JPH0479224A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0479224A JPH0479224A JP19271090A JP19271090A JPH0479224A JP H0479224 A JPH0479224 A JP H0479224A JP 19271090 A JP19271090 A JP 19271090A JP 19271090 A JP19271090 A JP 19271090A JP H0479224 A JPH0479224 A JP H0479224A
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- JP
- Japan
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- pure water
- piping
- cleaning
- branch
- cleaning device
- Prior art date
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- Pending
Links
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 57
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は半導体装置などの製造工程などにおいて使用す
る純水洗浄装置の構造に関し洗浄に使用する純水の清浄
度を保ち洗浄効果を高めることを目的とする。
る純水洗浄装置の構造に関し洗浄に使用する純水の清浄
度を保ち洗浄効果を高めることを目的とする。
［従来の技術］
第２図に従来の方式による洗浄装置の純水配管の模式図
を示す。
を示す。
従来の方式によれば工場内の純水設備よりの主配管（１
）より供給用分岐管を設は洗浄装置（７）に必要な量の
純水の供給を受けさらに装置内で各使用ポイントに分岐
する形式を採ることが一般的である。
）より供給用分岐管を設は洗浄装置（７）に必要な量の
純水の供給を受けさらに装置内で各使用ポイントに分岐
する形式を採ることが一般的である。
図中（１）は工場内の純水設備よりの主配管を示しく２
）は主配管より装置までの分岐配管、（３）は装置内で
の純水配管を示す。
）は主配管より装置までの分岐配管、（３）は装置内で
の純水配管を示す。
（６）は洗浄槽よりのオーバーフロー又はドレイン配管
を示す。
を示す。
［発明が解決しようとする課題］
従来の技術による方法を採れば主配管よりの分岐部（９
）以降装置までの配管内及び装置内での配管の端末が行
き止まり状態となっていることにより配管中での純水の
滞留により純水内に微小なパーティクルの発生が見られ
洗浄効果を低下させる要因となっていた。
）以降装置までの配管内及び装置内での配管の端末が行
き止まり状態となっていることにより配管中での純水の
滞留により純水内に微小なパーティクルの発生が見られ
洗浄効果を低下させる要因となっていた。
また純水の滞留によりバクテリアの発生等品質面での悪
影響も指摘されているところである。
影響も指摘されているところである。
さらに上記悪影響を防ぐために常に大量の純水を流し配
管中のクリーン度を保とうとすれば純水の多量消費によ
るコスト増を招く。
管中のクリーン度を保とうとすれば純水の多量消費によ
るコスト増を招く。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
り純水の清浄度を保持し純水の多量消費を防ぐことを目
的とする。
り純水の清浄度を保持し純水の多量消費を防ぐことを目
的とする。
［課題を解決するための手段］
洗浄装置への分岐配管及び装置内配管中を常に多量の純
水が循環し、装置自体があたかも工場内の純水供給リタ
ーン配管の一部であるかのような構造を採り、さらに装
置内で使用する純水を採取する場合は循環配管経路より
最短の分岐で行う構造とすることにより純水の品質を保
持し洗浄効果を向上させると共に純水の消費量を押さえ
るものであり以下実施例に従い本発明の詳細について説
明を行う。
水が循環し、装置自体があたかも工場内の純水供給リタ
ーン配管の一部であるかのような構造を採り、さらに装
置内で使用する純水を採取する場合は循環配管経路より
最短の分岐で行う構造とすることにより純水の品質を保
持し洗浄効果を向上させると共に純水の消費量を押さえ
るものであり以下実施例に従い本発明の詳細について説
明を行う。
［実施例］
第１図に本発明の方式による配管方式を用いた洗浄機の
配管概念図を示す。
配管概念図を示す。
図中（１）で示される工場内純水配管より純水の供給を
受け（２）で示される装置内配管を経由して工場内純水
配管のリターン側配管（４）に未使用の純水が戻る形式
を採る。
受け（２）で示される装置内配管を経由して工場内純水
配管のリターン側配管（４）に未使用の純水が戻る形式
を採る。
洗浄装置（７）内で使用する純水については装置内配管
経路途中で最短分岐となる個所にバルブ（８）を設は当
該個所より純水を洗浄槽（５）内に放出し分岐配管内に
滞留させない構造とした。
経路途中で最短分岐となる個所にバルブ（８）を設は当
該個所より純水を洗浄槽（５）内に放出し分岐配管内に
滞留させない構造とした。
洗浄槽内で使用された純水についてはトレインバルブ（
６）より排＆＋される。
６）より排＆＋される。
第１図においては洗浄槽は１槽のみを記したが実際の洗
浄装置においては幾槽かの洗浄槽を有し実際の配管系統
も複雑となるが、基本的に装置内の純水循環経路途中か
ら最短で取水する構造を取る。
浄装置においては幾槽かの洗浄槽を有し実際の配管系統
も複雑となるが、基本的に装置内の純水循環経路途中か
ら最短で取水する構造を取る。
また取水バルブ（８）についても装置内配管（２）より
の突出部を極力短縮し純水の滞留を少なくする構造とし
た。
の突出部を極力短縮し純水の滞留を少なくする構造とし
た。
またバルブ、配管材料及び継ぎ手順についても極力バー
ティクルの発生しない物を使用するなどの配慮をした。
ティクルの発生しない物を使用するなどの配慮をした。
本実施例においては装置内配管の径は洗浄装置内で使用
する純水の量に依らず洗浄装置内を循環する純水の量に
依って決定されるため従来用いられてきた配管の径に対
して２〜５倍の流量が確保出来るものとする必要があっ
た。
する純水の量に依らず洗浄装置内を循環する純水の量に
依って決定されるため従来用いられてきた配管の径に対
して２〜５倍の流量が確保出来るものとする必要があっ
た。
［発明の効果］
上記実施例による洗浄装置を用いた洗浄方式によれば洗
浄槽５内に供給される純水内の浮遊微粒子の個数が従来
方式による場合に比較して二相以下に低下し洗浄効果を
向上することが出来た。
浄槽５内に供給される純水内の浮遊微粒子の個数が従来
方式による場合に比較して二相以下に低下し洗浄効果を
向上することが出来た。
また従来の方式による洗浄装置では洗浄槽内のクリーン
度を保つために常に多量の純水を流す必要があったが本
実施例による方式では使用時のみに純水を供給するため
に純水の使用量を大幅に節約することが可能となった。
度を保つために常に多量の純水を流す必要があったが本
実施例による方式では使用時のみに純水を供給するため
に純水の使用量を大幅に節約することが可能となった。
第１図は本発明の方式を採った洗浄装置の装置内外の配
管模式図を示す。 第２図は従来の方式による洗浄装置の装置内外の配管模
式図を示す。 １ 純水装置よりの純水供給主配管 ２ 純水供給主配管より洗浄装置内への純水配管 洗浄装置内分岐配管 純水装置への純水リターン主配管 洗浄槽 ドレイン配管 洗浄装置 洗浄槽への純水供給コック 純水供給主配管より洗浄装置への分岐コック 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
管模式図を示す。 第２図は従来の方式による洗浄装置の装置内外の配管模
式図を示す。 １ 純水装置よりの純水供給主配管 ２ 純水供給主配管より洗浄装置内への純水配管 洗浄装置内分岐配管 純水装置への純水リターン主配管 洗浄槽 ドレイン配管 洗浄装置 洗浄槽への純水供給コック 純水供給主配管より洗浄装置への分岐コック 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
Claims (1)
- 純水を使用して洗浄を行う洗浄装置において、純水供給
及び装置間内の純水配管を循環方式とし洗浄装置内で使
用する純水の分岐を洗浄槽直前に設ける構造を有し洗浄
装置内配管において常に純水が流れることを特徴とする
洗浄装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19271090A JPH0479224A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19271090A JPH0479224A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0479224A true JPH0479224A (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=16295771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19271090A Pending JPH0479224A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0479224A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5734944A (en) * | 1994-08-24 | 1998-03-31 | Bayer Corporation | Apparatus for rejuvenating developer in printing plate development |
| US6710499B2 (en) | 2001-03-29 | 2004-03-23 | Denso Corporation | AC generator having air port in slip ring cover |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP19271090A patent/JPH0479224A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5734944A (en) * | 1994-08-24 | 1998-03-31 | Bayer Corporation | Apparatus for rejuvenating developer in printing plate development |
| US5811224A (en) * | 1994-08-24 | 1998-09-22 | Bayer Corporation | Process for rejuvenating developer in printing plate development |
| US6710499B2 (en) | 2001-03-29 | 2004-03-23 | Denso Corporation | AC generator having air port in slip ring cover |
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