JPH0488650A - 試験装置及び試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［目次］ ・概要 ・産業上の利用分野 ・従来の技術（第５図） ・発明が解決しようとする課題 ・課題を解決するための手段 ・作用 ・実施例（第１図〜第４図） ・発明の効果 〔概要〕 試験装置及び試験方法に関し、更に詳しく言えば、半導
体装置のスクリーニングや信穀度試験を行うための試験
装置及び試験方法に関し、試験条件の設定時などに人間
が介在するために起こるエラーを防止することのできる
半導体試験装置及び試験方法を提供することを目的とし
、被試験体が設置される被試験体設置具と、前記被試験
体設置具に設置された被試験体を試験する試験手段とを
具備し、前記被試験体設置具に取りつけられ、前記被試
験体に対応する電気的に読み取り可能な識別符号を発生
して前記試験手段に供与する識別符号発生手段を含み構
成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、試験装置及び試験方法に関し、更に詳しく言
えば、半導体装１のスクリーニングや寿命試験を行うた
めの試験装置及び試験方法に関する。

近年、市場ではより信頼度の高い半導体装置が要求され
ており、出荷の際の初期不良の除去や信転度予測等行う
必要から個々のデバイスについてバーンイン試験が行わ
れている。そして、これに用いる試験装置について、デ
バイスの多様化による試験条件の多様化及びコンピュー
タの普及に伴い、自動化の要望が強まりつつある。

［従来の技術］ 従来例について第５図を参照しながら説明する。

同図は、従来例のバーンイン試験装置の構成を示すブコ
ノク図である。

同図において、１は半導体装置を設置するバーンインボ
ード、ソケットが複数差べられ、これらのソケットに試
験される半導体装置を挿入する。

２は試験部で、半導体装置が設置されたバーンインボー
ドＩを入れる恒温槽３と、この恒温槽３の温度を制御す
る温度制御部４と、半導体装１に直流或いはパルスを含
む交流の電圧又は電流を供給する電源部５と、半導体装
置のバーンインボード１への設置異常、例えば接触不良
などを検出し、ホストコンピュータ７へ知らせる異常検
出部６とからなる。また、７は外部から人手を介して予
め所定の試験条件を入力し、この試験条件に基づき試験
部２を制御するホストコンピュータ、８は試験の経過時
間を計量するタイマ一部、９はキーボードや表示装置を
含む入出力部で、ホストコンピュータ７と接続されてい
る。

次に、このようなバーンイン試験装置を用いて行う試験
方法について同図を参照しながら説明する。

まず、半導体装置をバーンインボードｌのソケットに挿
入した後、このバーンインボード１を恒温槽３内に設置
する。

次いで、半導体装置に対応する試験条件、例えば恒温槽
３の温度、半導体装置の各端子に対応する端子番号、半
導体装！に印加する電流又は電圧、試験時間、タイミン
グ情報をホストコンピュータ７に入力する。

次に、ホストコンピュータ７から各半導体装置に与えた
信号を再度ホストコンピュータ７が確認することにより
半導体装置のバーンインボード１のソケットへの設置状
態の異常の′４ｉｆｙ！＃、例えば接触状態の良否を調
査する。異常がある場合は、半導体装置を試験用ボード
１のソケットへ設置し直す。

次いで、入力された試験条件に基づいてホストコンピュ
ータ７から恒温槽３の温度制御部４に信号を与えて恒／
ＩＡ槽３を所定の温度に保持するとともに、ホストコン
ピュータ７からｔｌｆｆ部５に信号を与えて半導体装置
に電圧又は電流を供給し、前記タイマ一部６により経過
時間を計量しながら試験を開始する。

次に、タイマ一部６からの経過時間データに基づく所定
時間経過の後、ホストコンビエータ７から試験部２に停
止信号を送り試験を停止する。

（発明が解決しようとする課題］ ところで、ホストコンピュータ７に入力する試験条件、
例えば恒温槽３の温度、半導体装置の各端子に対応する
端子番号、半導体袋１に印加する電流又は電圧、試験時
間、タイミング情報などは試験される半導体装置毎に異
なっており、かつ人手を介して入力される。このため、
近年の半導体装置の多品種化に伴い、管理が容易では無
くなり、最悪の場合、試験条件が誤って入力されること
がある。このため、半導体装７を破壊してしまうという
問題がある。

本発明は、かかる従来例の問題点に鑑みてなされたもの
であって、試験条件の設定時などに人間が介在するため
に起こるエラーを防止することのできる半導体試験装置
を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段］ 上記課題は、第１に、複数の半導体装置を設置するバー
ンインボードと、恒温槽に複数の前記バーンインボード
を搭載する試験部と、該試験部を制御する制御部とを有
するバーンイン装置であって、該試験部は、前記バーン
インボードに取り付けられた識別符号発生手段の識別符
号を読み取る識別符号読み取り部を有し、該制御部は該
識別符号を受けて、該識別符号に対応するバーンイン時
間、バーンイン温度、半導体装置ピン位置情報、クロッ
クパルスタイミング情報、印加する電源電圧情報のうち
少なくとも１つの情報を自動的に設定してバーンインを
行うことを特徴とする試験装置によって解決され、 第２に、第１の発明に記載の識別符号発生手段がダイオ
ードマトリックス、ＲＯＭ　（Ｒｅａｄ　ＯｎｌｙＭｅ
Ｉｌｏｒｙ）　、又はディンブスイ・ンチからなること
を特徴とする試験装置によって解決され、第３に、第１
の発明に君己載の試験装置を用いて行う半導体装１のバ
ーンイン方法において、前記半導体装置に対応する電気
的に読み取り可能な識別符号を検出してこの識別符号に
対応する試験条件を自動的に設定し、その後設定された
試験条件に基づいてバーンインを行うことを特徴とする
試験方法によって解決される。

〔作用］ 本発明の試験装置及び試験方法によれば、半導体装置を
設置するバーンインボードにこの半導体装置に対応する
識別符号を発生する識別符号発生手段を有し、この識別
符号がバーンインボードの設置されたバーンイン装置に
供与され、この識別符号に対応する試験条件を自動的に
設定するようにしているので、人手を介さずに確実に試
験条件の設定を行うことができる。

特に、識別符号発生手段としてＲＯＭ、ダイオードマト
リクス及びデイツプスイッチなどを用いることにより、
電気的に簡単に読み取ることができる。

これにより、エラーを大幅に低減することができる。

〔実施例］ 以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。

第１図は、本発明の実施例の試験装置の構成について示
すブロック図で、図中符号工０は半導体装置１１を設置
するバーンインボードで、試験される半導体装置に対応
する識別符号を発生するＥＦＲＯＭ　（識別符号発生手
段）１８を有する。

また、２７はバーンイン装置で試験部１２と制御部２２
とから構成される。

更に、試験部１２は、半導体装置１１が設置されたバー
ンインボード１０を入れる恒温槽１３と、この恒温槽１
３の温度を制御する温度制御部１４と、半導体装置１１
に直流或いはパルスを含む交流の電圧又は電流を供給す
るｔＲ部１５と、半導体装置のバーンインボードｌＯへ
の設置異常、例えば接触不良やソケットの端子と半導体
装置のピンとの不一致などを検出し、ホストコンピュー
タ１９へ知らせる異常検出部１６と、識別符号発生手段
１日の識別符号を読み取る識別符号読取り部１７とから
なる。

また、制御部２２は、予め前記識別符号に対応する所定
の試験条件が記憶されたホストコンピュータ１９と、試
験の経過時間を計量するタイマー部２０と、キーボード
や表示装置を含む入出力部２１とからなり、ホストコン
ピュータ１９は、前記識別符号読取り部１７に読み取ら
れた識別符号を検出し、この識別符号に対応する試験条
件に基づき試験部１２を制御する。

第２図は、本発明の実施例に係るバーンインボ−ド１０
の詳細を説明する平面図で、図中符号２３は接続端子２
４ａ〜２４ｈを介して試験部１２と接続する接続部であ
る。これらの接続端子２４ａ〜２４ｈの中、数個の端子
を利用してＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　Ｐｒｏ
ｇｒａｍａｂｌｅ　Ｒｅａｄ　０ｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ
　　：　識別符号発生手段）１８が接続され、これらの
端子を介してＥＦＲＯＭｌＢから第１図の識別符号読取
り部１７に識別符号が読み取られる。更に、他の端子を
介して電源部１５から試験条件に基づいて電圧や電流が
半導体装置１１に供給される。

また、第３図は、本発明の実施例に係るバーンイン試験
装置を具体的に示す斜視図で、恒温槽１３と制御部２２
／温度制御部１４／電源部１５／異常検出部１６／ｇｉ
別符号読取り部エフとが一体的に作製されている。図中
符号２５は恒温槽１３と制御部２２／温度制御部１４／
電源部１５／異常検出部１６／！！別符号読取り部１７
とを断熱するための断熱ゴムからなる断熱壁、２６はバ
ーンインボード１０の接続部２３を挿入して電源部１５
／異常検出部１６／１Ｉｌｉ別符号読取り部１７と接続
するために断熱壁２５に設けられた接続部挿入口で、こ
れによりＥＰＲＯＭＩ８等を熱から保護する。

次に、このようなバーンイン試験装置を用いて行う本発
明の実施例の試験方法について第１図〜第４図を参照し
ながら説明する。第４図にこの試験方法のフローチャー
トを示す。

まず、半導体装置１１をバーンインボード１０のソケッ
トに挿入した（第２図）後、この試験用ボード１０を恒
温槽１３の断熱壁２５の接続部挿入口２６を介して電源
部１５／異常検出部１６／識別符号読取り部１７と接続
する。

次に、バーンインボード１０に取りつけられたＥＦＲＯ
ＭｌＢから識別符号読取り部１７が識別符号を読み取る
。

次いで、読み取られた識別符号をホストコンピュータ１
９が識別符号読取り部１７から受取り、識別符号に対応
する、即ち試験しようとする半導体装′ｌ１１１に対応
する試験条件をホストコンピュータ１９の記憶部から読
み出す。必要な試験条件として、例えば試験時間、恒温
槽１３の温度、半導体装１１１の各端子番号と端子の機
能、半導体装置１１に印加する電流又は電圧の値、及び
これらの電流又は電圧の印加のタイミング情報などがあ
る。

次に、上記の試験条件に基づき、ホストコンピュータ１
９の指示により電源部１５から各半導体装置１１に与え
た検出信号を異常検出部１６を介して再度ホストコンピ
ュータ１９が確認することにより半導体装置１１の試験
用ボード１０のソケットへの設置状態の異常のを無、例
えば接触状態の良否や半導体装置１１の各端子が接続す
べきソケットの端子と正常に対応しているか否か等を調
査する。異常がある場合は、半導体装置１１をバーンイ
ンボード１０のソケットへ設置し直す。

次いで、読み出された試験条件に基づいてホストコンピ
ュータ１９から恒温槽１３の温度制御部１４に命令信号
を与えて恒温槽１３を所定の温度に保持するとともに、
ホストコンピュータ１９から電源部工５に命令信号を与
えて半導体装置１１に所定の電圧又は電流を供給し、前
記タイマ一部２０により経過時間を計量しながら試験を
開始する。

次に、タイマ一部２０からの経過時間データに基づく所
定時間経過の後、ホストコンピュータ１９から試験部１
２に停止信号を送り、試験を停止する。

以上のように、本発明の実施例の試験装置及び試験方法
によれば、試験しようとする半導体装置１１が設！され
るバーンインボード１０にこの半導体装置１１と対応す
る電気的に読み取り可能な識別符号を発生するＥＰＲＯ
ＭＩ　８が取りつけられている。そして、予め種々の半
導体装置に対応する試験条件の記憶されたホストコンピ
ュータ１９が試験開始前にこの識別符号を読み取り、こ
れらの試験条件のうちからこの識別符号に対応する試験
条件を読み出すようにしているので、人手を介さずに確
実に試験条件の設定を行うことができる。

これにより、エラーを大幅に低減することができる。

なお、本発明の実施例では、識別符号発生手段としてＥ
ＦＲＯＭ１８を用いているが、ダイオードマトリクスや
更に簡単なワイヤのみを用いて作成されたマトリンクス
、或いはディップスイ・７チなと電気的に読み取り可能
な他の手段を用いることもできる。

また、ＥＦＲＯＭ２８には識別符号のデータのみメモリ
しているが、このほかに試験条件そのものをメモリして
おき、ホストコンピュータ１９にこれを転送することに
より半導体嘘中１１に対応する試験条件を設定すること
も可能である。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明の試験装置及び試験方法によれば
、半導体装置を設置するバーンインボードに半導体装置
と対応する識別符号を発生する識別符号発生手段を存し
、試験手段を構成する予め試験条件の記憶された例えば
ホストコンピュータがこれを読み取り、識別符号に対応
する試験条件を設定しているので、人手を介さずに碑′
￥にＪλ騒条件の設定を行うことができる。

特に、ＲＯＭ、ダイオードマトリクス及びデイツプスイ
ンチなどを用いることにより、電気的に簡単に読み取る
ことができる。

これにより、エラーを大幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例のバーンイン試験装置の構成
を示すブロック図、 第企図は、本発明の実施例に係るバーンインボードの平
面図、 第３図は、本発明の実施例のバーンイン試験装置の斜視
図、 第４図は、本発明の実施例の試験方法について説明する
フローチャート、 第５図は、従来例のバーンイン試験装置の構成を示すブ
ロック図である。 〔符号の説明］ １、工０・・・バーンインボード、 ２．１２・・・試験部、 ３．１３・・・恒温槽、 ４．１４・・・温度制御部、 ５．１５・・・電源部、 ６．１６・・・異常検出部、 ７・・・ホストコンピュータ、 ８．２０・・・タイマ一部、 ９．２１・・・人出力部、 １１・・・半導体装置、 １８・・・ＥＦＲＯＭ　（識別符号発生手段）、２２・
・・制御部、 ２３・・・接続部、 ２４　ａ　〜２４　ｈ−接続端子ａ−ｈ、２５・・・断
熱壁、 ２６・・・接続部挿入口、 ２７・・・バーンイン装置。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の半導体装置を設置するバーンインボードと
   、恒温槽に複数の前記バーンインボードを搭載する試験
   部と、該試験部を制御する制御部とを有するバーンイン
   装置であって、 該試験部は、前記バーンインボードに取り付けられた識
   別符号発生手段の識別符号を読み取る識別符号読み取り
   部を有し、 該制御部は該識別符号を受けて、該識別符号に対応する
   バーンイン時間、バーンイン温度、半導体装置ピン位置
   情報、クロックパルスタイミング情報、印加する電源電
   圧情報のうち少なくとも１つの情報を自動的に設定して
   バーンインを行うことを特徴とする試験装置。
2. （２）請求項１記載の試験装置を用いて行う半導体装置
   の試験方法において、 前記半導体装置に対応する電気的に読み取り可能な識別
   符号を検出してこの識別符号に対応する試験条件を自動
   的に設定し、その後設定された試験条件に基づいてバー
   ンインを行うことを特徴とする試験方法。