JPH0486710A - 光フアイバー入射器 - Google Patents
光フアイバー入射器Info
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- JPH0486710A JPH0486710A JP20111790A JP20111790A JPH0486710A JP H0486710 A JPH0486710 A JP H0486710A JP 20111790 A JP20111790 A JP 20111790A JP 20111790 A JP20111790 A JP 20111790A JP H0486710 A JPH0486710 A JP H0486710A
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- optical fiber
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 33
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 5
- 210000002445 nipple Anatomy 0.000 abstract description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 3
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Landscapes
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- Lasers (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は光ファイバー入射器に係り、特に高出力のレー
ザ発振器に用いられる光ファイバー入射器に関する。
ザ発振器に用いられる光ファイバー入射器に関する。
[従来の技術]
従来より、レーザー発振器から出力されるレーザー光を
所要の部位に伝搬する伝搬手段として光ファイバーが用
いられる。この光ファイバーは光ファイバーの入射手段
を介してレーザー発振器に接続されてレーザー装置とし
て構成されて、例えば出力が100ワツトクラスの高出
力レーザー装置であるNd−YAGレーザー装置は材料
加工用や医療器向は用等に使用される。
所要の部位に伝搬する伝搬手段として光ファイバーが用
いられる。この光ファイバーは光ファイバーの入射手段
を介してレーザー発振器に接続されてレーザー装置とし
て構成されて、例えば出力が100ワツトクラスの高出
力レーザー装置であるNd−YAGレーザー装置は材料
加工用や医療器向は用等に使用される。
第1図はレーザー光の伝搬用の光ファイバーの先端部の
中心断面図であり、特に高出力レーザー装置に用いられ
る光ファイバーの一例を示している。本図において、外
直径が400〜600μmのコア4は石英からなり、そ
の外周面を被覆するように所定厚さを有する樹脂製のク
ラッド5が設けられており高精度、高仕上げ精度で加工
される端面3aに対して図中の破線図示のレーザー光2
を入光させて他端に伝搬するものである。このために、
光ファイバー3が伝搬できる光の入射角度の範囲に適合
する開口数を有する集光レンズ6゜を介して、レーザー
発振器1から出力されたレーザー光2が端面3aの内の
、コア端面4aに向けて出力するように構成される。
中心断面図であり、特に高出力レーザー装置に用いられ
る光ファイバーの一例を示している。本図において、外
直径が400〜600μmのコア4は石英からなり、そ
の外周面を被覆するように所定厚さを有する樹脂製のク
ラッド5が設けられており高精度、高仕上げ精度で加工
される端面3aに対して図中の破線図示のレーザー光2
を入光させて他端に伝搬するものである。このために、
光ファイバー3が伝搬できる光の入射角度の範囲に適合
する開口数を有する集光レンズ6゜を介して、レーザー
発振器1から出力されたレーザー光2が端面3aの内の
、コア端面4aに向けて出力するように構成される。
このようにレーザー装置を構成する場合において、レー
ザー光2は集光レンズ60によりコア端面4aに対して
のみ入光させるように正確に位置設定されるとともに、
光ファイバー3の端面3aのコア端面4aが高精度に平
面加工される。
ザー光2は集光レンズ60によりコア端面4aに対して
のみ入光させるように正確に位置設定されるとともに、
光ファイバー3の端面3aのコア端面4aが高精度に平
面加工される。
このように構成する結果、若干の漏光の発生が起こり漏
光がクラッド5を熱的に損傷する結果、次第にクラッド
5の機械的強度が衰えることが知られており、この対策
のために従来は光ファイバー3の端面3aに相当するク
ラッド5の一部を予め除去して漏光によるクラッド5の
熱的損傷を防止している。
光がクラッド5を熱的に損傷する結果、次第にクラッド
5の機械的強度が衰えることが知られており、この対策
のために従来は光ファイバー3の端面3aに相当するク
ラッド5の一部を予め除去して漏光によるクラッド5の
熱的損傷を防止している。
方、例えば特開昭53−6047号広報では集光レンズ
60と光ファイバー3の端面3aの空間部分にコア4の
屈折率に整合した屈折率を持つ透明液体を液密状態に保
持して、漏光によるクラッド5の熱的損傷の防止を図る
提案もなされている。
60と光ファイバー3の端面3aの空間部分にコア4の
屈折率に整合した屈折率を持つ透明液体を液密状態に保
持して、漏光によるクラッド5の熱的損傷の防止を図る
提案もなされている。
[本発明が解決しようとする課題]
しかしながら、上述したように光ファイバー3の端面3
aに相当するクラッド5の一部を予め除去して漏光によ
るクラッド5の熱的損傷を防止する場合には、この除去
により開口数が変化してしまうので漏光が防止できない
、またコア4の端面4aに空気中に浮遊している異物が
付着する等の問題点があった。
aに相当するクラッド5の一部を予め除去して漏光によ
るクラッド5の熱的損傷を防止する場合には、この除去
により開口数が変化してしまうので漏光が防止できない
、またコア4の端面4aに空気中に浮遊している異物が
付着する等の問題点があった。
一方、集光レンズ60と光ファイバー3の端面3aの空
間部分にコア4の屈折率に整合した屈折率を持つ透明液
体を液密状態に保持して、漏光によるクラッド5の熱的
損傷の防止を図る場合においてはクラッド5の熱的損傷
は低減されるが、高出力レーザー光2を長時間に渡りコ
ア端面に照射すると境界面における温度上昇/蓄熱に起
因する透明液体の温度上昇が発生して初期の設定状態を
保持できなくなる問題点があった。
間部分にコア4の屈折率に整合した屈折率を持つ透明液
体を液密状態に保持して、漏光によるクラッド5の熱的
損傷の防止を図る場合においてはクラッド5の熱的損傷
は低減されるが、高出力レーザー光2を長時間に渡りコ
ア端面に照射すると境界面における温度上昇/蓄熱に起
因する透明液体の温度上昇が発生して初期の設定状態を
保持できなくなる問題点があった。
したがって、本発明の光ファイバー入射器は上述の問題
点に鑑みてなされたものであり、その目的は、集光レン
ズからのレーザー光を光ファイバーの端面に入光する際
の漏光を防止し、かつ温度上昇による初期設定状態の変
化を防止できる光ファイバー入射器を提供することにあ
る。
点に鑑みてなされたものであり、その目的は、集光レン
ズからのレーザー光を光ファイバーの端面に入光する際
の漏光を防止し、かつ温度上昇による初期設定状態の変
化を防止できる光ファイバー入射器を提供することにあ
る。
【課題を解決するための手段]及び[作用コ上述の問題
点を解決し課題を達成するために本発明の光ファイバー
入射器は、光ファイバーに適合した開口数を有する集光
レンズから出光される高出力のレーザー光を、光ファイ
バーの端面に入光させる光ファイバー入射器であって、
前記集光レンズと前記端面間で形成される空間部位に前
記光ファイバーのコアの有する屈折率と同一または近似
する液体を流動状態で設け、前記液体を積極適に流動さ
せる給送手段を設ける構成であり、集光レンズからのレ
ーザー光がコア以外の部分に漏光することを防止し、レ
ーザー光を長時間に渡りコアの端面に照射する場合の境
界面における温度上昇/蓄熱に起因する初期の設定状態
の変動を、液体を積極的に給送/冷却することにより防
止するとともに、ファイバーが入射端面でのあ反射を防
ぎ、高い光伝送効率を確保するように働く。
点を解決し課題を達成するために本発明の光ファイバー
入射器は、光ファイバーに適合した開口数を有する集光
レンズから出光される高出力のレーザー光を、光ファイ
バーの端面に入光させる光ファイバー入射器であって、
前記集光レンズと前記端面間で形成される空間部位に前
記光ファイバーのコアの有する屈折率と同一または近似
する液体を流動状態で設け、前記液体を積極適に流動さ
せる給送手段を設ける構成であり、集光レンズからのレ
ーザー光がコア以外の部分に漏光することを防止し、レ
ーザー光を長時間に渡りコアの端面に照射する場合の境
界面における温度上昇/蓄熱に起因する初期の設定状態
の変動を、液体を積極的に給送/冷却することにより防
止するとともに、ファイバーが入射端面でのあ反射を防
ぎ、高い光伝送効率を確保するように働く。
[実施例]
以下に本発明の好適な実施例に付いて図面参照の上で説
明する。第1図は第1実施例の光ファイバー入射器の概
略構成図であり、液体冷却用の配管がされている様子を
表している。本図において、第1図に基づいて説明した
構造を有する光ファイバー3の端面3aに対してレーザ
ー発振器1から出力される図中の破線図示のレーザー光
2が入光されて他端3dに伝搬されて、他端3dに設け
られる図示しない用具を用いて各種の作業を行なう。
明する。第1図は第1実施例の光ファイバー入射器の概
略構成図であり、液体冷却用の配管がされている様子を
表している。本図において、第1図に基づいて説明した
構造を有する光ファイバー3の端面3aに対してレーザ
ー発振器1から出力される図中の破線図示のレーザー光
2が入光されて他端3dに伝搬されて、他端3dに設け
られる図示しない用具を用いて各種の作業を行なう。
このために、集光レンズ6は光ファイバー3が伝搬でき
る光の入射角度の範囲に適合する開口数を有する一方、
集光レンズ6の円筒状外形部よりクリアランス分が大き
いホルダー7の挿通穴部7Cに集光レンズ6を挿入して
セットした後に集光レンズ6の段部6aがホルダー7の
段部7aに保持されるようにして、レンズ押えネジ25
により締め付けて固定するようにしている。このホルダ
ー7の挿通穴部7cの内周面の一部には後述の液体を密
閉状態でシールするための0リング11を圧縮状態で収
容する溝部が形成されており、集光レンズ6を挿入する
前にOリング11を予めセットしておいてから集光レン
ズ6を挿入すると圧縮シール状態にするようにしている
。以降説明のOリングも略同様にセットされて圧縮状態
に保持される。
る光の入射角度の範囲に適合する開口数を有する一方、
集光レンズ6の円筒状外形部よりクリアランス分が大き
いホルダー7の挿通穴部7Cに集光レンズ6を挿入して
セットした後に集光レンズ6の段部6aがホルダー7の
段部7aに保持されるようにして、レンズ押えネジ25
により締め付けて固定するようにしている。このホルダ
ー7の挿通穴部7cの内周面の一部には後述の液体を密
閉状態でシールするための0リング11を圧縮状態で収
容する溝部が形成されており、集光レンズ6を挿入する
前にOリング11を予めセットしておいてから集光レン
ズ6を挿入すると圧縮シール状態にするようにしている
。以降説明のOリングも略同様にセットされて圧縮状態
に保持される。
一方、集光レンズ6を介して出光されるレーザー光2を
光ファイバー3の端面3aの内のコア4の端面4aに対
して正確に入光させるために光ファイバー3は長手方向
に移動自在にされ、かつ後述の液体を集光レンズ6と端
面3aの空間において密閉状態でシールするように設け
られる。このために、光ファイバー3の端面3aがら所
定距離分がファイバー同定具15の連通穴部により担持
される。
光ファイバー3の端面3aの内のコア4の端面4aに対
して正確に入光させるために光ファイバー3は長手方向
に移動自在にされ、かつ後述の液体を集光レンズ6と端
面3aの空間において密閉状態でシールするように設け
られる。このために、光ファイバー3の端面3aがら所
定距離分がファイバー同定具15の連通穴部により担持
される。
ファイバー固定具15のテーパ外周面の端部にはOリン
グ29が設けられており、光ファイバー3を介して液体
が外部に漏れることを防止している。
グ29が設けられており、光ファイバー3を介して液体
が外部に漏れることを防止している。
このようにファイバー固定具15を保持するスライド管
8は上述の集光レンズ6を保持固定しているホルダー7
の挿通穴7c中において図中の矢印A方向に摺動自在に
設けられており、光ファイバー3の端面3aに対して集
光レンズ6からのレーザー光2が丁度良い状態で入光さ
れる位置に調整できるようにされている。
8は上述の集光レンズ6を保持固定しているホルダー7
の挿通穴7c中において図中の矢印A方向に摺動自在に
設けられており、光ファイバー3の端面3aに対して集
光レンズ6からのレーザー光2が丁度良い状態で入光さ
れる位置に調整できるようにされている。
このように構成されるスライド管8の外周面の一部は、
その外周面がテーパ状に構成される一方、内周面がスラ
イド管8の外周面に接触するとともに不図示の縦溝等が
加工されており内径が収縮するようにされた固定環16
がハウジング7のテーパ面部内に設けられており、ハウ
ジング7のネジ部に対して螺合するネジ部を有した固定
環押えネジ17により、固定環16をハウジング7のテ
ーパ面部内に移動させることで固定環16の内径を収縮
させてスライド管8を固定させるようにしている。
その外周面がテーパ状に構成される一方、内周面がスラ
イド管8の外周面に接触するとともに不図示の縦溝等が
加工されており内径が収縮するようにされた固定環16
がハウジング7のテーパ面部内に設けられており、ハウ
ジング7のネジ部に対して螺合するネジ部を有した固定
環押えネジ17により、固定環16をハウジング7のテ
ーパ面部内に移動させることで固定環16の内径を収縮
させてスライド管8を固定させるようにしている。
方、スライド管8を保持するホルダー7の挿通穴7cの
一部にもOリング13を保持する溝部が設けられており
、スライド管8の外周面と挿通穴7cの間の隙間からの
液漏れ防止を図るようにしている。
一部にもOリング13を保持する溝部が設けられており
、スライド管8の外周面と挿通穴7cの間の隙間からの
液漏れ防止を図るようにしている。
以上のように構成されるホルダー7において、集光レン
ズ6と光ファイバー3の端面3aの間の空間部には連通
穴7hが図示のように互いに対応する位置に穿設されて
おり、この連通穴7hに相当する位置にニップル18を
夫々設けるようにハウジング9に穴が穿設されている。
ズ6と光ファイバー3の端面3aの間の空間部には連通
穴7hが図示のように互いに対応する位置に穿設されて
おり、この連通穴7hに相当する位置にニップル18を
夫々設けるようにハウジング9に穴が穿設されている。
このハウジング9にも溝部が形成されておりOリング1
oを設けて液漏れ防止を図るように構成されている。
oを設けて液漏れ防止を図るように構成されている。
上記の2本のニップル18には図示のような閉ループを
構成する送液管19が接続されており、送液管19の途
中に接続されるポンプ21により送液管19中の液体2
0を図中矢印B方向に循環させる一方、送液管19のポ
ンプ21の近傍に設けられたラジェター22により液体
2oの冷却を行なうようにしている。ここで、送液管1
9の外周面に放熱フィンを設ける場合にはラジェター2
2は不要となる。このように循環と冷却が繰替される液
体20は光ファイバー3のコア4の有する屈折率と略等
しいか近似する屈折率を有しており、送液管19内に充
満されている。
構成する送液管19が接続されており、送液管19の途
中に接続されるポンプ21により送液管19中の液体2
0を図中矢印B方向に循環させる一方、送液管19のポ
ンプ21の近傍に設けられたラジェター22により液体
2oの冷却を行なうようにしている。ここで、送液管1
9の外周面に放熱フィンを設ける場合にはラジェター2
2は不要となる。このように循環と冷却が繰替される液
体20は光ファイバー3のコア4の有する屈折率と略等
しいか近似する屈折率を有しており、送液管19内に充
満されている。
以上説明のように入射器を構成する結果、レーザー光2
は集光レンズ6を通じて浸液状態のコア4へと集光する
入射器を提供することができるので漏光の問題が解消さ
れる。
は集光レンズ6を通じて浸液状態のコア4へと集光する
入射器を提供することができるので漏光の問題が解消さ
れる。
また、光ファイバー3の端面3aを高精度に加工する必
要が無(なる。
要が無(なる。
さらにまた、高出力レーザー光2を長時間に渡りコア4
の端面4aに照射する場合に発生する境界面における温
度上昇/蓄熱に起因する液体2゜の温度上昇の発生防止
を図るようにして初期の設定状態が変化しないようにし
て、高出カレーザー光2を長時間光ファイバー3により
伝搬できるようにする。ポンプの供給は連続であること
が好ましいが、必要に応じて温度検知して検知データに
応じた断続運転とすることも可能である。
の端面4aに照射する場合に発生する境界面における温
度上昇/蓄熱に起因する液体2゜の温度上昇の発生防止
を図るようにして初期の設定状態が変化しないようにし
て、高出カレーザー光2を長時間光ファイバー3により
伝搬できるようにする。ポンプの供給は連続であること
が好ましいが、必要に応じて温度検知して検知データに
応じた断続運転とすることも可能である。
[発明の効果]
以上説明したように本発明の光ファイバー入射器によれ
ば、集光レンズからのレーザー光を光ファイバーの端面
に入光する際の漏光を防止し、かつ温度上昇による初期
設定状態の変化を防止することができる。
ば、集光レンズからのレーザー光を光ファイバーの端面
に入光する際の漏光を防止し、かつ温度上昇による初期
設定状態の変化を防止することができる。
第1図はレーザー光の伝搬用の光ファイバーの先端部の
中心断面図、 第2図は第1実施例の光ファイバー入射器の概略構成図
である。 グ、10〜13・・・Oリング、15・・・ファイバー
固定具、16・・・同定環、17・・・固定1押えネジ
、1881.ニップル、19・・・送液管、20・・・
液体、21・・・ポンプ、22・・・ラジェターである
。 特 許 出 願 人
中心断面図、 第2図は第1実施例の光ファイバー入射器の概略構成図
である。 グ、10〜13・・・Oリング、15・・・ファイバー
固定具、16・・・同定環、17・・・固定1押えネジ
、1881.ニップル、19・・・送液管、20・・・
液体、21・・・ポンプ、22・・・ラジェターである
。 特 許 出 願 人
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光ファイバーに適合した開口数を有する集光レンズから
出光される高出力のレーザー光を、光ファイバーの端面
に集光させる光ファイバー入射器であつて、 前記集光レンズと前記端面間で形成される空間部位に前
記光ファイバーのコアの有する屈折率と同一または近似
する液体を流動状態で設けることを特徴とする光ファイ
バー入射器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20111790A JPH0486710A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 光フアイバー入射器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20111790A JPH0486710A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 光フアイバー入射器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0486710A true JPH0486710A (ja) | 1992-03-19 |
Family
ID=16435687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20111790A Pending JPH0486710A (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 光フアイバー入射器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0486710A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010182726A (ja) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 光ファイバ冷却装置 |
CN104115068A (zh) * | 2012-02-23 | 2014-10-22 | Asml荷兰有限公司 | 装置、光刻设备、用于引导辐射的方法以及装置制造方法 |
JP2021018371A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | 三菱重工業株式会社 | 光コネクタ及び伝送装置 |
-
1990
- 1990-07-31 JP JP20111790A patent/JPH0486710A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010182726A (ja) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 光ファイバ冷却装置 |
CN104115068A (zh) * | 2012-02-23 | 2014-10-22 | Asml荷兰有限公司 | 装置、光刻设备、用于引导辐射的方法以及装置制造方法 |
JP2015510614A (ja) * | 2012-02-23 | 2015-04-09 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | デバイス、リソグラフィ装置、放射誘導方法およびデバイス製造方法 |
US9715183B2 (en) | 2012-02-23 | 2017-07-25 | Asml Netherlands B.V. | Device, lithographic apparatus, method for guiding radiation and device manufacturing method |
JP2021018371A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | 三菱重工業株式会社 | 光コネクタ及び伝送装置 |
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