は、ＴＡＢテープ
１０の基準画像情報をあらかじめ記憶するものであり、
マスターデータファイルを備えている。なお、基準画像
情報とは、ＴＡＢテープ１０の１コマにおける本来の適
正なパターンをいう。The reference image information storage means 5 stores the reference image information of the TAB tape 10 in advance,
It has a master data file. The reference image information refers to an originally proper pattern in one frame of the TAB tape 10.
【００１２】画像情報比較手段６は、画像情報検出手段
２よりの検出信号を受けて、基準画像情報記憶手段５に
記憶されている基準画像情報と比較するものであり、排
他的論理ゲート回路（ＥＸ−ＯＲ）を備えている。スク
リーニングは、良否を判定する検査基準エリアを設定す
るためのものである。The image information comparison means 6 receives the detection signal from the image information detection means 2 and compares it with the reference image information stored in the reference image information storage means 5, and an exclusive logic gate circuit ( EX-OR). The screening is for setting an inspection reference area for judging quality.
【００１３】画像情報記憶手段７は、画像情報比較手段
６よりの信号を受けて、検出した画像情報と基準画像情
報との相違が検査基準を超える場合にのみ、当該検出し
た画像情報を記憶するものであり、データストアと、イ
ベントファイルとからなる。画像情報の比較は、ＴＡＢ
テープ１０の１コマを多数の領域に分割して行う。イベ
ントファイルには、検査基準を超えたときの２つの画像
情報の濃淡の差と、そのときのＸ座標およびＹ座標が記
憶される。The image information storage means 7 receives the signal from the image information comparison means 6 and stores the detected image information only when the difference between the detected image information and the reference image information exceeds the inspection standard. It is composed of a data store and an event file. Compare the image information with TAB
One frame of the tape 10 is divided into many areas. The event file stores the difference in shade between the two pieces of image information when the inspection standard is exceeded, and the X and Y coordinates at that time.
【００１４】次に、本実施例の画像検査装置を用いた画
像検査プロセスを具体的に説明する。 （１）適正なパターンが形成されたマスターサンプルを
搬送ステージ１１上に置く。Next, the image inspection process using the image inspection apparatus of this embodiment will be specifically described. (1) The master sample on which an appropriate pattern is formed is placed on the transfer stage 11.
【００１５】（２）このマスターサンプル上の任意の点
における画像情報に着目して、アライメント座標を決定
する。(2) Focusing on the image information at an arbitrary point on the master sample, the alignment coordinates are determined.
【００１６】（３）アライメント座標を決定した後、Ｃ
ＣＤタイミングジェネレーターおよびＸ−カウントより
の基準信号に同期して、マスターサンプルに対してある
特定の軸に沿って画像情報検出用ＣＣＤセンサー２２を
スキャンし、同時に画像データをデジタル値（例えば８
ビット）にて、マスターデータファイルに記憶する。マ
スターデータのアドレスはＣＣＤタイミングジェネレー
ターおよびＸ−カウントよりの同期信号により特定され
る。 以上の（１）〜（３）の操作により、マスターサンプル
のデータのサンプリングは完了する。(3) After determining the alignment coordinates, C
In synchronization with the reference signal from the CD timing generator and the X-count, the CCD sensor 22 for detecting image information is scanned along a specific axis with respect to the master sample, and at the same time, the image data is converted into a digital value (for example, 8).
Bit), and store it in the master data file. The address of the master data is specified by the sync signal from the CCD timing generator and X-count. The sampling of the data of the master sample is completed by the above operations (1) to (3).
【００１７】（４）被検査物であるＴＡＢテープ１０の
１コマを搬送手段１により搬送して搬送ステージ１１上
にプリアライメントする。このプリアライメントの精度
は、Ｘ方向、Ｙ方向については±５０μｍ以内、回転角
θについては±０．１°以内である。次いで、当該１コ
マ上の任意の点における画像情報に着目して、位置検出
手段３により位置ずれを検出し、位置調節手段４により
アライメント部材２１の位置を調節して、当該１コマと
画像情報検出用ＣＣＤセンサー２２との位置関係をファ
インアライメントする。このファインアライメントは、
要求されている分解能と同程度、またはその１／１０程
度までの精度で行う。(4) One frame of the TAB tape 10 to be inspected is conveyed by the conveying means 1 and pre-aligned on the conveying stage 11. The precision of this pre-alignment is within ± 50 μm in the X and Y directions and within ± 0.1 ° for the rotation angle θ. Next, paying attention to the image information at an arbitrary point on the one frame, the position detecting unit 3 detects the positional deviation, and the position adjusting unit 4 adjusts the position of the alignment member 21 to obtain the one frame and the image information. The positional relationship with the detection CCD sensor 22 is finely aligned. This fine alignment is
The accuracy is the same as the required resolution or up to about 1/10 of the required resolution.
【００１８】（５）ＴＡＢテープ１０の１コマに対して
前記（３）と同様の操作を行い、マスターデータファイ
ルから同期信号により特定されるアドレスのデータを読
み出して、このデータとＴＡＢテープ１０の１コマの画
像情報より得られるデータとを画像情報比較手段６にお
いてデジタル値で比較する。その状態で、２つのデータ
の差があらかじめ指定されている判定基準値に相当する
差以上か否かを比較する。(5) The same operation as in (3) above is performed on one frame of the TAB tape 10, the data at the address specified by the sync signal is read from the master data file, and this data and the TAB tape 10 are read. The image information comparing means 6 compares the data obtained from the image information of one frame with a digital value. In that state, it is compared whether or not the difference between the two data is greater than or equal to the difference corresponding to the predetermined judgment reference value.
【００１９】（６）前記（５）の比較の結果、検査基準
を超えた場合は、そのときのアドレスを同期信号により
特定し、Ｘ方向およびＹ方向の座標データ、さらには前
記２つのデータの差をイベントファイルに書き込む。以
上の（４）〜（６）により、データのサンプリングが完
了する。(6) As a result of the comparison in (5) above, if the inspection standard is exceeded, the address at that time is specified by the synchronization signal, and the coordinate data in the X and Y directions, and further, the above two data. Write the difference to the event file. Data sampling is completed by the above (4) to (6).
【００２０】（７）画像情報検出用ＣＣＤセンサー２２
によるスキャンが完了したら、データ処理用ＣＰＵは、
イベントファイルの中身を吟味し、良否を判定すると同
時に、搬送手段１により、前記（１）と同様にして、Ｔ
ＡＢテープ１０の次の１コマを搬送ステージ１１上にプ
リアライメントする。(7) CCD sensor 22 for detecting image information
When the scan by is completed, the data processing CPU
At the same time when the contents of the event file are examined to determine whether they are good or bad, the transport means 1 performs T
The next one frame of the AB tape 10 is pre-aligned on the transport stage 11.
【００２１】（８）前記（７）において不良品と判定さ
れたときは、当該１コマにマーキング（ペイント、打ち
抜き、等）を行うようにしてもよい。(8) When it is determined that the product is defective in (7), marking (painting, punching, etc.) may be performed on the one frame.
【００２２】本実施例の画像検査装置によれば、以下の
作用効果が奏される。 （１）ＴＡＢテープ１０の位置検出手段３と、ＴＡＢテ
ープ１０の１コマと画像情報検出手段２との位置関係を
調整する位置調節手段４を設けたので、当該１コマの画
像情報を検出する前に当該１コマに対する画像情報検出
手段２の位置を適正に調節することができる。すなわ
ち、当該１コマと画像情報検出手段２との位置関係が常
に同じ状態で画像情報の検出を行うことができる。従っ
て、位置補正のためにソフト的な処理が不要となり、画
像情報のすべてを記憶させる必要がない。 （２）画像情報記憶手段７では、検出した画像情報と基
準画像情報との相違が検査基準を超える場合にのみ画像
情報を記憶させるので、記憶させるべき画像情報量が従
来よりも格段に少なくなり、画像情報の検査を短時間で
行うことができる。According to the image inspection apparatus of this embodiment, the following operational effects are exhibited. (1) Since the position detecting means 3 of the TAB tape 10 and the position adjusting means 4 for adjusting the positional relationship between one frame of the TAB tape 10 and the image information detecting means 2 are provided, the image information of the one frame is detected. Before that, the position of the image information detecting means 2 with respect to the one frame can be properly adjusted. That is, the image information can be detected in a state where the positional relationship between the one frame and the image information detecting means 2 is always the same. Therefore, software processing for position correction is unnecessary, and it is not necessary to store all the image information. (2) Since the image information storage means 7 stores the image information only when the difference between the detected image information and the reference image information exceeds the inspection reference, the amount of image information to be stored is much smaller than in the past. Therefore, inspection of image information can be performed in a short time.
【００２３】本発明においては、以上の実施例に限定さ
れず、以下に述べるように種々の態様が可能である。 （１）位置検出手段は、被検査物の透過光を読取る構成
でもよい。 （２）位置調節手段は、アライメント部材を移動させる
代わりに、搬送ステージを移動させる構成でもよい。 （３）被検査物は、ＴＡＢテープに限られず、その他の
回路基板、ＩＣチップ等のように、パターンの検査が必
要なものであれば、特に限定されない。The present invention is not limited to the above embodiments, but various modes are possible as described below. (1) The position detecting means may be configured to read the transmitted light of the inspection object. (2) The position adjusting means may move the transport stage instead of moving the alignment member. (3) The object to be inspected is not limited to the TAB tape, and is not particularly limited as long as the pattern inspection is required such as other circuit boards and IC chips.
【００２４】[0024]
【発明の効果】本発明によれば、従来に比して画像の検
査を迅速に行うことができる。According to the present invention, the inspection of an image can be performed more quickly than in the conventional case.
【図１】実施例に係る画像検査装置の概略を示す説明図
である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of an image inspection apparatus according to an embodiment.
【図２】実施例に係る画像検査装置の要部の具体例を示
す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a specific example of a main part of the image inspection apparatus according to the embodiment.
１ 搬送手段 １０ ＴＡＢテ
ープ １１ 搬送ステージ １２ 巻出しリ
ール １３ 巻取りリール １４ 従動ロー
ラ １５ 駆動ローラ １６ ローラ駆
動手段 １７，１８ スペーサーリール ２ 画像情報
検出手段 ２１ アライメント部材 ２２ 画像情報
検出用ＣＣＤセンサー ３ 位置検出手段 ３１ 照明手段 ３２ 結像レンズ ３３ 位置検出
用ＣＣＤセンサー ３４ 画像処理手段 ４ 位置調節
手段 ５ 基準画像情報記憶手段 ６ 画像情報
比較手段 ７ 画像情報記憶手段DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 conveying means 10 TAB tape 11 conveying stage 12 unwinding reel 13 take-up reel 14 driven roller 15 driving roller 16 roller driving means 17,18 spacer reel 2 image information detecting means 21 alignment member 22 image information detecting CCD sensor 3 position detecting Means 31 Illumination means 32 Imaging lens 33 CCD sensor for position detection 34 Image processing means 4 Position adjustment means 5 Reference image information storage means 6 Image information comparison means 7 Image information storage means
Claims (1)
物を搬送する搬送手段と、 被検査物の画像情報を検出する画像情報検出手段と、 搬送手段により搬送された被検査物の位置を検出する位
置検出手段と、 位置検出手段よりの信号を受けて被検査物と画像情報検
出手段との位置関係を調整する位置調節手段と、 基準画像情報を記憶する基準画像情報記憶手段と、 画像情報検出手段よりの検出信号を受けて、基準画像情
報と比較する画像情報比較手段と、 画像情報比較手段よりの信号を受けて、検出した画像情
報と基準画像情報との相違が検査基準を超える場合にの
み、当該検出した画像情報を記憶する画像情報記憶手段
とを備えてなることを特徴とする画像検査装置。1. A conveyance means for conveying an inspection object having image information to be inspected, an image information detecting means for detecting image information of the inspection object, and a position of the inspection object conveyed by the conveyance means. Position detecting means for detecting, position adjusting means for adjusting the positional relationship between the object to be inspected and image information detecting means by receiving a signal from the position detecting means, reference image information storing means for storing reference image information, and image An image information comparison unit that receives a detection signal from the information detection unit and compares it with reference image information, and a signal that is received from the image information comparison unit and the difference between the detected image information and the reference image information exceeds the inspection standard. An image inspection apparatus comprising an image information storage unit that stores the detected image information only in the case.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35560991A JPH05175302A (en) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | Picture inspecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35560991A JPH05175302A (en) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | Picture inspecting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05175302A true JPH05175302A (en) | 1993-07-13 |
Family
ID=18444862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35560991A Withdrawn JPH05175302A (en) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | Picture inspecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05175302A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292862A (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Ushio Inc | Pattern forming method |
| JP2009271058A (en) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Utechzone Co Ltd | Photographing inspection device |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP35560991A patent/JPH05175302A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292862A (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Ushio Inc | Pattern forming method |
| JP2009271058A (en) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Utechzone Co Ltd | Photographing inspection device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20060097250A (en) | System and method for optical automated inspection | |
| JPS6010730A (en) | Positioning method of semiconductor wafer | |
| JP2004212221A (en) | Pattern inspection method and pattern inspection apparatus | |
| EP0206709A2 (en) | Automatic optical inspection of printed circuit boards | |
| JP2006250930A (en) | Automatic optical inspection system | |
| JPH05175302A (en) | Picture inspecting device | |
| JP2001124700A (en) | Calibration method of inspection machine with line sensor camera | |
| JPH04302064A (en) | Parts visual recognition device | |
| KR20210033898A (en) | Die bonding apparatus and manufacturing method of semiconductor device | |
| JPH05198999A (en) | Board inspection apparatus | |
| US20010012391A1 (en) | Pattern inspection method and apparatus | |
| JPH06232229A (en) | Defect inspection method and device thereof | |
| US20050084778A1 (en) | Reticle alignment procedure | |
| JP3771329B2 (en) | Electronic component mounting direction inspection method | |
| JPH06132325A (en) | Die bonding device | |
| JP3201396B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
| JPH10227622A (en) | Inspection method of lead and lead inspecting instrument | |
| JPH06275686A (en) | Method and device for manufacturing semiconductor device | |
| JPS6311771B2 (en) | ||
| JP4171864B2 (en) | Pattern printing tape defect detection method | |
| CN100456024C (en) | System and method for preventing mistakes in optical inspection | |
| JP4087973B2 (en) | Inter-component inspection method and apparatus for mounted components | |
| JPH0145735B2 (en) | ||
| KR100589978B1 (en) | Apparatus and method for auto focusing in autimatic optical inpector using multi-light source | |
| JP2001345345A (en) | Processing device for tape object and processing method therefor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |