JPH05152935A - 制御回路及びその制御回路により制御される集積回路 - Google Patents

制御回路及びその制御回路により制御される集積回路

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JPH05152935A
JPH05152935A JP3059947A JP5994791A JPH05152935A JP H05152935 A JPH05152935 A JP H05152935A JP 3059947 A JP3059947 A JP 3059947A JP 5994791 A JP5994791 A JP 5994791A JP H05152935 A JPH05152935 A JP H05152935A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】集積回路のしきい電圧を安定に設定し、所望の
伝搬遅延時間tpdで動作させる制御回路を提供する。 【構成】FETを構成要素とする被制御回路6のFET
の伝搬遅延時間tpdを反映する発振周波数fを有するリ
ングオシレータ4を設け、基準周波数frefとfを比較
する比較回路1の出力により電圧発生回路2での制御電
圧Vbを発生し、これを被制御回路6の基板電極6aに
加える。 【効果】集積回路における伝搬遅延時間tpdのバラツキ
を抑え、歩留まりを向上できる。低しきい電圧の集積回
路に適用すれば伝搬遅延時間tpdを小さく設定して回路
の高速動作を実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、制御回路及びその制御
回路により制御される集積回路、特に電界効果トランジ
スタを構成要素とする制御回路及び集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】電界効果トランジスタ(以下、FETと
書く。)を構成素子とする回路を高速動作させるために
はにFETの伝搬遅延時間tpdを小さくする必要が有
る。FETのしきい電圧の絶対値を下げると伝搬遅延時
間tpdは小さくなる。従って集積回路を高速に動作させ
るためにはできるだけしきい電圧を低くするのがよい。
しかし一般に、集積回路の製造時におけるチップ間の加
工バラツキによってしきい電圧バラツキが発生する。伝
搬遅延時間tpdを小さくするためにしきい電圧を低くす
ると、上記のしきい電圧バラツキによるチップ間の回路
特性バラツキが顕著になってしまう。そのため、しきい
電圧を調整して所望の値に設定するための制御が必要で
ある。FETのしきい電圧制御の一方法として、基板電
位制御によるしきい電圧の制御方法が特許公開公報(特
開昭51−81553号)に記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では伝搬遅延時間tpdを所望の値に設定すること
については触れられていない。前述のように、しきい電
圧を低く設定するだけでは伝搬遅延時間tpdはバラツ
き、必ずしも所望の値にならないため、動作クロックに
信号が追随できない動作不良のチップが多く存在するこ
とになる。この伝搬遅延時間tpdのバラツキは歩留まり
を低下させ、製品コストを高める原因の一つになる。本
発明の目的は、FETのしきい電圧を安定に設定し、か
つ所望の伝搬遅延時間tpdで動作させるための制御回路
及び集積回路を実現することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記目的を
達成するため、FETを構成素子として含む被制御回路
の制御回路の構成を、上記被制御回路のFETの伝搬遅
延時間を反映する発振周波数を発生する発振回路と、上
記発振回路の出力周波数と固定の周波数とを比較する比
較回路と、上記比較回路の出力によって可変の電位を発
生する電圧発生回路とで構成し、上記電圧発生回路の出
力を上記被制御回路の基板電圧を制御する信号とする。
上記固定の周波数は被制御回路の設定すべき伝搬遅延時
間tpdを反映する上記上記発振回路の出力周波数に設定
する。本発明の好ましい実施形態は、被制御回路と制御
回路部が同一基板内に構成される集積回路の場合であ
る。
【0005】
【作用】本発明の制御回路は、基板電位によりFETの
しきい電圧が変わることを利用し、集積回路等の被制御
回路の構成素子であるFETのしきい電圧を制御するこ
とによって、その伝搬遅延時間tpdを制御するものであ
る。被制御回路の伝搬遅延時間を反映する発振周波数f
を発生する発振回路が固定周波数の基準周波数frefと
一致するような制御電圧を発生するため、その制御電圧
で被制御回路を制御すると、被制御回路の伝搬遅延時間
tpdが固定されることになる。特に被制御回路が集積回
路で、上記集積回路と制御回路を同一集積回路基板内に
構成する場合は、両回路を構成するFETのしきい電
圧、伝搬遅延時間はほぼ同一のものとみなせる。そのた
め、発振回路の伝搬遅延時間tpdを制御する基板電位を
用いて被制御回路の伝搬遅延時間tpdを制御することが
できる。本発明によれば、集積回路の基板電位を制御す
ることによってその集積回路の伝搬遅延時間tpd自体を
バラツキの少ない値に設定することができるため、製造
段階のFETのしきい電圧のバラツキが有っても、制御
路回路による基板電位によって伝搬遅延時間tpdが揃え
られることになり、基準周波数frefを設定することに
より所望の動作速度で集積回路を動作させることができ
る。そのため、FETのしきい電圧のバラツキの許容範
囲が広がり、歩留まりが向上する。
【0006】
【実施例】図1は本発明による集積回路の1実施例の構
成図である。図示のように、単一の集積回路基板0内に
被制御回路6と制御回路5が形成されている。被制御回
路6はFETを構成素子とする集積回路である。制御回
路5は上記FETと同特性のFETで構成されるリング
オシレータ4と、リングオシレータ4の発振周波数fと
基準周波数frefを比較する比較回路1と、比較回路1
の出力を制御電圧Vbとして発生する電圧発生回路2
と、電圧発生回路2の出力を制限し、リングオシレータ
4及び被制御回路6の基板電極6a及び4aに加えるリ
ミッタ3で構成されている。
【0007】本実施例のリミッタ3は、電圧発生回路2
の出力である制御電圧Vbが一定の許容値内に収まるよ
うに調整する。例えばnチャネルFETでは、ソース電
位に対し基板電位が0.7(V)以上になると基板とソ
ースのpn接合が導通してしまい、回路の正常動作を妨
げる。リミッタ3は、正常動作を維持するために、入力
であるVbが0.7(V)以上になったとき0.7
(V)より低い或る一定電圧をリングオシレータ4に対
して出力する。被制御回路6の基板電極6aに印加され
るのはこのリミッタ3の出力であるため、回路の異常動
作は防止することができる。ここで、図1では制御電圧
VbをnチャネルFETのp基板電極またはpウェル電
極に印加する場合について示している。
【0008】リングオシレータ4は、インバータ回路を
(2n+1)段(ただし、n=1、2、3、・・・)接
続して構成される。このリングオシレータ4の発振周波
数f(Hz)は、インバータ4の伝搬遅延時間をtpd
(s)とした場合、 f=1/{2(2n+1)tpd}・・・・・・・・・(1) で表される。即ち、発振周波数fは伝搬遅延時間tpdと
反比例の関係にある。この関係より、発振周波数fを調
整することにより伝搬遅延時間tpdが調整されることが
わかる。以上の比較回路1、電圧発生回路2、リミッタ
3、リングオシレータ4よりなる制御回路5はフィード
バックループを構成しており自動的に制御電圧Vbを調
整することができる。また、上記制御回路5により得ら
れる制御電圧Vb(V)をVdd−0.7<Vb≦Vddの
範囲で発生させ、pチャネルFETのn基板電極または
nウェル電極に印加することによって上記同様に伝搬遅
延時間tpdを調整することも可能である。この場合も、
上記同様リミッタ3を通してVbを許容値内に収めるこ
とが重要である。
【0009】本発明の第2の実施例を図2に示す。図2
は、図1における比較回路1、電圧発生回路2に相当す
る部分を、位相比較回路7、電圧発生回路10として構
成したものである。本実施例は、リングオシレータ4の
発振周波数fと基準周波数frefの比較を、位相のずれ
を比較することにより行うものである。位相比較回路7
では、発振周波数fの位相が基準周波数frefの位相に
対して進んでいるときは信号a、遅れているときは、信
号bを位相差に比例した時間だけ“1”にする。チャー
ジポンプ回路8では、位相比較回路7からの入力をもと
に制御電圧Vbを調整する。すなわち、信号aが”1”
のときはVbを上げ、信号bが”1”のときは反対にV
bを下げるように動作する。
【0010】本実施例によれば、0≦Vb≦Vdd の範
囲で基板電位を発生することができる。そのため、nチ
ャネルFETのp形基板またはpウェルに印加する電位
として0≦Vb<0.7(V)の電位を発生する場合、
あるいはpチャネルFETのn形基板またはnウェルの
電位としてVdd−0.7<Vb≦Vddを発生する場合に
有効である。また、位相比較回路7をディジタル回路で
構成するため雑音に対して強い回路を実現できる。
【0011】本発明の第3の実施例を図3に示す。図3
は、図1における電圧発生回路2を電圧発生回路15と
して構成したものである。この実施例では、ダイオード
接続したFET13、14を2個用いて整流回路を構成
し、負の電位を発生させている。クロック振幅変調回路
11は、同回路11に入力されるクロックの振幅を比較
回路1の出力Vcにより変調させる。コンデンサ12の
両極間の電位差がクロック振幅変調回路11の出力クロ
ックに同期してシフトされ、出力Vbを発生する。例え
ば、FET13、14のしきい電圧をVth’とし、クロ
ック振幅変調回路11の出力クロック振幅をVclkとす
る。このとき、Vb発生回路15の出力をVbとする
と、 Vb=−(Vclk−2Vth’)・・・・・(2) となる。上式(2)において2Vth’≦VclkのときV
b≦0となり、Vbを負値で設定することができる。本
実施例では、0≦Vb<0.7の範囲しか調整範囲のな
かった前記第2の実施例に比べ調整範囲を大幅に広げる
ことができる。
【0012】図4はnチャネルFETのn形基板電位
(またはnウェル電位)Vbとしきい電圧Vthの関係を
示す特性図である。図3の電圧発生回路15では、Vb
>0にできないため図4に示した従来の特性16におい
てVth=0近傍に調整できない問題がある。そこで、イ
オンインプラ技術によりnチャネルFETの基板電位に
対するしきい電圧の曲線をシフトしてインプラ調整後の
特性17を得ることにより、Vb<0の範囲でもVth=
0近傍に調整できるようにする。
【0013】また、図5に示すように、図3におけるF
ET13、14をFET18、19に変えて電圧発生回
路20を構成すれば、上記と同様の理由から今度はVb
≧Vddに設定することが可能である。この場合は、pチ
ャネルFETのn形基板またはnウェルに印加する電位
としてVb≧Vddを用いる場合に有効となる。
【0014】本発明の第4の実施例を図6に示す。本実
施例は、所望の伝搬遅延時間tpdを実現する制御電圧V
bを保持する手段21を備え、その手段21より被制御
回路6の基板電極6aに制御電圧Vbを供給するもので
ある。すなわち、リングオシレータ4の発振周波数fが
基準周波数frefに等しくなるまではリミッタ3の出力
をリングオシレータ4の基板電極4aにのみ印加し続
け、f=frefになればその時の制御電圧Vbの値をV
b保持手段21により保持する。次に電源24の接続を
制御回路25から被制御回路6に切り替え、Vb保持手
段21より被制御回路6に制御電圧Vbを供給する。リ
ミッタ3の出力先を切り換えるスイッチ23と電源24
の供給先を切り替えるスイッチ22の制御は、比較回路
1から出力される制御信号cによって行われる。この場
合、Vb<0のときには負電位を供給する電源、0≦V
dd<VbのときにはVdd以上の電位を供給する電源をそ
れぞれVb保持手段に接続する必要がある。
【0015】Vb保持手段21としてアナログ値のまま
保持する方法を取る場合には、リークによる保持値の変
化が問題となるので、上記スイッチ23、24の切り替
えを周期的に行うことにより、Vb保持手段21によっ
て保持する制御電圧Vbの値を周期的に更新して対応す
る。本実施例によれば、被制御回路6が発生する雑音の
影響を除いた状態で制御電圧Vbを生成でき、さらに制
御回路25が発生する雑音の影響を受けずに被制御回路
6に一定の制御電圧Vbを供給できるため、より安定に
被制御回路6を動作させることができる。
【0016】本発明の第5の実施例のブロック図を図7
に示す。本実施例は、比較回路1と電圧発生回路2の間
にVc保持手段27を設けるものである。すなわち上記
第4の実施例と同様、まず制御回路26のみを動作さ
せ、f=frefになった時点のVcの値をVc保持手段
27により保持する。次にスイッチ28、29により制
御回路26のフィードバックループを切断し、Vc保持
手段27、電圧発生回路2、リミッタ3のみを動作状態
にし、リミッタ3の出力を被制御回路6の基板電極6a
に接続する。Vc保持手段27としては(1)アナログ
値のまま保持する方法、(2)ディジタル値に変換して
保持する方法の2通りの方法が考えられる。(1)は、
容量を用いたサンプルホールド回路によってアナログ電
圧を保持することにより実現できる。(2)は、たとえ
ばAD変換器によりディジタル値に変換したVcの値を
メモリに記憶して保持し、メモリから読み出した値をD
A変換器を用いて再びアナログ値に変換することで実現
できる。また、(1)、(2)ともにVc保持手段27
は必ずしも制御回路、被制御回路と同一集積回路内にあ
る必要はない。本実施例によれば、0≦Vc≦Vddであ
るから、別電源を設けることなく、上記第5の実施例と
同様に被制御回路を安定に動作させることができる。
【0017】
【発明の効果】本発明により、集積回路における伝搬遅
延時間tpdのバラツキを抑え、チップの歩留まりを向上
できる。この効果は、低しきい電圧の集積回路を製造す
るときに特に大きい。さらに本発明によれば、伝搬遅延
時間tpdを小さく設定して回路の高速動作を実現でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による集積回路の一実施例を示すブロッ
ク図である。
【図2】本発明による制御回路の一実施例に使用される
比較回路と電圧発生回路の構成図である。
【図3】本発明による制御回路の一実施例に使用される
比較回路と電圧発生回路の構成図である。
【図4】本発明の実施例の動作説明のための特性図であ
る。
【図5】本発明による制御回路の一実施例に使用される
比較回路と電圧発生回路の構成図である。
【図6】本発明による集積回路の他の実施例を示すブロ
ック図である。
【図7】本発明による集積回路の更に他の実施例を示す
ブロック図である。
【符号の説明】
0…集積回路基板 1…比較回路、 2、10、15、20…電圧発生回路、 3…リミッタ、 4…リングオシレータ、 4a…リングオシレータの基板電極、 5、25、26…制御回路、 6…被制御回路、 6a…p基板電極(pウェル電極)、 7…位相比較回路、 8…チャージポンプ回路、 9…低域フィルタ、 11…クロック振幅変調回路、 12…コンデンサ、 13、14、18、19…FET、 16…従来の特性、 17…インプラ調整後の特性、 21…Vb保持手段、 22…電源の供給先を切り換えるスイッチ、 23、29…リミッタの出力先を切り換えるスイッチ、 24…電源、 27…Vc保持手段、 28…比較回路とVc保持手段を接続するスイッチ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 聡 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 FETを構成素子として含む被制御回路
    の上記FETの伝搬遅延時間を反映する発振周波数を発
    生する発振回路と、上記発振回路の出力周波数と固定の
    周波数とを比較する比較回路と、上記比較回路の出力に
    よって可変の電位を発生する電圧発生回路から構成さ
    れ、上記電圧発生回路の出力を上記FETの基板電極に
    加える制御信号とすることを特徴とする制御回路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の制御回路において、上記
    比較回路が位相比較回路で構成され、上記電圧発生回路
    が上記位相比較回路の出力で制御されるチャージポンプ
    回路と、上記チャージポンプ回路の出力を入力とする低
    域フィルタとで構成されたことを特徴とする制御回路。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の制御回路において、上記
    電圧発生回路がクロックの振幅を上記比較回路の出力に
    より変調する変調回路と、出力端と接地間に直列接続さ
    れた2つのダイオード接続されたトランジスタと、上記
    2つのダイオード接続されたトランジスタの接続点と上
    記変調回路出力端との間に接続されたコンデンサとで構
    成されたことを特徴とする制御回路。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の制御回路において、更に
    上記電圧発生回路の出力保持手段と、上記電圧発生回路
    の出力を上記発振回路と上記出力保持手段に切り替える
    第1のスイッチと、電源を上記制御回路と上記被制御回
    路に切り替える第2のスイッチと、上記発振回路の出力
    周波数と上記固定の周波数が等しくないときは上記第1
    のスイッチを上記発振回路に、上記第2のスイッチを上
    記制御回路に切り替え、上記発振回路の出力周波数と上
    記固定の周波数が等し区なったときに上記第1のスイッ
    チを上記出力保持手段に、上記第2のスイッチを上記被
    制御回路に切り替えるスイッチ駆動手段とを付加して構
    成されたことを特徴とする制御回路。
  5. 【請求項5】 請求項1記載の制御回路において、更に
    上記比較回路の出力を開閉する第1のスイッチと、上記
    第1のスイッチと上記電圧発生回路との間に接続された
    出力保持回路と、上記電圧発生回路の出力を上記発振回
    路と上記被制御路回路に切り替える第2のスイッチと、
    上記発振回路の出力周波数と上記固定の周波数が等しく
    ないときは上記第1のスイッチを閉じ、上記第2のスイ
    ッチを上記発振回路に切り替え上記発振回路の出力周波
    数と上記固定の周波数が等しくなったときに上記第1の
    スイッチを開き、上記第2のスイッチを上記被制御回路
    に切り替えるスイッチ駆動手段とを付加して構成された
    ことを特徴とする制御回路。
  6. 【請求項6】請求項1乃至5のいずれかに記載の上記被
    制御回路が集積回路であって、上記制御回路の出力を上
    記集積回路の基板電極に印加することにより上記集積回
    路の伝搬遅延時間が制御されることを特徴とする集積回
    路。
  7. 【請求項7】請求項6記載の集積回路において、上記制
    御回路と上記集積回路が同一集積回路基板上に構成され
    たことを特徴とする集積回路。
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