JPH05138097A - 硬基板塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ギーサーを使って塗布液を塗布する場合に、
硬基板の終端付近に厚塗り部分が発生するのを防止し、
製品の歩留まりを向上させる。 【構成】 下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッド
バーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置され
たニップローラとの間に硬基板を挟んで送ることによ
り、前記硬基板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布装
置において、前記硬基板の後縁に残る厚塗り部分の塗布
液を吸い取る塗布液吸い取り手段を有することを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板を用いた液
晶表示板などの製造に用いられ、フォトレジストなどの
塗布液を硬基板に薄く均一に塗布するための硬基板塗布
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶板の製造工程の中には、ガラス基板
などの硬基板にフォトレジストなどの塗布液を薄く均一
な厚さに塗布する工程がある。例えばカラー液晶板の製
造においては、透明電極を予め形成したガラス基板に、
フォトレジストの機能を有する赤のカラ−モザイク液を
均一に塗布した後、露光して赤に対応するカラ−モザイ
クを硬化させ、余分の液を除去することにより赤のカラ
ーモザイクを形成している。そしてこれと同様な処理を
緑、青などの他の色について繰り返している。このよう
にフォトレジストとなる塗布液を塗布する場合、この液
は均一な厚さ（例えば２μ±５％程度）に厳密に管理し
て薄く塗布する必要がある。この塗布の厚さが不均一で
あると、光の透過率のむらが生じ、品質の低下を招くこ
とになるからである。

【０００３】従来はこの塗布のためにスピンコータが用
いられていた。このスピンコータは回転させた基板の回
転中心付近に塗布液を滴下し、この液を遠心力を利用し
て飛散させることにより塗布するものである。しかしこ
のスピンコータを用いる方法では基板の交換に手間取り
作業能率が悪くなるばかりでなく、飛散して捨てられる
液の量が増えることになる。このためコストアップにな
るという問題があった。

【０００４】そこで水平に配設された上下一対のローラ
間に基板を挟んで塗布する装置（いわゆるギーサー）を
用いることが考えられている。この装置は下のローラと
なるマイクロロッドバーの下部を塗布液に浸漬し、この
マイクロロッドバーとこの上方に位置するニップローラ
との間に基板を挟んで送りながら、マイクロロッドバー
により基板の下面に塗布するものである。

【０００５】しかしこの場合基板の終端がマイクロロッ
ドバーから離れる際に、塗布液の表面張力や粘性のため
に塗布液が基板に厚く残り、基板終端付近で厚塗りにな
る性質があった。この厚塗り部分は、正規の塗布厚さに
対して設定された露光、洗浄などの種々の処理工程では
適切な処理ができず、この厚塗り部分の未処理による破
片や屑などの残留物が後の工程において塗布液に混入
し、不良製品を生む原因となっていた。このため製品の
歩留まりが低下するという問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従って本発明が解決し
ようとする課題は、ギーサーを使って塗布液を塗布する
場合に、硬基板の終端付近に厚塗り部分が発生するのを
防止し、製品の歩留まりを向上させることである。

【０００７】

【発明の構成】本発明によればこの目的は、下部が塗布
液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロ
ロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間
に硬基板を挟んで送ることにより、前記硬基板の下面に
塗布液を塗布する硬基板塗布装置において、前記硬基板
の後縁に残る厚塗り部分の塗布液を吸い取る塗布液吸い
取り手段を有することを特徴とする硬基板塗布装置、に
より達成される。

【０００８】ここに塗布液吸い取り手段は、針状の吸引
ノズルを硬基板の後縁に沿って移動させるものが可能で
あり、この場合基板を停止させてノズルだけを移動させ
るもの、ノズルを停止させて基板のみを移動させるも
の、両方を同時に相対移動させるもの、等が可能であ
る。

【０００９】また厚塗り部分の全幅に亘る長い吸引ノズ
ルを設け、これを基板の後縁に向って進退動させるもの
であってもよい。

【００１０】

【作用】塗布液はギーサーによって硬基板の下面に塗布
され、ギーサーから基板が離れる時に基板下面に厚く残
る。この基板は所定距離送られるとその下面に塗布液吸
い取り手段の吸引ノズルが接近して、厚塗り部分の余分
な塗布液を吸引する。このため厚塗り部分の余分な塗布
液が除去される。

【００１１】

【実施例】図１は本発明の一実施例の全体配置図、図２
はその要部を下方から見た斜視図、図３Ａ〜Ｃは動作説
明図である。

【００１２】図１において符号１０はガラス基板、１２
はローラコンベアであり、ガラス基板１０はその下面の
左右の縁をコンベア１２のローラに載せた状態で図上左
から右へ送られる。コンベア１２の途中にはギーサー１
４が配設されている。このギーサ１４は小径で断面円形
なマイクロロッドバー１６と、その上方に対向する大径
のニップローラ１８と、マイクロロッドバー１６の上部
を残してほぼ全体が入る塗布液槽２０とを有する。

【００１３】ここにマイクロロッドバー１６は、断面円
形のロッドの表面に細い金属線を密着するように巻き付
けたものであり、金属線間の溝による毛細管現象を利用
して塗布液を塗布するものである。

【００１４】塗布液槽２０は、図２に示すように、基板
１０の送り方向に直交する方向に長く浅い液溜め部２２
を持ち、この液溜め部２２には給液パイプから新しい液
が供給される一方、排液口から塗布液が排出される。こ
の塗布液の深さは図示しない液面センサにより監視さ
れ、常に一定に管理される。

【００１５】マイクロロッドバー１６はその上部が液か
ら露出するように水平に保持されている。またマイクロ
ロッドバー１６の中間部分はバックアップ部材２４によ
り下方から支持されている。このバックアップ部材２４
は、摺動性に優れた硬質の合成樹脂で作られ、その上面
に長手方向に沿って形成された半円形の溝がマイクロロ
ッドバー１６に下方から当接してマイクロロッドバー１
６のたわみを防止するものである。なおこのバックアッ
プ部材２４の高さは、この下方に配列された多数の調整
ねじ２６により塗布液槽２０の下面から微調整可能とな
っている。

【００１６】マイクロロッドバー１６の一端（図１にお
ける奥側の端）は塗布液槽２０より後方へ突出し、この
突出端は着脱自在な継手によって電動モータ（図示せ
ず）に接続されている。この電動モータはガラス基板１
０の送り速度がコンベア１２と等速になるようにその回
転が管理されている。 前記ニップローラ１８の表面は
導電性ゴムで作られ、マイクロロッドバー１６との間に
ガラス基板１０を挟んだ状態でガラス基板１０に所定の
挟圧力を付与するように保持されている。

【００１７】５０は塗布液吸い取り手段である。この手
段５０はマイクロロッドバー１６の後方においてこのバ
ー１６と平行に走行する針状の吸引ノズル５２を有す
る。すなわち吸引ノズル５２を有する移動体５４がカイ
ドレ−ル５６に載って移動可能となっている。この移動
体５４は、プーリ５８、６０に巻き掛けられてモータ６
２によって移動するワイヤ６４に連結され、ワイヤ６４
と共に移動する。ノズル５２は非吸引時には図２に仮想
線で示すように、基板１０の幅の外側のホームポジショ
ンに待機している。

【００１８】針状のノズル５２は、基板１０の下面に近
接して臨む。図３Ａ〜Ｃにおいて、６６はこのノズル５
２から空気を吸引するポンプである。

【００１９】次にこの実施例の動作を説明する。ローラ
コンベア１２により図２で左側から右側へ送られるガラ
ス基板１０は、マイクロロッドバー１６とニップローラ
１８との間に進入する。マイクロロッドバー１６の表面
にはその回転により液溜め部２２の塗布液が付着してい
るから、このマイクロロッドバー１６の回転に伴いガラ
ス基板１０の下面にこの塗布液が塗布されて行く。ここ
に塗布中には、基板１０の進入側とマイクロロッドバー
１６とで挟まれる角に一定量の塗布液Ｒを保持している
（図３Ａ）。液溜め部２２の液面のレベルと、ニップロ
ーラ１８による挟圧力とは一定に管理されているから、
ガラス基板１０の下面に塗布される液の厚さは十分に薄
くかつ高精度に管理され得る。

【００２０】基板１０がギーサー１４から離脱する際に
は、基板１０とマイクロロッドバー１６との間に溜って
いる塗布液Ｒの一部が表面張力あるいは液の粘性によっ
て基板１０に付着し、これが厚塗り部分Ｓ（図３Ｂ）と
なる。

【００２１】この基板１０はその後縁がノズル５２の移
動奇跡の上方に来ると停止する。そして次に移動体５４
が移動を開始する。、この結果のノズル５２が基板１０
の後端の厚塗り部分Ｓに入り、ポンプ６６による負圧に
よって厚塗り部分Ｓの塗布液がノズル５２に吸い取られ
る（図３Ｃ）。

【００２２】以上の実施例は基板１０を停止してノズル
５２のみを移動させたが、これを逆にして基板１０のみ
を移動させるものであってもよい。例えば図４に示す塗
布液吸い取り手段５０Ａのように構成することができ
る。すなわち基板１０の下面に塗布液を塗布した後、基
板１０を垂直な軸回りに９０°回転して基板を搬送し、
ノズル５２Ａの上方で厚塗り部分Ｓが移動するようにす
ることができる。

【００２３】また基板１０とノズルとを共に移動させな
がら、相対的にノズルを基板１０の後縁に沿って走行さ
せるものであってもよい。

【００２４】図５はさらにこの実施例を示す図である。
この塗布液吸い取り手段５０Ｂは、基板１０の後縁に対
応する幅の長い吸引ノズル５２Ｂを持ち、このノズル５
２Ｂを厚塗り部分Ｓに向って接近・離隔するように揺動
させるものである。

【００２５】ここに吸引ノズル５２Ｂの下縁には厚塗り
部分Ｓの下方に臨む舌状の突片５２Ｃが設けられ、厚塗
り部分Ｓの吸引力を増大している。

【００２６】

【発明の効果】本発明は以上のように、基板の後縁にで
きる厚塗り部分の塗布液を塗布液吸い取り手段によって
吸い取るから、厚塗り部分を除去して製品の歩留まりを
向上させることができる（請求項１）。

【００２７】ここに基板の後縁に対して吸引ノズルを相
対移動させるもの（請求項２）、厚塗り部分に対応する
長さの吸引ノズルを厚塗り部分に向って進退動させるも
の（請求項３）などが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の全体配置図

【図２】その要部を下方から見た斜視図

【図３Ａ〜Ｃ】動作説明図

【図４】他の実施例の斜視図

【図５】さらに他の実施例の断面図

【符号の説明】

１０ ガラス基板 １４ ギーサー １６ マイクロロッドバー １８ ニップローラ ５０、５０Ａ、５０Ｂ 塗布液吸い取り手段 ５２、５２Ａ、５２Ｂ 吸引ノズル

フロントページの続き (72)発明者 尾崎 正文 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイク ログラフイツクス株式会社内 (72)発明者 松岡 寛 神奈川県綾瀬市小園1005番地 富士マイク ログラフイツクス株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロ
   ッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置
   されたニップローラとの間に硬基板を挟んで送ることに
   より、前記硬基板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布
   装置において、前記硬基板の後縁に残る厚塗り部分の塗
   布液を吸い取る塗布液吸い取り手段を有することを特徴
   とする硬基板塗布装置。
2. 【請求項２】 前記塗布液吸い取り手段は、硬基板の後
   縁に沿って移動する吸引ノズルを有する請求項１の硬基
   板塗布装置。
3. 【請求項３】 塗布液吸い取り手段は、硬基板の前記厚
   塗り部分に対応する長さの吸引ノズルを備え、この吸引
   ノズルを前記厚塗り部分に向って進退動されるようにし
   た請求項１の硬基板塗布装置。