JPH0498876A - Cmos master slice - Google Patents

Cmos master slice

Info

Publication number
JPH0498876A
JPH0498876A JP21648790A JP21648790A JPH0498876A JP H0498876 A JPH0498876 A JP H0498876A JP 21648790 A JP21648790 A JP 21648790A JP 21648790 A JP21648790 A JP 21648790A JP H0498876 A JPH0498876 A JP H0498876A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
basic
body contact
gate width
mos transistor
master slice
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP21648790A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2505306B2 (en
Inventor
Masaaki Naruishi
成石 正明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Steel Corp filed Critical Kawasaki Steel Corp
Priority to JP2216487A priority Critical patent/JP2505306B2/en
Priority to US07/743,089 priority patent/US5187556A/en
Priority to CA002048963A priority patent/CA2048963A1/en
Priority to KR1019910013961A priority patent/KR920005332A/en
Priority to EP19910307483 priority patent/EP0471559A3/en
Publication of JPH0498876A publication Critical patent/JPH0498876A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2505306B2 publication Critical patent/JP2505306B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable a CMOS master slice to be remarkably lessened in area by a method wherein a body contact is provided to the vertical center of each side of a basic cell, and the body contacts of the adjacent basic cells are formed into an integral structure. CONSTITUTION:The gate width W2 of an additional MOS transistor is so set as to satisfy a formula, W2<=(W1-alpha)/2, where W1 denotes the gate width of a basic MOS transistor and alpha is the vertical length of body contacts 24-27. Therefore, the body contacts 24-27 are provided to the vertical centers of the lateral sides of the basic MOS transistors, whereby additional MOS transistors can be provided on both the vertical sides of a body contact within a range of a gate width W1.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ゲートアレー型LSIに用いられるマスタス
ライスに関するものであり、特に、pチャネルMOSト
ランジスタとnチャネルMOSトランジスタとを組み合
わせて基本セルを構成し、この基本セルを規則的に配列
したCMOSマスタスライスに関するものである。
Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a master slice used in a gate array type LSI, and in particular, to a master slice used in a gate array type LSI. The invention relates to a CMOS master slice in which the basic cells are arranged regularly.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第2図は従来のCMOSマスタスライスの一部を示す平
面図である。この例では、基板の導電型はn型であり、
部分的にp型のウェル領域4が形成されている。ここで
は3個の基本セル1.2.3が示されており、基本セル
2と3の間にはボディーコンタクト部5および6が設け
られている。
FIG. 2 is a plan view showing a portion of a conventional CMOS master slice. In this example, the conductivity type of the substrate is n-type,
A p-type well region 4 is partially formed. Three elementary cells 1.2.3 are shown here, between which body contacts 5 and 6 are provided.

各基本セル1〜3において、上半分にはn型基板上に2
個のpチャネルMOSトランジスタが形成されており、
下半分にはp型ウェル領域4上に2個のnチャネルMO
3I−ランジスタが形成されている。なお、梨地て示し
た部分は各MO5I−ランジスタのゲート電極である。
In each basic cell 1 to 3, the upper half has two
p-channel MOS transistors are formed,
In the lower half, two n-channel MOs are placed on the p-type well region 4.
3I-transistors are formed. It should be noted that the portion shown with a matte finish is the gate electrode of each MO5I-transistor.

ボディーコンタクト部5および6は、基板およびウェル
領域4をそれぞれ電源電圧VddおよびGNDに設定す
るために設けられた電源配線との接続部である。基板お
よびウェル領域4をそれぞれ電源電圧VddおよびGN
Dに設定するのは、ラッチアップ現象を防止するためで
ある。
Body contact portions 5 and 6 are connection portions with power supply wiring provided to set the substrate and well region 4 to power supply voltage Vdd and GND, respectively. The substrate and well region 4 are connected to power supply voltages Vdd and GN, respectively.
The reason for setting it to D is to prevent the latch-up phenomenon.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

ところで、上述のような従来のCMOSマスタスライス
においてラッチアップ現象を有効に防止するためには、
数基本セル毎(第2図では3基本セル毎)にボディーコ
ンタクト部のための専用領域を確保する必要があった。
By the way, in order to effectively prevent the latch-up phenomenon in the conventional CMOS master slice as described above,
It was necessary to secure a dedicated area for the body contact portion every several basic cells (every three basic cells in FIG. 2).

しかし、このようなボディーコンタクト部のためだけの
領域の存在は、単位面積当たりの基本セル数の減少させ
ることになり、集積効率を悪化させる原因となっていた
However, the existence of such a region solely for the body contact portion reduces the number of basic cells per unit area, causing a deterioration in integration efficiency.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記課題を解決するために本発明のCMOSマスタスラ
イスは、各基本セルのpチャネルMOSトランジスタ領
域およびnチャネルMO3I−ランジスタ領域のそれぞ
れについて、ゲート幅かWlの基本MOSトランジスタ
と、この基本MOSトランジスタのゲート長方向(左右
方向)両側のゲート幅方向(上下方向)中央に配置され
上下方向の長さがαのボディーコンタクト部と、このボ
ディーコンタクト部の上下一方または両方に配置されゲ
ート幅かW (ここで、W2≦(Wl−α)/2)の付
加MOSトランジスタとを備えているものである。
In order to solve the above problems, the CMOS master slice of the present invention has a basic MOS transistor with a gate width of Wl, and a basic MOS transistor with a gate width of Wl for each of the p-channel MOS transistor region and n-channel MO3I-transistor region of each basic cell. A body contact part is placed at the center of the gate width direction (vertical direction) on both sides of the gate length direction (left and right direction) and has a length α in the vertical direction, and a body contact part is placed on one or both of the top and bottom of this body contact part and has a gate width W ( Here, it is provided with an additional MOS transistor of W2≦(Wl-α)/2).

〔作用〕[Effect]

ボディーコンタクト部が各基本セル毎に設けられている
ので、従来のようにボディーコンタクト部のためだけの
領域を基本セルとは別に設ける必要がない。
Since the body contact portion is provided for each basic cell, there is no need to provide a region just for the body contact portion separately from the basic cell as in the conventional case.

また、ボディーコンタクト部が各基本セルの左右両側で
且つ上下方向の中央部に設けられているのて、左右に隣
接する基本セルのボディーコンタクト部同士を一体化さ
せることができる。隣同士のボディーコンタクト部を一
体化して1個当たりの面積を2倍にすれば、基本セル中
に占めるボディーコンタクト部の面積比率をさらに小さ
くできる可能性かある。
Furthermore, since the body contact portions are provided on both left and right sides of each basic cell and at the center in the vertical direction, the body contact portions of left and right adjacent basic cells can be integrated with each other. If adjacent body contact portions are integrated to double the area per unit, it is possible that the area ratio of the body contact portions in the basic cell can be further reduced.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の一実施例であるCMOSマスタスライ
スの基本セルを示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a basic cell of a CMOS master slice according to an embodiment of the present invention.

基本セル10は、ゲート電極12〜17で示される6個
のnチャネルMOSトランジスタと、ゲート電極18〜
23で示される6個のpチャネルMOSトランジスタを
有する。これらnチャネルMO3トランジスタとpチャ
ネルMO8I−ランジスタとは、ゲート幅方向(図面の
上下方向)において図示のように各々が鏡面対象に配置
されている。ゲート電極14と16の間、ゲート電極1
5と17の間、ゲート電極20と22の間、ゲート電極
21と23の間にはそれぞれボディーコンタクト部24
.25.26.27が形成されている。
Basic cell 10 includes six n-channel MOS transistors indicated by gate electrodes 12 to 17, and gate electrodes 18 to 17.
It has six p-channel MOS transistors indicated by 23. These n-channel MO3 transistors and p-channel MO8I-transistors are each arranged mirror-symmetrically in the gate width direction (vertical direction of the drawing) as shown. Between gate electrodes 14 and 16, gate electrode 1
5 and 17, between gate electrodes 20 and 22, and between gate electrodes 21 and 23, body contact portions 24 are provided, respectively.
.. 25, 26, and 27 are formed.

ボディーコンタクト部24.25には、pウェル領域1
1の電位を低電位側電源電圧GNDにするための電源配
線か接続され、ボディーコンタクト部26.27には、
基板電位を高電位側電源電圧Vddにするための配線が
接続される。
The body contact portions 24 and 25 include the p-well region 1.
1 is connected to the power supply wiring for making the potential of the power supply voltage GND on the low potential side power supply voltage GND, and the body contact portions 26 and 27 are connected to
Wiring for setting the substrate potential to the high potential side power supply voltage Vdd is connected.

ゲート電極12.13.18および19で示される4個
のMOSトランジスタは、ゲート長方向(図面上の左右
方向)に関して基本セル10の中央部に位置することか
ら、ここでは基本MOSトランジスタと呼ぶことにし、
その両側にあるゲート幅の短いゲート電極14〜17.
20〜23で示される8個のMOSトランジスタを付加
MOSトランジスタと呼ぶことにする。すなわち、配線
トラック31から35の中の外側の2本の配線トラック
31および35上に配置されている8個のMOSトラン
ジスタを付加MOSトランジスタ、それより内側の配線
トラック32および34上に配置されている4個のMO
Sトランジスタを基本MOSトランジスタと呼ぶことに
する。
The four MOS transistors indicated by the gate electrodes 12, 13, 18 and 19 are located at the center of the basic cell 10 in the gate length direction (horizontal direction in the drawing), so they are referred to as basic MOS transistors here. west,
Gate electrodes 14 to 17 with short gate widths on both sides thereof.
The eight MOS transistors 20 to 23 will be referred to as additional MOS transistors. That is, eight MOS transistors placed on the two outer wiring tracks 31 and 35 among the wiring tracks 31 to 35 are added to the additional MOS transistors, and eight MOS transistors are placed on the inner wiring tracks 32 and 34. There are 4 MOs
The S transistor will be called a basic MOS transistor.

付加MOSl−ランジスタのゲート幅W2は、基本MO
Sトランジスタのゲート幅をWl、ボディーコンタクト
部24〜27の図面上下方向の長さをαとしたときに、 W2≦(W、−α)/2 を満足する値となっている。したがって、ボディーコン
タクト部24〜27を図示のように基本MOSトランジ
スタの左右においてゲート幅方向(上下方向)の中央部
に配置することによって、基本MOSトランジスタのゲ
ート幅W1の範囲内で、その上下両側に付加MOSトラ
ンジスタを配置することができる。
The gate width W2 of the additional MOS l-transistor is the basic MO
When the gate width of the S transistor is Wl, and the length of the body contact portions 24 to 27 in the vertical direction in the drawing is α, the value satisfies W2≦(W, −α)/2. Therefore, by arranging the body contact parts 24 to 27 at the center in the gate width direction (vertical direction) on the left and right sides of the basic MOS transistor as shown in the figure, it is possible to An additional MOS transistor can be placed in the.

また、ボディーコンタクト部24〜27は左右に隣接す
る基本セル36.37のボディーコンタクト部と一体化
している。換言すると、ボディーコンタクト部24.2
6は基本セル10の領域を越えてそれぞれ左方向に延び
て、基本セル36のボディーコンタクト部としても用い
られ、同様に、ボディーコンタクト部25.27はそれ
ぞれ右方向に延びて基本セル37のボディーコンタクト
部としても用いられる。このように、互いに隣接した基
本セルによって、ボディーコンタクト部を共用すると、
1個当たりのボディーコンタクト部の面積を広くするこ
とができる。別の見方をすれば、ボディーコンタクト部
として必要な1個当たりの最小面積か決まっていてボデ
ィーコンタクト部ノ面積がこの条件に支配されていると
すると、一体化することにより基本セル中に占めるボデ
ィーコンタクト部の面積を2分の1にすることができる
Further, the body contact portions 24 to 27 are integrated with the body contact portions of the basic cells 36 and 37 adjacent to each other on the left and right. In other words, the body contact portion 24.2
6 extend to the left beyond the area of the basic cell 10 and are also used as body contact portions of the basic cell 36, and similarly, body contact portions 25 and 27 each extend to the right and contact the body of the basic cell 37. Also used as a contact part. In this way, when the body contact part is shared by mutually adjacent basic cells,
The area of each body contact portion can be increased. From another perspective, if the minimum area required for each body contact part is determined and the area of the body contact part is governed by this condition, then by integrating the body The area of the contact portion can be halved.

すべての基本セルにおいて、隣接した基本セルのボディ
ーコンタクト部同士を互いに共通化(−体化)するには
、ボディーコンタクト部が左右対象に配置されているこ
とが必要であるが、この実施例では、すべてのボディー
コンタクト部が基本MOSトランジスタに対してゲート
幅方向の中央に位置しているので、これを満足する。
In all basic cells, in order to make the body contact parts of adjacent basic cells common to each other (unification), it is necessary that the body contact parts are arranged symmetrically, but in this example, This is satisfied because all the body contact portions are located at the center in the gate width direction with respect to the basic MOS transistor.

なお、本実施例ではボディーコンタクト部24〜27の
それぞれにおいて、その上下両側に付加MOSトランジ
スタが設けられているが、上部または下部のいずれか一
方であってもよい。
In this embodiment, additional MOS transistors are provided on both upper and lower sides of each of the body contact parts 24 to 27, but they may be provided on either the upper or lower side.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明のCMOSマスタスライス
によれば、ボディーコンタクト部が基本セル毎に形成さ
れているので、ボディーコンタクト部のためだけの専用
の領域を基本セルとは別に設ける必要がない。したがっ
て、面積の大幅な減少を図ることができる。
As explained above, according to the CMOS master slice of the present invention, the body contact portion is formed for each basic cell, so there is no need to provide a dedicated area for the body contact portion separately from the basic cell. . Therefore, the area can be significantly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例であるCMOSマスタスライ
スの基本セルを示す平面図、第2図は従来のCMOSマ
スタスライスの基本セルを示す平面図である。 10.36.37・・・基本セル、11・・・p型ウェ
ル領域、12.13・・・nチャネル基本MOSトラン
ジスタのゲート、14〜17・・・nチャネル付加MO
Sトランジスタ、18.19・・・pチャネル基本MO
3トランジスタのゲート、20〜23・・・pチャネル
付加MO5I−ランジスタ、24〜27・・・ボディー
コンタクト部。 実施例 嘱1図
FIG. 1 is a plan view showing a basic cell of a CMOS master slice according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing a basic cell of a conventional CMOS master slice. 10.36.37... Basic cell, 11... P-type well region, 12.13... Gate of n-channel basic MOS transistor, 14-17... N-channel additional MO
S transistor, 18.19...p channel basic MO
3 gates of transistors, 20-23... p-channel addition MO5I-transistors, 24-27... body contact portions. Figure 1 of Example

Claims (1)

【特許請求の範囲】 複数のpチャネルMOSトランジスタとnチャネルMO
Sトランジスタで基本セルが構成され、その基本セルが
規則的に多数個配列されて成るCMOSマスタスライス
において、 前記基本セルは、pチャネルMOSトランジスタ領域お
よびnチャネルMOSトランジスタ領域のそれぞれにつ
いて、 ゲート幅がW_1の基本MOSトランジスタと、この基
本MOSトランジスタのゲート長方向(左右方向)両側
のゲート幅方向(上下方向)中央に配置され上下方向の
長さがαのボディーコンタクト部と、このボディーコン
タクト部の上下一方または両方に配置されゲート幅がW
_2(ここで、W_2≦(W_1−α)/2)の付加M
OSトランジスタとを備えていることを特徴とするCM
OSマスタスライス。
[Claims] Plural p-channel MOS transistors and n-channel MOS
In a CMOS master slice in which a basic cell is constituted by S transistors and a large number of the basic cells are regularly arranged, the basic cell has a gate width of a p-channel MOS transistor region and an n-channel MOS transistor region, respectively. A basic MOS transistor W_1, a body contact part located at the center in the gate width direction (vertical direction) on both sides of the gate length direction (horizontal direction) of this basic MOS transistor and having a length α in the vertical direction; Gate width is W
Addition M of _2 (where W_2≦(W_1-α)/2)
A commercial characterized by being equipped with an OS transistor.
OS master slice.
JP2216487A 1990-08-13 1990-08-17 CMOS master slice Expired - Fee Related JP2505306B2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2216487A JP2505306B2 (en) 1990-08-17 1990-08-17 CMOS master slice
US07/743,089 US5187556A (en) 1990-08-13 1991-08-09 Cmos master slice
CA002048963A CA2048963A1 (en) 1990-08-13 1991-08-12 Cmos master slice
KR1019910013961A KR920005332A (en) 1990-08-13 1991-08-13 CMOS Master Slice
EP19910307483 EP0471559A3 (en) 1990-08-13 1991-08-13 Cmos master slice

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2216487A JP2505306B2 (en) 1990-08-17 1990-08-17 CMOS master slice

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0498876A true JPH0498876A (en) 1992-03-31
JP2505306B2 JP2505306B2 (en) 1996-06-05

Family

ID=16689204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2216487A Expired - Fee Related JP2505306B2 (en) 1990-08-13 1990-08-17 CMOS master slice

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2505306B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5574298A (en) * 1994-06-30 1996-11-12 Texas Instruments Incorporated Substrate contact for gate array base cell and method of forming same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH023279A (en) * 1988-06-20 1990-01-08 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Standard cell of complementary mis master slice lsi
JPH02177456A (en) * 1988-12-28 1990-07-10 Oki Electric Ind Co Ltd Gate array basic cell

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH023279A (en) * 1988-06-20 1990-01-08 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Standard cell of complementary mis master slice lsi
JPH02177456A (en) * 1988-12-28 1990-07-10 Oki Electric Ind Co Ltd Gate array basic cell

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5574298A (en) * 1994-06-30 1996-11-12 Texas Instruments Incorporated Substrate contact for gate array base cell and method of forming same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2505306B2 (en) 1996-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5444275A (en) Radial gate array cell
JPH0997885A (en) Gate array
JP2004104128A (en) Sram device formed on soi substrate
US6486007B2 (en) Method of fabricating a memory cell for a static random access memory
JPH07106438A (en) Semiconductor integrated circuit device
US9455273B2 (en) Semiconductor device
KR100388868B1 (en) Semiconductor memory device
US5187556A (en) Cmos master slice
JPH0498876A (en) Cmos master slice
US5300790A (en) Semiconductor device
JPS6386559A (en) Semiconductor storage device
EP0486699B1 (en) Semiconductor device
US5629537A (en) Semiconductor device
JPH0496370A (en) Cmos master slice
JPH04151870A (en) Cmos gate array
JP2510040B2 (en) CMOS master slice
JPH02268464A (en) Basic cell of gate array
JPH0290675A (en) Semiconductor integrated circuit device
JPH05136382A (en) Complementary gate array
JPS6396940A (en) Macro logic array
JPH07105479B2 (en) Clip method in gate array master slice integrated circuit device
JPS6272143A (en) Pattern formation of semiconductor integrated circuit
JPH04318777A (en) Driving circuit
JPH0828482B2 (en) Clip method in gate array master slice integrated circuit device
JPH03123058A (en) Semiconductor integrated circuit

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees