JPH05160204A - 画像認識用照明装置 - Google Patents
画像認識用照明装置Info
- Publication number
- JPH05160204A JPH05160204A JP3322679A JP32267991A JPH05160204A JP H05160204 A JPH05160204 A JP H05160204A JP 3322679 A JP3322679 A JP 3322679A JP 32267991 A JP32267991 A JP 32267991A JP H05160204 A JPH05160204 A JP H05160204A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- led
- light
- scattering sheet
- recognizing
- illuminator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Wire Bonding (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体製造設備等で用いられる画像認識装置
について、小型・低コスト・高信頼性・メンテナンスフ
リーの透過照明画像認識用照明装置を提供する。 【構成】 ＬＥＤを光源として、前記ＬＥＤの正面に光
散乱シート１７を備えたＬＥＤランプを構成し、被認識
物を挟んで認識カメラ７と対向する位置に配する。ＬＥ
Ｄ１１から出た光は光散乱シート１７を通過してバラツ
キのない均一な光となって被認識物を照射する。 【効果】 ＬＥＤを支持具内に固定し支持具端部に光散
乱シートを取付けたので、小型・低コストで信頼性の高
い透過照明画像認識用照明装置が得られ、設置後の調整
を必要としない。
について、小型・低コスト・高信頼性・メンテナンスフ
リーの透過照明画像認識用照明装置を提供する。 【構成】 ＬＥＤを光源として、前記ＬＥＤの正面に光
散乱シート１７を備えたＬＥＤランプを構成し、被認識
物を挟んで認識カメラ７と対向する位置に配する。ＬＥ
Ｄ１１から出た光は光散乱シート１７を通過してバラツ
キのない均一な光となって被認識物を照射する。 【効果】 ＬＥＤを支持具内に固定し支持具端部に光散
乱シートを取付けたので、小型・低コストで信頼性の高
い透過照明画像認識用照明装置が得られ、設置後の調整
を必要としない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造設備等で用い
られる画像認識装置に適する光源、すなわち、画像認識
用照明装置に関するものである。
られる画像認識装置に適する光源、すなわち、画像認識
用照明装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】表面に銅箔で導体配線をパターン形成し
た樹脂フィルム（以降フィルムキャリアという）に、半
導体チップを搭載する場合において、フィルムキャリア
の電極（以降インナーリードという）を認識し位置合わ
せするための画像認識装置の光源に、同軸落射照明装置
やファイバー照明装置が用いられる。
た樹脂フィルム（以降フィルムキャリアという）に、半
導体チップを搭載する場合において、フィルムキャリア
の電極（以降インナーリードという）を認識し位置合わ
せするための画像認識装置の光源に、同軸落射照明装置
やファイバー照明装置が用いられる。
【０００３】まず、そのうちの同軸落射照明装置につい
て、その構成と作用を図２の概要図によって説明する。
鏡筒１の側部に前記鏡筒１に垂直な方向から照明ランプ
２が取り付けられている。照明ランプ２から発せられた
光の一部がハーフミラー３で下向きに反射され、被写体
であるフィルムキャリア４上のインナーリード５を照射
する。フィルムキャリア４の下方には、鏡筒１の取付け
軸と垂直な面に反射鏡６が設置されており、下方に漏れ
た光は反射鏡６に当たり垂直上方に反射する。この反射
光はフィルムキャリア４を通って鏡筒１に戻りハーフミ
ラー３を通過して鏡筒１の上部に取付けられたカメラ７
に到達する。このとき、光が到達するのはインナーリー
ド５が存在しない部分のみであり、インナーリード５が
存在する部分と存在しない部分とに明るさの差が生じる
ので、カメラ７がこの光を像としてとらえ、インナーリ
ード５が認識される。
て、その構成と作用を図２の概要図によって説明する。
鏡筒１の側部に前記鏡筒１に垂直な方向から照明ランプ
２が取り付けられている。照明ランプ２から発せられた
光の一部がハーフミラー３で下向きに反射され、被写体
であるフィルムキャリア４上のインナーリード５を照射
する。フィルムキャリア４の下方には、鏡筒１の取付け
軸と垂直な面に反射鏡６が設置されており、下方に漏れ
た光は反射鏡６に当たり垂直上方に反射する。この反射
光はフィルムキャリア４を通って鏡筒１に戻りハーフミ
ラー３を通過して鏡筒１の上部に取付けられたカメラ７
に到達する。このとき、光が到達するのはインナーリー
ド５が存在しない部分のみであり、インナーリード５が
存在する部分と存在しない部分とに明るさの差が生じる
ので、カメラ７がこの光を像としてとらえ、インナーリ
ード５が認識される。
【０００４】次に、ファイバー照明装置について、その
一例を図３の概要図によって説明する。光源８で発せら
れた光は光ファイバー９を介してフィルムキャリア５の
下方に運ばれ、光ファイバー９の端部に取付けられた反
射鏡６によって、鏡筒１の軸と平行な向きに反射され
る。反射した光のうちインナーリード５に当たったもの
は鏡筒１の方向には向かわず散乱し、インナーリード５
をすり抜けた光が鏡筒１に入って鏡筒１の上部に取付け
られたカメラ７に到達する。この光を像としてカメラ７
がとらえ、認識装置でインナーリード５を認識する。
一例を図３の概要図によって説明する。光源８で発せら
れた光は光ファイバー９を介してフィルムキャリア５の
下方に運ばれ、光ファイバー９の端部に取付けられた反
射鏡６によって、鏡筒１の軸と平行な向きに反射され
る。反射した光のうちインナーリード５に当たったもの
は鏡筒１の方向には向かわず散乱し、インナーリード５
をすり抜けた光が鏡筒１に入って鏡筒１の上部に取付け
られたカメラ７に到達する。この光を像としてカメラ７
がとらえ、認識装置でインナーリード５を認識する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の照
明装置では次に示すような問題がある。図２に示した同
軸落射照明装置では、入射光が効率よく反射するよう
に、反射鏡６の厳密な角度調整が必要であり、かつ、こ
の調整には長時間を要す。また、インナーリード５が光
沢をもつときは、コントラストが出にくく、認識が困難
となる。さらに、反射鏡６の表面に付着物のある場合、
これが画像認識を妨害し、誤認識の原因となる。図３に
示したファイバー照明装置では、同軸落射照明装置に比
べて、画像は鮮明であるが、光源８の消費電力が大き
い。また、光ファイバー９を用いているため、広い空間
を必要とし、周辺のユニットの設計に制約がでる。さら
に、装置自体が高価となることも問題である。本発明
は、上記課題を解決するもので、小型・低コスト・高信
頼性・メンテナンスフリーの照明装置を提供することを
目的としている。
明装置では次に示すような問題がある。図２に示した同
軸落射照明装置では、入射光が効率よく反射するよう
に、反射鏡６の厳密な角度調整が必要であり、かつ、こ
の調整には長時間を要す。また、インナーリード５が光
沢をもつときは、コントラストが出にくく、認識が困難
となる。さらに、反射鏡６の表面に付着物のある場合、
これが画像認識を妨害し、誤認識の原因となる。図３に
示したファイバー照明装置では、同軸落射照明装置に比
べて、画像は鮮明であるが、光源８の消費電力が大き
い。また、光ファイバー９を用いているため、広い空間
を必要とし、周辺のユニットの設計に制約がでる。さら
に、装置自体が高価となることも問題である。本発明
は、上記課題を解決するもので、小型・低コスト・高信
頼性・メンテナンスフリーの照明装置を提供することを
目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、ＬＥＤを支持具に固定し電気的に接続し
て光源となし、前記ＬＥＤの前面に光散乱シートを備え
た照明装置であり、これを被認識物を挟んで認識用のカ
メラと対向する位置に配置するものである。
成するために、ＬＥＤを支持具に固定し電気的に接続し
て光源となし、前記ＬＥＤの前面に光散乱シートを備え
た照明装置であり、これを被認識物を挟んで認識用のカ
メラと対向する位置に配置するものである。
【０００７】
【作用】本発明によると、支持具にＬＥＤを接続固定
し、前記ＬＥＤの前面に光散乱シートを備えて認識カメ
ラと対向する位置に配したので、小型・軽量の発光部で
画像認識に充分な光量で、かつ、ばらつきのない均一な
光源を実現することが出来る。
し、前記ＬＥＤの前面に光散乱シートを備えて認識カメ
ラと対向する位置に配したので、小型・軽量の発光部で
画像認識に充分な光量で、かつ、ばらつきのない均一な
光源を実現することが出来る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１の概要図により
説明する。円形のプリント基板１０上にＬＥＤ１１を被
数個、等間隔で配置し、それぞれ、電源に接続する。こ
のとき、定格電流を保持できるように電流制限用の抵抗
１２を接続する。配線の完了したプリント基板１０を中
心部に取付けタップ１３を設けたアルミニウムによる円
筒ケース１４にねじ１５で固定する。このとき、配線コ
ード１６は円筒ケース１４の配線穴から外に出し電源に
導く。円筒ケース１４の上端部に円形の光散乱シート１
７を載せ、リング状のホルダー１８をねじ止めして光散
乱シート１７を固定する。上記要領で形成した照明装置
は円筒ケース１４の底部にも取付けタップ１９を設け、
直線的に位置移動するプレート２０にねじ２１によって
下方からねじ止めされる。
説明する。円形のプリント基板１０上にＬＥＤ１１を被
数個、等間隔で配置し、それぞれ、電源に接続する。こ
のとき、定格電流を保持できるように電流制限用の抵抗
１２を接続する。配線の完了したプリント基板１０を中
心部に取付けタップ１３を設けたアルミニウムによる円
筒ケース１４にねじ１５で固定する。このとき、配線コ
ード１６は円筒ケース１４の配線穴から外に出し電源に
導く。円筒ケース１４の上端部に円形の光散乱シート１
７を載せ、リング状のホルダー１８をねじ止めして光散
乱シート１７を固定する。上記要領で形成した照明装置
は円筒ケース１４の底部にも取付けタップ１９を設け、
直線的に位置移動するプレート２０にねじ２１によって
下方からねじ止めされる。
【０００９】上記構成において動作を説明すると、円筒
ケース１４に接続固定したＬＥＤ１１に通電するとＬＥ
Ｄ１１が発光する。この光はＬＥＤ１１の上方に設けら
れた光散乱シート１７を通過してばらつきのない均一な
光となって被認識物であるフィルムキャリア４を裏側か
ら照射する。この時インナーリード５が存在する部分と
存在しない部分とに明るさの差が生じ、インナーリード
５のない部分を通過した光のみが鏡筒１に入り、これを
上部に取り付けられたカメラ７で認識する。
ケース１４に接続固定したＬＥＤ１１に通電するとＬＥ
Ｄ１１が発光する。この光はＬＥＤ１１の上方に設けら
れた光散乱シート１７を通過してばらつきのない均一な
光となって被認識物であるフィルムキャリア４を裏側か
ら照射する。この時インナーリード５が存在する部分と
存在しない部分とに明るさの差が生じ、インナーリード
５のない部分を通過した光のみが鏡筒１に入り、これを
上部に取り付けられたカメラ７で認識する。
【００１０】このように本発明の実施例の画像認識用照
明装置によれば、円筒ケース１４にＬＥＤ１１を固定
し、認識カメラ７と対抗する位置に配したので、照明装
置の発光部を小型軽量にすることが出来る。また、円筒
ケース１４の上端面に光散乱シート１７を備えたので、
照度にばらつきのない均一な光源を得ることが出来る。
明装置によれば、円筒ケース１４にＬＥＤ１１を固定
し、認識カメラ７と対抗する位置に配したので、照明装
置の発光部を小型軽量にすることが出来る。また、円筒
ケース１４の上端面に光散乱シート１７を備えたので、
照度にばらつきのない均一な光源を得ることが出来る。
【００１１】なお、上記実施例は複数個のＬＥＤを用い
た照明装置について説明したものであるが、微小エリア
等であれば単数のＬＥＤでもよい。
た照明装置について説明したものであるが、微小エリア
等であれば単数のＬＥＤでもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように、本発
明によれば、ＬＥＤを支持具に固定し、前記支持具の端
部に光散乱シートを取付けたので、小型・軽量でばらつ
きのない光源を低コストで提供することが出来る。
明によれば、ＬＥＤを支持具に固定し、前記支持具の端
部に光散乱シートを取付けたので、小型・軽量でばらつ
きのない光源を低コストで提供することが出来る。
【図１】本発明の一実施例画像認識用照明装置の概要図
【図２】従来例の同軸落射照明装置の概要図
【図３】従来例のファイバー照明装置の概要図
１ 鏡筒 ２ 照明ランプ ３ ハーフミラー ４ フィルムキャリア ５ インナーリード ６ 反射鏡 ７ カメラ ８ 光源 ９ 光ファイバー １０ プリント基板 １１ ＬＥＤ １２ 抵抗 １３ 取付けタップ １４ 円筒ケース １５ ねじ １６ 配線コード １７ 光散乱シート １８ ホルダー １９ 取付けタップ ２０ プレート ２１ ねじ
フロントページの続き (72)発明者 薄窪 秀昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】ＬＥＤを光源とし、同光源の前面に前記Ｌ
ＥＤからの光を散乱させる散乱シートをそなえた画像認
識用照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3322679A JPH05160204A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 画像認識用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3322679A JPH05160204A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 画像認識用照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05160204A true JPH05160204A (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=18146407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3322679A Pending JPH05160204A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 画像認識用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05160204A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007035937A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体製造装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02138668A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-05-28 | Saakuru Tekko:Kk | 長尺物の選別装置 |
| JPH02300619A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-12 | Keioo Denshi Kogyo Kk | 画像処理用照明装置 |
-
1991
- 1991-12-06 JP JP3322679A patent/JPH05160204A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02138668A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-05-28 | Saakuru Tekko:Kk | 長尺物の選別装置 |
| JPH02300619A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-12 | Keioo Denshi Kogyo Kk | 画像処理用照明装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007035937A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体製造装置 |
| JP4514667B2 (ja) * | 2005-07-27 | 2010-07-28 | 新電元工業株式会社 | 半導体製造装置 |
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