JPH05129805A - 膜抵抗終端器 - Google Patents

膜抵抗終端器

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JPH05129805A
JPH05129805A JP29342791A JP29342791A JPH05129805A JP H05129805 A JPH05129805 A JP H05129805A JP 29342791 A JP29342791 A JP 29342791A JP 29342791 A JP29342791 A JP 29342791A JP H05129805 A JPH05129805 A JP H05129805A
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resistance
dielectric substrate
component
film
membrane
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JP29342791A
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Norio Tozawa
紀雄 戸澤
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】本発明は高周波帯において信号入力側から見た
膜抵抗手段側の入力インピーダンスの抵抗成分を所定の
抵抗値にし、かつリアクタンス成分をほぼ0又は0にす
ることによって大きなリターンロスが得られるように
し、これによって反射波を抑えることができる膜抵抗終
端器を提供することを目的とする。 【構成】第1誘電体基板2a上に形成され、入力信号を
伝搬するマイクロストリップ線路3と、第1誘電体基板
2aに接合した第2誘電体基板2b上に形成され、一端
が該マイクロストリップ線路3の端に接続され、他端が
接地された入力信号を終端するための膜抵抗手段5とを
有して成る膜抵抗終端器において、第2誘電体基板の高
さh2を、マイクロストリップ線路3側から見た膜抵抗
手段5側の入力インピーダンスの抵抗成分が所定の抵抗
値となり、且つリアクタンス成分がほぼ零又は零となる
ようにして構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波、ミリ波帯等
の高周波信号を取り扱う無線装置に用いられる膜抵抗終
端器に関する。
【0002】マイクロ波・ミリ波帯無線装置で用いられ
る電力分配器、電力合成器及びミキサ等では90度ハイ
ブリッド回路を用いる場合が多く、その回路の終端回路
として膜抵抗終端器が多く用いられている。
【0003】ハイブリッド構成の回路を良好に作動させ
るためには、終端回路からの反射波を抑える必要があ
る。このため膜抵抗終端器には、高周波領域まで大きな
リターンロス(リターンロスとは、終端器で波が反射す
る際のロスのことであり、波のリターンするロスが大き
い程、波が帰ってこない。つまり反射波が少ない。)の
ものが要求されている。
【0004】
【従来の技術】図7に従来の膜抵抗終端器の概略斜視図
を示し、その説明を行う。この図において、1は金材料
による接地導体であり、その上面には1段の段差が形成
されている。接地導体1上には、セラミック材料による
誘電体基板2が形成されており、その一端は接地導体1
の段差部分に当接されている。
【0005】誘電体基板2上には、マイクロストリップ
線路による信号入力側導体膜3と、導体膜4とが隔たっ
て形成されており、信号入力側導体膜3と導体膜4との
間には、窒化タンタル等の材料による膜抵抗器5が形成
されている。
【0006】導体膜4と接地導体1が当接する上面部分
には、金材料による接続リボン6が形成されており、導
体膜4と接地導体1とを接続している。但し、膜抵抗器
5は、信号入力側導体膜3の幅とほぼ同じ幅であり、信
号入力側導体膜3の特性インピーダンス(例えば50
Ω)に直流抵抗値が一致したものである。
【0007】このような膜抵抗終端器におけるリターン
ロス、即ち入力信号に対してどの程度の反射波が現れる
かの割合を図8に破線10で示す。このグラフは図7に
示す膜抵抗終端器において、各主要部の寸法を入力し、
入力信号の周波数を変化させてシミュレーションにより
リターンロスを計算した結果である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した膜
抵抗終端器においては、図8に破線10で示すグラフか
ら分かるように、低周波帯では比較的大きいリターンロ
スを得ることができるので反射波を抑えることができる
が、高周波帯になるにつれてリターンロスが減少し、反
射波を抑えることができないと言った問題があった。
【0009】この高周波帯になるにつれてリターンロス
が減少する原因を述べる。その原因としては周波数の影
響を受けやすい膜抵抗器5が考えられる。そこで、膜抵
抗器5の特性を調べるため、以下に図9の負荷短絡の損
失のある伝送路の入力インピーダンスの求め方を示す。
【0010】 α;減衰定数 β;位相定数 ZR ;特性インピーダンス〔Ω〕 としたときに、その伝送路の入力インピーダンスZin
次式で表される。
【0011】 ここで、K=exp(2αl) また、特性インピーダンスZR は次式で表される。
【0012】 ZR =〔(R0 +jωL0 )/(G0 +jωC0 )〕1/2 但し、R0 ;単位長当たりの抵抗 G0 ;単位長当たりのコンダクタンス L0 ;単位長当たりのインダクタンス C0 ;単位長当たりのキャパシタンス ここで、G0 ≫ωC0 とすれば、 ZR =Z0 (1−j・R0 /ωL0 1/2 但し、Z0 =(L0 /C0 1/2 で無損失伝送路の特性インピーダンスである。
【0013】ZR =RR −jXR とすると、入力インピ
ーダンスZinは以下のようになる。 Zin=(R+jX)/(K2 +1+2Kcos2βl) 式 但し、R=RR (K2 −1)+2KXR sin2βl X=2KRR sin2βl−XR (K2 −1) とする。
【0014】以上の如く入力インピーダンスは求められ
る。つまり、上記方法により膜抵抗器5の入力インピー
ダンスを求めると、同じ条件のもとでは周波数が1〜2
0GHzと高くなるにつれて式の虚数項が大きくな
る。つまり膜抵抗器5を見込んだ入力インピーダンスの
誘導性リアクタンスが大きくなる。更に同様の原因によ
りマイクロストリップ線路、即ち導体膜4の持つ誘導性
リアクタンス成分も大きくなる。
【0015】誘導性リアクタンスが大きくなると、信号
入力側導体膜3から膜抵抗器5側を見たインピーダンス
特性が劣化することになる。以上のように、従来の膜抵
抗終端器では、周波数が高くなるにつれて誘導性リアク
タンス成分が大きくなり、これによってリターンロスが
減少していた。
【0016】本発明は、このような点に鑑みてなされた
ものであり、高周波帯において信号入力側から見た膜抵
抗手段側の入力インピーダンスの抵抗成分を所定の抵抗
値にし、かつリアクタンス成分をほぼ0又は0にするこ
とによって大きなリターンロスが得られるようにし、こ
れによって反射波を抑えることができる膜抵抗終端器を
提供することを目的としている。
【0017】
【課題を解決するための手段】図1に本発明の膜抵抗終
端器の原理図を示す。この膜抵抗終端器は、前述で説明
した式の虚数項を0、即ち入力インピーダンスのリア
クタンス成分をほぼ0又は0にし、このときの実数項を
所定の抵抗値とした場合に、高周波帯でも大きなリター
ンロスが得れることに着目して構成したものである。
【0018】即ち、この膜抵抗終端器は、第1誘電体基
板2a上に形成され、入力信号を伝搬するマイクロスト
リップ線路3と、第1誘電体基板2aに接合した第2誘
電体基板2b上に形成され、一端がマイクロストリップ
線路3の端に接続され、他端が接地された入力信号を終
端するための膜抵抗手段5とを有して成る膜抵抗終端器
において、第2誘電体基板2bの高さを、マイクロスト
リップ線路3側から見た膜抵抗手段5側の入力インピー
ダンスの抵抗成分が所定の抵抗値となり、且つリアクタ
ンス成分がほぼ零又は零となるように構成されている。
【0019】但し、マイクロストリップ線路3側から見
た膜抵抗手段5側の入力インピーダンスの抵抗成分はマ
イクロストリップ線路3の抵抗値とほぼ等しいか又は等
しくするのが好ましい。
【0020】また、他の手段として、誘電体部の外周に
形成され、かつ一端が信号導体に接合され、他端が接地
された膜抵抗手段から成る同軸線路構造の内軸と、該膜
抵抗器被覆部分の直径が、該信号導体から見た該膜抵抗
手段側の入力インピーダンスの抵抗成分を所定の抵抗値
となり、且つリアクタンス成分がほぼ零又は零となるよ
うに形成された誘電体被覆部とを具備して膜抵抗終端器
を構成してもよい。
【0021】
【作用】上述した本発明の膜抵抗終端器によれば、第2
誘電体基板2bの高さを調整することによって、マイク
ロストリップ線路3側から見た膜抵抗手段5側の入力イ
ンピーダンスの抵抗成分を変化させ、且つリアクタンス
成分を容量性、誘導性何れにも変化させることができる
ので、入力インピーダンスをマイクロストリップ線路3
の抵抗値とほぼ等しいか又は等しくし、且つリアクタン
ス成分をほぼ零又は零とすることができる。このように
した場合、高周波帯でもリターンロスを大きくすること
ができ、反射波を抑えることができる。
【0022】また、同軸線路構造の膜抵抗終端器におい
ても、誘電体被覆部の膜抵抗器被覆部分の直径を調整す
ることによって、信号導体から見た膜抵抗手段側の入力
インピーダンスの抵抗成分を変化させ、且つリアクタン
ス成分を容量性、誘導性何れにも変化させることができ
るので、抵抗成分を所定の抵抗値とし、且つリアクタン
ス成分をほぼ零又は零にすることができる。
【0023】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図2は本発明の第1実施例による膜抵抗終
端器の構成を示す概略斜視図である。この図において図
7に示す従来例の各部に対応する部分には同一符号を付
す。
【0024】図2において、1は金材料による接地導体
であり、その上面には2段の段差が形成されている。そ
の2段の段差により形成される接地導体1の1段目の平
面に1a、2段目の平面に1b、3段目の平面に1cの
符号を付し、以降、1段目平面1a、2段目平面1b、
3段目平面1cと呼ぶ。
【0025】接地導体1の1段目平面1a上には、セラ
ミック材料による比誘電率εr =9.8、高さh1=
0.38mmの第1誘電体基板2aが形成されており、
その第1誘電体基板2a上には幅w1=0.35mmの
マイクロストリップ線路による信号入力側導体膜3が形
成されている。この場合の信号入力側導体膜3の特性イ
ンピーダンスは50Ωとなる。
【0026】接地導体1の2段目平面1b上には、セラ
ミック材料による比誘電率εr =9.8、高さh2=
0.12mmの第2誘電体基板2bが形成されている。
接地導体1の底面からの第2誘電体基板2bの高さは、
第1誘電体基板2aの高さよりも低くなっている。
【0027】第2誘電体基板2b上には幅w2=0.3
mm、長さL=0.3mmの窒化タンタル材料による膜
抵抗器5が形成されている。膜抵抗器5の面積抵抗率は
50Ω/□である。
【0028】また、第2誘電体基板2b上には、膜抵抗
器5の両端に金材料による導体膜4a,4bが形成され
ており、導体膜4aが金材料による接続リボン6aによ
り信号入力側導体膜3に接続され、導体膜4bが接続リ
ボン6bにより接地導体1の3段目平面1cに接続され
ることによって、膜抵抗器5の一端が信号入力側導体膜
3に接続され、他端が接地されている。
【0029】図3は、上述した構成の膜抵抗終端器にお
いて、信号入力側導体膜3に入力される信号の周波数f
を高周波数の20GHzとし、かつ第2誘電体基板2b
の高さh2を0.02mm〜0.5mmまで変化させた
場合に、信号入力側導体膜3側からみた膜抵抗器5側の
入力インピーダンスZinの抵抗成分(Ω)及びリアクタ
ンス成分(Ω)をシュミレーションによって求めたグラ
フである。
【0030】但し、図2に示す導体膜4a及び接続リボ
ン6aを考慮せず、信号入力側導体膜3と膜抵抗終端器
5とが直接接続されているものとしてシュミレーション
を行ったものである。また、第2誘電体基板2bの高さ
h2は、曲線20に点でしめすように0.02mm間隔
で変化させた。
【0031】この図3から分かるように、高さh2を高
くするに従ってリアクタンス成分が容量性(−jX)か
ら誘導性(jX)に変化している。図3の曲線20に矢
印21で示す位置が、第2誘電体基板2bの高さh2を
上述したように0.12mmとした場合であり、この場
合の膜抵抗器5の入力インピーダンスZinは、抵抗成分
が51.47Ω、リアクタンス成分が−j0.42Ωと
なる。
【0032】即ち、入力インピーダンスZinが、信号入
力側導体膜3の特性インピーダンス50Ωとほぼ同じで
あり、且つリアクタンス成分がほぼ0となっている。従
って、第1実施例の膜抵抗終端器では、高周波帯でもリ
ターンロスを大きくすることができるので、反射波を吸
収して抑えることができる。従来の膜抵抗終端器におい
ては、リアクタンス成分が大きくなるためにリターンロ
スが減少し、反射波が生じていた。なお、参考として、
図8に第1実施例の膜抵抗終端器におけるリターンロ
ス、即ち入力信号に対してどの程度の反射波が現れるか
の割合を実線22で示す。
【0033】また、図2に示す膜抵抗終端器の第2誘電
体基板2bの比誘電率εr は前述したように9.8であ
るが、その比誘電率εr を変化させることによっても信
号入力側導体膜3側からみた膜抵抗器5側の入力インピ
ーダンスZinの抵抗成分(Ω)及びリアクタンス成分
(Ω)を変化させることができる。
【0034】これは、比誘電率εr が大きいとリアクタ
ンス成分は誘導性(jX)となるが、比誘電率εr が小
さくなる程に、リアクタンス成分が容量性(−jX)と
なるからである。この様子は、図3に示す曲線20を参
照することができる。
【0035】従って、第2誘電体基板2bの比誘電率ε
r を変えることによっても、リアクタンス成分をほぼ0
又は0とすることができるので、高周波帯でもリターン
ロスを大きくして反射波を抑えることができる。
【0036】次に、第2実施例による膜抵抗終端器を図
4を参照して説明する。図4において、1は上面に1段
の段差が形成された接地導体であり、接地導体1上に
は、比誘電率εr =9.8、高さh1=0.38mmの
誘電体基板2が形成されている。
【0037】誘電体基板2上には、信号入力側導体膜3
と、導体膜4とが隔たって形成されており、信号入力側
導体膜3と導体膜4との間には、膜抵抗器5が形成され
ている。但し、膜抵抗器5は、長さLが0.3mm、幅
w2が0.9mm、面積抵抗率が150Ω/□であり、
信号入力側導体膜3の特性インピーダンスは50Ωであ
るとする。
【0038】導体膜4と接地導体1が当接する上面部分
には、3つの接続リボン6が形成されており、導体膜4
と接地導体1とを接続している。膜抵抗器5の長さL、
幅w2、及び面積抵抗率を変化させることによって、信
号入力側導体膜3側からみた膜抵抗器5側の入力インピ
ーダンスZinの抵抗成分(Ω)及びリアクタンス成分
(Ω)は変化するので、第2実施例の膜抵抗終端器は、
膜抵抗器5の長さL、幅w2、及び面積抵抗率を前記の
ように定めることによって、信号入力側導体膜3側から
みた膜抵抗器5側の入力インピーダンスZinの抵抗値を
ほぼ50Ω、リアクタンスをほぼ0にしている。
【0039】従って、第2実施例の膜抵抗終端器におい
ても、高周波帯におけるリターンロスを大きくして反射
波を抑えることができる。その他に第2実施例において
は、膜抵抗器5の面積を大きくしたので、大電力信号の
終端に耐え得るメリットがある。
【0040】次に、第3実施例による膜抵抗終端器を図
5及び図6を参照して説明する。図5は同軸線路型の膜
抵抗終端器を信号波が伝達する方向で切断した場合の断
面図、図6は膜抵抗終端器を図5に示す一点鎖線Y−
Y′で切断した場合の断面図である。但し、これらの図
において図4に示す第2実施例の各部に相当する部分に
は同一符号が付してある。
【0041】図5及び図6に示す第3実施例の膜抵抗終
端器は、信号入力側導体3と導体4との間に内部誘電体
2′を介装し、内部誘電体2′の外周に膜抵抗器5を形
成し、この形成された内軸の外周に外部誘電体2を形成
し、その外周に接地導体1を形成して構成したものであ
る。
【0042】即ち、膜抵抗器5の一端は信号入力側導体
3に接続され、他端は導体4を介して接地されている。
また、膜抵抗器5で被覆された内部誘電体2′及び導体
4を被覆する外部誘電体2の直径Dは、信号入力側導体
3を被覆する部分の直径よりも小さく形成されている。
【0043】その外部誘電体2の直径Dの部分は、前述
した第1実施例の図2に示す第2誘電体基板2bに相当
するものであって、直径Dを変化させることによって、
第1実施例で第2誘電体基板2bの高さh2を変化させ
たと同様な効果を得ることができる。
【0044】即ち、直径Dを大きくするに従って信号入
力側導体3側からみた膜抵抗器5側の入力インピーダン
スZinのリアクタンス成分が容量性(jX)から誘導性
(−jX)に変化する。
【0045】従って、外部誘電体2の直径Dを所定の大
きさにすることによって、入力インピーダンスZinを、
信号入力側導体3の特性インピーダンスとほぼ同じに
し、且つリアクタンス成分をほぼ0とすることができ、
これによって、高周波帯でもリターンロスを大きくする
ことができるので、反射波を吸収して抑えることができ
る。
【0046】また、第1実施例で第2誘電体基板2bの
比誘電率εr を変化させたと同様に、直径Dを変化させ
る外部誘電体2の部分の比誘電率εr を変化させること
によっても信号入力側導体3側からみた膜抵抗器5側の
入力インピーダンスZinの抵抗成分(Ω)及びリアクタ
ンス成分(Ω)を変化させることができ、第1実施例と
同様な効果を得ることができる。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の膜抵抗終
端器によれば、高周波帯において信号入力側から見た膜
抵抗手段側の入力インピーダンスの抵抗成分を所定の抵
抗値にし、かつリアクタンス成分をほぼ0又は0にする
ことができるので、これによって、大きなリターンロス
を得ることができ、反射波を抑えることができる効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理図である。
【図2】本発明の第1実施例による膜抵抗終端器の構成
を示す概略斜視図である。
【図3】図2に示す第2誘電体基板の高さを変化させた
場合に、信号入力側から見た膜抵抗器側の入力インピー
ダンスの抵抗成分及びリアクタンス成分の変化を示す図
である。
【図4】本発明の第2実施例による膜抵抗終端器の構成
を示す概略斜視図である。
【図5】本発明の第3実施例による同軸線路型の膜抵抗
終端器を信号波が伝達する方向で切断した場合の断面図
である。
【図6】同軸線路型の膜抵抗終端器を図5に示す一点鎖
線Y−Y′で切断した場合の断面図である。
【図7】従来の膜抵抗終端器の構成を示す概略斜視図で
ある。
【図8】従来と実施例との膜抵抗終端器におけるリター
ンロスと入力信号の周波数との関係を示す図である。
【図9】負荷短絡の損失のある伝送路の入力インピーダ
ンスを説明するための図である。
【符号の説明】
1 接地導体 2a 第1誘電体基板 2b 第2誘電体基板 3 入力側のマイクロストリップ線路 4 マイクロストリップ線路 5 膜抵抗手段 6 接続リボン h1 第1誘電体基板の高さ h2 第2誘電体基板の高さ w1 入力側のマイクロストリップ線路の幅 L 膜抵抗手段の長さ w2 膜抵抗手段の幅

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1誘電体基板(2a)上に形成され、入力
    信号を伝搬するマイクロストリップ線路(3) と、該第1
    誘電体基板(2a)に接合した第2誘電体基板(2b)上に形成
    され、一端が該マイクロストリップ線路(3) の端に接続
    され、他端が接地された該入力信号を終端するための膜
    抵抗手段(5) とを有して成る膜抵抗終端器において、 前記第2誘電体基板(2b)の高さを、前記マイクロストリ
    ップ線路(3) 側から見た前記膜抵抗手段(5) 側の入力イ
    ンピーダンスの抵抗成分が所定の抵抗値となり、且つリ
    アクタンス成分が実質上零となるように構成したことを
    特徴とする膜抵抗終端器。
  2. 【請求項2】 前記第2誘電体基板(2b)の比誘電率を、
    前記マイクロストリップ線路(3) 側から見た前記膜抵抗
    手段(5) 側の入力インピーダンスの抵抗成分が所定の抵
    抗値となり、且つリアクタンス成分が実質上零となるよ
    うに構成したことを特徴とする請求項1記載の膜抵抗終
    端器。
  3. 【請求項3】 前記マイクロストリップ線路(3) 側から
    見た前記膜抵抗手段(5) 側の入力インピーダンスの抵抗
    成分がマイクロストリップ線路(3) の特性インピーダン
    ス値と実質上等しくなり、且つリアクタンス成分が実質
    上零となるようにするために、前記第2誘電体基板(2b)
    の高さを調整するか、或いは前記第2誘電体基板(2b)の
    比誘電率を調整するようにしたことを特徴とする請求項
    1又は2記載の膜抵抗終端器。
  4. 【請求項4】 前記膜抵抗手段(5) の抵抗成分が前記マ
    イクロストリップ線路(3) の特性インピーダンス値に実
    質上等しくなるように、該膜抵抗手段(5) の長さ(L) 、
    幅(W2)、及び面積抵抗率を定めたことを特徴とする請求
    項1又は2記載の膜抵抗終端器。
  5. 【請求項5】 前記膜抵抗手段(5) の幅(W2)を、前記マ
    イクロストリップ線路(3) の幅(W1)よりも大きくしたこ
    とを特徴とする請求項1又は2記載の膜抵抗終端器。
  6. 【請求項6】 誘電体の外周に形成され、かつ一端が信
    号導体に接合され、他端が接地された膜抵抗手段から成
    る同軸線路構造の内軸と、 該膜抵抗手段被覆部分の直径が、該信号導体から見た該
    膜抵抗手段側の入力インピーダンスの抵抗成分が該信号
    導体の特性インピーダンス値と実質上等しく、且つリア
    クタンス成分が実質上零となるように形成された誘電体
    被覆部とを具備して構成されたことを特徴とする膜抵抗
    終端器。
  7. 【請求項7】 前記誘電体被覆部の膜抵抗手段被覆部分
    の比誘電率を、該信号導体から見た該膜抵抗手段側の入
    力インピーダンスの抵抗成分が所定の抵抗値となり、且
    つリアクタンス成分が実質上零になるように構成したこ
    とを特徴とする請求項6記載の膜抵抗終端器。
  8. 【請求項8】 前記信号導体側から見た前記膜抵抗手段
    側の入力インピーダンスの抵抗成分が該信号導体の特性
    インピーダンス値と実質上等しく、且つリアクタンス成
    分が実質上零となるようにするために、前記誘電体被覆
    部の膜抵抗手段被覆部分の直径を調整するか、或いは前
    記誘電体被覆部の膜抵抗手段被覆部分の比誘電率を調整
    するようにしたことを特徴とする請求項6又は7記載の
    膜抵抗終端器。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7631422B2 (en) 2001-03-01 2009-12-15 Kanji Otsuka Method of manufacturing wiring substrate having terminated buses
JP2013187839A (ja) * 2012-03-09 2013-09-19 Mitsubishi Electric Corp マイクロ波終端器
EP4096014A4 (en) * 2020-01-22 2024-02-21 Kabushiki Kaisha Toshiba HIGH FREQUENCY TERMINATOR

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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