JPH0514750U - ガス供給器の一次圧安全装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 非破裂型安全板装置で推力を制御してガス放
出させることにより、ガス供給器の取出し機構内にこの
装置を組み込ませ、器具の小型化と、品質管理も容易な
ガス供給器の一次圧安全装置を提供することにある。 【構成】 取出し機構(3) の本体(31)に穿った一次圧ガ
ス逃がし路(32)の外端部に段面(33)で連なる拡径部(34)
を設ける。そして、この拡径部に非破裂型でかつ作動圧
力を自身単体で決められる安全板(71)を有する安全板装
置(7) を気密に組み込む。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はガス供給器の一次圧安全装置に関する。このようなガス供給器は、例 えば、半導体基板上の微粉塵等の吹浄用として炭酸ガスボンベに取付けて、使用 される。

【０００２】

【従来の技術】

高圧ガスカートリッジを利用する器具にあっては、一次ガス圧高圧側に器具の 許容する圧力以上の高圧が発生した場合の安全装置として、通常、破裂板を組み 込んだり、又は一般の復帰型安全弁を設けている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

安全装置が作動する際、放出されるガス流によって推力が発生する。この推力 により器具が移動すると大変危険である。この移動を起こさせないためには、図 ４に示すように、ガス器具８１の安全装置のガス放出口８３を、ガス器具の外部 で、かつ同一直線上で互いに反対向きに、開けて、推力を打ち消す必要がある。 必然的に安全装置のガス放出口８３を形成する部分は、器具の外部へ出っ張らせ なければならなかった。 又一般の破裂板８４の場合、構成部品が数点になり、それら部品の精度や破裂 板８４の取付け力などが作動圧力公差にかなりの影響を与えるので、これらを厳 格に管理しなくてはならなかった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案にかかるガス供給器の一次圧安全装置は、取出し機構の本体に穿った一 次圧ガス逃がし路の外端部に段面で連なる拡径部を設ける。この拡径部に非破裂 型でかつ作動圧力を自身単体で決められる安全板を有する安全板装置を気密に組 み込んで構成される。 非破裂型安全板装置が円錐台形の凹部を有する既記安全板と、シール材と、軸 孔付きのねじ栓で構成され、シール材を介し安全板を拡径部に挿入し、ねじ栓を この拡径部にねじ込んで安全板を所定位置に保つようにする。

【０００５】 安全板が内面に円筒部を備え、シール材がＯリングで、このＯリングが、円筒 部外周面と拡径部内壁面に圧接してガスのシールをしている。 シール材が平パッキンで、ねじ栓で安全板を押圧することにより、この平パッ キンが安全板の外周部内面と拡径部の段面に圧接してガスのシールをしている。 拡径部はその軸方向長さが安全板の厚さに適合する地点で第二段面により更に 拡径したねじ穴となり、シール材が平パッキンで、ねじ栓をねじ込むことにより この平パッキンが安全板外周部分外面、第二段面及びねじ栓内端面に圧着してガ スのシールをしている。

【０００６】

【作用】

外気温度が火災等により上昇して一次圧（高圧）が一次圧安全装置で設定され た圧力に上昇すると、安全板は外面側へ変形し、円錐台形の凹部の底面が破断し 、そこに内外面に連通する細孔が開くに至る。高圧のガスはこの細孔を通って外 部へ徐々に放出される。 この放出による推力は器具を移動させるほど大きくない。

【０００７】 非破裂型安全板装置が円錐台形の凹部を有する安全板と、シール材と、軸孔付 きのねじ栓で構成され、シール材を介しこの安全板を拡径部に挿入し、ねじ栓を この拡径部にねじ込んで安全板を所定位置に保つようにすると、ねじ栓を拡径部 にねじ込むだけで安全板を気密に組込め、これにより非破裂型安全板装置が構成 される。 安全板が内面に円筒部を備え、シール材がＯリングで、このＯリングが、円筒 部外周面と拡径部内壁面に圧接してガスのシールをしていると、ガスのシールは Ｏリングと拡径部内壁面、Ｏリングと円筒部外周面、のそれぞれ圧着でなされ、 ねじ栓は安全板を単に押さえるだけとなる。

【０００８】 シール材が平パッキンで、ねじ栓で安全板を押圧することにより、この平パッ キンが安全板の外周部内面と拡径部の段面に圧接してガスのシールをしていると 、ねじ栓を拡径部に螺合して安全板を押さえつけることにより、ガスのシールが なされる。 拡径部はその軸方向長さが安全板の厚さに適合する地点で第二段面により更に 拡径したねじ穴となり、シール材が平パッキンで、ねじ栓をねじ込むことにより この平パッキンが安全板外周部分外面、第二段面及びねじ栓内端面に圧着してガ スのシールをしていると、一次圧ガス逃がし路に続く拡径部の長さが短くなる。

【０００９】

【実施例】

１はガス供給器で、ケース２と、これに収容された取出し機構３、流量制御機 構４及び調圧兼放出機構５と、このケース２から突き出た供給口６を有する。ケ ース２は各半部２１を接着して構成される。このケース２の下面に小型高圧ガス ボンベＢの取付け口２２が開口し、上部に調圧兼放出機構５のレバー５１の操作 口２３が開口し、側面を供給口６が貫通している。各機構３、４及び５は組み立 てられ、このケース２に、その内面の鍔２４に支持されて、収められる。各機構 とケース２の対向面間には空間があり、鍔２４とこれに支持された機構間も気密 ではないので、高圧ガスは自由にケース２内を流通し、取付け口２２や、操作口 ２３とレバー５１間の隙間を通って外部へ流出できる。各機構の基本的な構成は 、従来型と変わらないので、概略説明に止める。

【００１０】 取出し機構３の本体３１には、通常のように、流量制御機構４の弁ピン４１の ガイド４２に設けた一次圧ガス室４３に通路４４を介し連通する一次圧ガス逃が し路３２が穿たれる。図面では通路４４と一次圧ガス逃がし路３２の連通状態が 明確でないが、ガイド４２と本体３１間の僅かな隙間でも、高圧ガスは自由に流 通できる。 この一次圧ガス逃がし路３２の外端部に断面３３で拡がる円形断面の拡径部３ ４を設ける。

【００１１】 ７は非破裂型安全板装置で安全板７１、シール材７２及びねじ栓７３で構成さ れる。安全板７１は円形となっており、中央部分の作動部７１１は外周部分７１ ２より薄くするのが好ましい。この作動部７１１の中央部分に円錐台形の凹部７ １３が形成されている。図１及び図２で、７１４は円筒部で外周部分７１２の内 面に設けられ、好ましくはその外径が外周部分７１２の外径より小さくなってい る。この安全板７１の作動圧力を決めることにより、非破裂型安全板装置７の作 動圧力が決まる。

【００１２】 シール材７２はＯリング７２１の場合（図１及び図２）と、平パッキン７２２ の場合（図３及び図４）がある。 Ｏリング７２１の場合、安全板７１には円筒部７１４のあるものが用いられる 。このＯリング７２１は円筒部７１４の外周に圧嵌し、このＯリングの外周面は 拡径部３３の内周壁面に圧接する。 また平パッキン７２２の場合、安全板７１の内面に接して配置する場合（図３ ）と、外面の場合（図４）がある。内面配置の場合、平パッキン７２２は拡径部 ３４の段面３３に一面が接し、他面は安全板７１の外周部分７１２の内面に接す る。外面配置の場合、拡径部３４はその軸方向長さが安全板７１の厚さに適合す る地点で第二段面３３１により更に拡径したねじ穴３３２となる。平パッキン７ ２２の内面は安全板７１の外周部分７１２の外面と第二段面３３１に接する。

【００１３】 ねじ栓７３は軸孔７３１を有する。この軸孔の内端部は内径が大きくなって、 安全板７１の作動部７１１が外方へ湾曲できる空間部７３２を用意している。 このねじ栓７３は、Ｏリング７２１や平パッキン７２２の場合の何れも、安全 板７１を押さえるためのものである。即ち、Ｏリング７２１の場合、ガス洩れ圧 に対抗するのはＯリング７２１自身の復原力なので、ねじ栓７３は単に、安全板 ７１がガス圧で拡径部３３から外部へ押し出されないように、するためのもので ある。

【００１４】 また、図３の場合は、ねじ栓７３の締付け力がガス圧に対抗することになる。 この締付け力により平パッキン７２２は内面が段面３３に圧接し、外面が安全板 ７１の外周部分７１２の内面に圧接し、これでガスのシールが完成する。 更に図４の場合、ねじ栓７３を締付けることにより、平パッキン７２２は内面 で安全板７１の外周部分外面と第二段面３３１に圧接し、外面でこのねじ栓７３ の内端面に圧接し、ガス通路のシールがなされる。

【００１５】 これらの実施例において、器具が加熱されてガス圧が非破裂型安全板装置７の 作動設定圧に至ると、これが作動してガスを徐々に外部へ放出する。ガスは各機 構３、４及び５とケース２間の隙間を通り、取付け口２２や操作口２３から外部 へ放出される。 安全板７１の作動部７１１に円錐台形の凹部７１３があると、先ず作動部７１ １が外方へ湾曲し、次いで凹部７１３の底面に亀裂を生じ、この亀裂を通ってガ スが外部へ流出する。この凹部７１３の配置は作動部７１１の内面でもよく、ま たその内外両面でもよい。

【００１６】

【考案の効果】

本考案によれば、非破裂型でかつ作動圧力を自身単体で決められる安全板を有 する安全装置を採用したので、推力を制御してガス放出をなすことができ、従っ てこの装置を取出し機構内に組み込むことができ、器具の小型化に寄与でき、作 動特性が他の部品の影響を受けず、従って単品による性能評価が行なえ、品質管 理も容易となる。 請求項２によれば、非破裂型安全板装置の取出し機構への組み込みを簡単にで き、通常時のガス洩れを完全に防げ、更に圧力上昇時のガス放出を徐々に行なう ことができる。

【００１７】 請求項３によれば、Ｏリングによりガスのシールを行なえるので、シールを簡 単にでき、しかも完全である。 請求項４によれば、ねじ栓をねじ込んで安全板を押圧するだけでガスのシール を行なうことができ、ガス逃がし路の拡径部の軸方向長さを短くできる。 請求項５によれば、ねじ栓により安全板外周面を損傷することがなく、ねじ栓 内端部が平パッキンに喰い込むのでシールが確実となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案にかかる一次圧ガス安全装置の一例をガ
ス供給器に適用した縦断面図である。

【図２】図１の一部の拡大図である。

【図３】安全板の別の態様を取出し機構にセットした状
態を示す断面図である。

【図４】図３でシール材が安全板の外面に位置する場合
の具体例の断面図である。

【図５】従来の安全装置の一例を示す側面図である。

【符号の説明】

１ ガス供給器 ２ ケース ３ 取出し機構 ４ 流量制御機構 ５ 調圧兼放出機構 ６ 供給口 ７ 非破裂型安全板装置 ３１ 本体 ３２ 一次圧ガス逃がし路 ３３ 段面 ３４ 拡径部 ７１ 安全板 ７２ シール材 ７３ ねじ栓 ３３１ 第二段面 ３３２ ねじ穴 ７１２ 外周部分 ７１３ 凹部 ７１４ 円筒部 ７２１ Ｏリング ７２２ 平パッキン ７３１ 軸孔

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 取出し機構(3) の本体(31)に穿った一次
   圧ガス逃がし路(32)の外端部に段面(33)で連なる拡径部
   (34)を設け、この拡径部に非破裂型でかつ作動圧力を自
   身単体で決められる安全板(71)を有する安全板装置(7)
   を気密に組み込んで成ることを特徴とするガス供給器の
   一次圧安全装置。
2. 【請求項２】 非破裂型安全板装置(7)が円錐台形の凹
   部(713)を有する既記安全板(71)と、シール材(72)と、
   軸孔(731) 付きのねじ栓(73)で構成され、シール材を介
   しこの安全板を拡径部(34)に挿入し、ねじ栓をこの拡径
   部にねじ込んで安全板(71)が所定位置に保たれている請
   求項１に記載のガス供給器の一次圧安全装置。
3. 【請求項３】 該安全板(71)は内面に円筒部(714) を備
   え、シール材(72)がＯリング(721) で、このＯリング
   が、円筒部外周面と拡径部(34)内壁面に圧接してガスの
   シールをしている請求項２に記載のガス供給器の一次圧
   安全装置。
4. 【請求項４】 該シール材(72)が平パッキン(722) で、
   ねじ栓(73)で安全板(71)を押圧することにより、この平
   パッキンが安全板の外周部分(712) 内面と拡径部の段面
   (33)に圧接してガスのシールをしている請求項２に記載
   のガス供給器の一次圧安全装置。
5. 【請求項５】 該拡径部(34)はその軸方向長さが安全板
   (71)の厚さに適合する地点で第二段面(331)により更に
   拡径したねじ穴(332)となり、シール材が平パッキン(72
   2) で、ねじ栓(73)をねじ込むことによりこの平パッキ
   ンが安全板外周部分(712) 外面、第二段面及びねじ栓内
   端面に圧着してガスのシールをしている請求項１に記載
   のガス供給器の一次圧安全装置。