JPH05169027A - 超音波振動板及びその製造法 - Google Patents
超音波振動板及びその製造法Info
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- JPH05169027A JPH05169027A JP35401591A JP35401591A JPH05169027A JP H05169027 A JPH05169027 A JP H05169027A JP 35401591 A JP35401591 A JP 35401591A JP 35401591 A JP35401591 A JP 35401591A JP H05169027 A JPH05169027 A JP H05169027A
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- titanium nitride
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
［目的］耐久性を強化し、侵食や溶解等によって発生す
る塵を除去する。 ［構成］金属母材上にハードクロム層を鍍金し、このハ
ードクロム層の表面にヘアークラックを設け、ヘアーク
ラック内に一部を侵入させるようにチタニウムナイトラ
イド層をコーティングした３層構造にした超音波振動板
及び製造法。
る塵を除去する。 ［構成］金属母材上にハードクロム層を鍍金し、このハ
ードクロム層の表面にヘアークラックを設け、ヘアーク
ラック内に一部を侵入させるようにチタニウムナイトラ
イド層をコーティングした３層構造にした超音波振動板
及び製造法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波洗浄機や、超音波
照射機や、超音波送受波器に使用して液中に振動を伝達
する超音波振動板に関するものである。
照射機や、超音波送受波器に使用して液中に振動を伝達
する超音波振動板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の超音波洗浄機や、超音波照射機
や、超音波送受波器等の動力源には、超音波を発生させ
る超音波振動板が設けられている。そして、この種の超
音波振動板においては、ステンレス、チタン、タンタル
等の金属や、ポリ塩化ビニールやポリフッ化ビニリデン
等の樹脂が用いられている。しかし、前記のような超音
波振動板におけるステンレスは振動や流れによって発生
するエロージョンや化学薬品に対する耐久力が弱い欠点
があった。この為、ステンレスの場合には、ハードクロ
ム鍍金等を行い、二層構造に形成していた。ちなみに、
耐食性はステンレスを１とすると、ハードクロム２０、
チタン８位となっている。又、ポリ塩化ビニールやポリ
フッ化ビニリデン等の樹脂においても振動や熱での耐久
力が弱い。又、樹脂だからといって、全ての薬品におい
て耐薬品性を有するものではない。
や、超音波送受波器等の動力源には、超音波を発生させ
る超音波振動板が設けられている。そして、この種の超
音波振動板においては、ステンレス、チタン、タンタル
等の金属や、ポリ塩化ビニールやポリフッ化ビニリデン
等の樹脂が用いられている。しかし、前記のような超音
波振動板におけるステンレスは振動や流れによって発生
するエロージョンや化学薬品に対する耐久力が弱い欠点
があった。この為、ステンレスの場合には、ハードクロ
ム鍍金等を行い、二層構造に形成していた。ちなみに、
耐食性はステンレスを１とすると、ハードクロム２０、
チタン８位となっている。又、ポリ塩化ビニールやポリ
フッ化ビニリデン等の樹脂においても振動や熱での耐久
力が弱い。又、樹脂だからといって、全ての薬品におい
て耐薬品性を有するものではない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】それ故に、耐久力が弱
いことから、侵食や溶解による金属粉、即ち塵の発生が
有り、塵の除去をしなければ製品の歩留率が低下するこ
とから精密洗浄分野には使用できない欠点もあった。そ
こで、本発明においては耐エロージョンや耐薬品から耐
久性を強化し、侵食や溶解等によって発生する塵を除去
し、しかも音響的にもすぐれた超音波振動板を提供する
のが目的である。
いことから、侵食や溶解による金属粉、即ち塵の発生が
有り、塵の除去をしなければ製品の歩留率が低下するこ
とから精密洗浄分野には使用できない欠点もあった。そ
こで、本発明においては耐エロージョンや耐薬品から耐
久性を強化し、侵食や溶解等によって発生する塵を除去
し、しかも音響的にもすぐれた超音波振動板を提供する
のが目的である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために金属母材上にハードクロム層を、その上にチ
タニウムナイトライド層を重ねた３層構造とし、金属母
材に超音波振動子を固定した超音波振動板を構成したも
のである。
するために金属母材上にハードクロム層を、その上にチ
タニウムナイトライド層を重ねた３層構造とし、金属母
材に超音波振動子を固定した超音波振動板を構成したも
のである。
【０００５】又、金属母材上にハードクロム層を鍍金
し、このハードクロム層の表面にヘアークラックを設
け、ヘアークラック内に一部を侵入させるようにチタニ
ウムナイトライド層をコーティングした超音波振動板の
製造法を構成したものである。
し、このハードクロム層の表面にヘアークラックを設
け、ヘアークラック内に一部を侵入させるようにチタニ
ウムナイトライド層をコーティングした超音波振動板の
製造法を構成したものである。
【０００６】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、金属母
材、ハードクロム層、チタニウムナイトライド層の３層
構造になっており、洗浄液に接するチタニウムナイトラ
イド層は熱や耐食性と化学薬品に対して、耐久力が極め
て強く、音響損失もなく振動を伝達する。又、ハードク
ロム層の表面にヘアークラックを設けてチタニウムナイ
トライド層の一部を侵入させているので付着力の増強と
高度を高める。
材、ハードクロム層、チタニウムナイトライド層の３層
構造になっており、洗浄液に接するチタニウムナイトラ
イド層は熱や耐食性と化学薬品に対して、耐久力が極め
て強く、音響損失もなく振動を伝達する。又、ハードク
ロム層の表面にヘアークラックを設けてチタニウムナイ
トライド層の一部を侵入させているので付着力の増強と
高度を高める。
【０００７】
【実施例】本発明の１実施例を図１に基いて詳細に説明
する。ステンレスで構成した金属母材１の表面にハード
クロム層２を鍍金で形成し、その上にチタニウムナイト
ライド層３をコーティングして超音波振動板４を形成す
る。そして、金属母材１の裏面に超音波振動子５を固定
し、超音波発振器６に連結し、チタニウムナイトライド
層３を洗浄液７に接触させるようになっている。
する。ステンレスで構成した金属母材１の表面にハード
クロム層２を鍍金で形成し、その上にチタニウムナイト
ライド層３をコーティングして超音波振動板４を形成す
る。そして、金属母材１の裏面に超音波振動子５を固定
し、超音波発振器６に連結し、チタニウムナイトライド
層３を洗浄液７に接触させるようになっている。
【０００８】尚、製造に際しては、金属母材１の表面に
ハードクロウム層２を鍍金するのは従来公知の手段を用
いるが、ハードクロム層２の表面に図２に示すように薬
液処理することにより微細なほぼ亀甲状になっているヘ
アークラック８を形成し、チタニウムナイトライド層３
の一部をヘアークラック８内へ侵入させてコーティング
を行う。このコーティングに際しては、物理蒸着法や化
学蒸着法を用いる。ヘアークラック８は金属母材１とハ
ードクロム層２との合計厚さの１／５位の表面に形成す
る。
ハードクロウム層２を鍍金するのは従来公知の手段を用
いるが、ハードクロム層２の表面に図２に示すように薬
液処理することにより微細なほぼ亀甲状になっているヘ
アークラック８を形成し、チタニウムナイトライド層３
の一部をヘアークラック８内へ侵入させてコーティング
を行う。このコーティングに際しては、物理蒸着法や化
学蒸着法を用いる。ヘアークラック８は金属母材１とハ
ードクロム層２との合計厚さの１／５位の表面に形成す
る。
【０００９】本発明の実施例は前記のように構成したも
ので、超音波発振器６からの信号を超音波振動子５に送
り、電気−機械振動に変換され、超音波振動板４に伝達
される。超音波振動板４は洗浄液７に対して、機械振動
−音響に変換され出力され、洗浄液７に音響として放射
され、キャビテーションや直進流、衝撃力が発生して洗
浄される。
ので、超音波発振器６からの信号を超音波振動子５に送
り、電気−機械振動に変換され、超音波振動板４に伝達
される。超音波振動板４は洗浄液７に対して、機械振動
−音響に変換され出力され、洗浄液７に音響として放射
され、キャビテーションや直進流、衝撃力が発生して洗
浄される。
【００１０】尚、ヘアークラック８は亀甲状で互いに隔
離されているので、曲げ応力や内部応力が低くなる。し
かしながら、チタニウムナイトライド層の一部が侵入す
ることにより付着力が増強され、硬度を高めて耐食性と
耐エロージョン性を高め、３層構造でも音響インピーダ
ンスがほとんど変わらず、音響的は損失もないという有
利な特性を有している。本実施例の耐食性は図３からも
明らかなように非常に有効である。
離されているので、曲げ応力や内部応力が低くなる。し
かしながら、チタニウムナイトライド層の一部が侵入す
ることにより付着力が増強され、硬度を高めて耐食性と
耐エロージョン性を高め、３層構造でも音響インピーダ
ンスがほとんど変わらず、音響的は損失もないという有
利な特性を有している。本実施例の耐食性は図３からも
明らかなように非常に有効である。
【００１１】
【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るから、能率良く液中に音響放射を行うことができる。
その結果、耐エロージョン、耐薬品の耐久力が強化で
き、溶解性が少ないから塵埃発生の除去作用を利用し
て、超音波洗浄機や、超音波照射機や超音波送受波器に
応用することができる。
るから、能率良く液中に音響放射を行うことができる。
その結果、耐エロージョン、耐薬品の耐久力が強化で
き、溶解性が少ないから塵埃発生の除去作用を利用し
て、超音波洗浄機や、超音波照射機や超音波送受波器に
応用することができる。
【００１２】
【図１】本発明に係る超音波振動板及びその製造法の一
実施例を示す断面図。
実施例を示す断面図。
【図２】その拡大断面図。
【図３】耐食性を示す説明図。
１ 金属母材 ２ ハードフロム層 ３ チタニウムナイトライド層 ４ 超音波振動板 ５ 超音波振動子 ６ 超音波発振器 ７ 洗浄液 ８ ヘアークラック
Claims (2)
- 【請求項１】 金属母材上にハードクロム層を、その
上にチタニウムナイトライド層を重ねた３層構造とし、
金属母材に超音波振動子を固定したことを特徴とする超
音波振動板。 - 【請求項２】 金属母材上にハードクロム層を鍍金
し、このハードクロム層の表面にヘアークラックを設
け、ヘアークラック内に一部を侵入させるようにチタニ
ウムナイトライド層をコーティングしたことを特徴とす
る超音波振動板の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03354015A JP3128306B2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 超音波振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03354015A JP3128306B2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 超音波振動板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05169027A true JPH05169027A (ja) | 1993-07-09 |
| JP3128306B2 JP3128306B2 (ja) | 2001-01-29 |
Family
ID=18434741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03354015A Expired - Lifetime JP3128306B2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 超音波振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3128306B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009207649A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Panasonic Corp | 食器洗い機 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014091025A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Jet's Co Ltd | アクセサリー用の玉、及びこれを用いたアクセサリー |
-
1991
- 1991-12-19 JP JP03354015A patent/JP3128306B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009207649A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Panasonic Corp | 食器洗い機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3128306B2 (ja) | 2001-01-29 |
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Legal Events
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