JPH05157546A - 接触型感知プローブ - Google Patents
接触型感知プローブInfo
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- JPH05157546A JPH05157546A JP4147413A JP14741392A JPH05157546A JP H05157546 A JPH05157546 A JP H05157546A JP 4147413 A JP4147413 A JP 4147413A JP 14741392 A JP14741392 A JP 14741392A JP H05157546 A JPH05157546 A JP H05157546A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- sensing probe
- type sensing
- transmission element
- housing component
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S33/00—Geometrical instruments
- Y10S33/11—Materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 最適でかつ簡単な方法にてかつ干渉作用を伴
わずに、しかも摩耗無しで機能する経済的な数の構成要
素を備える精密な接触型感知プローブを提供すること。 【構成】 円筒状ハウジング構成要素１を備える接触型
感知プローブは、軸受４と、半球状構成要素３とを備
え、半球状構成要素３を変位させる触針１３を備え、前
記触針により伝動要素２を変位させる。接触型感知プロ
ーブ内には、測定値変換器１４が設けられており、ハウ
ジング構成要素１の走行面１ａ、２ａ及び伝動要素２
は、平均あらさ値Ｒaが０.８μｍ、３２μｍｉｎ以下の
高強度セラミック材料にて形成される。回転阻止手段が
半球状構成要素３のみならず、伝動要素２にも設けられ
る。
わずに、しかも摩耗無しで機能する経済的な数の構成要
素を備える精密な接触型感知プローブを提供すること。 【構成】 円筒状ハウジング構成要素１を備える接触型
感知プローブは、軸受４と、半球状構成要素３とを備
え、半球状構成要素３を変位させる触針１３を備え、前
記触針により伝動要素２を変位させる。接触型感知プロ
ーブ内には、測定値変換器１４が設けられており、ハウ
ジング構成要素１の走行面１ａ、２ａ及び伝動要素２
は、平均あらさ値Ｒaが０.８μｍ、３２μｍｉｎ以下の
高強度セラミック材料にて形成される。回転阻止手段が
半球状構成要素３のみならず、伝動要素２にも設けられ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特許請求の範囲第１項
の前提部分に記載した接触型感知プローブ、即ち、半球
状構成要素用の軸受を有する円筒状ハウジング構成要素
を備える接触型感知プローブであって、前記半球状要素
が触針（stylus）を支持し、前記触針によりハウジング
構成要素を少なくとも一つの面内で軸受に対して変位さ
せることが出来、伝動要素がハウジング構成要素に対し
て長手方向に変位可能に取り付けられ、前記伝動要素
は、半球状要素が変位するとき、ハウジング構成要素の
長手方向軸線に対して長手方向に変位されるようにした
接触型感知プローブに関するものである。
の前提部分に記載した接触型感知プローブ、即ち、半球
状構成要素用の軸受を有する円筒状ハウジング構成要素
を備える接触型感知プローブであって、前記半球状要素
が触針（stylus）を支持し、前記触針によりハウジング
構成要素を少なくとも一つの面内で軸受に対して変位さ
せることが出来、伝動要素がハウジング構成要素に対し
て長手方向に変位可能に取り付けられ、前記伝動要素
は、半球状要素が変位するとき、ハウジング構成要素の
長手方向軸線に対して長手方向に変位されるようにした
接触型感知プローブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】接触型感知プローブは、各種の目的のた
め、産業界で広く使用されている。かかる型式の接触型
感知プローブは、例えば、ドイツ特許第A1-37 01 730
号、ドイツ特許第A1-36 03 269号、米国特許第3,250,01
2号又は欧州特許第A2-332 575号から公知である。かか
る接触型感知プローブは、主として、加工物が触針に対
して多数の軸線を中心として変位可能である多数座標測
定機械及び工作機械と共に使用される。従って、加工物
の供給中、変位移動距離を測定し、その測定インパルス
は測定値変換器により伝送される。この場合、各種型式
の測定値変換器を使用することが出来、かかる変換器に
より、例えば、加工物が存在することのみを検出した
り、又は、加工物の位置、或はその加工物の移動距離を
測定することが可能である。
め、産業界で広く使用されている。かかる型式の接触型
感知プローブは、例えば、ドイツ特許第A1-37 01 730
号、ドイツ特許第A1-36 03 269号、米国特許第3,250,01
2号又は欧州特許第A2-332 575号から公知である。かか
る接触型感知プローブは、主として、加工物が触針に対
して多数の軸線を中心として変位可能である多数座標測
定機械及び工作機械と共に使用される。従って、加工物
の供給中、変位移動距離を測定し、その測定インパルス
は測定値変換器により伝送される。この場合、各種型式
の測定値変換器を使用することが出来、かかる変換器に
より、例えば、加工物が存在することのみを検出した
り、又は、加工物の位置、或はその加工物の移動距離を
測定することが可能である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】当然、接触型感知プロ
ーブの測定精度及び全体的機能は、測定値変換器のみな
らず、触針スピンドルの軸受及び触針スピンドルの変位
位置を測定値変換器に伝送する機能によって左右され
る。性能精度、走行特性、耐食性、及び寸法精度に関
し、この軸受機能及び変位移動距離の伝送機能に最大の
要求が課される。特に、絶対値の誤差、機能の反復に起
因する誤差、熱膨張に起因する誤差、及び構成要素の寸
法許容公差、或は摩擦に起因する誤差が生じてはならな
い。又、触針スピンドルの変位は、直接にかつ遅延する
ことなく、測定値変換器に伝送されなければならず、
又、測定装置は可能な限り迅速にその中立位置に復帰し
得るものでなければならない。
ーブの測定精度及び全体的機能は、測定値変換器のみな
らず、触針スピンドルの軸受及び触針スピンドルの変位
位置を測定値変換器に伝送する機能によって左右され
る。性能精度、走行特性、耐食性、及び寸法精度に関
し、この軸受機能及び変位移動距離の伝送機能に最大の
要求が課される。特に、絶対値の誤差、機能の反復に起
因する誤差、熱膨張に起因する誤差、及び構成要素の寸
法許容公差、或は摩擦に起因する誤差が生じてはならな
い。又、触針スピンドルの変位は、直接にかつ遅延する
ことなく、測定値変換器に伝送されなければならず、
又、測定装置は可能な限り迅速にその中立位置に復帰し
得るものでなければならない。
【０００４】公知の接触型感知プローブの場合、殆どの
装置は、軸受面の配置に関して標準的な材料を組み合わ
せて構成される。このことは、「柔軟な」材料及び「固
い」材料を組み合わせる場合が殆どであることを意味す
る。腐食及び摩擦によるロスを軽減するため、潤滑剤が
使用される。異なる構成要素の熱膨張に差があり、熱に
起因する誤差の原因になるのみならず、潤滑剤の粘度に
起因して摩擦特性が不均一となり、その結果、例えば、
変位中の機能の反復又は遅延に起因する誤差が生じる。
装置は、軸受面の配置に関して標準的な材料を組み合わ
せて構成される。このことは、「柔軟な」材料及び「固
い」材料を組み合わせる場合が殆どであることを意味す
る。腐食及び摩擦によるロスを軽減するため、潤滑剤が
使用される。異なる構成要素の熱膨張に差があり、熱に
起因する誤差の原因になるのみならず、潤滑剤の粘度に
起因して摩擦特性が不均一となり、その結果、例えば、
変位中の機能の反復又は遅延に起因する誤差が生じる。
【０００５】米国特許第3,250,012号から一つの装置が
公知であり、この装置により伝動要素はハウジング内で
ボールソケット内に取り付けられ、ばね力によりボール
ソケットに押し付けられ、それぞれの軸受がボールソケ
ットを受け入れる。この場合、伝動要素は、２つのリン
グが円筒状ハウジングの構成要素の内壁に直線状に位置
するピストンとして形成される。この場合、当然、金属
製部品を備える標準的な構造体が提供され、従って、そ
の構造体は手操作で機械加工するが、その手操作の機械
加工の理由で上述の問題点が生じる可能性がある。これ
とは別に、ハウジングの円筒壁と伝動ピストンとが接触
する結果、表面の圧縮及び摩耗の虞れが増大するのみな
らず、潤滑剤に伴う問題に起因するピストンの「食孔」
が生ずる。更に、触針スピンドル及びピストンの変位が
制御されずかつ案内されず、その結果、変位中に触針ス
ピンドルが回転してしまい、不正確な測定結果となる虞
れがある。
公知であり、この装置により伝動要素はハウジング内で
ボールソケット内に取り付けられ、ばね力によりボール
ソケットに押し付けられ、それぞれの軸受がボールソケ
ットを受け入れる。この場合、伝動要素は、２つのリン
グが円筒状ハウジングの構成要素の内壁に直線状に位置
するピストンとして形成される。この場合、当然、金属
製部品を備える標準的な構造体が提供され、従って、そ
の構造体は手操作で機械加工するが、その手操作の機械
加工の理由で上述の問題点が生じる可能性がある。これ
とは別に、ハウジングの円筒壁と伝動ピストンとが接触
する結果、表面の圧縮及び摩耗の虞れが増大するのみな
らず、潤滑剤に伴う問題に起因するピストンの「食孔」
が生ずる。更に、触針スピンドル及びピストンの変位が
制御されずかつ案内されず、その結果、変位中に触針ス
ピンドルが回転してしまい、不正確な測定結果となる虞
れがある。
【０００６】欧州特許第A2-332,575号によるセンサは、
ボール要素の回転を阻止する機構により改良が加えられ
ている。しかし、この構成も又、その走行特性及び回転
阻止手段と伝動要素との間での力の配分の点で更なる改
良の余地がある。
ボール要素の回転を阻止する機構により改良が加えられ
ている。しかし、この構成も又、その走行特性及び回転
阻止手段と伝動要素との間での力の配分の点で更なる改
良の余地がある。
【０００７】本発明は、公知の欠点を回避する目的を実
現するものであり、故に、特に、簡単な構造で確実にか
つ摩耗無しに作動する接触型感知プローブであって、特
に、通常の作動中、及び環境的因子が変動する状態で作
動するとき、可能な限り零許容公差にて機能し得る接触
型感知プローブを提供するものである。
現するものであり、故に、特に、簡単な構造で確実にか
つ摩耗無しに作動する接触型感知プローブであって、特
に、通常の作動中、及び環境的因子が変動する状態で作
動するとき、可能な限り零許容公差にて機能し得る接触
型感知プローブを提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、主とし
て、特許請求の範囲の独立項に記載した特徴により実現
される。
て、特許請求の範囲の独立項に記載した特徴により実現
される。
【０００９】本発明に従い、セラミック材料を使用する
ことで、ハウジング構成要素の走行面のみならず、伝動
要素の走行面を同一のセラミック材料で形成することが
可能となる。従って、熱膨張率の等しい材料を選択する
ことが出来、これにより、ハウジング構成要素が熱膨張
し、伝動要素と測定値変換器との間の距離が増大し、そ
の結果、伝動要素の長さが等しく又は同様に変化し、測
定値変換器までの距離が短くなり、それにより温度に関
係する誤差を補正することが可能となる。これと同時
に、ある高強度のセラミック材料の使用により、円筒状
ハウジング構成要素の壁から該ハウジング内に位置する
伝動要素への優れた熱伝導性が実現される。その結果、
両部品における温度変化を均等にすることが出来る。
ことで、ハウジング構成要素の走行面のみならず、伝動
要素の走行面を同一のセラミック材料で形成することが
可能となる。従って、熱膨張率の等しい材料を選択する
ことが出来、これにより、ハウジング構成要素が熱膨張
し、伝動要素と測定値変換器との間の距離が増大し、そ
の結果、伝動要素の長さが等しく又は同様に変化し、測
定値変換器までの距離が短くなり、それにより温度に関
係する誤差を補正することが可能となる。これと同時
に、ある高強度のセラミック材料の使用により、円筒状
ハウジング構成要素の壁から該ハウジング内に位置する
伝動要素への優れた熱伝導性が実現される。その結果、
両部品における温度変化を均等にすることが出来る。
【００１０】伝動要素は円筒体とし、その結果、表面同
士が接触する状態で着座し、ハウジング構成要素の内壁
に線接触しないようにすることが有利である。これによ
り、最適な熱伝達性が得られ、その結果、上述の温度に
起因する誤差を補正することが可能となる。これと同時
に、円筒状ハウジング構成要素と伝動要素との間の表面
圧縮力を軽減することにより摩耗が軽減し、本発明に従
い、相対的移動速度が０.５ｍ／ｓ以下の場合、あらさ
等級Ｎ ６乃至Ｎ ３、望ましくは約Ｎ ４のとき、潤滑
油を使用せずに（空気中で）、摩擦率を０.１乃至０.３
まで軽減することが出来る。
士が接触する状態で着座し、ハウジング構成要素の内壁
に線接触しないようにすることが有利である。これによ
り、最適な熱伝達性が得られ、その結果、上述の温度に
起因する誤差を補正することが可能となる。これと同時
に、円筒状ハウジング構成要素と伝動要素との間の表面
圧縮力を軽減することにより摩耗が軽減し、本発明に従
い、相対的移動速度が０.５ｍ／ｓ以下の場合、あらさ
等級Ｎ ６乃至Ｎ ３、望ましくは約Ｎ ４のとき、潤滑
油を使用せずに（空気中で）、摩擦率を０.１乃至０.３
まで軽減することが出来る。
【００１１】特に適したセラミックは、高強度（剛性が
２５０ＭＰａ以上）の酸化アルミニウムセラミック（Al
2O3）である。これと同時に、このセラミック材料の高
弾性率は更なる高剛性を保証するものである。
２５０ＭＰａ以上）の酸化アルミニウムセラミック（Al
2O3）である。これと同時に、このセラミック材料の高
弾性率は更なる高剛性を保証するものである。
【００１２】「あらさ等級」という語は、本明細書の末
尾に掲げてある加工標準に従ったあらさ等級を意味する
ものとする。従って、平均あらさ値Ｒaは、あらさ等級
Ｎ ６において０.８μｍ又は３２μｉｎ、或はあらさ等
級Ｎ ３において４μｉｎに相当する。これと同時に、
平均あらさ値Ｒaは、ＤＩＮ４７６８に従って規定し、
あらさプロファイルＲは平均線から変位する全てのプロ
ファイルを意味するものとする。この語は、ＩＳＯ標準
１３０２−１９７４及びＶＳＭ加工標準１０２３１に対
応するものである。
尾に掲げてある加工標準に従ったあらさ等級を意味する
ものとする。従って、平均あらさ値Ｒaは、あらさ等級
Ｎ ６において０.８μｍ又は３２μｉｎ、或はあらさ等
級Ｎ ３において４μｉｎに相当する。これと同時に、
平均あらさ値Ｒaは、ＤＩＮ４７６８に従って規定し、
あらさプロファイルＲは平均線から変位する全てのプロ
ファイルを意味するものとする。この語は、ＩＳＯ標準
１３０２−１９７４及びＶＳＭ加工標準１０２３１に対
応するものである。
【００１３】主として、本発明による接触型感知プロー
ブの耐摩耗性、メンテナンス不要の特性、及び温度安定
性は、半球状要素及び軸受を高強度のセラミック材料に
て形成する場合、更に向上するであろう。
ブの耐摩耗性、メンテナンス不要の特性、及び温度安定
性は、半球状要素及び軸受を高強度のセラミック材料に
て形成する場合、更に向上するであろう。
【００１４】本発明に従い、少なくとも一部が伝動要素
内に位置するようにした測定値変換器の構造は、円筒状
伝動要素を形成することにより更に可能となり、かかる
手段により、該装置の安定性及びコンパクトさが向上す
る。
内に位置するようにした測定値変換器の構造は、円筒状
伝動要素を形成することにより更に可能となり、かかる
手段により、該装置の安定性及びコンパクトさが向上す
る。
【００１５】これと同時に、測定値変換器は、同様に高
強度のセラミック材料から成る支持体上に配置すると特
に有利である。このようにして、温度変化に対する装置
の安定性を更に向上させることが可能となる。
強度のセラミック材料から成る支持体上に配置すると特
に有利である。このようにして、温度変化に対する装置
の安定性を更に向上させることが可能となる。
【００１６】円筒状のハウジング構成要素及び／又は伝
動要素及び／又は測定値変換器の支持体を異なるセラミ
ック材料にて形成する場合、少なくとも２つの材料の熱
膨張率が相互に１０％以上の差がないようにすると、本
発明は、特に有利に実現することが出来る。
動要素及び／又は測定値変換器の支持体を異なるセラミ
ック材料にて形成する場合、少なくとも２つの材料の熱
膨張率が相互に１０％以上の差がないようにすると、本
発明は、特に有利に実現することが出来る。
【００１７】ある適用例の場合、本発明に従って、円筒
状ハウジング構成要素の走行面のみ、及び／又は伝動構
成要素の走行面のみをセラミック材料にて形成すること
は可能ではあるが、更なる支持ハウジング部品が必要と
される。ハウジング構成要素のみならず、伝動要素もセ
ラミック材料にて単一体として形成することは、特に有
利である。本発明によれば、最適な寸法上の安定性及び
機能の反復中の誤差の発生を防止し、及びこれと同時
に、ハウジング構成要素から伝達要素への良好な熱伝導
特性は、ハウジング構成要素の走行面と伝動要素の走行
面の間の遊びを２μｍ以下にした場合、更に改良するこ
とが可能である。
状ハウジング構成要素の走行面のみ、及び／又は伝動構
成要素の走行面のみをセラミック材料にて形成すること
は可能ではあるが、更なる支持ハウジング部品が必要と
される。ハウジング構成要素のみならず、伝動要素もセ
ラミック材料にて単一体として形成することは、特に有
利である。本発明によれば、最適な寸法上の安定性及び
機能の反復中の誤差の発生を防止し、及びこれと同時
に、ハウジング構成要素から伝達要素への良好な熱伝導
特性は、ハウジング構成要素の走行面と伝動要素の走行
面の間の遊びを２μｍ以下にした場合、更に改良するこ
とが可能である。
【００１８】これにより、本発明に従い、走行面の真円
度を０.５μｍ以下にし、円筒度を１μｍ以下、寸法精
度を±０.５μｍに維持する場合、耐摩耗性及び伝動要
素と外側ハウジング構成要素の走行面との間の摩擦を更
に低減させることが出来る。半球状構成要素のみなら
ず、伝動要素にも、回転阻止装置を設けることにより、
変位した半球状要素の回転及び伝動要素への不均一な力
の伝達に起因する誤差を最適でかつ簡単な方法で回避す
ることが可能である。
度を０.５μｍ以下にし、円筒度を１μｍ以下、寸法精
度を±０.５μｍに維持する場合、耐摩耗性及び伝動要
素と外側ハウジング構成要素の走行面との間の摩擦を更
に低減させることが出来る。半球状構成要素のみなら
ず、伝動要素にも、回転阻止装置を設けることにより、
変位した半球状要素の回転及び伝動要素への不均一な力
の伝達に起因する誤差を最適でかつ簡単な方法で回避す
ることが可能である。
【００１９】本発明に関し、又、上述の特許の特許請求
の範囲の特徴の組み合わせから独立して、半球状構成要
素を備える接触型感知プローブの場合、外側ハウジング
構成要素及び／又は半球状要素の軸受と調和させた長手
方向溝内を走行するボールを支持する回転阻止装置とし
てスピゴットが設けられる。この場合、この溝は、精密
溝であり、その溝内を硬質な金属又はセラミック製ボー
ルが最高精度にて走行する。
の範囲の特徴の組み合わせから独立して、半球状構成要
素を備える接触型感知プローブの場合、外側ハウジング
構成要素及び／又は半球状要素の軸受と調和させた長手
方向溝内を走行するボールを支持する回転阻止装置とし
てスピゴットが設けられる。この場合、この溝は、精密
溝であり、その溝内を硬質な金属又はセラミック製ボー
ルが最高精度にて走行する。
【００２０】このようにしてかつ公知の技術と異なり、
溝内のボールは、最大限、２つの接触箇所しか無いた
め、好適でかつ簡単な方法で２つのガイド要素が絶対に
固着することがない構成を実現することが出来る。これ
と同時に、ボールと溝との間の遊びを０.５μｍ以下と
し、ボール及び溝を熱膨張率の等しい（又は熱膨張率が
同様の）材料にて形成することが望ましい。このように
して、熱膨張の結果によるボールの固着の虞れを回避す
ることにより、最大の案内精度が実現される。これは、
主として、ボールを真円度が０.１３μｍ以下の精密セ
ラミック構成要素とし、寸法精度が±０.２５μｍであ
らさ等級約Ｎ ０又はあらさ値Ｒaが０.０１２５μｍ、
０.５μｉｎとすることにより実現される。
溝内のボールは、最大限、２つの接触箇所しか無いた
め、好適でかつ簡単な方法で２つのガイド要素が絶対に
固着することがない構成を実現することが出来る。これ
と同時に、ボールと溝との間の遊びを０.５μｍ以下と
し、ボール及び溝を熱膨張率の等しい（又は熱膨張率が
同様の）材料にて形成することが望ましい。このように
して、熱膨張の結果によるボールの固着の虞れを回避す
ることにより、最大の案内精度が実現される。これは、
主として、ボールを真円度が０.１３μｍ以下の精密セ
ラミック構成要素とし、寸法精度が±０.２５μｍであ
らさ等級約Ｎ ０又はあらさ値Ｒaが０.０１２５μｍ、
０.５μｉｎとすることにより実現される。
【００２１】全体として、本発明は、最適に簡単な方法
にてかつ干渉作用を伴わずに、しかも摩耗無しで機能す
る経済的な数の構成要素を備える精密な接触型感知プロ
ーブを提供するものである。
にてかつ干渉作用を伴わずに、しかも摩耗無しで機能す
る経済的な数の構成要素を備える精密な接触型感知プロ
ーブを提供するものである。
【００２２】
【実施例】本発明の実施例は、添付図面と共に以下に詳
細に説明する。
細に説明する。
【００２３】図１乃至図４に示した接触型感知プローブ
は、酸化アルミニウムセラミックにて形成した円筒状外
側ハウジング構成要素１を備えている。円筒状伝動要素
２は、ハウジング構成要素１内で長手方向に変位可能に
取り付けられる。同様に、伝動要素２は、セラミック材
料（剛性が２５０ＭＰａ以上、及びハウジング構成要素
１に使用される材料に従い、熱膨張率が１０×１０-6Ｋ
-1以下であるAl2O3−セラミック）にて製造される。
は、酸化アルミニウムセラミックにて形成した円筒状外
側ハウジング構成要素１を備えている。円筒状伝動要素
２は、ハウジング構成要素１内で長手方向に変位可能に
取り付けられる。同様に、伝動要素２は、セラミック材
料（剛性が２５０ＭＰａ以上、及びハウジング構成要素
１に使用される材料に従い、熱膨張率が１０×１０-6Ｋ
-1以下であるAl2O3−セラミック）にて製造される。
【００２４】ハウジング構成要素１及び伝動要素２の走
行面１ａ、２ａは研磨してあらさ等級Ｎ ４とするが、
このことは、平均あらさ値Ｒaが約０.２μｍ乃至８μｉ
ｎであることを意味する（ＤＩＮ７７６８による）。走
行面１ａと２ａとの間の遊びは、約１乃至１.５μｍに
達する。両走行面は、略遊び無しで相互に接触し、潤滑
剤を使用せずかつ実際的に高品質の表面に基づいて摩耗
を生ぜずに接触状態で摺動出来る。ハウジング構成要素
１の各々が加熱される結果、走行面１ａ、２ａ間の面接
触によって、伝動要素２が略同時に加熱される。
行面１ａ、２ａは研磨してあらさ等級Ｎ ４とするが、
このことは、平均あらさ値Ｒaが約０.２μｍ乃至８μｉ
ｎであることを意味する（ＤＩＮ７７６８による）。走
行面１ａと２ａとの間の遊びは、約１乃至１.５μｍに
達する。両走行面は、略遊び無しで相互に接触し、潤滑
剤を使用せずかつ実際的に高品質の表面に基づいて摩耗
を生ぜずに接触状態で摺動出来る。ハウジング構成要素
１の各々が加熱される結果、走行面１ａ、２ａ間の面接
触によって、伝動要素２が略同時に加熱される。
【００２５】伝動要素２は、ばね８により、Ｘ及Ｙ軸線
方向に向けて軸受４内で回転可能に取り付けられた半球
状要素３に押し付けられる。半球状要素３及び軸受４
は、ハウジング構成要素１及び伝動要素２と同一のセラ
ミック材料にて製造され、その表面仕上げ及びあらさ等
級も同程度にする。触針１３が触針ホルダ１１及び破断
ピン１０により半球状要素３に取り付けられる。触針１
３は、横方向力を受けると直ちに、半球状要素３は軸受
４内で公知の方法にて回転し、これにより、伝動要素２
はばねの力に抗して上方に持ち上げられる。触針１３が
下方から垂直方向軸力を受ける限り、半球状要素３は、
軸受４の外に上方に持ち上げられ、これにより、伝動要
素２は、同様に、ばね８の力に抗して軸方向上方に変位
される。
方向に向けて軸受４内で回転可能に取り付けられた半球
状要素３に押し付けられる。半球状要素３及び軸受４
は、ハウジング構成要素１及び伝動要素２と同一のセラ
ミック材料にて製造され、その表面仕上げ及びあらさ等
級も同程度にする。触針１３が触針ホルダ１１及び破断
ピン１０により半球状要素３に取り付けられる。触針１
３は、横方向力を受けると直ちに、半球状要素３は軸受
４内で公知の方法にて回転し、これにより、伝動要素２
はばねの力に抗して上方に持ち上げられる。触針１３が
下方から垂直方向軸力を受ける限り、半球状要素３は、
軸受４の外に上方に持ち上げられ、これにより、伝動要
素２は、同様に、ばね８の力に抗して軸方向上方に変位
される。
【００２６】かかる変位中、半球状要素３がそれ自身の
軸線を中心として回転するのを阻止するため、スピゴッ
ト７の形態による回転阻止手段が設けられおり、このス
ピゴット７はハウジング構成要素１の壁の長手方向溝５
内を案内されるボール９を支持する。該ボール９は、あ
らさ等級がＮ ０以下のセラミック製ボールであり、こ
れは、平均あらさ値Ｒaが約０.０１２５μｍ、０.５μ
ｉｎであることを意味する。ボール５の真円度は０.１
３μｍ以下であり、寸法精度は±０.２５μｍに達す
る。ボール９と長手方向溝５との間の遊びは、０.５μ
ｍ以下であり、その結果、最大限２つの接触箇所にてボ
ール９を絶対的に正確に横方向に案内することが可能と
なる。伝動要素２の外径を上廻る長さのスピゴット１２
は、伝動要素２内で横方向に固定される。スピゴット１
２の突出端は、ハウジング構成要素１の走行面１ａに形
成した溝１５内を案内される。このようにして、伝動要
素２の長手方向への移動は溝１５内を摺動するスピゴッ
ト１２により案内される。このため、伝動要素２は又軸
方向への回転が阻止される。スピゴット１２及び溝１５
のあらさ等級はＮ ６以下であり、故に、これは、平均
あらさ値Ｒaが０.８μｍ以下、３２μｉｎであることを
意味し、これにより、摩擦を生ぜずかつ遊びが軽減され
た状態で摺動することが確実となる。
軸線を中心として回転するのを阻止するため、スピゴッ
ト７の形態による回転阻止手段が設けられおり、このス
ピゴット７はハウジング構成要素１の壁の長手方向溝５
内を案内されるボール９を支持する。該ボール９は、あ
らさ等級がＮ ０以下のセラミック製ボールであり、こ
れは、平均あらさ値Ｒaが約０.０１２５μｍ、０.５μ
ｉｎであることを意味する。ボール５の真円度は０.１
３μｍ以下であり、寸法精度は±０.２５μｍに達す
る。ボール９と長手方向溝５との間の遊びは、０.５μ
ｍ以下であり、その結果、最大限２つの接触箇所にてボ
ール９を絶対的に正確に横方向に案内することが可能と
なる。伝動要素２の外径を上廻る長さのスピゴット１２
は、伝動要素２内で横方向に固定される。スピゴット１
２の突出端は、ハウジング構成要素１の走行面１ａに形
成した溝１５内を案内される。このようにして、伝動要
素２の長手方向への移動は溝１５内を摺動するスピゴッ
ト１２により案内される。このため、伝動要素２は又軸
方向への回転が阻止される。スピゴット１２及び溝１５
のあらさ等級はＮ ６以下であり、故に、これは、平均
あらさ値Ｒaが０.８μｍ以下、３２μｉｎであることを
意味し、これにより、摩擦を生ぜずかつ遊びが軽減され
た状態で摺動することが確実となる。
【００２７】ハウジング構成要素１は、セラミック材料
から成るディスクカバー１ｂによりその上端が閉じられ
る。支持体６がディスクカバー１ｂに設けられており、
該支持体６は、２つの脚部６ａ、６ｂによりスピゴット
１２の側部に接触し、伝動要素２の内側スペースまで下
方に伸長する。従って、支持体６はハウジング構成要素
１に固定状態に接続され、触針１３の変位の結果、伝動
要素の軸受が軸方向に変位するとき、スピゴット１２と
支持体６との間の相対的位置が変化する。従って、支持
体６は、図３に２つの光バリヤセンサ１４ａ、１４ｂで
概略図的に示唆したように、測定値変換器１４を取り付
けるのに特に適している。このようにして、Ｚ軸線に沿
ってスピゴット１２の位置が変化することにより、光バ
リヤ１４ａ又は１４ｂの１つで触針１３の変位移動距離
を検出することが出来、伝動要素２の軸方向の変位を電
気信号に変換し、該信号を更に公知の方法で処理するこ
とが可能となる。
から成るディスクカバー１ｂによりその上端が閉じられ
る。支持体６がディスクカバー１ｂに設けられており、
該支持体６は、２つの脚部６ａ、６ｂによりスピゴット
１２の側部に接触し、伝動要素２の内側スペースまで下
方に伸長する。従って、支持体６はハウジング構成要素
１に固定状態に接続され、触針１３の変位の結果、伝動
要素の軸受が軸方向に変位するとき、スピゴット１２と
支持体６との間の相対的位置が変化する。従って、支持
体６は、図３に２つの光バリヤセンサ１４ａ、１４ｂで
概略図的に示唆したように、測定値変換器１４を取り付
けるのに特に適している。このようにして、Ｚ軸線に沿
ってスピゴット１２の位置が変化することにより、光バ
リヤ１４ａ又は１４ｂの１つで触針１３の変位移動距離
を検出することが出来、伝動要素２の軸方向の変位を電
気信号に変換し、該信号を更に公知の方法で処理するこ
とが可能となる。
【００２８】光バリヤ１４ａ、１４ｂに代えて、その他
の公知の測定値変換器を設けることも勿論、可能であ
る。本発明の構成から逸脱せずに、欧州特許第A-237,47
0号による増分的な長手方向測定装置のような長手方向
測定装置、又は誘導型、或は容量形測定装置を採用する
ことが可能である。これにより、スピゴット１２と支持
体６との相対的動きを公知の方法にて活用し、その測定
値を確認しかつ変換することが可能である。
の公知の測定値変換器を設けることも勿論、可能であ
る。本発明の構成から逸脱せずに、欧州特許第A-237,47
0号による増分的な長手方向測定装置のような長手方向
測定装置、又は誘導型、或は容量形測定装置を採用する
ことが可能である。これにより、スピゴット１２と支持
体６との相対的動きを公知の方法にて活用し、その測定
値を確認しかつ変換することが可能である。
【００２９】温度に起因する誤差を可能な限り軽減する
ため、カバーディスク１ｂ、支持体６、ハウジング構成
要素１及び軸受４は、その接触面領域内にて、少なくと
もその接触部分を同様に平滑に研磨し、平均あらさＲa
値が０.８μｍ、３２μｉｎ以下となるようにする。構
成要素を接続するとき、これら構成要素は、まず最初に
その接触面に相互に押し付けて、材料表面が接触するよ
うにする。次に、低粘度のエポキシ接着材料を隙間に付
与し、毛管作用によりその接着剤の塗布が行われる。こ
のようにして、構成要素を接続することにより、セラミ
ック構成要素はその表面の最突出部分で直接接触するた
め、接着剤のより大きい熱膨張に起因する構成要素の長
手方向への変化を阻止するが出来る。
ため、カバーディスク１ｂ、支持体６、ハウジング構成
要素１及び軸受４は、その接触面領域内にて、少なくと
もその接触部分を同様に平滑に研磨し、平均あらさＲa
値が０.８μｍ、３２μｉｎ以下となるようにする。構
成要素を接続するとき、これら構成要素は、まず最初に
その接触面に相互に押し付けて、材料表面が接触するよ
うにする。次に、低粘度のエポキシ接着材料を隙間に付
与し、毛管作用によりその接着剤の塗布が行われる。こ
のようにして、構成要素を接続することにより、セラミ
ック構成要素はその表面の最突出部分で直接接触するた
め、接着剤のより大きい熱膨張に起因する構成要素の長
手方向への変化を阻止するが出来る。
【００３０】図１乃至図３による実施例の場合、ハウジ
ング構成要素１は、接触型感知プローブ２のハウジング
ジャケットとしてのみならず、伝動要素２の収容シリン
ダとして利用することも考えられる。図４の実施例の場
合、ハウジング構成要素１は、追加的なハウジングジャ
ケット１ｃにより囲繞される。該ハウジングジャケット
１ｃは、図示しない引張りリングによりハウジング１に
接続され、２つの構成要素間の熱膨張率の差による熱膨
張に起因する相対的動作が可能となる。本発明の構成か
ら逸脱せずに、同様の方法にて、例えば、構成要素を補
強するため、伝動要素２内に追加的な内部ジャケットを
設けるようにしてもよい。
ング構成要素１は、接触型感知プローブ２のハウジング
ジャケットとしてのみならず、伝動要素２の収容シリン
ダとして利用することも考えられる。図４の実施例の場
合、ハウジング構成要素１は、追加的なハウジングジャ
ケット１ｃにより囲繞される。該ハウジングジャケット
１ｃは、図示しない引張りリングによりハウジング１に
接続され、２つの構成要素間の熱膨張率の差による熱膨
張に起因する相対的動作が可能となる。本発明の構成か
ら逸脱せずに、同様の方法にて、例えば、構成要素を補
強するため、伝動要素２内に追加的な内部ジャケットを
設けるようにしてもよい。
【００３１】図４の実施例の場合、軸受４は、その側部
にてハウジング構成要素１内まで上方に伸長し、長手方
向溝５ａは軸受４内に配置し、図１乃至図３に示すよう
に、ハウジング１の壁には形成されないようにすること
も出来る。該軸受４は、ハウジング構成要素１に強固に
固定されるため、この方法で図１乃至図３に関して説明
した回転阻止効果が実現される。
にてハウジング構成要素１内まで上方に伸長し、長手方
向溝５ａは軸受４内に配置し、図１乃至図３に示すよう
に、ハウジング１の壁には形成されないようにすること
も出来る。該軸受４は、ハウジング構成要素１に強固に
固定されるため、この方法で図１乃至図３に関して説明
した回転阻止効果が実現される。
【００３２】加工標準ＨＮ１０（＝ＶＳＭ１２３１）か
らの抜粋 主たる基準値としての算術的な平均あらさ値Ｒaは、次
表から判断することが出来る。両単位（μｍ及びμｉ
ｎ）の採用に伴う解釈上の誤差は、あらさ等級を利用し
て除去してある。
らの抜粋 主たる基準値としての算術的な平均あらさ値Ｒaは、次
表から判断することが出来る。両単位（μｍ及びμｉ
ｎ）の採用に伴う解釈上の誤差は、あらさ等級を利用し
て除去してある。
【００３３】 平均あらさ値Ｒaの定義（ＤＩＮ４７６８） 図５に示すように、平均あらさ値Ｒa（ＤＩＮ４７６
８）は、測定した全体距離Ｉm内におけるあらさプロフ
ァイル値Ｒの全部の値の算術的平均値である。
８）は、測定した全体距離Ｉm内におけるあらさプロフ
ァイル値Ｒの全部の値の算術的平均値である。
【００３４】基準線：平均線 図６に示すように、平均線は、うねり及び形状を示す。
該平均線は、プロファイルの山部分の表面がプロファイ
ルの谷部分の表面を補正するような方法にて検出された
プロファイルに交わる。
該平均線は、プロファイルの山部分の表面がプロファイ
ルの谷部分の表面を補正するような方法にて検出された
プロファイルに交わる。
【００３５】該平均線は、ＲＣフィルタリング又はＭフ
ィルタリングにより形成される。パーソメータＳ６Ｐ
は、最初に平均線を検出したプロファイルにて示す。平
均線に基づく全ての計算値は記号「Ｒ」で示す。例え
ば、Ｒプロファイルの場合、Ｒa、Ｒq、Ｒz、Ｒpとな
る。
ィルタリングにより形成される。パーソメータＳ６Ｐ
は、最初に平均線を検出したプロファイルにて示す。平
均線に基づく全ての計算値は記号「Ｒ」で示す。例え
ば、Ｒプロファイルの場合、Ｒa、Ｒq、Ｒz、Ｒpとな
る。
【００３６】あらさプロファイルＲ 図７に示すように、あらさプロファイルＲは、プロファ
イルの平均線からの全ての逸脱を示す。
イルの平均線からの全ての逸脱を示す。
【００３７】本発明が応用例及び変形例が可能である限
り、上述の説明及び添付図面は、特許請求の範囲及びそ
の幾多の組み合わせにより規定される本発明を限定する
ものと解釈されるべきではない。
り、上述の説明及び添付図面は、特許請求の範囲及びそ
の幾多の組み合わせにより規定される本発明を限定する
ものと解釈されるべきではない。
【図１】本発明による接触型感知プローブの概略図であ
る。
る。
【図２】縮小した縮尺で触針を省略した図１の線Ａ−Ａ
に沿った断面概略図である。
に沿った断面概略図である。
【図３】測定値変換器を備える図２による接触型感知プ
ローブの概略図である。
ローブの概略図である。
【図４】外側ハウジング構成要素を備える図１による接
触型感知プローブの概略断面図である。
触型感知プローブの概略断面図である。
【図５】平均あらさ値Ｒａの定義を説明するための図で
ある。
ある。
【図６】平均線を示す図である。
【図７】あらさプロファイルＲを示す図である。
１ ハウジング構成要素 １ａ 走行面 １ｂ ディスクカバー ２ 伝動要素 ２ａ 走行面 ３ 半球状構成
要素 ４ 軸受 ５ 長手方向溝 ６ 支持体 ６ａ 支持体の
脚部 ６ｂ 支持体の脚部 ７ スピゴット ８ ばね ９ ボール １０ 破断ピン １１ 触針ホル
ダ １２ スピゴット １３ 触針 １４ 測定値変換器 １５ 溝
要素 ４ 軸受 ５ 長手方向溝 ６ 支持体 ６ａ 支持体の
脚部 ６ｂ 支持体の脚部 ７ スピゴット ８ ばね ９ ボール １０ 破断ピン １１ 触針ホル
ダ １２ スピゴット １３ 触針 １４ 測定値変換器 １５ 溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴェルナー・ザルヴィスベルク スイス国 3250 リス，パッペルヴェーク ５ (72)発明者 ジャン−ダニール・フリッツ スイス国 4717 ミュムリスヴィル，ゾン ハルデ 945
Claims (16)
- 【請求項１】 半球状構成要素（３）用の軸受（４）を
有する円筒状ハウジング構成要素（１）を有し、前記半
球状要素（３）が触針（１３）を支持し、前記触針（１
３）によりハウジング構成要素（１）を少なくとも一つ
の面内で軸受（４）に対して変位させることが出来、更
に、ハウジング構成要素（１）に対して長手方向に変位
可能に取り付けられていて半球状要素（３）が変位する
とき、ハウジング構成要素の長手方向軸線に対して長手
方向に変位される伝動要素（２）を有する接触型感知プ
ローブにして、 ハウジング構成要素（１）の走行面（１ｄ）のみなら
ず、伝動要素（２）の走行面（２ａ）もそのあらさ等級
がＮ ６に等しいかそれ以下であり、その平均あらさ値
（Ｒa）が０.８μｍ、３２μｉｎに等しいかそれ以下で
ある高強度のセラミック材料にて形成されることを特徴
とする接触型感知プローブ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の接触型感知プローブに
して、 前記半球状構成要素（３）及び軸受（４）が高強度のセ
ラミック材料から成ることを特徴とする接触型感知プロ
ーブ。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の接触型感知プロ
ーブにして、 前記伝動要素（２）が円筒体であることを特徴とする接
触型感知プローブ。 - 【請求項４】 請求項３に記載の接触型感知プローブに
して、 前記円筒状ハウジング構成要素（１）には、測定値変換
器（１４、１４ａ、１４ｂ）用の支持体（６）が設けら
れ、前記支持体（６）及び／又は測定値変換器（１４）
が伝動要素（２）内に突出することを特徴とする接触型
感知プローブ。 - 【請求項５】 請求項３又は４に記載の接触型感知プロ
ーブにして、 前記支持体（６）が高強度のセラミック材料にて形成さ
れることを特徴とする接触型感知プローブ。 - 【請求項６】 請求項１乃至５の何れかに記載の接触型
感知プローブにして、 ハウジング（１）及び／又は伝動要素（２）の走行面
（１ａ、２ａ）のあらさ等級がＮ ６に略等しいかそれ
以下であり、その平均あらさ値Ｒaが０.８μｍ、３２μ
ｉｎに等しいかそれ以下であり、望ましくはあらさ等級
がＮ ４、その平均あらさ値Ｒaが０.２μｍ、８μｉｎ
Ｒaに等しいことを特徴とする接触型感知プローブ。 - 【請求項７】 請求項１乃至６の何れかに記載の接触型
感知プローブにして、 ハウジングの少なくとも走行面（１ａ、２ａ）及び測定
値変換器（１４）用の伝動要素（２）及び／又は支持体
（６）が同一のセラミック材料、少なくともその他の構
成要素の熱膨張率と１０％以上の差のない線膨張率を有
するセラミック材料から成ることを特徴とする接触型感
知プローブ。 - 【請求項８】 請求項１乃至７の何れかに記載の接触型
感知プローブにして、 ハウジング構成要素（１）の走行面（１ａ）と伝達要素
（２）の走行面（２ａ）との間の遊びが２μｍ以下であ
ることを特徴とする接触型感知プローブ。 - 【請求項９】 請求項１乃至８の何れかに記載の接触型
感知プローブにして、 ハウジング構成要素（１）と調和させた長手方向溝内に
係合する半球状要素（３）の回転を阻止するスピゴット
（７）が設けられることを特徴とする接触型感知プロー
ブ。 - 【請求項１０】 請求項９に記載の接触型感知プローブ
にして、 前記スピゴット（７）が半球状要素（３）上に設けら
れ、長手方向溝（５）がハウジング構成要素（１）又は
軸受（４）の壁に形成されることを特徴とする接触型感
知プローブ。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の接触型感知プロー
ブにして、 前記スピゴット（７）が長手方向溝（５）内を走行する
ボール（９）を担持することを特徴とする接触型感知プ
ローブ。 - 【請求項１２】 請求項１１に記載の接触型感知プロー
ブにして、 前記ボール（９）が、あらさ等級Ｎ ０以下であり、真
円度が０.１３μｍ以下、寸法精度が±０.２５μｍの精
密セラミック構成要素であることを特徴とする接触型感
知プローブ。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の接触型感知プロー
ブにして、 ガイドスピゴット（７）のボール（９）と溝（５）との
間の遊びが０.５μｍ以下であることを特徴とする接触
型感知プローブ。 - 【請求項１４】 請求項１乃至１３の何れかに記載の接
触型感知プローブにして、 伝動要素（２）の回転阻止手段が設けられることを特徴
とする接触型感知プローブ。 - 【請求項１５】 請求項１４に記載の接触型感知プロー
ブにして、 前記伝動要素の回転阻止手段が、伝動要素に接続され、
ハウジング構成要素（１）の走行面（１ａ）に形成され
た溝（１５）に調和し得るように係合するスピゴット
（１２）を備えることを特徴とする接触型感知プロー
ブ。 - 【請求項１６】 請求項１乃至１５に記載の接触型感知
プローブにして、 前記スピゴット（６）及び／又はハウジング構成要素
（１）及び軸受（４）がエポキシ接着剤により相互に接
続され、接続した表面のあらさ値Ｒaが０.８μｍ以下で
あり、望ましくは、０.３μｍ以下であることを特徴と
する接触型感知プローブ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1706/91-4 | 1991-06-07 | ||
| CH170691 | 1991-06-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157546A true JPH05157546A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=4216707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4147413A Pending JPH05157546A (ja) | 1991-06-07 | 1992-06-08 | 接触型感知プローブ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5321895A (ja) |
| EP (1) | EP0517653B1 (ja) |
| JP (1) | JPH05157546A (ja) |
| DE (1) | DE59208088D1 (ja) |
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| KR100389209B1 (ko) * | 2000-03-27 | 2003-06-27 | 박헌양 | 마모감지부를 갖는 액제미분용기 |
| JP2018083266A (ja) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 株式会社ディスコ | 研削装置及び粗さ測定方法 |
Families Citing this family (11)
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|---|---|---|---|---|
| US5606710A (en) * | 1994-12-20 | 1997-02-25 | National Semiconductor Corporation | Multiple chip package processor having feed through paths on one die |
| GB9907643D0 (en) * | 1999-04-06 | 1999-05-26 | Renishaw Plc | Measuring probe |
| DE19929557B4 (de) * | 1999-06-18 | 2006-01-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Verfahren und Schaltkreis zur Einstellung einer Schaltschwelle eines Tastschalters |
| IT1311404B1 (it) * | 1999-11-26 | 2002-03-12 | Marposs Spa | Comparatore lineare a movimento assiale. |
| DE10042715B4 (de) * | 2000-08-31 | 2006-06-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Taststift und Verfahren zur Herstellung eines Taststiftes |
| US6609308B2 (en) * | 2001-11-02 | 2003-08-26 | Q-Mark Manufacturing, Inc. | Drilled silicon nitride ball |
| JP4783575B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2011-09-28 | シチズンホールディングス株式会社 | 接触式変位測長器 |
| DE102005022482A1 (de) * | 2005-05-11 | 2006-11-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Antaststift und damit ausgestattetes Tastsystem |
| US8020308B2 (en) * | 2009-05-29 | 2011-09-20 | General Electric Company | Non-destructive inspection system having self-aligning probe assembly |
| IT201700062117A1 (it) * | 2017-06-07 | 2017-09-07 | Itaca S R L | Metodo e sistema di controllo e misura dimensionale |
| CN108692644B (zh) * | 2018-03-26 | 2019-09-27 | 华中科技大学 | 一种复杂曲面三坐标测量装置及误差补偿方法 |
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| IT1156660B (it) * | 1982-09-09 | 1987-02-04 | Finike Italiana Marposs | Testa a matita per il controllo di dimensioni lineari e relativo procedimento di assemblaggio |
| DD241465A1 (de) * | 1985-10-02 | 1986-12-10 | Zeiss Jena Veb Carl | Praezisionslaengenmesssystem, vorzugsweise fuer grosse laengen |
| EP0237470B1 (de) * | 1986-02-07 | 1990-03-28 | Saphirwerk Industrieprodukte AG | Vorrichtung zur inkrementalen Längenmessung |
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-
1992
- 1992-05-20 DE DE59208088T patent/DE59208088D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-05-20 EP EP92810376A patent/EP0517653B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-02 US US07/892,031 patent/US5321895A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-06-08 JP JP4147413A patent/JPH05157546A/ja active Pending
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0517653B1 (de) | 1997-03-05 |
| DE59208088D1 (de) | 1997-04-10 |
| US5321895A (en) | 1994-06-21 |
| EP0517653A1 (de) | 1992-12-09 |
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