JPH05119028A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPH05119028A JPH05119028A JP3303775A JP30377591A JPH05119028A JP H05119028 A JPH05119028 A JP H05119028A JP 3303775 A JP3303775 A JP 3303775A JP 30377591 A JP30377591 A JP 30377591A JP H05119028 A JPH05119028 A JP H05119028A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- array
- scanning
- array transducer
- transducer group
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 １ラインの走査時間を短縮することができる
アレイ探触子の提供。 【構成】 アレイ探触子５は２つのレンズ面５ａ1 、５
ａ2 を有する音響レンズ５ａとアレイ振動子群５ｂ1 〜
５ｂ4 で構成される。アレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 は
レンズ面５ａ1 上に、アレイ振動子群５ｂ3 、５ｂ4 は
レンズ面５ａ2 上に配置されている。被検体１の１つの
走査ライン上にアレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 を位置さ
せて走査し、次いで当該走査ライン上にアレイ振動子群
５ｂ3 、５ｂ4 を位置させて走査する方法を繰返すこと
により、１つの走査ラインを複数のアレイ振動子群で同
時に走査するすることとなり、走査時間が短縮される。
アレイ探触子の提供。 【構成】 アレイ探触子５は２つのレンズ面５ａ1 、５
ａ2 を有する音響レンズ５ａとアレイ振動子群５ｂ1 〜
５ｂ4 で構成される。アレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 は
レンズ面５ａ1 上に、アレイ振動子群５ｂ3 、５ｂ4 は
レンズ面５ａ2 上に配置されている。被検体１の１つの
走査ライン上にアレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 を位置さ
せて走査し、次いで当該走査ライン上にアレイ振動子群
５ｂ3 、５ｂ4 を位置させて走査する方法を繰返すこと
により、１つの走査ラインを複数のアレイ振動子群で同
時に走査するすることとなり、走査時間が短縮される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアレイ振動子群を用いて
被検体を超音波走査する超音波探触子に関する。
被検体を超音波走査する超音波探触子に関する。
【０００２】
【従来の技術】超音波探触子は、超音波を発生させてこ
れを検査対象物体（被検体）に放射し、被検体からの反
射エコーを電気信号に変換する装置であり、変換された
電気信号をチェックすることにより被検体の欠陥や物性
等の検査が行われる。超音波探触子には、検査目的、被
検体の種類等に応じて種々の形態のものが使用される
が、平板状の被検体の面に沿う断面についての検査を行
う場合には、アレイ振動子群で構成される超音波探触子
（アレイ探触子）を用いるのが有効である。このような
アレイ探触子を図により説明する。
れを検査対象物体（被検体）に放射し、被検体からの反
射エコーを電気信号に変換する装置であり、変換された
電気信号をチェックすることにより被検体の欠陥や物性
等の検査が行われる。超音波探触子には、検査目的、被
検体の種類等に応じて種々の形態のものが使用される
が、平板状の被検体の面に沿う断面についての検査を行
う場合には、アレイ振動子群で構成される超音波探触子
（アレイ探触子）を用いるのが有効である。このような
アレイ探触子を図により説明する。
【０００３】図４は従来のアレイ探触子の斜視図であ
る。図で、１は被検体、２は被検体１を載置するＸＹテ
ーブルである。このＸＹテーブルは矢印に示すようにＸ
軸方向およびＹ軸方向に移動可能に構成されている。３
はアレイ探触子であり、音響レンズ３ａおよびアレイ振
動子群３ｂで構成されている。音響レンズ３ａは下面に
半円筒面（レンズ面）が形成され、これにより超音波を
焦点に収束させる。アレイ振動子群３ｂは音響レンズ３
ａの上面にその半円筒面の軸方向に沿って多数配列され
たアレイ振動子３ｂ1 、３ｂ2 、………………で構成さ
れている。これら各アレイ振動子には圧電素子が用いら
れ、又、アレイ探触子３はＺ軸（Ｘ軸、Ｙ軸に垂直な
軸）方向に移動可能に構成され、通常は水を介して被検
体１に対向している。
る。図で、１は被検体、２は被検体１を載置するＸＹテ
ーブルである。このＸＹテーブルは矢印に示すようにＸ
軸方向およびＹ軸方向に移動可能に構成されている。３
はアレイ探触子であり、音響レンズ３ａおよびアレイ振
動子群３ｂで構成されている。音響レンズ３ａは下面に
半円筒面（レンズ面）が形成され、これにより超音波を
焦点に収束させる。アレイ振動子群３ｂは音響レンズ３
ａの上面にその半円筒面の軸方向に沿って多数配列され
たアレイ振動子３ｂ1 、３ｂ2 、………………で構成さ
れている。これら各アレイ振動子には圧電素子が用いら
れ、又、アレイ探触子３はＺ軸（Ｘ軸、Ｙ軸に垂直な
軸）方向に移動可能に構成され、通常は水を介して被検
体１に対向している。
【０００４】上記アレイ探触子３の動作を図５、図６お
よび図７により説明する。図５は図４に示す装置の側面
図、図６は図４に示す装置の正面図である。各図で図４
に示す部分と同一部分には同一符号が付してある。Ｂは
アレイ振動子の励振によって生じる超音波ビームを示
し、Ｙ−Ｚ面においては図５に示すように音響レンズ３
ａのレンズ面により収束せしめられ、Ｘ−Ｚ面において
は図６に示すように収束せしめられる。このＸ−Ｚ面の
収束については後述する。なお、図６で破線は音響レン
ズのレンズ面頂部を示す。
よび図７により説明する。図５は図４に示す装置の側面
図、図６は図４に示す装置の正面図である。各図で図４
に示す部分と同一部分には同一符号が付してある。Ｂは
アレイ振動子の励振によって生じる超音波ビームを示
し、Ｙ−Ｚ面においては図５に示すように音響レンズ３
ａのレンズ面により収束せしめられ、Ｘ−Ｚ面において
は図６に示すように収束せしめられる。このＸ−Ｚ面の
収束については後述する。なお、図６で破線は音響レン
ズのレンズ面頂部を示す。
【０００５】図７はアレイ探触子３による被検体１の検
査の態様を説明する説明図である。例えばアレイ振動子
３ｂ1 、３ｂ2 、３ｂ3 、３ｂ4 を選択し、これらに時
間差をもって（アレイ振動子３ｂ1 、３ｂ4 に早くアレ
イ振動子３ｂ2 、３ｂ3 に遅れて）電圧を印加しこれら
を励振すると、これら各アレイ振動子から放射される超
音波は、みかけ上収束する超音波ビームＢ1 となる。次
に、アレイ振動子の選択を１つずらしてアレイ振動子３
ｂ2 〜３ｂ5 を選択し、同じ態様の時間差で励振すると
収束する超音波ビームＢ2 を発生する。このように順次
１つずつずらしてアレイ振動子を選択、励振してゆく
と、結果的に、被検体１の領域Ｙ1 のＸ軸方向のライン
Ｓに沿ってその矢印方向に超音波ビームによる走査が行
われたことになる。ＸＹテーブルをＹ軸方向にδＹだけ
移動させて同様の操作を行うことにより領域Ｙ2 の超音
波ビームによる走査が実施される。この動作を領域Ｙq
まで繰返すと、被検体１の検査対象表面の全領域の超音
波走査が完了する。
査の態様を説明する説明図である。例えばアレイ振動子
３ｂ1 、３ｂ2 、３ｂ3 、３ｂ4 を選択し、これらに時
間差をもって（アレイ振動子３ｂ1 、３ｂ4 に早くアレ
イ振動子３ｂ2 、３ｂ3 に遅れて）電圧を印加しこれら
を励振すると、これら各アレイ振動子から放射される超
音波は、みかけ上収束する超音波ビームＢ1 となる。次
に、アレイ振動子の選択を１つずらしてアレイ振動子３
ｂ2 〜３ｂ5 を選択し、同じ態様の時間差で励振すると
収束する超音波ビームＢ2 を発生する。このように順次
１つずつずらしてアレイ振動子を選択、励振してゆく
と、結果的に、被検体１の領域Ｙ1 のＸ軸方向のライン
Ｓに沿ってその矢印方向に超音波ビームによる走査が行
われたことになる。ＸＹテーブルをＹ軸方向にδＹだけ
移動させて同様の操作を行うことにより領域Ｙ2 の超音
波ビームによる走査が実施される。この動作を領域Ｙq
まで繰返すと、被検体１の検査対象表面の全領域の超音
波走査が完了する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記アレイ探触子３に
よるＸ軸方向の超音波走査に要する時間は、各アレイ振
動子の選択切換えおよび励振が電子的に行われるので、
極めて短時間である。このＸ軸方向の超音波走査をＹ軸
方向の機械的走査に対して電子走査と称している。とこ
ろで、被検体１が例えばＩＣパッケージのような大量生
産品であり、それらの検査が工程ラインを移動させなが
ら実施されるような場合で、特に検査ラインが他の工程
ラインに比較して遅い場合には、検査時間の短縮が生産
の効率向上に寄与することになる。しかし、電子走査の
速度には自ずから限界があり、ある速度以上に早くする
ことはできない。
よるＸ軸方向の超音波走査に要する時間は、各アレイ振
動子の選択切換えおよび励振が電子的に行われるので、
極めて短時間である。このＸ軸方向の超音波走査をＹ軸
方向の機械的走査に対して電子走査と称している。とこ
ろで、被検体１が例えばＩＣパッケージのような大量生
産品であり、それらの検査が工程ラインを移動させなが
ら実施されるような場合で、特に検査ラインが他の工程
ラインに比較して遅い場合には、検査時間の短縮が生産
の効率向上に寄与することになる。しかし、電子走査の
速度には自ずから限界があり、ある速度以上に早くする
ことはできない。
【０００７】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、電子走査の時間を短縮することができる超
音波探触子を提供するにある。
題を解決し、電子走査の時間を短縮することができる超
音波探触子を提供するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、多数のアレイ振動子を配列し、それらア
レイ振動子のうちの所定数を選択し、選択されたアレイ
振動子を所定の遅延時間関係で励振させて超音波ビーム
を発生させこれを被検体に放射し、前記アレイ振動子の
選択をずらしてゆくことにより前記超音波ビームを前記
アレイ振動子の配列方向に移動させて前記被検体を超音
波走査する超音波探触子において、前記多数のアレイ振
動子の配列より成るアレイ振動子群を少なくとも１つ前
記配列方向に空間をもって配置してアレイ振動子群列を
構成し、このアレイ振動子群列を複数列配置し、各アレ
イ振動子群列を構成するアレイ振動子群が他のアレイ振
動子群列の前記空間に対向するとともに他のアレイ振動
子群と重なることなく配置されていることを特徴とす
る。
め、本発明は、多数のアレイ振動子を配列し、それらア
レイ振動子のうちの所定数を選択し、選択されたアレイ
振動子を所定の遅延時間関係で励振させて超音波ビーム
を発生させこれを被検体に放射し、前記アレイ振動子の
選択をずらしてゆくことにより前記超音波ビームを前記
アレイ振動子の配列方向に移動させて前記被検体を超音
波走査する超音波探触子において、前記多数のアレイ振
動子の配列より成るアレイ振動子群を少なくとも１つ前
記配列方向に空間をもって配置してアレイ振動子群列を
構成し、このアレイ振動子群列を複数列配置し、各アレ
イ振動子群列を構成するアレイ振動子群が他のアレイ振
動子群列の前記空間に対向するとともに他のアレイ振動
子群と重なることなく配置されていることを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】各アレイ振動子群のアレイ振動子は複数ずつ選
択、励振され、これにより各アレイ振動子群において電
子走査が実施される。この場合、一列内のアレイ振動子
群相互間には間隔が置かれ、電子走査は途切れた状態で
行われるが、この途切れた部分は機械的走査（Ｙ軸方向
走査）毎に他のアレイ振動子群による電子走査で補わ
れ、結局、全てのアレイ振動子群による走査により１つ
の走査ラインの走査が完了する。各アレイ振動子群が同
時に励振されるので、電子走査の時間は大幅に短縮され
る。
択、励振され、これにより各アレイ振動子群において電
子走査が実施される。この場合、一列内のアレイ振動子
群相互間には間隔が置かれ、電子走査は途切れた状態で
行われるが、この途切れた部分は機械的走査（Ｙ軸方向
走査）毎に他のアレイ振動子群による電子走査で補わ
れ、結局、全てのアレイ振動子群による走査により１つ
の走査ラインの走査が完了する。各アレイ振動子群が同
時に励振されるので、電子走査の時間は大幅に短縮され
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。
する。
【００１１】図１は本発明の実施例に係る超音波探触子
の斜視図である。図で、図４に示す部分と同一部分には
同一符号が付してある。５は本実施例の超音波探触子で
あり、音響レンズ５ａおよびこの音響レンズ５ａ上に配
置されたアレイ振動子群５ｂで構成されている。音響レ
ンズ５ａはその下面に２つの半円筒面のレンズ面５
ａ1 、５ａ2 が形成されている。両レンズ面５ａ1 、５
ａ2 の軸は平行とされている。
の斜視図である。図で、図４に示す部分と同一部分には
同一符号が付してある。５は本実施例の超音波探触子で
あり、音響レンズ５ａおよびこの音響レンズ５ａ上に配
置されたアレイ振動子群５ｂで構成されている。音響レ
ンズ５ａはその下面に２つの半円筒面のレンズ面５
ａ1 、５ａ2 が形成されている。両レンズ面５ａ1 、５
ａ2 の軸は平行とされている。
【００１２】アレイ振動子群５ｂは、分割された４つの
アレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 、５ｂ3 、５ｂ4 で構成
され、アレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 はレンズ面５ａ1
上に一列に配置され、アレイ振動子群５ｂ3 、５ｂ4 は
レンズ面５ａ2 上に一列に配置されている。各アレイ振
動子群５ｂ1 、５ｂ2 、５ｂ3 、５ｂ4 を構成するアレ
イ振動子の数は必ず等しい必要はなく異なる数でも差し
支えない。アレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 の間およびア
レイ振動子群５ｂ2 の端部には空間があり、これらの空
間に対向してアレイ振動子５ｂ3 、５ｂ4 が配置されて
いる。即ち、各アレイ振動子群は互い違いに配置されて
いることとなる。レンズ面５ａ1 上に配置されたアレイ
振動子群５ｂ1 、５ｂ2 とレンズ面５ａ2 上に配置され
たアレイ振動子群５ｂ3 、５ｂ4 とは互いに相手列のア
レイ振動子群に対して一部重なりをもって配置されてい
るが、これは図７に示す説明図から明らかなように、超
音波ビームが収束することによる走査ラインの欠損を防
止するためのものである。図２は図１の側面図である。
アレイ振動子５ｂ1 、５ｂ3 の超音波ビームＢ11、Ｂ31
がそれぞれ音響レンズで収束されている状態が示されて
いる。
アレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 、５ｂ3 、５ｂ4 で構成
され、アレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 はレンズ面５ａ1
上に一列に配置され、アレイ振動子群５ｂ3 、５ｂ4 は
レンズ面５ａ2 上に一列に配置されている。各アレイ振
動子群５ｂ1 、５ｂ2 、５ｂ3 、５ｂ4 を構成するアレ
イ振動子の数は必ず等しい必要はなく異なる数でも差し
支えない。アレイ振動子群５ｂ1 、５ｂ2 の間およびア
レイ振動子群５ｂ2 の端部には空間があり、これらの空
間に対向してアレイ振動子５ｂ3 、５ｂ4 が配置されて
いる。即ち、各アレイ振動子群は互い違いに配置されて
いることとなる。レンズ面５ａ1 上に配置されたアレイ
振動子群５ｂ1 、５ｂ2 とレンズ面５ａ2 上に配置され
たアレイ振動子群５ｂ3 、５ｂ4 とは互いに相手列のア
レイ振動子群に対して一部重なりをもって配置されてい
るが、これは図７に示す説明図から明らかなように、超
音波ビームが収束することによる走査ラインの欠損を防
止するためのものである。図２は図１の側面図である。
アレイ振動子５ｂ1 、５ｂ3 の超音波ビームＢ11、Ｂ31
がそれぞれ音響レンズで収束されている状態が示されて
いる。
【００１３】ここで、本実施例の動作を図３に示す説明
図を参照しながら説明する。Ｙ1 〜Ｙq は図７に示すも
のと同じく被検体１の超音波走査対象領域を示す。本実
施例では各領域Ｙ1 〜Ｙq はそれぞれ４つの領域に区分
されている。例えば、領域Ｙ1 は４つの領域Ａ11、
Ａ13、Ａ12、Ａ14に区分されている。さらに、被検体１
の超音波走査対象領域外に、領域Ａ01、Ａ03、Ａ02、Ａ
04が想定されている。
図を参照しながら説明する。Ｙ1 〜Ｙq は図７に示すも
のと同じく被検体１の超音波走査対象領域を示す。本実
施例では各領域Ｙ1 〜Ｙq はそれぞれ４つの領域に区分
されている。例えば、領域Ｙ1 は４つの領域Ａ11、
Ａ13、Ａ12、Ａ14に区分されている。さらに、被検体１
の超音波走査対象領域外に、領域Ａ01、Ａ03、Ａ02、Ａ
04が想定されている。
【００１４】まず、ＸＹテーブル２により、アレイ振動
子群５ｂ1 が領域Ａ11に、アレイ振動子群５ｂ2 が領域
Ａ12に対向するように被検体１が移動せしめられる。こ
のとき、アレイ振動子群５ｂ3 は領域Ａ03に、アレイ振
動子群５ｂ4 は領域Ａ04にそれぞれ対向する位置にあ
る。この状態で各アレイ振動子群５ｂ1 〜５ｂ4 が同時
に励振せしめられ、電子走査が開始される。この電子走
査により、領域Ａ1 、Ａ03、Ａ12、Ａ04が走査される
が、領域Ａ03、Ａ04の超音波情報は領域外の情報である
ので捨てられる。アレイ振動子数が最も多いアレイ振動
子群の電子走査が終了すると、ＸＹテーブル２がＹ軸方
向に距離δＹだけ移動され、再び上記と同様の電子走査
が開始される。この場合、アレイ振動子群５ｂ1 は領域
Ａ21に、アレイ振動子群５ｂ2 は領域Ａ22に、アレイ振
動子群５ｂ3 は領域Ａ13に、アレイ振動子群５ｂ4 は領
域Ａ14にそれぞれ対向しており、それぞれ各対向する領
域の電子走査を行う。この状態で領域Ａ13、Ａ14が走査
され、これにより、領域Ｙ1 の電子走査が完全に終了す
ることとなる。
子群５ｂ1 が領域Ａ11に、アレイ振動子群５ｂ2 が領域
Ａ12に対向するように被検体１が移動せしめられる。こ
のとき、アレイ振動子群５ｂ3 は領域Ａ03に、アレイ振
動子群５ｂ4 は領域Ａ04にそれぞれ対向する位置にあ
る。この状態で各アレイ振動子群５ｂ1 〜５ｂ4 が同時
に励振せしめられ、電子走査が開始される。この電子走
査により、領域Ａ1 、Ａ03、Ａ12、Ａ04が走査される
が、領域Ａ03、Ａ04の超音波情報は領域外の情報である
ので捨てられる。アレイ振動子数が最も多いアレイ振動
子群の電子走査が終了すると、ＸＹテーブル２がＹ軸方
向に距離δＹだけ移動され、再び上記と同様の電子走査
が開始される。この場合、アレイ振動子群５ｂ1 は領域
Ａ21に、アレイ振動子群５ｂ2 は領域Ａ22に、アレイ振
動子群５ｂ3 は領域Ａ13に、アレイ振動子群５ｂ4 は領
域Ａ14にそれぞれ対向しており、それぞれ各対向する領
域の電子走査を行う。この状態で領域Ａ13、Ａ14が走査
され、これにより、領域Ｙ1 の電子走査が完全に終了す
ることとなる。
【００１５】上記の操作がＹ軸方向の移動毎に順次繰返
され、最後に、アレイ振動子群５ｂ1 が領域Ａ01に、ア
レイ振動子群５ｂ2 が領域Ａ02に、アレイ振動子群５ｂ
3 が領域Ａq3に、アレイ振動子群５ｂ4 が領域Ａq4にそ
れぞれ対向する位置において電子走査が実施される。こ
の場合、領域01、Ａ02の超音波情報は領域外の情報であ
るので捨てられる。この状態での電子走査が終了したと
き、被検体１の超音波走査対象領域の全走査が完了す
る。
され、最後に、アレイ振動子群５ｂ1 が領域Ａ01に、ア
レイ振動子群５ｂ2 が領域Ａ02に、アレイ振動子群５ｂ
3 が領域Ａq3に、アレイ振動子群５ｂ4 が領域Ａq4にそ
れぞれ対向する位置において電子走査が実施される。こ
の場合、領域01、Ａ02の超音波情報は領域外の情報であ
るので捨てられる。この状態での電子走査が終了したと
き、被検体１の超音波走査対象領域の全走査が完了す
る。
【００１６】このように、本実施例では、アレイ振動子
群を４つに分割して電子走査を行うようにしたので、１
つの走査ラインの走査時間を大幅に短縮することができ
る。そして、Ｙ軸方向の寸法が大きくなればなるほど、
領域外Ａ01、Ａ02、Ａ03、Ａ04の走査時間の全走査時間
に占める割合が小さくなり、その場合には、一走査ライ
ンに要する時間は従来のほぼ１／４となる。
群を４つに分割して電子走査を行うようにしたので、１
つの走査ラインの走査時間を大幅に短縮することができ
る。そして、Ｙ軸方向の寸法が大きくなればなるほど、
領域外Ａ01、Ａ02、Ａ03、Ａ04の走査時間の全走査時間
に占める割合が小さくなり、その場合には、一走査ライ
ンに要する時間は従来のほぼ１／４となる。
【００１７】なお、上記実施例の説明では、アレイ振動
子群を４つに分割し、１列に２つずつ２列構成した例に
ついて説明したが、これに限ることはなく、列の数を３
列以上でとすることもでき、又、１列に配置されるアレ
イ振動子群の数も２つでなく、他の列のアレイ振動子群
が存在しない空間の状態に応じて、１つ又は３つ以上と
することができる。
子群を４つに分割し、１列に２つずつ２列構成した例に
ついて説明したが、これに限ることはなく、列の数を３
列以上でとすることもでき、又、１列に配置されるアレ
イ振動子群の数も２つでなく、他の列のアレイ振動子群
が存在しない空間の状態に応じて、１つ又は３つ以上と
することができる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明では、アレイ
振動子群を複数列に分割配置するようにしたので、電子
走査の所要時間を大幅に短縮することができる。
振動子群を複数列に分割配置するようにしたので、電子
走査の所要時間を大幅に短縮することができる。
【図１】本発明の実施例に係る超音波探触子の斜視図で
ある。
ある。
【図２】図１に示す超音波探触子の側面図である。
【図３】図１に示す超音波探触子の動作を説明する説明
図である。
図である。
【図４】従来の超音波探触子の斜視図である。
【図５】図４に示す超音波探触子の側面図である。
【図６】図４に示す超音波探触子の正面図である。
【図７】図４に示す超音波探触子の動作を説明する説明
図である。
図である。
１ 被検体 ２ ＸＹテーブル ５ 超音波探触子 ５ａ 音響レンズ ５ｂ1 〜５ｂ4 アレイ振動子群
Claims (1)
- 【請求項１】 多数のアレイ振動子を配列し、それらア
レイ振動子のうちの所定数を選択し、選択されたアレイ
振動子を所定の遅延時間関係で励振させて超音波ビーム
を発生させこれを被検体に放射し、前記アレイ振動子の
選択をずらしてゆくことにより前記超音波ビームを前記
アレイ振動子の配列方向に移動させて前記被検体を超音
波走査する超音波探触子において、前記多数のアレイ振
動子の配列より成るアレイ振動子群を少なくとも１つ前
記配列方向に空間をもって配置してアレイ振動子群列を
構成し、このアレイ振動子群列を複数列配置し、各アレ
イ振動子群列を構成するアレイ振動子群が他のアレイ振
動子群列の前記空間に対向するとともに他のアレイ振動
子群と重なることなく配置されていることを特徴とする
超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3303775A JPH05119028A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3303775A JPH05119028A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05119028A true JPH05119028A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17925140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3303775A Pending JPH05119028A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05119028A (ja) |
-
1991
- 1991-10-24 JP JP3303775A patent/JPH05119028A/ja active Pending
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