JPH05134067A - 冷却構造を有する受熱板の製造方法 - Google Patents
冷却構造を有する受熱板の製造方法Info
- Publication number
- JPH05134067A JPH05134067A JP3298831A JP29883191A JPH05134067A JP H05134067 A JPH05134067 A JP H05134067A JP 3298831 A JP3298831 A JP 3298831A JP 29883191 A JP29883191 A JP 29883191A JP H05134067 A JPH05134067 A JP H05134067A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- receiving plate
- heat
- metal pipe
- heat receiving
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F13/00—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21B—FUSION REACTORS
- G21B1/00—Thermonuclear fusion reactors
- G21B1/11—Details
- G21B1/13—First wall; Blanket; Divertor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D21/00—Heat-exchange apparatus not covered by any of the groups F28D1/00 - F28D20/00
- F28D2021/0019—Other heat exchangers for particular applications; Heat exchange systems not otherwise provided for
- F28D2021/0077—Other heat exchangers for particular applications; Heat exchange systems not otherwise provided for for tempering, e.g. with cooling or heating circuits for temperature control of elements
- F28D2021/0078—Other heat exchangers for particular applications; Heat exchange systems not otherwise provided for for tempering, e.g. with cooling or heating circuits for temperature control of elements in the form of cooling walls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F13/00—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
- F28F2013/005—Thermal joints
- F28F2013/006—Heat conductive materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、耐熱性、耐熱サイクル特性に優れた
大形の受熱板を精度・歩留り良く、かつ安価に製造でき
る受熱板の製造方法を提供することにある。 【構成】本発明は、金属パイプ２を内蔵する受熱板８の
製造方法において、前記金属パイプ２を溶射によって受
熱板８に固定することを特徴とするものであるから、プ
ラズマ溶射を適用して受熱板８に金属パイプ２を埋込ん
でいる。したがって、受熱板本体である高融点金属が浸
食されないし、しかも金属パイプ２とＭｏの溶射層との
密着性が良好で、かつ金属パイプ２を増やすことも可能
であり、受熱板８の大型化も容易である。
大形の受熱板を精度・歩留り良く、かつ安価に製造でき
る受熱板の製造方法を提供することにある。 【構成】本発明は、金属パイプ２を内蔵する受熱板８の
製造方法において、前記金属パイプ２を溶射によって受
熱板８に固定することを特徴とするものであるから、プ
ラズマ溶射を適用して受熱板８に金属パイプ２を埋込ん
でいる。したがって、受熱板本体である高融点金属が浸
食されないし、しかも金属パイプ２とＭｏの溶射層との
密着性が良好で、かつ金属パイプ２を増やすことも可能
であり、受熱板８の大型化も容易である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は核融合炉用中性粒子加熱
装置や電子，陽子の加速器等各種ビーム装置のビームタ
ーゲット（受熱板）の製造方法に係り、特に耐食性・冷
却特性に優れた冷却構造を有する受熱板の製造方法に関
する。
装置や電子，陽子の加速器等各種ビーム装置のビームタ
ーゲット（受熱板）の製造方法に係り、特に耐食性・冷
却特性に優れた冷却構造を有する受熱板の製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】核融合炉、ＭＨＤ発電機、加速器等のエ
ネルギー機器においては、高温のプラズマとの接触や高
エネルギー粒子の衝突により、その内部の構造部材は非
常に高い温度に長時間さらされている。このような高温
に耐え得る材料としては、一般にタングステンやモリブ
デン等の高融点金属が用いられているが、熱流束が大き
い場合にはその内部または裏面から冷却して高融点金属
材料の表面温度を下げることが必要である。
ネルギー機器においては、高温のプラズマとの接触や高
エネルギー粒子の衝突により、その内部の構造部材は非
常に高い温度に長時間さらされている。このような高温
に耐え得る材料としては、一般にタングステンやモリブ
デン等の高融点金属が用いられているが、熱流束が大き
い場合にはその内部または裏面から冷却して高融点金属
材料の表面温度を下げることが必要である。
【０００３】しかし、タングステンやモリブデンは耐食
性が悪く直接冷却媒体である水を流すことができないた
め、その裏側に冷却管を内蔵した銅ブロックをろう付け
したり、ステンレス鋼等の耐食性に優れた冷却管（金属
パイプ）を内部に埋め込む等の手法が用いられている。
しかし、前者においてはタングステンやモリブデンに比
べ銅の熱膨張率が著しく小さいため、熱応力により接合
界面付近にクラックが発生するという問題がある。ま
た、後者についてはタングステンやモリブデン粉末を焼
結する温度（＞1800℃）ではステンレス鋼製の冷却管が
溶融するという問題がある。
性が悪く直接冷却媒体である水を流すことができないた
め、その裏側に冷却管を内蔵した銅ブロックをろう付け
したり、ステンレス鋼等の耐食性に優れた冷却管（金属
パイプ）を内部に埋め込む等の手法が用いられている。
しかし、前者においてはタングステンやモリブデンに比
べ銅の熱膨張率が著しく小さいため、熱応力により接合
界面付近にクラックが発生するという問題がある。ま
た、後者についてはタングステンやモリブデン粉末を焼
結する温度（＞1800℃）ではステンレス鋼製の冷却管が
溶融するという問題がある。
【０００４】近年、このような冷却管を内蔵したタング
ステン、モリブデン製受熱板の製造方法として図１５に
示すようなう方法が提案されている。すなわち、粉末焼
結法により製作したタングステンまたはモリブデン製基
材１の表面にステンレス鋼製冷却管２をろう付け等によ
り固定し、プラズマ溶射装置１３によりその表面にタン
グステンまたはモリブデン粉末の溶射層５を形成した
後、その表面を機械加工により平滑に仕上げることによ
り、ステンレス鋼製冷却管２を内蔵した受熱板８を得る
ことができる。
ステン、モリブデン製受熱板の製造方法として図１５に
示すようなう方法が提案されている。すなわち、粉末焼
結法により製作したタングステンまたはモリブデン製基
材１の表面にステンレス鋼製冷却管２をろう付け等によ
り固定し、プラズマ溶射装置１３によりその表面にタン
グステンまたはモリブデン粉末の溶射層５を形成した
後、その表面を機械加工により平滑に仕上げることによ
り、ステンレス鋼製冷却管２を内蔵した受熱板８を得る
ことができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図１５に示す
受熱板の製造方法では、プラズマ溶射熱により既に冷却
管２の上にプラズマ溶射したタングステンまたはモリブ
デンの溶射層５の焼結が進行し、その結果、コーティン
グ層５の熱収縮率や基材表面と裏面の温度差により得ら
れた受熱板８はコーティング層側に大きな反りが発生す
る。特に、厚さが薄く大きな基材の場合にはこの反りの
高さが受熱板の板厚よりも大きくなるため、機械加工に
よる仕上げができないばかりか、図１６に示すように、
溶射時の熱とガス圧力により冷却管２が基材１から剥離
し、その結果、冷却管２の周囲には多数のボイド２０が
形成され、耐熱サイクル特性が著しく低下する等の問題
があった。
受熱板の製造方法では、プラズマ溶射熱により既に冷却
管２の上にプラズマ溶射したタングステンまたはモリブ
デンの溶射層５の焼結が進行し、その結果、コーティン
グ層５の熱収縮率や基材表面と裏面の温度差により得ら
れた受熱板８はコーティング層側に大きな反りが発生す
る。特に、厚さが薄く大きな基材の場合にはこの反りの
高さが受熱板の板厚よりも大きくなるため、機械加工に
よる仕上げができないばかりか、図１６に示すように、
溶射時の熱とガス圧力により冷却管２が基材１から剥離
し、その結果、冷却管２の周囲には多数のボイド２０が
形成され、耐熱サイクル特性が著しく低下する等の問題
があった。
【０００６】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたもので、その目的は耐熱性、耐熱サイクル特性に
優れた大形の受熱板を精度・歩留り良く、かつ安価に製
造できる冷却構造を有する受熱板の製造方法を提供する
ことにある。
されたもので、その目的は耐熱性、耐熱サイクル特性に
優れた大形の受熱板を精度・歩留り良く、かつ安価に製
造できる冷却構造を有する受熱板の製造方法を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１は、金属パイプを内蔵する受熱板
の製造方法において、前記金属パイプを溶射によって受
熱板に固定することを特徴とする。また請求項２は、金
属パイプを内蔵する受熱板の製造方法において、前記金
属パイプを溶射によって受熱板に固定して後、低融点伝
熱材料を溶融浸漬させて熱応力緩和層を設けることを特
徴とする。さらに請求項３は、金属パイプを固定した板
状基材表面に金属またはセラミックの溶射層を形成させ
ることにより基材中に金属パイプを内蔵する受熱板の製
造方法において、前記板状基材の表裏面両方に前記金属
パイプを固定し、前記板状基材の表裏面の両方から同時
にプラズマ溶射して前記金属パイプを溶射層内に内蔵す
ることを特徴とする。
に、本発明の請求項１は、金属パイプを内蔵する受熱板
の製造方法において、前記金属パイプを溶射によって受
熱板に固定することを特徴とする。また請求項２は、金
属パイプを内蔵する受熱板の製造方法において、前記金
属パイプを溶射によって受熱板に固定して後、低融点伝
熱材料を溶融浸漬させて熱応力緩和層を設けることを特
徴とする。さらに請求項３は、金属パイプを固定した板
状基材表面に金属またはセラミックの溶射層を形成させ
ることにより基材中に金属パイプを内蔵する受熱板の製
造方法において、前記板状基材の表裏面両方に前記金属
パイプを固定し、前記板状基材の表裏面の両方から同時
にプラズマ溶射して前記金属パイプを溶射層内に内蔵す
ることを特徴とする。
【０００８】
【作用】通常、基材の表面に金属パイプを固定する方法
としては拡散接合もしくはろう付けが用いられている
が、基材と金属パイプの熱膨張差が異なる場合には、両
者の収縮差により金属パイプにクラックを生じたり基材
に大きな反りが発生する。良く用いられるＭｏ基材と金
属パイプ材質の組み合わせであるＭｏ基材とステンレス
金属パイプの場合には、ステンレスの熱膨張係数がＭｏ
に比べ著しく大きくなるため、冷却後において基材は金
属パイプ側に反ることになる。さらに、その上からＭｏ
をプラズマ溶射した場合には基材裏面に比べ表面の温度
が上がり、かつプラズマ溶射層の焼結による収縮により
金属パイプ固定時に発生した反りは、プラズマ溶射によ
り拡大する傾向にある。そこで、Ｍｏ基材の表裏面に金
属パイプを固定し、表裏面の両方から同時にプラズマ溶
射を行なうことにより、金属パイプ固定時及びプラズマ
溶射時に生ずる熱応力を表裏面でバランスさせることが
でき、その結果、基材の反りをほとんど無くすことが可
能となる。しかし、反りによる変形を抑制した結果、基
材及び金属パイプに生じる残留応力は増加し、接合部近
傍に割れが発生する場合も想定される。また、製造時に
は割れが生じなくても、使用中の熱サイクルにより割れ
が発生することも考えられ、基材と金属パイプ間の熱応
力は出来るだけ小さくすることが好ましい。例えばＭｏ
とステンレスの場合には両者の中間的熱膨張係数を有
し、かつ、化学的に活発なＮｂ、Ｎｉ等の熱応力緩和層
を設けることにより両者の熱応力を著しく低減すること
が可能である。さらに、減圧プラズマ溶射の場合には基
材温度が７００℃以上に上昇するため接合部が軟化し、
かつプラズマ溶射時のガス圧力により固定した金属パイ
プの剥離やガスの巻き込みにより溶射層内に多数のブロ
ーホールが形成され溶射層の強度低下や熱伝導率の低下
を招くが、予め基材に多数の孔を開けておくことによ
り、ガス圧の影響を著しく低減することが可能である。
としては拡散接合もしくはろう付けが用いられている
が、基材と金属パイプの熱膨張差が異なる場合には、両
者の収縮差により金属パイプにクラックを生じたり基材
に大きな反りが発生する。良く用いられるＭｏ基材と金
属パイプ材質の組み合わせであるＭｏ基材とステンレス
金属パイプの場合には、ステンレスの熱膨張係数がＭｏ
に比べ著しく大きくなるため、冷却後において基材は金
属パイプ側に反ることになる。さらに、その上からＭｏ
をプラズマ溶射した場合には基材裏面に比べ表面の温度
が上がり、かつプラズマ溶射層の焼結による収縮により
金属パイプ固定時に発生した反りは、プラズマ溶射によ
り拡大する傾向にある。そこで、Ｍｏ基材の表裏面に金
属パイプを固定し、表裏面の両方から同時にプラズマ溶
射を行なうことにより、金属パイプ固定時及びプラズマ
溶射時に生ずる熱応力を表裏面でバランスさせることが
でき、その結果、基材の反りをほとんど無くすことが可
能となる。しかし、反りによる変形を抑制した結果、基
材及び金属パイプに生じる残留応力は増加し、接合部近
傍に割れが発生する場合も想定される。また、製造時に
は割れが生じなくても、使用中の熱サイクルにより割れ
が発生することも考えられ、基材と金属パイプ間の熱応
力は出来るだけ小さくすることが好ましい。例えばＭｏ
とステンレスの場合には両者の中間的熱膨張係数を有
し、かつ、化学的に活発なＮｂ、Ｎｉ等の熱応力緩和層
を設けることにより両者の熱応力を著しく低減すること
が可能である。さらに、減圧プラズマ溶射の場合には基
材温度が７００℃以上に上昇するため接合部が軟化し、
かつプラズマ溶射時のガス圧力により固定した金属パイ
プの剥離やガスの巻き込みにより溶射層内に多数のブロ
ーホールが形成され溶射層の強度低下や熱伝導率の低下
を招くが、予め基材に多数の孔を開けておくことによ
り、ガス圧の影響を著しく低減することが可能である。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照して説明す
る。図１は、本発明の一実施例である冷却構造を有する
受熱板の製造工程を示す図である。すなわち、同図は冷
却構造として金属パイプ（冷却管）を内蔵するＭｏ（モ
リブデン）の受熱板の製造工程を示す。まず、Ｍｏ板を
所定寸法に加工して準備する工程（ａ）、このＭｏ板に
金属パイプを固定する工程（ｂ）、金属パイプを埋め込
むためにＭｏのプラズマ溶射を行なう工程（ｃ）、溶射
で生じた表面の凹凸を削除するために両面仕上げを行な
う工程（ｄ）からなり、金属パイプ２を内蔵する受熱板
８の仕上がった模式図を（ｅ）に示す。
る。図１は、本発明の一実施例である冷却構造を有する
受熱板の製造工程を示す図である。すなわち、同図は冷
却構造として金属パイプ（冷却管）を内蔵するＭｏ（モ
リブデン）の受熱板の製造工程を示す。まず、Ｍｏ板を
所定寸法に加工して準備する工程（ａ）、このＭｏ板に
金属パイプを固定する工程（ｂ）、金属パイプを埋め込
むためにＭｏのプラズマ溶射を行なう工程（ｃ）、溶射
で生じた表面の凹凸を削除するために両面仕上げを行な
う工程（ｄ）からなり、金属パイプ２を内蔵する受熱板
８の仕上がった模式図を（ｅ）に示す。
【００１０】以下、上記各工程（ａ）〜（ｄ）について
詳細に説明する。Ｍｏのプラズマ溶射におけるプラズマ
ジェットはきわめて高速であるため、金属パイプはブレ
ないようにしっかり固定する必要があり、前記工程
（ｂ）の金属パイプ固定には図２に示すような方法を採
用した。すなわち、図２（ａ）のように金属パイプ２を
Ｍｏ板１に固定するため、前記工程（ａ）のＭｏ板準備
であらかじめ溝３を加工しておいた。次に、図２（ｂ）
に示すように金属パイプ２をＭｏ板１の溝３にセッティ
ングした後、これらをマスク４でマスキングした上から
Ｍｏのプラズマ溶射を行ない、図２（ｃ）に示すように
金属パイプ２を固定するのに有効な薄い溶射層５を作製
した。金属パイプ２を固定し終えた後、マスク４をはず
し、金属パイプ２を埋込むための前記工程（ｃ）のプラ
ズマ溶射を行なうが、このとき、もしもプラズマ溶射を
Ｍｏ板１と垂直な方向に行なうと金属パイプ２とＭｏ板
１との間に溶射粉末の入らない“影”が生じ、溶射にム
ラが生じる。
詳細に説明する。Ｍｏのプラズマ溶射におけるプラズマ
ジェットはきわめて高速であるため、金属パイプはブレ
ないようにしっかり固定する必要があり、前記工程
（ｂ）の金属パイプ固定には図２に示すような方法を採
用した。すなわち、図２（ａ）のように金属パイプ２を
Ｍｏ板１に固定するため、前記工程（ａ）のＭｏ板準備
であらかじめ溝３を加工しておいた。次に、図２（ｂ）
に示すように金属パイプ２をＭｏ板１の溝３にセッティ
ングした後、これらをマスク４でマスキングした上から
Ｍｏのプラズマ溶射を行ない、図２（ｃ）に示すように
金属パイプ２を固定するのに有効な薄い溶射層５を作製
した。金属パイプ２を固定し終えた後、マスク４をはず
し、金属パイプ２を埋込むための前記工程（ｃ）のプラ
ズマ溶射を行なうが、このとき、もしもプラズマ溶射を
Ｍｏ板１と垂直な方向に行なうと金属パイプ２とＭｏ板
１との間に溶射粉末の入らない“影”が生じ、溶射にム
ラが生じる。
【００１１】そこで、図３に示すような方法で金属パイ
プを埋め込む。まず、図３（ａ）に示すように溶射方向
６の溶射角７を小さくしてＭｏのプラズマ溶射を開始
し、金属パイプ２とＭｏ板１の“影”に溶射粉末を入れ
る。次に、溶射層５の厚さが増えるにしたがい、図３
（ｂ）に示すように溶射角６を大きくすると溶射のムラ
を無くすことができる。
プを埋め込む。まず、図３（ａ）に示すように溶射方向
６の溶射角７を小さくしてＭｏのプラズマ溶射を開始
し、金属パイプ２とＭｏ板１の“影”に溶射粉末を入れ
る。次に、溶射層５の厚さが増えるにしたがい、図３
（ｂ）に示すように溶射角６を大きくすると溶射のムラ
を無くすことができる。
【００１２】上記方法で金属パイプをＭｏのプラズマ溶
射で埋込むことにより、受熱板本体であるＭｏ板は冷却
水と直接接触せず、浸食を受けることがなくなる。しか
も上記方法で緻密かつ金属パイプとの密着性に優れた溶
射層が得られるため、冷却効率の優れた受熱板を製造す
ることができる。しかして、この方法では金属パイプの
本数を容易に増やすことができるため、冷却効率を向上
させることができる。また溶射範囲を大きくとることで
大型化が容易に行なえる。さらにＭｏ溶射を行なう前
に、マスクごと１００〜２００℃まで予熱しておくと、
緻密な溶射層が得られ、冷却効率をあげることができ
る。
射で埋込むことにより、受熱板本体であるＭｏ板は冷却
水と直接接触せず、浸食を受けることがなくなる。しか
も上記方法で緻密かつ金属パイプとの密着性に優れた溶
射層が得られるため、冷却効率の優れた受熱板を製造す
ることができる。しかして、この方法では金属パイプの
本数を容易に増やすことができるため、冷却効率を向上
させることができる。また溶射範囲を大きくとることで
大型化が容易に行なえる。さらにＭｏ溶射を行なう前
に、マスクごと１００〜２００℃まで予熱しておくと、
緻密な溶射層が得られ、冷却効率をあげることができ
る。
【００１３】また、本実施例の他に、パイプ固定方法と
して図４に示すような方法も採用できる。すなわち、Ｍ
ｏ板１にあらかじめ溝３を加工しておき、その溝３と金
属パイプ２との隙間をロウ材９で埋め、金属パイプ２を
Ｍｏ板１に固定するものである。
して図４に示すような方法も採用できる。すなわち、Ｍ
ｏ板１にあらかじめ溝３を加工しておき、その溝３と金
属パイプ２との隙間をロウ材９で埋め、金属パイプ２を
Ｍｏ板１に固定するものである。
【００１４】この方法によると、マスクを作る必要がな
く、しかもＭｏ板と金属パイプの間の隙間を消失させる
ことができるため冷却に優れている。またロウ材が金属
パイプとＭｏ板の“影”の部分を埋めるため、Ｍｏ溶射
の際に行なっていた溶射角度の調整をあまりしなくても
よいという利点もある。なお、受熱板の製造方法の中の
Ｍｏのプラズマ溶射は大気溶射で十分可能であるが、減
圧溶射を適用すると、さらに緻密な溶射層を得ることが
できる。
く、しかもＭｏ板と金属パイプの間の隙間を消失させる
ことができるため冷却に優れている。またロウ材が金属
パイプとＭｏ板の“影”の部分を埋めるため、Ｍｏ溶射
の際に行なっていた溶射角度の調整をあまりしなくても
よいという利点もある。なお、受熱板の製造方法の中の
Ｍｏのプラズマ溶射は大気溶射で十分可能であるが、減
圧溶射を適用すると、さらに緻密な溶射層を得ることが
できる。
【００１５】図５は、本発明の他の実施例である冷却構
造を有する受熱板の製造工程を示す図である。すなわ
ち、同図は冷却構造として金属パイプを内蔵するＭｏ板
（モリブデン）の受熱板の製造工程を示す。この製造方
法は、受熱板本体を所定寸法に加工して準備し、冷却用
の金属パイプをセッティングする工程（ａ）、この受熱
板本体に向けて、冷却用のパイプを埋め込む要領で、高
融点金属の溶射を行なう工程（ｂ）、その後、この溶射
コーティング部分に、低融点伝熱材料を溶融含浸させる
工程（ｃ）、表面の不用層や凹凸を削除するために仕上
げ加工を行なう工程（ｄ）からなり、（ｅ）はこのよう
にして得られた冷却構造を有する受熱板の模式図であ
る。
造を有する受熱板の製造工程を示す図である。すなわ
ち、同図は冷却構造として金属パイプを内蔵するＭｏ板
（モリブデン）の受熱板の製造工程を示す。この製造方
法は、受熱板本体を所定寸法に加工して準備し、冷却用
の金属パイプをセッティングする工程（ａ）、この受熱
板本体に向けて、冷却用のパイプを埋め込む要領で、高
融点金属の溶射を行なう工程（ｂ）、その後、この溶射
コーティング部分に、低融点伝熱材料を溶融含浸させる
工程（ｃ）、表面の不用層や凹凸を削除するために仕上
げ加工を行なう工程（ｄ）からなり、（ｅ）はこのよう
にして得られた冷却構造を有する受熱板の模式図であ
る。
【００１６】以下、受熱板本体材料としてＭｏ（モリブ
デン），冷却用のパイプ材料としてＳＵＳ 304（ステン
レス鋼），溶射材料をＭｏ，溶射方法をプラズマ溶射，
さらに低融点伝熱材料としてＣｕを用いた場合の製造方
法について説明する。
デン），冷却用のパイプ材料としてＳＵＳ 304（ステン
レス鋼），溶射材料をＭｏ，溶射方法をプラズマ溶射，
さらに低融点伝熱材料としてＣｕを用いた場合の製造方
法について説明する。
【００１７】Ｍｏのプラスマ溶射時において、ＳＵＳ30
4 からなる金属パイプ２を受熱板本体１に固定する必要
があるが、特に厳密な固定処理を施さなくても、後工程
で低融点伝熱材料のＣｕを溶融含浸させるために、金属
パイプ周辺に気孔や、密着不良が生じていても大きな問
題ではない。本発明では受熱板本体に簡単に位置決めが
出来る程度に溝３を加工しＳＵＳ304 材の金属パイプ２
を、この溝３にセッティングした後にプラズマ溶射を行
なう。
4 からなる金属パイプ２を受熱板本体１に固定する必要
があるが、特に厳密な固定処理を施さなくても、後工程
で低融点伝熱材料のＣｕを溶融含浸させるために、金属
パイプ周辺に気孔や、密着不良が生じていても大きな問
題ではない。本発明では受熱板本体に簡単に位置決めが
出来る程度に溝３を加工しＳＵＳ304 材の金属パイプ２
を、この溝３にセッティングした後にプラズマ溶射を行
なう。
【００１８】プラズマ溶射によりＭｏ基板上にＭｏを溶
射積層してＳＵＳ304 材の金属パイプ２を埋め込んだ加
工状況を図６に示す。すなわち、プラズマ溶射ガン１３
を用いてＭｏ基板１上に、ＳＵＳ304 材の金属パイプ２
をＭｏ溶射層により埋込む。この時には溶射層自体が、
そのプロセス本体の特徴であるように、気孔１１や割れ
１０を有している。
射積層してＳＵＳ304 材の金属パイプ２を埋め込んだ加
工状況を図６に示す。すなわち、プラズマ溶射ガン１３
を用いてＭｏ基板１上に、ＳＵＳ304 材の金属パイプ２
をＭｏ溶射層により埋込む。この時には溶射層自体が、
そのプロセス本体の特徴であるように、気孔１１や割れ
１０を有している。
【００１９】本発明者らの実験によると、通常８５〜９
５％程度の相対密度の溶射層がプラズマ溶射により得ら
れる。逆にいうと１５〜５％の気孔や割れが存在する。
さらに、水銀圧入法により、これら気孔や割れの状況を
確認すると、全気孔や割れの８８〜９８％までの気孔や
割れが、外部と連結している開気孔や割れであることが
分かった。これは、後工程であるＣｕの溶融含浸におい
て、気孔や割れを埋めるのに都合の良いことを示してい
る。さらに、本実施例の過程においてはＳＵＳ304 パイ
プ２とＭｏ基材１の間に、溶射溶融粒子が入りこまない
“影”の部分の気孔１１が生じることも明らかとなって
いる。
５％程度の相対密度の溶射層がプラズマ溶射により得ら
れる。逆にいうと１５〜５％の気孔や割れが存在する。
さらに、水銀圧入法により、これら気孔や割れの状況を
確認すると、全気孔や割れの８８〜９８％までの気孔や
割れが、外部と連結している開気孔や割れであることが
分かった。これは、後工程であるＣｕの溶融含浸におい
て、気孔や割れを埋めるのに都合の良いことを示してい
る。さらに、本実施例の過程においてはＳＵＳ304 パイ
プ２とＭｏ基材１の間に、溶射溶融粒子が入りこまない
“影”の部分の気孔１１が生じることも明らかとなって
いる。
【００２０】図７は、溶射施工後に溶射層にＣｕを溶融
含浸する加工状況を示した図である。溶融含浸工程で
は、水素環元炉の中において、水素雰囲気で１１００℃
加熱することにより行なう、すなわち、金属パイプ２を
Ｍｏ基材１上にＭｏをプラズマ溶射して埋め込んだ後
に、この溶射面を下向きにして溶融含浸するための溶浸
材料であるＣｕを下に敷き、グラファイト（黒鉛）るつ
ぼ１８の中にセッティングして炉中で処理を行なう。水
素環元雰囲気中で加熱ヒータ１９で加熱することで、溶
射されたＭｏ層中に含まれ、混在するＭｏの酸化物が分
解され、溶融したＣｕとの濡れ性が改善される。さら
に、毛細管現象によりＣｕが溶射層中の開気孔１６や割
れ１５中に侵入して延性に富むＣｕで充填されるので、
強度が顕著に改善されることが分かった。
含浸する加工状況を示した図である。溶融含浸工程で
は、水素環元炉の中において、水素雰囲気で１１００℃
加熱することにより行なう、すなわち、金属パイプ２を
Ｍｏ基材１上にＭｏをプラズマ溶射して埋め込んだ後
に、この溶射面を下向きにして溶融含浸するための溶浸
材料であるＣｕを下に敷き、グラファイト（黒鉛）るつ
ぼ１８の中にセッティングして炉中で処理を行なう。水
素環元雰囲気中で加熱ヒータ１９で加熱することで、溶
射されたＭｏ層中に含まれ、混在するＭｏの酸化物が分
解され、溶融したＣｕとの濡れ性が改善される。さら
に、毛細管現象によりＣｕが溶射層中の開気孔１６や割
れ１５中に侵入して延性に富むＣｕで充填されるので、
強度が顕著に改善されることが分かった。
【００２１】しかしながら、溶融含浸後には不必要なＣ
ｕがＭｏに付着しており、またＳＵＳ304 材の金属パイ
プ２を溶射により固定した面は、明らかに、その表面が
凹凸を示している。そこで、実用に供するためには表面
加工仕上げを施す。
ｕがＭｏに付着しており、またＳＵＳ304 材の金属パイ
プ２を溶射により固定した面は、明らかに、その表面が
凹凸を示している。そこで、実用に供するためには表面
加工仕上げを施す。
【００２２】上記方法で、ＳＵＳ304 材の金属パイプを
プラズマ溶射によりＭｏ層で埋込みＣｕ溶浸により密着
性，溶射層強度，熱伝導特性の改善を図ることが可能と
なった。すなわち、高エネルギ密度のビームを受けるこ
とが可能な、熱衝撃特性，冷却効率の優れた受熱板を製
造することができた。
プラズマ溶射によりＭｏ層で埋込みＣｕ溶浸により密着
性，溶射層強度，熱伝導特性の改善を図ることが可能と
なった。すなわち、高エネルギ密度のビームを受けるこ
とが可能な、熱衝撃特性，冷却効率の優れた受熱板を製
造することができた。
【００２３】図８は、ＪＩＳ規格Ｈ8664−1977皮膜の引
張強さ試験法に従って、Ｃｕを溶融含浸した場合の溶射
皮膜（溶射層）の引張強さを評価した結果を示した図で
ある。この図からＭｏ溶射皮膜のみで形成された場合に
は、引張強度が低いことは当然であるが、品質について
はばらつきが著しいことが分かる。この傾向について
は、溶射皮膜の密着性についても同様で、図９に示すよ
うにＭｏ溶射皮膜にＣｕを溶浸することで、密着強度の
ばらつきについても顕著に改善されることが分かる。こ
の密着強度の実験は、ＪＩＳ規格Ｈ8664−1977に従って
実施したものである。
張強さ試験法に従って、Ｃｕを溶融含浸した場合の溶射
皮膜（溶射層）の引張強さを評価した結果を示した図で
ある。この図からＭｏ溶射皮膜のみで形成された場合に
は、引張強度が低いことは当然であるが、品質について
はばらつきが著しいことが分かる。この傾向について
は、溶射皮膜の密着性についても同様で、図９に示すよ
うにＭｏ溶射皮膜にＣｕを溶浸することで、密着強度の
ばらつきについても顕著に改善されることが分かる。こ
の密着強度の実験は、ＪＩＳ規格Ｈ8664−1977に従って
実施したものである。
【００２４】図１０は、定常法によって測定した熱伝導
特性について、Ｍｏ溶射のみで構成した場合と、Ｍｏ溶
射皮膜にＣｕを溶浸して構成した場合とを比較した結果
を示した図である。熱伝導特性についても、Ｃｕ溶浸に
よって特性の改善が図られると共に、そのばらつきも低
減される傾向にあることが分かる。
特性について、Ｍｏ溶射のみで構成した場合と、Ｍｏ溶
射皮膜にＣｕを溶浸して構成した場合とを比較した結果
を示した図である。熱伝導特性についても、Ｃｕ溶浸に
よって特性の改善が図られると共に、そのばらつきも低
減される傾向にあることが分かる。
【００２５】上記実施例は、大気中プラズマ溶射法によ
って形成された受熱板に関するものであったが、減圧環
境下での溶射も含めた、その他の溶射方法で形成された
受熱板についても同様に適用できる。さらに、溶射用材
料としてはＷ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｎｂ以外に、Ｃｒ，Ｎｉ，
Ｆｅ，Ｚｒについても可能であり、低融点溶浸材料につ
いては、Ｃｕ，Ａｇ以外にＰｂ，Ａｌについても可能で
あり、良好な特性の得られることを実験により確認して
いる。
って形成された受熱板に関するものであったが、減圧環
境下での溶射も含めた、その他の溶射方法で形成された
受熱板についても同様に適用できる。さらに、溶射用材
料としてはＷ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｎｂ以外に、Ｃｒ，Ｎｉ，
Ｆｅ，Ｚｒについても可能であり、低融点溶浸材料につ
いては、Ｃｕ，Ａｇ以外にＰｂ，Ａｌについても可能で
あり、良好な特性の得られることを実験により確認して
いる。
【００２６】本発明のさらに他の実施例を図１１〜図１
４を参照して説明する。まず、図１２に示すようにステ
ンレス製金属パイプ２の外表面に熱応力緩和層として無
電解メッキによりＮｉコーティング層１４を形成させ
る。また、Ｍｏ製基材１の表裏面にＮｉコーティングし
たステンレス製金属パイプ２の径と同じ大きさの半円状
の溝を加工し、この溝に金属パイプ２を設置し、真空
中、約１０００℃の拡散接合によりステンレス製金属パ
イプ２をＭｏ製基材１の表裏面に固定する。なお、この
Ｍｏ製基材１には、図１１に示すように、板厚方向に貫
通した孔１２が多数加工されている。この様に金属パイ
プ２を固定したＭｏ製基材１を真空チャンバの中に設置
し、減圧雰囲気中でＭｏ製基材１の表裏面両方向からＭ
ｏ粉末４をプラズマ溶射することにより金属パイプ２の
上部にＭｏ溶射層５を形成させると、ステンレス製金属
パイプ２を内蔵した受熱板８が得られる。
４を参照して説明する。まず、図１２に示すようにステ
ンレス製金属パイプ２の外表面に熱応力緩和層として無
電解メッキによりＮｉコーティング層１４を形成させ
る。また、Ｍｏ製基材１の表裏面にＮｉコーティングし
たステンレス製金属パイプ２の径と同じ大きさの半円状
の溝を加工し、この溝に金属パイプ２を設置し、真空
中、約１０００℃の拡散接合によりステンレス製金属パ
イプ２をＭｏ製基材１の表裏面に固定する。なお、この
Ｍｏ製基材１には、図１１に示すように、板厚方向に貫
通した孔１２が多数加工されている。この様に金属パイ
プ２を固定したＭｏ製基材１を真空チャンバの中に設置
し、減圧雰囲気中でＭｏ製基材１の表裏面両方向からＭ
ｏ粉末４をプラズマ溶射することにより金属パイプ２の
上部にＭｏ溶射層５を形成させると、ステンレス製金属
パイプ２を内蔵した受熱板８が得られる。
【００２７】この方法によりＭｏ基材の表裏面に金属パ
イプ２とプラズマ溶射層を設けることにより受熱板８の
反り変形は著しく低減でき、かつ、ステンレス製金属パ
イプ２の周囲にステンレスとＭｏの中間的熱膨張係数を
有するＮｉコーティング層５を設けることにより耐熱サ
イクル特性も著しく向上する。また、Ｍｏ基材１に設け
た多数のガス抜き孔１２により、プラズマ溶射時の金属
パイプ２の剥離や溶射層内へのガスの巻き込みによりブ
ローホールの形成も著しく低減され、プラズマ溶射層の
健全性も大いに向上する。
イプ２とプラズマ溶射層を設けることにより受熱板８の
反り変形は著しく低減でき、かつ、ステンレス製金属パ
イプ２の周囲にステンレスとＭｏの中間的熱膨張係数を
有するＮｉコーティング層５を設けることにより耐熱サ
イクル特性も著しく向上する。また、Ｍｏ基材１に設け
た多数のガス抜き孔１２により、プラズマ溶射時の金属
パイプ２の剥離や溶射層内へのガスの巻き込みによりブ
ローホールの形成も著しく低減され、プラズマ溶射層の
健全性も大いに向上する。
【００２８】このような方法により厚さ４ｍｍで大きさ
３００ｍｍ×３００ｍｍの受熱板８を製作した時の受熱
板中央部（基準面）に対する受熱板端部の高さ（変形
量）を測定した結果を図１３に示す。図中には実施例と
してＭｏ基材の表裏面に金属パイプとプラズマ溶射層を
設けた場合（実施例１）と、Ｍｏ基材の裏面には金属パ
イプを設けず表面と同じ厚さのプラズマ溶射層のみを形
成した場合（実施例２）と、実施例２と同じく裏面には
金属パイプを設けず表面の１／２の厚さのプラズマ溶射
層を形成した場合（実施例３）、との３通りの実施例
を、またＭｏ基材の表面のみに金属パイプとプラズマ溶
射層を設けた場合（従来例）とを比較して示している。
従来例では受熱板端部に４ｍｍ以上の変形を生じるが、
実施例１は従来例に比べてほとんど変形が無く測定限界
以下であった。一方、Ｍｏ基材の裏面には金属パイプを
設けずプラズマ溶射層のみを形成した場合（実施例２，
実施例３）の受熱板端部の変形量は約１ｍｍであり、Ｍ
ｏ基材の表裏面に金属パイプとプラズマ溶射層を設けた
場合（実施例１）に比べて変形量は大きいものの従来方
法に比べれば１／４以下であることが分かる。また、実
施例２と実施例３の比較においては、裏面のプラズマ溶
射層の厚さが大きい方（実施例２）が、受熱板端部の変
形量は小さくなる傾向があるが、いずれの場合も変形量
は従来例に比べれば著しく小さく、受熱板の変形抑制に
は表裏面のプラズマ溶射コーティングが有効なことが明
らかである。
３００ｍｍ×３００ｍｍの受熱板８を製作した時の受熱
板中央部（基準面）に対する受熱板端部の高さ（変形
量）を測定した結果を図１３に示す。図中には実施例と
してＭｏ基材の表裏面に金属パイプとプラズマ溶射層を
設けた場合（実施例１）と、Ｍｏ基材の裏面には金属パ
イプを設けず表面と同じ厚さのプラズマ溶射層のみを形
成した場合（実施例２）と、実施例２と同じく裏面には
金属パイプを設けず表面の１／２の厚さのプラズマ溶射
層を形成した場合（実施例３）、との３通りの実施例
を、またＭｏ基材の表面のみに金属パイプとプラズマ溶
射層を設けた場合（従来例）とを比較して示している。
従来例では受熱板端部に４ｍｍ以上の変形を生じるが、
実施例１は従来例に比べてほとんど変形が無く測定限界
以下であった。一方、Ｍｏ基材の裏面には金属パイプを
設けずプラズマ溶射層のみを形成した場合（実施例２，
実施例３）の受熱板端部の変形量は約１ｍｍであり、Ｍ
ｏ基材の表裏面に金属パイプとプラズマ溶射層を設けた
場合（実施例１）に比べて変形量は大きいものの従来方
法に比べれば１／４以下であることが分かる。また、実
施例２と実施例３の比較においては、裏面のプラズマ溶
射層の厚さが大きい方（実施例２）が、受熱板端部の変
形量は小さくなる傾向があるが、いずれの場合も変形量
は従来例に比べれば著しく小さく、受熱板の変形抑制に
は表裏面のプラズマ溶射コーティングが有効なことが明
らかである。
【００２９】図１４は本発明により製作した受熱板の耐
熱サイクル特性を評価した結果を示した図である。試験
片の構成は図１１に示したＭｏ基材の表裏面に金属パイ
プとプラズマ溶射層を設けた場合について、ステンレス
製金属パイプの周囲に熱応力緩和のためＮｉをコーティ
ングし、かつＭｏ基材には多数のガス抜き孔を設けた場
合（実施例４）と、Ｎｉコーティングのみを施しガス抜
き孔を設けなかった場合（実施例５）と、Ｎｉコーティ
ングもガス抜き孔も設けなかった場合（実施例６）との
３通りの受熱板を用いた。熱サイクル試験はこれら受熱
板の金属パイプに冷却水を流した状態で受熱板表面を３
００℃〜９００℃に繰返し加熱した場合に、冷却水のリ
ークが起こるまでの回数を測定した。その結果、Ｎｉコ
ーティングもガス抜き孔も設けなかった実施例６におい
ては、３００℃の熱負荷では４回の熱サイクルに耐えた
が、６００℃、９００℃の熱負荷では１回の熱負荷によ
りステンレス製金属パイプにクラックを生じ冷却水のリ
ークが起こった。しかし、Ｎｉコーティングのみを施し
た実施例５においては、３００℃の熱負荷では１０回の
熱サイクルにも冷却水のリークが無く、６００℃の熱負
荷では５回の熱サイクル試験に耐えた。さらにＭｏ基材
に多数のガス抜き孔を設けることによりＭｏ溶射層内で
のブローホールの発生を抑制し溶射層の緻密度を向上さ
せた実施例４においては、６００℃の熱負荷では１０回
の熱サイクル実験でも冷却水のリークが認められず、受
熱板の耐熱サイクル特性に対する熱応力緩和層（Ｎｉコ
ーティング）とＭｏ基材のガス抜き孔の効果が明らかで
ある。
熱サイクル特性を評価した結果を示した図である。試験
片の構成は図１１に示したＭｏ基材の表裏面に金属パイ
プとプラズマ溶射層を設けた場合について、ステンレス
製金属パイプの周囲に熱応力緩和のためＮｉをコーティ
ングし、かつＭｏ基材には多数のガス抜き孔を設けた場
合（実施例４）と、Ｎｉコーティングのみを施しガス抜
き孔を設けなかった場合（実施例５）と、Ｎｉコーティ
ングもガス抜き孔も設けなかった場合（実施例６）との
３通りの受熱板を用いた。熱サイクル試験はこれら受熱
板の金属パイプに冷却水を流した状態で受熱板表面を３
００℃〜９００℃に繰返し加熱した場合に、冷却水のリ
ークが起こるまでの回数を測定した。その結果、Ｎｉコ
ーティングもガス抜き孔も設けなかった実施例６におい
ては、３００℃の熱負荷では４回の熱サイクルに耐えた
が、６００℃、９００℃の熱負荷では１回の熱負荷によ
りステンレス製金属パイプにクラックを生じ冷却水のリ
ークが起こった。しかし、Ｎｉコーティングのみを施し
た実施例５においては、３００℃の熱負荷では１０回の
熱サイクルにも冷却水のリークが無く、６００℃の熱負
荷では５回の熱サイクル試験に耐えた。さらにＭｏ基材
に多数のガス抜き孔を設けることによりＭｏ溶射層内で
のブローホールの発生を抑制し溶射層の緻密度を向上さ
せた実施例４においては、６００℃の熱負荷では１０回
の熱サイクル実験でも冷却水のリークが認められず、受
熱板の耐熱サイクル特性に対する熱応力緩和層（Ｎｉコ
ーティング）とＭｏ基材のガス抜き孔の効果が明らかで
ある。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
プラズマ溶射を適用し、受熱板に金属パイプを埋込むこ
とにより、受熱板本体である高融点金属が浸食されな
い。しかも金属パイプとＭｏの溶射層との密着性が良好
で、かつ金属パイプを増やすことも可能であり、受熱板
の大型化も容易であるというすぐれた効果がある。
プラズマ溶射を適用し、受熱板に金属パイプを埋込むこ
とにより、受熱板本体である高融点金属が浸食されな
い。しかも金属パイプとＭｏの溶射層との密着性が良好
で、かつ金属パイプを増やすことも可能であり、受熱板
の大型化も容易であるというすぐれた効果がある。
【図１】本発明の一実施例の製造方法を示す工程図。
【図２】図１の実施例の作用説明図。
【図３】図１の実施例の作用説明図。
【図４】本発明の他の実施例の作用説明図。
【図５】本発明の他の実施例の製造方法を示す工程図。
【図６】図５の溶射時の作用説明図。
【図７】図５の溶浸時の作用説明図。
【図８】Ｃｕ溶浸により改善された引張強度特性図。
【図９】Ｃｕ溶浸により改善された密着強度特性図。
【図１０】Ｃｕ溶浸により改善された熱伝導特性図。
【図１１】本発明のさらに他の実施例の製造方法を示す
工程図。
工程図。
【図１２】図１１より得られた受熱板の断面図。
【図１３】図１１で製造した受熱板と従来方法で製造し
た受熱板の熱変形を比較した特性図。
た受熱板の熱変形を比較した特性図。
【図１４】図１１で得られた受熱板の熱サイクル試験結
果を示す特性図。
果を示す特性図。
【図１５】従来の受熱板の製造方法を示すための図。
【図１６】図１５より得られた受熱板の断面図。
１…受熱板基材、２…金属パイプ、３…溝、４…マス
ク、５…溶射層、８…受熱板、９…ロウ材、１２…孔、
１３…プラズマ溶射装置、１４…熱応力緩和層、１７…
溶浸材料、１８…るつぼ、１９…ヒータ。
ク、５…溶射層、８…受熱板、９…ロウ材、１２…孔、
１３…プラズマ溶射装置、１４…熱応力緩和層、１７…
溶浸材料、１８…るつぼ、１９…ヒータ。
Claims (3)
- 【請求項１】 金属パイプを内蔵する受熱板の製造方法
において、前記金属パイプを溶射によって受熱板に固定
することを特徴とする冷却構造を有する受熱板の製造方
法。 - 【請求項２】 金属パイプを内蔵する受熱板の製造方法
において、前記金属パイプを溶射によって受熱板に固定
した後、低融点伝熱材料に溶融浸漬させて熱応力緩和層
を設けたことを特徴とする冷却構造を有する受熱板の製
造方法。 - 【請求項３】 板状基材表面に金属またはセラミックの
溶射層を形成させることにより当該基材中に金属パイプ
を内蔵する受熱板の製造方法において、前記板状基材の
表裏面に金属パイプを固定し、前記板状基材の表裏面の
両方から同時にプラズマ溶射して前記金属パイプを溶射
層内に内蔵したことを特徴とする冷却構造を有する受熱
板の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3298831A JPH05134067A (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 冷却構造を有する受熱板の製造方法 |
| EP92310312A EP0542534B1 (en) | 1991-11-14 | 1992-11-12 | Heat-resisting plate having a cooling structure and method of manufacturing it |
| DE69212774T DE69212774T2 (de) | 1991-11-14 | 1992-11-12 | Hitzbeständige Platte mit Kühlstruktur und Herstellungsverfahren |
| US07/977,166 US5509472A (en) | 1991-11-14 | 1992-11-16 | Heat-resisting plate having a cooling structure and method of manufacturing it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3298831A JPH05134067A (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 冷却構造を有する受熱板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05134067A true JPH05134067A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=17864789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3298831A Pending JPH05134067A (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 冷却構造を有する受熱板の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5509472A (ja) |
| EP (1) | EP0542534B1 (ja) |
| JP (1) | JPH05134067A (ja) |
| DE (1) | DE69212774T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020189322A (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 株式会社神戸製鋼所 | 積層造形物の製造方法及び積層造形物 |
| JP2021059772A (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 積層造形物の製造方法及び積層造形物 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2844304B2 (ja) | 1994-02-15 | 1999-01-06 | 日本原子力研究所 | プラズマ対向材料 |
| CA2458653A1 (en) * | 2001-09-21 | 2003-03-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Heat exchanger fabrication by polymer extrusion and structures formed thereby |
| US8584738B2 (en) * | 2002-06-14 | 2013-11-19 | Lockheed Martin Corporation | Apparatus and method for extracting heat from a device |
| TWM280091U (en) * | 2005-03-24 | 2005-11-01 | Cooler Master Co Ltd | Erect cooling device |
| US20070261818A1 (en) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Applied Materials, Inc. | Multi-temperature output heat exchanger with single chiller |
| US7832159B1 (en) * | 2006-06-06 | 2010-11-16 | Kayhart Paul H | Radiant in-floor heating system |
| US8464490B2 (en) * | 2007-05-09 | 2013-06-18 | Antonio Rapaz | Construction panel |
| US20080276557A1 (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-13 | Antonio Rapaz | Construction panel |
| US9010060B2 (en) | 2007-05-09 | 2015-04-21 | Antonio Rapaz | Construction panel |
| US8800641B2 (en) * | 2009-06-01 | 2014-08-12 | The Boeing Company | Methods and apparatus for a micro-truss based structural insulation layer |
| US20100314081A1 (en) * | 2009-06-12 | 2010-12-16 | Reis Bradley E | High Temperature Graphite Heat Exchanger |
| WO2011142841A2 (en) * | 2010-01-14 | 2011-11-17 | University Of Virginia Patent Foundation | Multifunctional thermal management system and related method |
| JP5162621B2 (ja) * | 2010-05-07 | 2013-03-13 | 日本発條株式会社 | 温度調節装置、冷却装置、及び温度調節装置の製造方法 |
| WO2012064801A2 (en) * | 2010-11-11 | 2012-05-18 | Schlumberger Canada Limited | Particle accelerator with a heat pipe supporting components of a high voltage power supply |
| JP5734129B2 (ja) * | 2011-08-09 | 2015-06-10 | 日本発條株式会社 | 流路付き部材及びその製造方法 |
| JP5386615B1 (ja) * | 2012-07-03 | 2014-01-15 | 日本発條株式会社 | パイプ埋設構造体及びその製造方法 |
| DE102014014070A1 (de) | 2014-09-29 | 2016-03-31 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Vorrichtung zum geregelten Wärmeübergang auf und von einem Bauteil |
| KR102562682B1 (ko) | 2016-05-25 | 2023-08-03 | 삼성에스디아이 주식회사 | 배터리 모듈 |
| NL2022606A (en) | 2018-03-06 | 2019-09-10 | Asml Netherlands Bv | Radiation shielding device and apparatus comprising such shielding device |
| GB2586145A (en) * | 2019-08-07 | 2021-02-10 | Ibj Tech Ivs | Improvements in or relating to heat exchangers |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2124110A (en) * | 1937-07-20 | 1938-07-19 | Copeland Refrigeration Corp | Refrigerating mechanism |
| US3120869A (en) * | 1958-05-15 | 1964-02-11 | Babcock & Wilcox Co | Furnace wall of spaced tubes welded to contoured plate |
| DE3416843A1 (de) * | 1984-05-07 | 1985-11-14 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen | Aktiv gekuehlter hitzeschild |
| IT1188061B (it) * | 1985-11-15 | 1987-12-30 | Armco Spa | Scambiatore termico in particolare evaporatore e metodo per la sua fabbricazione |
| EP0250345B1 (fr) * | 1986-06-16 | 1991-03-13 | Le Carbone Lorraine | Contact thermique à fort coefficient de transfert et applications au refroidissement d'une structure soumise à un flux thermique intense |
| JP2703975B2 (ja) * | 1989-02-15 | 1998-01-26 | 株式会社東芝 | 加速器電極板およびその製造方法 |
| AT394109B (de) * | 1990-01-05 | 1992-02-10 | Solkav Solartechnik Ges M B H | Verwendung eines waermetauschers |
| US4998584A (en) * | 1990-06-07 | 1991-03-12 | Itt Corporation | Heat exchanger |
-
1991
- 1991-11-14 JP JP3298831A patent/JPH05134067A/ja active Pending
-
1992
- 1992-11-12 DE DE69212774T patent/DE69212774T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-11-12 EP EP92310312A patent/EP0542534B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-11-16 US US07/977,166 patent/US5509472A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020189322A (ja) * | 2019-05-23 | 2020-11-26 | 株式会社神戸製鋼所 | 積層造形物の製造方法及び積層造形物 |
| JP2021059772A (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 積層造形物の製造方法及び積層造形物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0542534B1 (en) | 1996-08-14 |
| DE69212774T2 (de) | 1996-12-19 |
| DE69212774D1 (de) | 1996-09-19 |
| US5509472A (en) | 1996-04-23 |
| EP0542534A1 (en) | 1993-05-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05134067A (ja) | 冷却構造を有する受熱板の製造方法 | |
| TWI404813B (zh) | 管靶材 | |
| EP0630423B1 (en) | Method of bonding a sputter target-backing plate assembly | |
| US8349468B2 (en) | Metal material for parts of casting machine, molten aluminum alloy-contact member | |
| JPH0341955B2 (ja) | ||
| CN102756515B (zh) | 一种陶瓷覆铝基板及其制备方法 | |
| JPS6350402B2 (ja) | ||
| CN115770922A (zh) | 一种石墨靶材的钎焊方法 | |
| JP5764506B2 (ja) | セラミックス多孔体−金属断熱材及びその製造方法 | |
| US5533258A (en) | Process for the manufacturing of a cooling unit | |
| US4689810A (en) | Composite rotary anode for X-ray tube and process for preparing the composite | |
| TWI283463B (en) | Members for semiconductor device | |
| CA1334909C (en) | Oxide series superconductive sintered body and method of producing the same | |
| US6907661B2 (en) | Method of joining a high-temperature material composite component | |
| US20110135956A1 (en) | Method of joining materials, and articles made therewith | |
| JP6768606B2 (ja) | 円筒形スパッタリングターゲットの製造方法 | |
| CN101418425A (zh) | 防氚渗透涂层热浸镀制备工艺 | |
| RU2101146C1 (ru) | Способ пайки алюминия с жаропрочными сталями и сплавами | |
| US3588433A (en) | Arcing contact structure and method of making same | |
| CN204953874U (zh) | 一种高结合强度的超声波复合发射杆及其超声波设备 | |
| Watson et al. | Development of high-Z plasma facing components for ITER | |
| JP2001281398A (ja) | イオン源電極 | |
| JPS61288060A (ja) | 減圧プラズマア−ク溶射方法 | |
| Kim et al. | Characterization of Plasma-Sprayed Ceramic Coating Layers for Melting Crucible of Metal Fuels | |
| US20170043424A1 (en) | Process for joining metallic and ceramic structures |