JPH0480590A - 高温用加熱炉 - Google Patents
高温用加熱炉Info
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- JPH0480590A JPH0480590A JP19041490A JP19041490A JPH0480590A JP H0480590 A JPH0480590 A JP H0480590A JP 19041490 A JP19041490 A JP 19041490A JP 19041490 A JP19041490 A JP 19041490A JP H0480590 A JPH0480590 A JP H0480590A
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- Japan
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- heating element
- band
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Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高温用加熱炉、特に１０００℃以上の高温用加
熱炉に関するものである。
熱炉に関するものである。
従来、炉内の温度が１０００℃以上となる高温用の加熱
炉としては、直径４ ｍ／ｍ以上の線状の発熱体を加熱
炉内面に、適当な間隔をもって配置し、耐熱電気絶縁性
を有する保持具にて保持せしめ、その外面に、シリカ、
アルミナなどのファインセラミックスを材料とするファ
イバー状断熱材を配置し、この線状発熱体に通電して炉
内を昇温しでいた。又、これにより細い直径の線状発熱
体をコイル状やジグザグ状に曲げ加工して、加熱炉内面
に配置してなる高温用加熱炉も使用されている。
炉としては、直径４ ｍ／ｍ以上の線状の発熱体を加熱
炉内面に、適当な間隔をもって配置し、耐熱電気絶縁性
を有する保持具にて保持せしめ、その外面に、シリカ、
アルミナなどのファインセラミックスを材料とするファ
イバー状断熱材を配置し、この線状発熱体に通電して炉
内を昇温しでいた。又、これにより細い直径の線状発熱
体をコイル状やジグザグ状に曲げ加工して、加熱炉内面
に配置してなる高温用加熱炉も使用されている。
然しなから細い線状の発熱体を用いたものでは太い線の
ものに比べて、高温時の強度が弱い為、熱変形を生じ易
く、長時間の使用に耐える物ではなかった。
ものに比べて、高温時の強度が弱い為、熱変形を生じ易
く、長時間の使用に耐える物ではなかった。
又直径４ ｍ／ｍ以上の線状の発熱体を使用した炉の場
合、線の断面積が大きくなる為、抵抗値が小さくなり、
炉内面の面積に対応させた適当な電気容量を得る為には
、トランスなどの変圧器により印加電圧を下げて大電流
を流す必要があり、又、発熱体及び保持具の熱容量が大
きい為、急速な昇温及び降温は不可能であった。又、印
加電圧を下げる為のトランスは重量が極めて大きく、設
置する場所が限定される場合が多かった。
合、線の断面積が大きくなる為、抵抗値が小さくなり、
炉内面の面積に対応させた適当な電気容量を得る為には
、トランスなどの変圧器により印加電圧を下げて大電流
を流す必要があり、又、発熱体及び保持具の熱容量が大
きい為、急速な昇温及び降温は不可能であった。又、印
加電圧を下げる為のトランスは重量が極めて大きく、設
置する場所が限定される場合が多かった。
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
本発明の高温用加熱炉は炉心を筒状に囲むよう周方向及
び軸方向に延びる帯状発熱体と、この帯状発熱体の外周
を保持する断熱兼保持用のファイバー状断熱材とより成
り、上記筒状に巻かれた帯状発熱体はその外周から外方
に突出する部分を有し、この突出部分が上記ファイバー
状断熱材内に埋め込まれていることを特徴とする。
び軸方向に延びる帯状発熱体と、この帯状発熱体の外周
を保持する断熱兼保持用のファイバー状断熱材とより成
り、上記筒状に巻かれた帯状発熱体はその外周から外方
に突出する部分を有し、この突出部分が上記ファイバー
状断熱材内に埋め込まれていることを特徴とする。
〔作 用〕
本発明の高温用加熱炉は炉心に面するよう筒状に巻かれ
た帯状発熱体から外方に突出する部分がこの帯状発熱体
の外面を覆うファイバー状断熱材に埋め込まれ、これに
よって強固に保持されるようになる。
た帯状発熱体から外方に突出する部分がこの帯状発熱体
の外面を覆うファイバー状断熱材に埋め込まれ、これに
よって強固に保持されるようになる。
以下図面によって本発明の詳細な説明する。
本発明の高温用加熱炉においては第１図に示すように炉
心１を円筒状に囲むように巻いた複数の帯状発熱体２を
円周方向及び軸方向に延びるよう螺旋状に巻き、この帯
状発熱体２の外面を断熱兼保持用の円筒状のファイバー
状断熱材３によって保持せしめる。
心１を円筒状に囲むように巻いた複数の帯状発熱体２を
円周方向及び軸方向に延びるよう螺旋状に巻き、この帯
状発熱体２の外面を断熱兼保持用の円筒状のファイバー
状断熱材３によって保持せしめる。
本発明の高温用加熱炉における帯状発熱体２はその上下
縁、例えば上縁に第２図に示すように多数の軸方向の切
り込み４を形成し、この切り込み４を利用して上記上縁
を他の部分に対し第３図、第４図に示すように直角に外
方に折り曲げ、この折り曲げ部分５を第５図に示すよう
に上記ファイバー状断熱材３内に食い込ませ又は埋め込
むようにする。
縁、例えば上縁に第２図に示すように多数の軸方向の切
り込み４を形成し、この切り込み４を利用して上記上縁
を他の部分に対し第３図、第４図に示すように直角に外
方に折り曲げ、この折り曲げ部分５を第５図に示すよう
に上記ファイバー状断熱材３内に食い込ませ又は埋め込
むようにする。
本発明の他の実施例においては第６図〜第９図に示すよ
うに帯状発熱体２の外周面にスタッド溶接等により垂直
にピン６を植設し、このピン６を上記ファイバー状断熱
材３内に食い込ませる又は埋め込むようにする。
うに帯状発熱体２の外周面にスタッド溶接等により垂直
にピン６を植設し、このピン６を上記ファイバー状断熱
材３内に食い込ませる又は埋め込むようにする。
本発明の更に他の実施例においては第１０図〜第１２図
に示すように帯状発熱体２を半径方向外方にジグザグ状
又は波状に湾曲し、この湾曲によって帯状発熱体２の外
周より外方に突出する部分７を上記ファイバー状断熱材
３内に埋め込むようにする。
に示すように帯状発熱体２を半径方向外方にジグザグ状
又は波状に湾曲し、この湾曲によって帯状発熱体２の外
周より外方に突出する部分７を上記ファイバー状断熱材
３内に埋め込むようにする。
以上何れの実施例においても帯状発熱体２の保持をより
強固にする為、上記ファイバー状断熱材３にバインダー
を含浸せしめた後乾燥固化せしめることができる。
強固にする為、上記ファイバー状断熱材３にバインダー
を含浸せしめた後乾燥固化せしめることができる。
本発明の高温用加熱炉は上記のような構成であるから下
記のような種々な利益がある。
記のような種々な利益がある。
（１）帯状発熱体を炉内面に向けて配置し炉心に面する
側が保持材によって覆わないようにしたので、炉の内面
有効発熱面積を太い発熱線と同しように大きくするのは
容易であり、しかも、断面積を小さく出来る為、商用電
圧である２００■や２２０Ｖをそのまま使用出来、変圧
器が不要であり、又、電流が小さい為、給電部や配線材
を小さく出来る。
側が保持材によって覆わないようにしたので、炉の内面
有効発熱面積を太い発熱線と同しように大きくするのは
容易であり、しかも、断面積を小さく出来る為、商用電
圧である２００■や２２０Ｖをそのまま使用出来、変圧
器が不要であり、又、電流が小さい為、給電部や配線材
を小さく出来る。
（２）重量が小さくなる為、特別な保持具を必要とせず
、ファイバー状断熱材に直接保持させる事が出来、従っ
て、太い発熱体に比べて極めて急速な昇温、降温が可能
となり、又、重量が小さくなる分、及び、保持具が不要
となる分、コストダウンが可能となる。
、ファイバー状断熱材に直接保持させる事が出来、従っ
て、太い発熱体に比べて極めて急速な昇温、降温が可能
となり、又、重量が小さくなる分、及び、保持具が不要
となる分、コストダウンが可能となる。
（３）太い線状の発熱体に比べ、同し使用条件、同じ投
入電力において、昇温速度は５倍以上速く、又、断電後
の降温速度も３倍以上早く、その生産性を大幅に向上さ
せる事が出来る。
入電力において、昇温速度は５倍以上速く、又、断電後
の降温速度も３倍以上早く、その生産性を大幅に向上さ
せる事が出来る。
（４）直径が４ ｍ／＋ｎ未満の細い発熱体を使用した
炉の場合、炉内温度を１３００℃まで上げるのは寿命上
困難で、炉内温度を１２３０℃に設定して４８時間が限
度であったが本発明の帯状発熱体を使用することによっ
て炉内の温度を１３００℃迄上昇しても長時間使用する
ことができる。
炉の場合、炉内温度を１３００℃まで上げるのは寿命上
困難で、炉内温度を１２３０℃に設定して４８時間が限
度であったが本発明の帯状発熱体を使用することによっ
て炉内の温度を１３００℃迄上昇しても長時間使用する
ことができる。
第１図は本発明高温用加熱炉の断面図、第２図は加工前
の帯状発熱体の一部の展開図、第３図、第４図は加工後
の上記帯状発熱体の一部の正面図及び縦断側面図、第５
図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第６図は本発明の他の実
施例における高温用加熱炉の断面図、第７図、第８図は
その帯状発熱体の一部の展開図及び縦断側面図、第９図
は第６図のＢ−Ｂ線断面図、第１Ｏ図は本発明の更に他
の実施例における高温用加熱炉の断面図、第１１図はそ
の帯状発熱体の一部の側面図、第１２図は第１０図のＣ
−Ｃ線断面図である。 ｌ・・・炉心、２・・・帯状発熱体、３・ファイバー状
断熱材、４・・・切り込み、５・・・折り曲げ部分、６
・・・ピン、７・・・外方に突出する部分。 千３図 ゝ４ 才４図 ャ７１！１ 塗８図 律 図
の帯状発熱体の一部の展開図、第３図、第４図は加工後
の上記帯状発熱体の一部の正面図及び縦断側面図、第５
図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第６図は本発明の他の実
施例における高温用加熱炉の断面図、第７図、第８図は
その帯状発熱体の一部の展開図及び縦断側面図、第９図
は第６図のＢ−Ｂ線断面図、第１Ｏ図は本発明の更に他
の実施例における高温用加熱炉の断面図、第１１図はそ
の帯状発熱体の一部の側面図、第１２図は第１０図のＣ
−Ｃ線断面図である。 ｌ・・・炉心、２・・・帯状発熱体、３・ファイバー状
断熱材、４・・・切り込み、５・・・折り曲げ部分、６
・・・ピン、７・・・外方に突出する部分。 千３図 ゝ４ 才４図 ャ７１！１ 塗８図 律 図
Claims (4)
- （１）炉心を筒状に囲むよう周方向及び軸方向に延びる
帯状発熱体と、この帯状発熱体の外周を保持する断熱兼
保持用のファイバー状断熱材とより成り、上記筒状に巻
かれた帯状発熱体はその外周から外方に突出する部分を
有し、この突出部分が上記ファイバー状断熱材内に埋め
込まれていることを特徴とする高温用加熱炉。 - （２）上記突出部分が上記帯状発熱体の上下縁の何れか
一方が外方に折り曲げられて形成される請求項１記載の
高温用加熱炉。 - （３）上記突出部分が上記帯状発熱体の外周面に植設し
たピンである請求項１記載の高温用加熱炉。 - （４）上記突出部分が上記帯状発熱体をその外方にジグ
ザグ状又は波状に湾曲して形成される請求項１記載の高
温用加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2190414A JPH0814466B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 高温用加熱炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2190414A JPH0814466B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 高温用加熱炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480590A true JPH0480590A (ja) | 1992-03-13 |
| JPH0814466B2 JPH0814466B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=16257745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2190414A Expired - Fee Related JPH0814466B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 高温用加熱炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814466B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8847124B2 (en) | 2009-07-21 | 2014-09-30 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Heating device having a meander-shaped heating element with an insulating body accomodating the same, and the substrate processing apparatus including the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01116395U (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP2190414A patent/JPH0814466B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01116395U (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8847124B2 (en) | 2009-07-21 | 2014-09-30 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Heating device having a meander-shaped heating element with an insulating body accomodating the same, and the substrate processing apparatus including the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0814466B2 (ja) | 1996-02-14 |
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Legal Events
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