KR100271104B1 - 반도체식 논리회로 기판 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 원자력 발전소의 원격제어설비로 사용되고 있는 반도체식 논리회로 계통(Solide State Interposing Logic System : SSILS)를 구성하는 각종 전자회로 기판의 기능의 이상 유무를 검사하는 검사장치에 관한 것으로 반도체식 논리회로를 구성하는 각종 전자회로 기판은 수많은 반도체 소자로 구성되어 있어 신뢰성과 안전성을 생명으로 하는 원자력 발전소에 각각의 구성소자의 오동작으로 인한 파급 효과는 대단히 위협적인 것이며, 안전을 저해하는 요인이 되고 있다.

종래의 수작업에 의한 기판의 시험은 막대한 인력 및 시간의 소모를 초래하여 그 작업이 대단히 비경제적이며 비능률적이었다.

본 발명은 주제어장치에 연결되어 검사자가 제어 명령을 전달하고 검사자의 판단에 해당된 응답을 주제어장치에 전달하기 위한 입력장치; 검사장치를 구동하며, 각 피검사기판의 양부를 판별하고 검사의 진행 상황을 검사자에게 알려주는 기능을 하는 주제어장치; 상용 전원에서 전원을 공급받아 상기 주제어장치의 제어에 의해 기판의 검사에 필요한 수종의 직류 및 교류 전원을 변환하는 전원장치; 상기 주제어장치의 제어명령에 따라 완충기판에 대해 설정된 입력조건을 인가하여 출력 값을 주제어장치에 전달하는 완충기판 제어부; 상기 주제어장치의 제어명령에 따라 논리기판을 제어하고 기준전압과 비교 분석하는, 논리기판 제어부; 상기 주제어장치로 부터 제어신호를 입력받아 특수기능 기판을 제어하고 상기 특수기능 기판으로부터 응답 신호를 받아 상기 주제어장치에 전달하여 기준신호와 비교분석하는 특수기판 제어부; 피시험 기판을 상기 기판 제어부에 각각 접속기키고, 기판종류 자동식별 장치 및 기판삽입 검출장치를 포함하여 기판의 종류를 자동으로 인식하며, 기판 삽입 및 제거를 자동으로 할 수 있는 기판 접속부; 및 주제어장치에 의해 판별된 기판의 검사 결과를 출력하는 출력부로 구성된 것이다.

Description

반도체식 논리회로 기판 검사장치

본 발명은 반도체식 논리회로기판의 검사장치에 관한 것으로 특히, 원자력 발전소의 원격제어설비로 사용되고 있는 반도체식 논리회로 계통(Solide State Interposing Logic System : SSILS)를 구성하는 각종 전자회로 기판(이하, 기판)의 기능의 이상 유무를 검사하는 검사장치에 관한 것이다.

반도체식 논리회로를 구성하는 각종 전자회로 기판은 수많은 반도체 소자로 구성되어 있어 신뢰성과 안전성을 생명으로 하는 원자력 발전소에 각각의 구성소자의 오동작으로 인한 파급 효과는 대단히 위협적인 것이며, 안전을 저해하는 요인이 되고 있다.

도 1은 종래의 수동식 검사장치를 사용한 검사 실시도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래에 반도체식 논리회로를 구성하는 기판의 성능을 검사하는 것으로는 본 SSILS를 제작한 제작사에서 공급한 수동식 시험기가 있다.

그러나, 이는 이미 고장으로 판명된 기판등, 극히 제한적인 범위의 기판 검사에만 사용되고 있었다.

또한, 이러한 수작업에 의한 기판의 시험은 막대한 인력 및 시간의 소모를 초래하여 그 작업이 대단히 비경제적이며 비능률적이었다.

또한, 수작업에 의한 검사를 수행하므로 각 검사자의 숙련도와 기능에 따라 검사의 결과가 상이하게 되므로 검사의 결과를 신뢰할 수 없다는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 종래 장치에 비해 능률적이고 신뢰할 수 있는 반도체식 논리회로 기판을 자동으로 검사하는 반도체식 논리회로 기판 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 수동식 검사장치를 사용한 검사 실시도.

도 2는 본 발명에 따른 검사장치의 내부 구성도.

도 3은 본 발명에 따른 검사장치의 실시도.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판접속의 구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 주제어장치2 : 프로그램제어식 전원공급장치

3 : 완충기판 제어부4 : 논리기판 제어부

5 : 특수기판 제어부6 : 완충기판 접속부

7 : 논리기판 접속부8 : 특수기판 접속부

9 : A/D 변환장치 10 : 전원공급장치 제어부

11 : 모니터 수단 12 : 입력장치

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 주제어장치에 연결되어 주제어장치에 검사자가 제어에 관한 명령을 전달하거나 검사자의 판단요구에 대한 응답을 전달하는 입력부; 입력부의 전달신호에 따라 검사장치를 구동하며, 각 피검사기판의 양부를 판별하고 검사의 진행 상황을 검사자에게 알려주는 기능을 하는 주제어장치; 상용 전원에서 전원을 공급받아 상기 주제어장치의 제어에 의해 기판의 검사에 필요한 수종의 직류 및 교류 전원을 변환하는 전원장치; 상기 주제어장치의 제어명령에 따라 완충기판에 대해 설정된 입력조건을 인가하여 출력 값을 주제어장치에 전달하는 완충기판 제어부; 상기 주제어장치의 제어명령에 따라 논리기판을 제어하고 기준전압과 비교 분석하는, 논리기판 제어부; 상기 주제어장치로 부터 제어신호를 입력받아 특수기능 기판을 제어하고 상기 특수기능 기판으로부터 응답 신호를 받아 상기 주제어장치에 전달하여 기준신호와 비교분석하는 특수기판 제어부; 피시험 기판을 상기 기판 제어부에 각각 접속시키고, 기판종류 자동식별 장치 및 기판삽입 검출장치를 포함하여 기판의 종류를 자동으로 인식하며, 기판 삽입 및 제거를 자동으로 할 수 있는 기판 접속부; 및 주제어장치에 의해 판별된 상기 기판의 검사 결과를 출력하는 출력부로 구성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 검사장치의 내부 구성도이다.

도 2를 참조로 한 본 검사장치의 구성을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 입력장치(12)는, 주제어장치(1)에 연결되어 주제어장치(1)에 검사자가 제어에 관한 명령을 전달하거나 본 검사장치가 피검사 기판을 검사하는 중에 검사자의 판단을 요구하는 경우에 해당하는 응답을 주제어장치(1)에 전달한다. 이러한 입력장치(12)로는, 일반 컴퓨터용 자판이나, 터치스크린, 마우스, 바코드 리더, 스캐너 등을 사용할 수 있다.

이러한 입력장치(12)에 연결된 주제어장치(1)는 본 실시예에서는 IBM 호환 PC를 사용하였지만, 휴대용 PC, VME 버스 등 기타 유효한 수단을 사용하여 재구성 되어질 수 있는 것으로서, 입력장치(12)의 입력 명령 및 응답 신호에 따라 본 검사 장치를 구동하고, 각 피검사 기판의 양부를 판별하고, 검사의 진행상황을 검사자에게 모니터 수단(11)을 통해 알려준다.

전원장치는, 전원공급장치 제어부(10)와 프로그램 제어식 전원공급장치(2)로 구성되어 있다. 그 전원공급장치 제어부(10)는 상기 주제어장치(1)의 제어에 따라 상용 전원에서 전원을 공급 받아 출력을 제어해준다. 그리고 프로그램에 의해 원격조정이 가능한 프로그램 제어식 전원공급장치(2)는, 전원공급장치 제어부(10)에 연결되어 전원공급장치 제어부(10)에서 출력된 전원을 공급받아 기판의 검사에 필요한 수종의 직류 및 교류 전원으로 변환하여 완충기판 접속부(6), 논리기판 접속부(7) 및 특수기판 접속부(8)에 공급하는 장치로서 상기 주제어장치(1)의 제어에 의해 공급되는 전원의 전압 및 종류를 가변할 수 있다.

본 실시예에서 프로그램제어식 전원공급장치(2)는 19″ 표준 랙(rack)에 부착 할 수 있도록 모듈형으로 제작하였다.

또한, 프로그램 제어식 전원공급장치(2)는 상기 주제어장치(1)로 부터 디지탈 신호를 받아 지정된 전압의 전원을 안정하게 공급하며 전압의 변경시 0.5초 이내에 지정된 전압에 도달할 수 있도록 설계되었고, 상기 주제어장치(1)와의 연결용 단자 1개를 장치하였으며, 입력 및 각 출력에는 과전압 또는 과전류로부터 장치를 보호하기 위해 퓨즈 및 과부하 차단장치를 사용하였다.

그리고, A/D 변환장치(9)는, 아날로그 버퍼 및 멀티플렉서를 사용하고, 상기 주제어장치(1)에 연결되고, 완충 기판 접속부(6), 논리기판 접속부(7) 및 특수기판 접속부(8)와 완충기판 제어부(3), 논리기판 제어부(4) 및 특수기판 제어부(5)를 통해 받은 피검사 기판의 검사 결과의 값이 아날로그 신호일 경우 이를 디지털 신호로 변환시켜 주제어장치(1)에 전달한다. 이러한 A/D 변환장치(9)는, 4비트의 디지털 신호를 출력하여 멀티플렉서를 동작시키고 특정의 아날로그 신호를 선택한 후 12비트의 해상도로 A/D변환기능을 수행한다.

완충기판의 검사를 위한 완충기판 제어부(3)는 본 실시예에서는 PC 내장형 기판의 형태로 설계 제작되었으며, 상기 주제어장치(1)의 제어명령에 따라 완충기판에 대해 설정된 입력조건을 인가하여 피검사 기판의 검사 결과값을 주제어장치에 전달하는 역할을 한다.

또한, 완충기판 제어부(3)는 소자의 미소한 열화정도 및 실제 동작점 측정, 입출력회로의 잡음과 누설저항을 모의, 출력회로 단락시 회로의 건전성 시험, 입력에 상응하는 출력전압 및 전류 측정, 논리기판의 내부의 논리전압(+12V)의 측정(레귤레이터 건전성 확인), 피검사 기판의 소비전류 측정, 기판 종류 식별 및 경보 등의 기능을 수행할 수 있다.

다용도 논리기판의 검사를 위한 논리기판 제어부(4)는 본 실시예에서는 PC내장형 기판 형태로 설계 제작되었으며 상기 주제어장치(1)로부터 제어신호를 받아 논리기판을 제어하고 논리기판으로부터의 응답신호를 상기 주제어장치(1)에 전달하여 기준전압과 비교 분석하는 부분이다.

상기 논리기판 제어부(4)는 최고 2㎒까지의 클럭펄스 제공, 출력을 주제어 장치(1)의 디지탈 I/O포트로 전송, 각종 논리기판의 입력회로 모의 및 출력 검사, 논리기판의 종류 식별 및 오삽입 경보 등의 부가 기능을 수행할 수 있다.

기타 피검사 기판중의 하나인 특수기판의 검사를 위한 특수기판 제어부(5)는 본 실시예에서는 PC 내장형 기판 형태로 설계 제작되었으며 상기 주제어장치(1)로부터 제어신호를 받아 특수기능 기판을 제어하고 기판으로부터 응답신호를 받아 상기 주제어장치(1)에 전달하여 기준신호와 비교 분석하는 부분이다.

피검사 기판을 본 검사장치에 접속하기 위한 완충기판 접속부(6), 논리기판 접속부(7) 및 특수기판 접속부(8)는 SSILS 카드 전용 커넥터를 사용하여 제작되며 기판종류 자동식별 장치 및 기판삽입 검출장치를 부착하여 기판의 종류를 자동으로 인식할 수 있으며, 기판삽입 및 제거를 자도으로 검출할 수 있는 구조로 되어 있으며, 오삽입에 의한 기판 손상을 억제할 수 있도록 되어있다.

본 실시예에서, 커넥터 어셈블리는 SSILS 카드 시험기 전(MFRP/N:KV8900-1) 제품을 사용하여 제작하였다.

핀 사이의 결선은 양면 PCB 기판을 제작하여 납땜 처리하였다.

상기 주제어장치(1)로 사용된 PC와의 연결은 전용 커넥터를 PCB상에 취부한 트위스티드 페어 플렛 케이블(twisted pair plat cable)을 사용하였다.

논리기판 종류 식별센서를 커넥터 어셈블리에 부착하고, FBM(Field Buffer Module) 및 CBM(Control Buffer Module) 시험 커넥터 어셈블리에는 카드 식별 핀의 해당 핀을 플러깅하여 종류를 자동 식별함과 동시에 오삽입에 의한 카드 손상을 최대한 억제하였다.

검사 결과를 출력하는 출력부로서 모니터, 프린터 등을 사용할 수 있다.

즉, 검삭상태를 감시 또는 제어하기 위한 모니터 수단(11)으로서, 14″ 컬러 모니터를 장치의 상단부에 장치하고 있다. 이러한 모니터 수단(11)은 주제어장치(1)에 연결되어 주제어장치의 검사 결과를 검사자에게 알려주는 것으로서, 본 장치를 휴대형으로 재구성하는 경우는 칼러 LCD 디스플레이 장치 등을 사용할 수 있다.

검사의 결과를 인쇄하기 위한 수단으로 범용의 A4 용지 이상을 사용할 수 있는 고속 페이지 프린터를 제공하고있다.

상기 주제어장치(1)에 탑재되어 본 검사장치를 구동하는 프로그램은 주 프로그램과 검사결과 관리 프로그램등으로 구성된다.

주 프로그램은 검사 순서에 따라 기판을 검사하여 고장이거나 또는 고장으로 천이될 우려가 있는지를 판별하여 검사자에게 알려주는 기능을 수행한다.

상기한 주 프로그램의 세부 구성을 보면, 크게 사용자 식별부, 기판종류 자동 식별부, 절차서 자동선택 및 구동부, 검사모드 선택부, 검사정보 입력부, 디지털 검사장치 구동부, 아날로그 검사장치 구동부, 딥(DIP) 스위치 검사부, 수동 스위치 검사부, 저항비 측정부, 전원장치 제어부 등으로 이루어져 있다.

각 부분은 피검사 기판 검사 중에는 상호 유기적으로 동작하며, 동작의 순서를 살펴보면, 본 검사장치를 기동하고, 주 프로그램을 기동시키면 사용자 확인을 요구하고, 사용자 확인이 끝나면, 검사 프로그램이 검사 대기 상태가 된다.

검사 대기상태에서는 기판의 삽입 여부를 감시하고 있다가 기판이 삽입되면 자동 감지장치가 기판의 종류를 자동으로 판별하여 해당 기판의 검사 절차서를 선택하여 기동한 뒤 검사대기상태가 된다.

자료관리를 위하여 검사할 피검사 기판에 관한 정보를 입력장치(12)를 통하여 입력하고, 검사모드를 선택하면 각 검사장치가 구동 가능한 상태로 준비되어 사용자가 검사시작을 지시하기를 기다린다.

사용자가 검사시작을 입력장치를 통하여 지시하면 필요에 따라 디지털 검사 장치 구동부, 아날로그 검사장치 구동부, 딥 스위치 검사부, 수동 스위치 검사부, 저항비 측정부, 전원장치 제어부 등이 상호 유기적으로 동작하여 절차에 따라 기판의 검사를 실시하고 그 결과를 사용자에게 알려준다.

검사 결과에 따라 사용자는 결과물을 인쇄하거나 데이터베이스에 저장하는 등의 결과처리를 선택하면 검사가 종료되며, 본 검사장치는 새로운 검사를 위해 대기상태가 된다. 사용자는 필요에 따라 몇 번이라도 재검사를 지시할 수도 있다.

이러한 주 프로그램은 본 실시예의 검사장치에 의해 구동하며, 각 피검사기판의 양부를 판별하고 검사의 진행상황을 모니터 장치를 통하여 검사자에게 알려주는 기본 기능 외에도, 기판의 삽입여부를 자동 감지하고 기판이 오삽입될 경우를 검출하여 경보를 발생하며, 삽입된 기판의 종류를 자동으로 식별하는 기능을 내장 하고 있으며, 피검사 기판의 소비 전류 및 클럭주파수를 자동 측정하여 기록하고, 시험결과의 자동저장, 조회, 검사결과 보고서 및 분석 내용을 인쇄하는 기능과, 고장 기판을 정밀하게 분석하고 수리하는데 필요한 정보를 제공하는 수리모드 기능등 다양한 기능을 내장할 수 있다.

한편, 검사결과 관리 프로그램은 상기 주 프로그램에 의한 검사의 결과를 저장하고 데이터베이스화하여 사후에 검사 결과를 조회하여 인쇄하거나 분석할 수 있도록 한다. 이러한 검사결과 관리 프로그램은 시험결과의 조회, 검사결과 보고서 및 분석 내용의 인쇄 기능 등 다양한 기능을 내장할 수 있다.

상기한 검사결과 관리 프로그램을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

즉, 검사결과 관리 프로그램은 각종 검사결과 데이터를 데이터베이스에 저장 하여 관리하며 검사결과를 검색하는 기능을 제공하며, 각종 보고서를 생성하는 기능을 하는 프로그램으로 이력관리 데이터베이스부, 검사결과 및 점검이력 검색부, 검사결과 데이터 백업부, 검사절차 데이터베이스 관리부, 각종 보고서 생성부 등으로 구성되어 있다.

위에서, 이력관리 데이터베이스부는 검사한 기판에 관한 각종 정보와 검사결과를 저장하는 부분이며, 검사결과 및 점검이력 검색부는 사용자가 요구하는 각종 검색조건에 따라 얻어진 다양한 결과를 각종 모니터 수단(11)을 통해 조회하거나 보고서 형태로 인쇄하여 볼 수 있도록 하는 사용자 인터페이스를 제공한다.

그리고 검사결과 데이터 백업부는 검사결과 데이터를 CD-ROM, 테잎 등의 각종 보조 기억장치를 이용하여 별도로 저장하여 주 데이터베이스의 손상이 있을 경우 복구수단을 제공하는 부분이다.

검사절차 데이터베이스 관리부는 각종 기판의 검사절차를 저장하는 부분으로 조회 및 수정 기능을 제공한다.

각종 보고서 생성부는 검사이력, 검사결과표, 각종 검색결과 보고서 등의 양식을 제공하며, 사용자의 요구에 따라 결과물을 생성하는 부분이다.

상술한 내용에 따라 완충기판을 피검사 기판으로 한 본 검사장치의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 검사자가 입력장치(12)를 사용하여 구동명령을 주제어장치(1)에 보내어 본 검사장치를 구동시킨다. 이에 따라 상술한 주프로그램이 가동되면서 검사자 확인을 요구하고, 검사자 확인이 끝나면 검사프로그램이 검사대기 상태가 된다.

검사대기 상태에서는 피검사 기판의 삽입여부를 감시하고 있다가 기판이 삽입되면 각 기판접속부(6, 7, 8)의 자동감지장치가 기판의 종류를 자동으로 판별하여 해당 기판의 검사 절차서를 선택하여 기동한 뒤 검사대기 상태가 된다.

이때, 자료관리를 위하여 검사할 기판에 관한 정보를 입력장치(12)를 통하여 입력하고, 검사모드를 선택하면 각 검사장치가 구동 가능한 상태로 준비되어 검사자가 검사시작을 지시하기를 기다린다. 검사자가 검사시작을 입력장치를 통하여 지시하면 필요에 따라 디지털 검사장치 구동부, 아날로그 검사장치 구동부, 딥 스위치 검사부, 수동 스위치 검사부, 저항비 측정부, 전원장치 제어부 등이 상호 유기적으로 동작하여 검사절차에 따라 완충 기판 제어부(3)와 전원공급장치 제어부(10)를 통하여 프로그램 제어식 전원공급장치(2)에 제어신호를 전달하고, 완충 기판 제어부(3)는 완충기판 접속부(6)를 통하여 모의 신호를 제공하고 그 결과를 피검사 기판으로부터 제공받아 주제어장치(1)로 전달한다. 이때의 검사결과 값이 아날로그 신호일 경우에는 A/D 변환장치(9)에 신호를 제공하여 디지털 값으로 변환한 후에 주제어장치(1)에 전달한다.

프로그램 제어식 전원공급장치(2)는 전원공급장치 제어부(10)를 통한 제어신호에 따라 완충기판 접속부(6)를 통하여 피검사 기판에게 지정된 전원을 공급하거나 중단한다.

주제어장치(1)는 제공받은 검사결과를 미리 프로그램된 검사절차에 따라 양부를 판정하여 모니터 수단(11)에 표시하고 검사자의 지시에 따라 검사결과를 인쇄 하거나 데이터베이스에 저장하는 등의 결과처리를 선택하면 검사가 종료되며, 검사 장치는 완충기판 제어부(3), 논리기판 제어부(4) 및 특수기판 제어부(5)와 프로그램 제어식 전원공급장치(2), 주 프로그램을 초기화하고 새로운 검사를 위해 대기상태가 된다.

상기 완충기판에 대한 실시예와 마찬가지로, 논리기판의 검사 실시예에 따른 검사장치의 동작은 논리기판 제어부(4)와 논리기판 접속부(7)를 통하여 상기의 절차를 거쳐 검사가 이루어지며, 특수기판의 검사 실시예에 따른 검사장치의 동작은 특수기판 제어부(5)와 특수기판 접속부(8)를 통하여 이루어지는 것만 다르며 기타 동작은 동일하다.

도 3은 본 발명에 따른 검사장치의 실시도이다.

도 3에 도시되어 있는 외함은 각 구성부분을 수납, 설치하는 것으로 운반이 용이하도록 하단에 운반용 바퀴와 검사시 본 외함의 유동을 방지하기 위한 고정 볼트를 장치하고 있으며 상단에는 아이(eye) 볼트가 장치된 구조이다.

상기 주제어장치(1)는 점검 또는 보수의 용이성을 위하여 슬라이드 레일(slide rail)을 사용하여 고정하고 보통 사용할 때는 전면에서 볼트로 고정하여 유동을 방지할 수 있도록 하였다.

19″랙(rack) 뒷문 하단부에는 에어 필터를 장착하여 냉각공기의 유입을 원활히 하고, 먼지의 유입을 방지하였다.

본 장치의 주 전원은 적절한 용량의 노이즈 필터를 거쳐 상기 각 부에 공급되도록 하였다.

도 4는 발명의 실시예에 따른 기판접속의 구성도이다.

본 장치를 사용하여 피검사 기판의 고장해소시 정비의 편의를 제공하기 위한 DMM 또는 스코프 메터는 외장형 또는 내장형의 형태로 제공되는데, 본 실시예에서는 외장형 DMM을 장착하고 있다.

상기한 바와 같은 본 발명에 의하여 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 반도체식 논리회로 기판의 검사가 검사장치에 의해 자동으로 수행되어 질 수 있으므로 인력과 시간을 절약하게 되어 대단히 경제적이고 능률적이다.

둘째, 검사의 결과가 검사자의 능력에 좌우됨이 없이 항상 동일하게 되므로 검사의 결과를 초래할 수 있다.

셋째, 본 발명에 따른 자동검사장치를 이용하면 점검 및 정비 능력이 15배에서 60배까지 향상되어 신속 정확한 고장 진단 및 정비가 가능하여, 정기적인 시험 검사를 통한 반도체식 논리회로 기판의 건전성 확보가 가능하다.

넷째, 고장으로 판명된 기판의 정비 결과의 적합성 여부를 즉시 확인할 수 있으므로 정비의 편리성이 증대된다.

다섯째, 검사 결과를 고속 대용량의 저장 매체에 데이터 베이스화하여 저장 관리하므로 과학적이고 체계적인 관리가 가능하며 관리의 용이성이 증대된다.

Claims (7)

1. 검사장치를 구동하며, 각 피검사기판의 양부를 판별하고 검사의 진행 상

   황을 검사자에게 알려주는 기능을 하는 주제어장치;

   상용 전원에서 전원을 공급받아 상기 주제어장치의 제어에 의해 기판의 검사에 필요한 수종의 직류 및 교류 전원으로 변환하는 전원장치;

   상기 주제어장치의 제어명령에 따라 완충기판에 대해 설정된 입력조건을 인가하여 출력값을 주제어장치에 전달하는 완충기판제어부;

   상기 주제어장치의 제어명령에 따라 논리기판을 제어하고 논리기판으로부터 응답신호를 받아 상기 주제어장치에 전달하여 기준전압과 비교 분석하는 , 논리기판 제어부;

   상기 주제어장치로부터 제어신호를 입력받아 특수기능 기판을 제어하고 상기 특수기능 기판으로부터 응답 신호를 받아 상기 주제어장치에 특수기판 제어부;

   피시험 기판을 상기 기판 제어부에 접속하고, 기판종류 자동식별장치 및 기판삽입 검출 장치를 포함하여 기판을 종류를 자동으로 인식하며, 기판 삽입 및 제거를 자동으로 할 수 있는 기판 접속부; 및

   검사 결과를 출력하는 출력부로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체식 논리회로기판 검사장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 주제어장치에 기판 검사의 결과를 저장하고 데이터 베이스화하여 사후에 검사 결과를 조회하여 인쇄하거나 분석할 수 있도록 하는 기능을 부가한 것을 특징으로 하는 반도체식 논리회로기판 검사장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 완충기판 제어부는 소자의 미소한 열화정도 및 실제 동작점 측정, 입력회로의 잡음과 누설저항을 모의, 출력회로 단락시 회로의 건전성 시험, 입력에 상응하는 출력 전압 및 전류 측정, 논리기판의 주파수 측정, 논리기판 내부의 논리전압 측정, 피검사 기판의 소비전류 측정, 기판 종류 식별 및 경보의 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체식 논리회로 기판 검사장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 논리기판 제어부가 각종 논리기판의 입력회로 모의 및 출력 검사, 논리기판의 종류 식별 및 오삽입 경보의 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체식 논리회로기판 검사 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판 접속 고정부가 클럭펄스 제공, 각종 논리기판의 입력회로 모의 및 출력 검사, 논리기판의 종류 식별 및 오삽입 경보의 기능을 부가하여 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체식 논리회로기판 검사장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   피시험 기판의 고장해소시 정비의 편의를 제공하기 위한 DMM 또는 스코프 메터를 부가하는 것을 특징으로 하는 반도체식 논리회로기판 검사장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   하단에 설치되어 운반이 용이하도록 하기 위한 운반용 바퀴 및 검사시에 유동을 방지하기 위한 고정볼트가 장치되고, 상단에 아이볼트가 장치되며,

   상기 구성부분을 수납 및 설치하기 위한 외함을 부가하는 것을 특징으로 하는 반도체식 논리회로기판 검사장치.

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