JPH05164643A - 圧電型圧力センサ - Google Patents
圧電型圧力センサInfo
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- JPH05164643A JPH05164643A JP33317091A JP33317091A JPH05164643A JP H05164643 A JPH05164643 A JP H05164643A JP 33317091 A JP33317091 A JP 33317091A JP 33317091 A JP33317091 A JP 33317091A JP H05164643 A JPH05164643 A JP H05164643A
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- JP
- Japan
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- pressure
- thermal expansion
- piezoelectric element
- housing
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- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 センサ温度の上昇によるセンサ出力の誤差を
低減する。 【構成】 センサ筺体側壁部の一部に他の部分より熱膨
張率の大きい部分を設けるか、または側壁の一部に圧電
素子や圧力伝達部材よりも熱膨張率の小さい部分を設け
ることにより、筺体全体の熱膨張を圧電素子・圧力伝達
部材の熱膨張に等しくすることで、熱膨張による圧力検
出誤差を減少させる。
低減する。 【構成】 センサ筺体側壁部の一部に他の部分より熱膨
張率の大きい部分を設けるか、または側壁の一部に圧電
素子や圧力伝達部材よりも熱膨張率の小さい部分を設け
ることにより、筺体全体の熱膨張を圧電素子・圧力伝達
部材の熱膨張に等しくすることで、熱膨張による圧力検
出誤差を減少させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は内燃機関のシリンダ内燃
焼圧力等の圧力検出に適した圧電型圧力センサに関す
る。
焼圧力等の圧力検出に適した圧電型圧力センサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】応力を加えて電荷を発生する圧電効果を
利用した圧電型圧力センサは、従来よりよく用いられて
いる。特に最近では内燃機関のシリンダ内燃焼圧力等の
検出に適した圧力センサの開発が盛んである。図１は従
来型の圧電型圧力センサの基本構成を示す。同図はセン
サの縦断面図であり、センサ筐体１２内部に設置された
圧電素子１５は上部固定ネジ１６によって圧力伝達部材
１４を介してダイアフラム状に加工された受圧面１３の
裏面に押しつけられて固定され、予備応力が与えられて
いる。この予備応力は特に内燃機関のシリンダ内燃焼圧
力を計測する場合には負圧を計測するためにも必要であ
る。また、センサ筺体１２は固定ネジ１２ａにてセンサ
取付ボルト１０に固定され、このセンサ取付ボルト１０
は取付ネジ部１１でエンジンに取り付けることにより、
センサのエンジンへの取り付けを行う。このセンサ取り
付けボルト１０の使用により、エンジンへの取付力の影
響を回避できる。
利用した圧電型圧力センサは、従来よりよく用いられて
いる。特に最近では内燃機関のシリンダ内燃焼圧力等の
検出に適した圧力センサの開発が盛んである。図１は従
来型の圧電型圧力センサの基本構成を示す。同図はセン
サの縦断面図であり、センサ筐体１２内部に設置された
圧電素子１５は上部固定ネジ１６によって圧力伝達部材
１４を介してダイアフラム状に加工された受圧面１３の
裏面に押しつけられて固定され、予備応力が与えられて
いる。この予備応力は特に内燃機関のシリンダ内燃焼圧
力を計測する場合には負圧を計測するためにも必要であ
る。また、センサ筺体１２は固定ネジ１２ａにてセンサ
取付ボルト１０に固定され、このセンサ取付ボルト１０
は取付ネジ部１１でエンジンに取り付けることにより、
センサのエンジンへの取り付けを行う。このセンサ取り
付けボルト１０の使用により、エンジンへの取付力の影
響を回避できる。
【０００３】次に、その動作を説明する。センサ筐体１
２の外部から受圧面１３に印加された圧力は、圧力伝達
部材１４を介して圧電素子１５の内周部分を押し上げる
ように伝達される。ここで圧電素子１５の上端外周部は
上部固定ネジ１６により下方へ加圧されているため、圧
電素子１５に剪断力が加えられる。この応力に応じて発
生した電荷を電気信号として検出する構成となってい
る。
２の外部から受圧面１３に印加された圧力は、圧力伝達
部材１４を介して圧電素子１５の内周部分を押し上げる
ように伝達される。ここで圧電素子１５の上端外周部は
上部固定ネジ１６により下方へ加圧されているため、圧
電素子１５に剪断力が加えられる。この応力に応じて発
生した電荷を電気信号として検出する構成となってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、自動車用エン
ジンは運転条件の変化が激しく、低速走行時からのアク
セル全開による急加速や高速走行時からアクセル全閉に
よる急減速が行われる。この様な場合、燃焼による熱量
は短期間に大きく変化し、センサ筺体の熱による膨張収
縮が急激になされ、この際の受圧面と圧電素子の位置関
係の急激な変化が軸力変動として印加される。このた
め、この様な過渡状態の圧力測定を正確に行うことは困
難だった。
ジンは運転条件の変化が激しく、低速走行時からのアク
セル全開による急加速や高速走行時からアクセル全閉に
よる急減速が行われる。この様な場合、燃焼による熱量
は短期間に大きく変化し、センサ筺体の熱による膨張収
縮が急激になされ、この際の受圧面と圧電素子の位置関
係の急激な変化が軸力変動として印加される。このた
め、この様な過渡状態の圧力測定を正確に行うことは困
難だった。
【０００５】本発明はエンジンの発生熱量の急激な変化
時でもセンサ筺体の熱変形を抑制し、正確な圧力測定の
できる圧電型圧力センサを提供することを目的とする。
時でもセンサ筺体の熱変形を抑制し、正確な圧力測定の
できる圧電型圧力センサを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、第１の発明では筺体側壁の一部に他の部分の材質よ
りも熱膨張係数の大きい部分を設け、この部分の熱膨張
により受圧面を圧電素子側へ引き寄せるような側壁構造
とする。
め、第１の発明では筺体側壁の一部に他の部分の材質よ
りも熱膨張係数の大きい部分を設け、この部分の熱膨張
により受圧面を圧電素子側へ引き寄せるような側壁構造
とする。
【０００７】第２の発明では筺体側壁の一部に圧力伝達
部材や圧電素子よりも熱膨張率の小さい部分を設ける。
部材や圧電素子よりも熱膨張率の小さい部分を設ける。
【０００８】
【作用】第１の発明における側壁構造とすることによ
り、温度上昇に伴って側壁の熱膨張率の大きい部分が他
の部分より大きく延びる。このときの延びの差分だけ受
圧面を圧電素子側へ引き寄せるので、熱膨張による軸力
の低減を防止できる。このため、センサの熱膨張による
圧力測定誤差を低減できる。
り、温度上昇に伴って側壁の熱膨張率の大きい部分が他
の部分より大きく延びる。このときの延びの差分だけ受
圧面を圧電素子側へ引き寄せるので、熱膨張による軸力
の低減を防止できる。このため、センサの熱膨張による
圧力測定誤差を低減できる。
【０００９】第２の発明における側壁構造とすることに
より、熱膨張率の小さい部分の延びは圧電素子・圧力伝
達部材の延びよりも小さくできる。従って、センサ筺体
全体の延びを圧電素子・圧力伝達部材の延びとほぼ等し
くできるため、センサの熱膨張による圧力測定誤差を低
減できる。
より、熱膨張率の小さい部分の延びは圧電素子・圧力伝
達部材の延びよりも小さくできる。従って、センサ筺体
全体の延びを圧電素子・圧力伝達部材の延びとほぼ等し
くできるため、センサの熱膨張による圧力測定誤差を低
減できる。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して第１の発明の圧電型圧
力センサの一実施例について説明する。
力センサの一実施例について説明する。
【００１１】図２に第１の発明の実施例における圧電型
圧力センサの断面を示す。同図中２２は金属からなるセ
ンサ筺体であり、このセンサ筐体２２の一面にダイアフ
ラム状に加工された受圧面２３を設けている。この受圧
面２３は被測定領域、例えば内燃機関のシリンダ内に設
置されている。センサ筐体２２の内部には絶縁材（例え
ばセラミック）で形成された圧力伝達部材２４の一端が
受圧面２３の裏面に接するように設けられ、他端には円
筒形の圧電素子２５が設けられている。この円筒形の圧
電素子２５の下方内周部分は圧力伝達部材２４により保
持している。さらに圧電素子２５の上端外周部分は上部
固定ネジ２６によって押さえ付けられている。この上部
固定ネジ２６の締め付け力によって圧電素子２５，圧力
伝達部材２４を受圧面２３に押し付け、各部材の固定及
び圧電素子２５への予備応力を印加している。センサ筺
体２２はその先端に受圧面２３を有する筺体ａ２２ａ
と、上部固定ネジ２６が取り付けられている筺体ｂ２２
ｂからなり、両者は筺体よりも熱膨張率の大きい材質の
熱膨張補正部２７を抱き込むように介して接続してい
る。
圧力センサの断面を示す。同図中２２は金属からなるセ
ンサ筺体であり、このセンサ筐体２２の一面にダイアフ
ラム状に加工された受圧面２３を設けている。この受圧
面２３は被測定領域、例えば内燃機関のシリンダ内に設
置されている。センサ筐体２２の内部には絶縁材（例え
ばセラミック）で形成された圧力伝達部材２４の一端が
受圧面２３の裏面に接するように設けられ、他端には円
筒形の圧電素子２５が設けられている。この円筒形の圧
電素子２５の下方内周部分は圧力伝達部材２４により保
持している。さらに圧電素子２５の上端外周部分は上部
固定ネジ２６によって押さえ付けられている。この上部
固定ネジ２６の締め付け力によって圧電素子２５，圧力
伝達部材２４を受圧面２３に押し付け、各部材の固定及
び圧電素子２５への予備応力を印加している。センサ筺
体２２はその先端に受圧面２３を有する筺体ａ２２ａ
と、上部固定ネジ２６が取り付けられている筺体ｂ２２
ｂからなり、両者は筺体よりも熱膨張率の大きい材質の
熱膨張補正部２７を抱き込むように介して接続してい
る。
【００１２】図４に筺体側壁の熱膨張補正部の拡大断面
図を示す。図４（Ａ）は常温時、図４（Ｂ）は高温時を
示している。Ａ1，Ａ2は筺体ｂ２２ｂ上の点、Ｂ1，Ｂ2
は熱膨張補正部２７の両端、Ｃ1，Ｃ2は筺体ａ２２ａ上
の点をそれぞれ示している。
図を示す。図４（Ａ）は常温時、図４（Ｂ）は高温時を
示している。Ａ1，Ａ2は筺体ｂ２２ｂ上の点、Ｂ1，Ｂ2
は熱膨張補正部２７の両端、Ｃ1，Ｃ2は筺体ａ２２ａ上
の点をそれぞれ示している。
【００１３】以下、本実施例の圧電型圧力センサの動作
について説明する。図１において、被測定領域の圧力が
受圧面２３に加わると、その力は圧力伝達部材２４を通
して圧電素子２５の下方内周部分に伝えられる。一方、
圧電素子２５の上方外周部分は上部固定ネジ２６によっ
て押さえられているので、圧電素子２５に剪断力が加え
られる。この剪断力に応じた電荷が圧電素子２５に発生
し、圧力信号に変換される。センサ筺体が加熱される
と、熱膨張補正部２７はセンサ筺体２２の他の部分より
も熱膨張が大きいため、筺体ａ２２ａは筺体ｂ２２ｂに
対して上に引き寄せられる。従って、センサ筺体２２の
延びによる圧電素子２５への印加圧力の減少が発生せ
ず、熱膨張による圧力検出誤差を減少することができ
る。
について説明する。図１において、被測定領域の圧力が
受圧面２３に加わると、その力は圧力伝達部材２４を通
して圧電素子２５の下方内周部分に伝えられる。一方、
圧電素子２５の上方外周部分は上部固定ネジ２６によっ
て押さえられているので、圧電素子２５に剪断力が加え
られる。この剪断力に応じた電荷が圧電素子２５に発生
し、圧力信号に変換される。センサ筺体が加熱される
と、熱膨張補正部２７はセンサ筺体２２の他の部分より
も熱膨張が大きいため、筺体ａ２２ａは筺体ｂ２２ｂに
対して上に引き寄せられる。従って、センサ筺体２２の
延びによる圧電素子２５への印加圧力の減少が発生せ
ず、熱膨張による圧力検出誤差を減少することができ
る。
【００１４】次に、図４を用いてセンサ筺体が加熱され
た場合の筺体の動きを考える。常温下である図４（Ａ）
ではＡ1〜Ａ2，Ｂ1〜Ｂ2,Ｃ1〜Ｃ2の距離はすべてＬと
する。高温時ではＡ1，Ａ2，Ｂ1，Ｂ2，Ｃ1，Ｃ2の位置
関係は図４（Ｂ）のようになり、各点の距離は下の式の
関係がある。
た場合の筺体の動きを考える。常温下である図４（Ａ）
ではＡ1〜Ａ2，Ｂ1〜Ｂ2,Ｃ1〜Ｃ2の距離はすべてＬと
する。高温時ではＡ1，Ａ2，Ｂ1，Ｂ2，Ｃ1，Ｃ2の位置
関係は図４（Ｂ）のようになり、各点の距離は下の式の
関係がある。
【００１５】Ａ1〜Ａ2＝Ｌ＋ｄＬA Ｂ1〜Ｂ2＝Ｌ＋ｄＬB Ｃ1〜Ｃ2＝Ｌ＋ｄＬC ここで筺体ａ２２ａと筺体ｂ２２ｂは同じ材質なので ｄＬA＝ｄＬC Ｅ＝ｄＬB−ｄＬA＞０ となり、筺体ａ２２ａは筺体ｂ２２ｂに対して、Ｅだけ
上に引き上げられる。このＥはセンサ筺体、熱膨張補正
部の材質によっても増減でき、また熱膨張補正部の長
さ、すなわちＬの大きさでも調節が可能である。本実施
例の場合、圧電素子や圧力伝達部材はセラミックを用い
ているので、センサ筺体の材質よりも熱膨張が少ない。
そこで、センサ筺体全体の延びをＥで補正することによ
り、センサ筺体の延びと圧電素子・圧力伝達部材の延び
を等しくでき、熱膨張による圧電素子への印加圧力変動
を防止できる。従って、熱膨張が急激に変化するエンジ
ンの過渡運転状態でも正確な圧力検出ができる。
上に引き上げられる。このＥはセンサ筺体、熱膨張補正
部の材質によっても増減でき、また熱膨張補正部の長
さ、すなわちＬの大きさでも調節が可能である。本実施
例の場合、圧電素子や圧力伝達部材はセラミックを用い
ているので、センサ筺体の材質よりも熱膨張が少ない。
そこで、センサ筺体全体の延びをＥで補正することによ
り、センサ筺体の延びと圧電素子・圧力伝達部材の延び
を等しくでき、熱膨張による圧電素子への印加圧力変動
を防止できる。従って、熱膨張が急激に変化するエンジ
ンの過渡運転状態でも正確な圧力検出ができる。
【００１６】次に、第２の発明の一実施例について説明
する。図３に第２の発明の実施例における圧電型圧力セ
ンサの断面を示す。センサ筺体３２は金属で構成され、
先端に受圧面３３を備えたセンサ筺体ａ３２ａと、上部
固定ネジ３６が取り付けられているセンサ筺体ｂ３２ｂ
を、熱膨張補正部３７で繋いだ構造となっている。本実
施例では３２ａと３７、３２ｂと３７の接続にはネジ止
めを用いた。この熱膨張補正部３７はセラミック製であ
る圧電素子３５や圧力伝達部材３４より熱膨張率の小さ
い低膨張金属で作られている。センサ筺体ａ３２ａ先端
の受圧面３３は被測定領域（エンジンシリンダ内など）
に設置され、受圧面３３裏面には圧力伝達部材３４の一
端が接し、他端には円筒形圧電素子３５が設けられてい
る。この円筒形の圧電素子２５の下方内周部分は圧力伝
達部材２４により保持している。さらに圧電素子２５の
上端外周部分は上部固定ネジ２６によって押さえ付けら
れている。
する。図３に第２の発明の実施例における圧電型圧力セ
ンサの断面を示す。センサ筺体３２は金属で構成され、
先端に受圧面３３を備えたセンサ筺体ａ３２ａと、上部
固定ネジ３６が取り付けられているセンサ筺体ｂ３２ｂ
を、熱膨張補正部３７で繋いだ構造となっている。本実
施例では３２ａと３７、３２ｂと３７の接続にはネジ止
めを用いた。この熱膨張補正部３７はセラミック製であ
る圧電素子３５や圧力伝達部材３４より熱膨張率の小さ
い低膨張金属で作られている。センサ筺体ａ３２ａ先端
の受圧面３３は被測定領域（エンジンシリンダ内など）
に設置され、受圧面３３裏面には圧力伝達部材３４の一
端が接し、他端には円筒形圧電素子３５が設けられてい
る。この円筒形の圧電素子２５の下方内周部分は圧力伝
達部材２４により保持している。さらに圧電素子２５の
上端外周部分は上部固定ネジ２６によって押さえ付けら
れている。
【００１７】図５は図３におけるセンサ断面図の熱膨張
補正部の拡大図である。図４（Ａ）は常温時、図４
（Ｂ）は高温時を示している。Ａ1は圧電素子２５上
端、Ａ2は圧力伝達部材２４下端、Ｂ1は受圧面３３裏
面，Ｂ2はセンサ筺体ａ３２ａ上の熱膨張補正部３７と
の接続点、Ｃ1，Ｃ2は熱膨張補正部２７上のセンサ筺体
３２との接続点、Ｄ1はセンサ筺体ｂ３２ｂ上の圧電素
子上端の位置、Ｄ2は筺体ｂ２２ｂ上の熱膨張補正部３
７との接続点をそれぞれ示している。
補正部の拡大図である。図４（Ａ）は常温時、図４
（Ｂ）は高温時を示している。Ａ1は圧電素子２５上
端、Ａ2は圧力伝達部材２４下端、Ｂ1は受圧面３３裏
面，Ｂ2はセンサ筺体ａ３２ａ上の熱膨張補正部３７と
の接続点、Ｃ1，Ｃ2は熱膨張補正部２７上のセンサ筺体
３２との接続点、Ｄ1はセンサ筺体ｂ３２ｂ上の圧電素
子上端の位置、Ｄ2は筺体ｂ２２ｂ上の熱膨張補正部３
７との接続点をそれぞれ示している。
【００１８】以下、図５で本実施のセンサ筺体が加熱さ
れた場合の筺体の動き考える。常温下である図５（Ａ）
では、Ａ1〜Ａ2の距離ＬAはＢ1〜Ｂ2の距離ＬBとＣ1〜
Ｃ2の距離ＬCとＤ1〜Ｄ2の距離ＬDの合計に等しい。高
温下ではＡ1，Ａ2，Ｂ1，Ｂ2，Ｃ1，Ｃ2，Ｄ1，Ｄ2の位
置関係は図５（Ｂ）のようになり、各点の距離及び関係
は下の式のようになる。
れた場合の筺体の動き考える。常温下である図５（Ａ）
では、Ａ1〜Ａ2の距離ＬAはＢ1〜Ｂ2の距離ＬBとＣ1〜
Ｃ2の距離ＬCとＤ1〜Ｄ2の距離ＬDの合計に等しい。高
温下ではＡ1，Ａ2，Ｂ1，Ｂ2，Ｃ1，Ｃ2，Ｄ1，Ｄ2の位
置関係は図５（Ｂ）のようになり、各点の距離及び関係
は下の式のようになる。
【００１９】Ａ1〜Ａ2＝ＬA＋ｄＬA Ｂ1〜Ｂ2＝ＬB＋ｄＬB Ｃ1〜Ｃ2＝ＬC＋ｄＬC Ｄ1〜Ｄ2＝ＬD＋ｄＬD で、熱膨張補正部３７が低膨張金属で構成されているた
め ｄＬＡ＞＞ｄＬＣ となるので、 ｄＬA＝ｄＬB＋ｄＬC＋ｄＬD とできる。この条件の成立はｄＬCを調節することで実
現でき、このｄＬCの調節はセンサ筺体３２や熱膨張補
正部３７の材質の組合せでもできるが、ＬＣの大きさに
よって比較的容易にできる。この条件が成り立てば、 ＬA＋ｄＬA＝（ＬB＋ｄＬB）＋（ＬC＋ｄＬC）＋（ＬD
＋ｄＬD） が成り立つ。センサ筺体３２の熱膨張を圧電素子・圧力
伝達部材の熱膨張を等しくできるため、熱膨張による圧
電素子の印加応力変動を防止できる。従って、熱膨張が
急激に変化するエンジンの過渡運転状態でも正確な圧力
検出ができる。
め ｄＬＡ＞＞ｄＬＣ となるので、 ｄＬA＝ｄＬB＋ｄＬC＋ｄＬD とできる。この条件の成立はｄＬCを調節することで実
現でき、このｄＬCの調節はセンサ筺体３２や熱膨張補
正部３７の材質の組合せでもできるが、ＬＣの大きさに
よって比較的容易にできる。この条件が成り立てば、 ＬA＋ｄＬA＝（ＬB＋ｄＬB）＋（ＬC＋ｄＬC）＋（ＬD
＋ｄＬD） が成り立つ。センサ筺体３２の熱膨張を圧電素子・圧力
伝達部材の熱膨張を等しくできるため、熱膨張による圧
電素子の印加応力変動を防止できる。従って、熱膨張が
急激に変化するエンジンの過渡運転状態でも正確な圧力
検出ができる。
【００２０】尚、本実施例では受圧面に加わる圧力を剪
断力として圧電素子に伝えているが、圧縮力として圧電
素子に伝える方式にも応用できる。
断力として圧電素子に伝えているが、圧縮力として圧電
素子に伝える方式にも応用できる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、センサ筺体側壁部の一部
に他の部分より熱膨張率の大きい部分を設け、この部分
が熱膨張する事でセンサ筺体先端の受圧面を圧電素子側
へ引き寄せる構造をすることにより、熱膨張による予備
圧力変動を防止できるので、温度特性に優れた圧電型圧
力センサを実現できる。
に他の部分より熱膨張率の大きい部分を設け、この部分
が熱膨張する事でセンサ筺体先端の受圧面を圧電素子側
へ引き寄せる構造をすることにより、熱膨張による予備
圧力変動を防止できるので、温度特性に優れた圧電型圧
力センサを実現できる。
【００２２】また、センサ筺体側壁部の一部に圧電素子
や圧力伝達部材より熱膨張率の小さい部分を設け、セン
サ筺体全体の熱膨張を圧電素子と圧力伝達部材を合わせ
た熱膨張と等しくすることによっても、熱膨張による予
備圧力変動を防止できるので、温度特性に優れた圧電型
圧力センサを実現できる。
や圧力伝達部材より熱膨張率の小さい部分を設け、セン
サ筺体全体の熱膨張を圧電素子と圧力伝達部材を合わせ
た熱膨張と等しくすることによっても、熱膨張による予
備圧力変動を防止できるので、温度特性に優れた圧電型
圧力センサを実現できる。
【図１】従来例における圧電型圧力センサの断面図
【図２】第１の発明の一実施例における圧電型圧力セン
サの断面図
サの断面図
【図３】第２の発明の一実施例における圧電型圧力セン
サの断面図
サの断面図
【図４】第１の発明の実施例におけるセンサ筺体側面の
拡大断面図
拡大断面図
【図５】第２の発明の実施例におけるセンサ筺体側面の
拡大断面図
拡大断面図
１０ センサ取付ボルト １１ 取付ネジ部 １２ センサ筺体 １３ 受圧面 １４ 圧力伝達部材 １５ 圧電素子 １６ 上部固定ネジ ２０ センサ取付ボルト ２１ 取付ネジ部 ２２ センサ筺体 ２２ａ センサ筺体ａ ２２ｂ センサ筺体ｂ ２３ 受圧面 ２４ 圧力伝達部材 ２５ 圧電素子 ２６ 上部固定ネジ ２７ 熱膨張補正部 ２８ 固定ネジ ３０ センサ取付ボルト ３１ 取付ネジ部 ３２ センサ筺体 ３２ａ センサ筺体ａ ３２ｂ センサ筺体ｂ ３３ 受圧面 ３４ 圧力伝達部材 ３５ 圧電素子 ３６ 上部固定ネジ ３７ 熱膨張補正部 ３８ 固定ネジ
Claims (2)
- 【請求項１】受圧面を有し、側壁の一部に他の部分より
熱膨張率の大きい部分を有する筺体と、前記筺体の内部
に設けられかつ一端が前記受圧面の裏側の面に接する圧
力伝達部材と、前記筺体の内部に設けられかつ前記圧力
伝達部材の他端に設けられた圧電素子を有し、前記筺体
の加熱時に前記熱膨張率の大きい部分が他の部分よりも
大きく延びることにより前記圧電素子と前記受圧面との
位置関係の変化を規制することを特徴とする圧電型圧力
センサ。 - 【請求項２】受圧面を有し、側壁の一部に熱膨張率の小
さい部分を有する筺体と、前記筺体の内部に設けられか
つ一端が前記受圧面の裏側の面に接する圧力伝達部材
と、前記筺体の内部に設けられかつ前記圧力伝達部材の
他端に設けられた圧電素子を有し、前記筺体の加熱時に
前記熱膨張率の小さい部分の延びが小さいことによる前
記圧電素子と前記受圧面との位置関係の変化を規制する
ことを特徴とする圧電型圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33317091A JPH05164643A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 圧電型圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33317091A JPH05164643A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 圧電型圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05164643A true JPH05164643A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18263081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33317091A Pending JPH05164643A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 圧電型圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05164643A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0745835A2 (de) * | 1995-06-02 | 1996-12-04 | AVL Gesellschaft für Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH.Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List | Ungekühlter Drucksensor |
| EP0855585A2 (en) * | 1997-01-28 | 1998-07-29 | Eaton Corporation | Engine cylinder pressure sensor with thermal compensation element |
| JP2008513743A (ja) * | 2004-09-22 | 2008-05-01 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 圧力センサ |
-
1991
- 1991-12-17 JP JP33317091A patent/JPH05164643A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0745835A2 (de) * | 1995-06-02 | 1996-12-04 | AVL Gesellschaft für Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH.Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List | Ungekühlter Drucksensor |
| EP0745835A3 (de) * | 1995-06-02 | 1997-08-13 | Avl Verbrennungskraft Messtech | Ungekühlter Drucksensor |
| EP0855585A2 (en) * | 1997-01-28 | 1998-07-29 | Eaton Corporation | Engine cylinder pressure sensor with thermal compensation element |
| EP0855585A3 (en) * | 1997-01-28 | 1999-04-28 | Eaton Corporation | Engine cylinder pressure sensor with thermal compensation element |
| JP2008513743A (ja) * | 2004-09-22 | 2008-05-01 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 圧力センサ |
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