JPH0474454A - 半導体装置の配線方法 - Google Patents
半導体装置の配線方法Info
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- JPH0474454A JPH0474454A JP18838090A JP18838090A JPH0474454A JP H0474454 A JPH0474454 A JP H0474454A JP 18838090 A JP18838090 A JP 18838090A JP 18838090 A JP18838090 A JP 18838090A JP H0474454 A JPH0474454 A JP H0474454A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 6
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 241000254158 Lampyridae Species 0.000 description 1
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［概要コ
半導体装置の配線方法に係り、詳しくはクローバル配線
の配線経路を決定する方法に関し、グローバル配線の配
線幅に関わらず、複数のブロク゛ラムを用意する必要か
なく、かつ、通常幅配線と同じ応答時間で配線経路を効
率的に決定できる半導体装置の配線方法を提供すること
を目的とし、 セル列上の多数のグリッドのうち、配線が通過不可能な
り゛リットを配線禁止クリットとして設定するとともに
、そのグリッドの一側方に位置する各グリッドに対して
通過可能な配線幅を指示する配線幅レベルを設定し、任
意のグリッドについてそのクリットに対して設定された
配線幅レベルか経路を決定すべき配線の配線幅を満たす
とき、当該グリッドをセル列上の経路として決定すると
ともに、チャネル領域に任意幅の配線の経路を仮定した
とき、その配線及び他の配線による当該チャネル領域の
トラック総使用本数かチャネル領域に設定されたトラッ
ク本数よりも小さいとき、当該チャネル領域に当該グロ
ーバル配線の経路を決定するように構成した。
の配線経路を決定する方法に関し、グローバル配線の配
線幅に関わらず、複数のブロク゛ラムを用意する必要か
なく、かつ、通常幅配線と同じ応答時間で配線経路を効
率的に決定できる半導体装置の配線方法を提供すること
を目的とし、 セル列上の多数のグリッドのうち、配線が通過不可能な
り゛リットを配線禁止クリットとして設定するとともに
、そのグリッドの一側方に位置する各グリッドに対して
通過可能な配線幅を指示する配線幅レベルを設定し、任
意のグリッドについてそのクリットに対して設定された
配線幅レベルか経路を決定すべき配線の配線幅を満たす
とき、当該グリッドをセル列上の経路として決定すると
ともに、チャネル領域に任意幅の配線の経路を仮定した
とき、その配線及び他の配線による当該チャネル領域の
トラック総使用本数かチャネル領域に設定されたトラッ
ク本数よりも小さいとき、当該チャネル領域に当該グロ
ーバル配線の経路を決定するように構成した。
［産業上の利用分野）
本発明は半導体装置の配線方法に係り、詳しくはグロー
バル配線の配線経路を決定する方法に関するものである
。
バル配線の配線経路を決定する方法に関するものである
。
近年、ＬＳＩの集積度か向上し、それに伴いトランジス
タ内を流れる電流量が増え、一部の配線においては通常
幅配線より太い配線が望まれるようになってきた。この
場合についても、自動配線装置では通常幅配線と同し機
能でり゛ローバル配線の配線経路を決定でき、かつ応答
時間も同じになることか必要となる。
タ内を流れる電流量が増え、一部の配線においては通常
幅配線より太い配線が望まれるようになってきた。この
場合についても、自動配線装置では通常幅配線と同し機
能でり゛ローバル配線の配線経路を決定でき、かつ応答
時間も同じになることか必要となる。
［従来の技術］
従来、自動配線装置を使用して、例えば第５図に示すゲ
ートアレイ１０について、第６図に示すようにセル列■
のバウンダリ上の端点Ａとセル列９のバウンダリ上の端
点Ｂとを結ぶグローバル配線（全体概略配線）１１を決
定するには、ます、第８図に示すようにゲートアレイＩ
Ｏについてセル列方向に所定間隔で設定された複数のグ
リッド０１〜Ｇ１６をＸ方向の要素とし、各セル列１゜
３．５，７．９及びチャネル領域２． ４． ６． ８
をＹ方向の要素とする配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）を
作成する。
ートアレイ１０について、第６図に示すようにセル列■
のバウンダリ上の端点Ａとセル列９のバウンダリ上の端
点Ｂとを結ぶグローバル配線（全体概略配線）１１を決
定するには、ます、第８図に示すようにゲートアレイＩ
Ｏについてセル列方向に所定間隔で設定された複数のグ
リッド０１〜Ｇ１６をＸ方向の要素とし、各セル列１゜
３．５，７．９及びチャネル領域２． ４． ６． ８
をＹ方向の要素とする配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）を
作成する。
次に、第８図に示す配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）にお
いて、初期設定として各セル列１，３，５゜７．９の各
クリッド６１〜Ｇ１６にはそのグリッド上を配線が通過
可能ならば「０」を、セル内禁止又は既に他の配線の経
路として選ばれた配線禁止グリッド（第５図の各セル列
１，３，５，７゜９において太線で示す）ならば「−１
」を設定する。又、各チャネル領域２，４，６．８の各
クリッドＧ１〜Ｇ１６には初期には「０」を設定し、そ
れ以後はクローバル配線の経路探索を行う毎にその配線
の仮想幹線か通過した使用トラック本数を設定する。従
って、配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）の各位置（Ｘ、
Ｙ）における設定値をＦ （Ｘ、Ｙ）で表すと、第５図
に示すゲートアレイ１０の初期配列テーブルは第８図に
示すように、Ｆ（Ｇ３゜１） 、 Ｆ （Ｇ５． １
）、 Ｆ （Ｇ８． １）、 Ｆ （Ｇ６，３）、
Ｆ （Ｇ９，３）、Ｆ （Ｇ１５，３）。
いて、初期設定として各セル列１，３，５゜７．９の各
クリッド６１〜Ｇ１６にはそのグリッド上を配線が通過
可能ならば「０」を、セル内禁止又は既に他の配線の経
路として選ばれた配線禁止グリッド（第５図の各セル列
１，３，５，７゜９において太線で示す）ならば「−１
」を設定する。又、各チャネル領域２，４，６．８の各
クリッドＧ１〜Ｇ１６には初期には「０」を設定し、そ
れ以後はクローバル配線の経路探索を行う毎にその配線
の仮想幹線か通過した使用トラック本数を設定する。従
って、配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）の各位置（Ｘ、
Ｙ）における設定値をＦ （Ｘ、Ｙ）で表すと、第５図
に示すゲートアレイ１０の初期配列テーブルは第８図に
示すように、Ｆ（Ｇ３゜１） 、 Ｆ （Ｇ５． １
）、 Ｆ （Ｇ８． １）、 Ｆ （Ｇ６，３）、
Ｆ （Ｇ９，３）、Ｆ （Ｇ１５，３）。
Ｆ （Ｇ３，５）、Ｆ （Ｇ５，５）、Ｆ （Ｇ６，７
）。
）。
Ｆ （Ｇｌ ５． ７）、 Ｆ （Ｇ３． ９）、
Ｆ （Ｇｉ ２゜９）かそれぞれ「−１」となり、それ
以外のＦ（Ｘ、Ｙ）は「０」となる。
Ｆ （Ｇｉ ２゜９）かそれぞれ「−１」となり、それ
以外のＦ（Ｘ、Ｙ）は「０」となる。
そして、グローバル配線１１の配線幅を１グリツドとし
てその配線経路を探索する場合には、第７図に示すフロ
ーチャートに従って探索処理が実行される。
てその配線経路を探索する場合には、第７図に示すフロ
ーチャートに従って探索処理が実行される。
ます、ステップ２０で各セル列の任意のグリッドにおけ
る設定値Ｆ （Ｘ、 Ｙ）が「０」であるか否か、即ち
、その配線がセル列上を通過可能であるか否かを判別し
、ステップ２１では全てのセル列について検索したか否
かを判別する。例えば、第６図に示すクローバル配線１
１では各セル列３゜５．７のクリッドＧ１３上を通過可
能か否かを判別する。このとき、設定値Ｆ （Ｇ１３．
３）、 Ｆ（Ｇ１３，５）、Ｆ （Ｇ１３．７）は
それぞれ「ＯＪであるため、通過可能と判別される。
る設定値Ｆ （Ｘ、 Ｙ）が「０」であるか否か、即ち
、その配線がセル列上を通過可能であるか否かを判別し
、ステップ２１では全てのセル列について検索したか否
かを判別する。例えば、第６図に示すクローバル配線１
１では各セル列３゜５．７のクリッドＧ１３上を通過可
能か否かを判別する。このとき、設定値Ｆ （Ｇ１３．
３）、 Ｆ（Ｇ１３，５）、Ｆ （Ｇ１３．７）は
それぞれ「ＯＪであるため、通過可能と判別される。
続く、ステップ２２ではチャネル領域を配線の仮想幹線
か通過可能か否かを、値（Ｆ （Ｘ、 Ｙ）＋１）かチ
ャネル領域の限度トラック数αより小さいか否かに基つ
いて判別する。即ち、値（Ｆ（Ｘ、Ｙ）−１）か限度ト
ラック数αよりも小さいと仮想幹線か通過可能と判別し
、値（Ｆ （Ｘ。
か通過可能か否かを、値（Ｆ （Ｘ、 Ｙ）＋１）かチ
ャネル領域の限度トラック数αより小さいか否かに基つ
いて判別する。即ち、値（Ｆ（Ｘ、Ｙ）−１）か限度ト
ラック数αよりも小さいと仮想幹線か通過可能と判別し
、値（Ｆ （Ｘ。
Ｙ）＋１）が限度トラック数α以上であると仮想幹線が
通過不可能であると判別する。ステップ２３では配線の
仮想幹線の範囲、即ち、第６図では端点Ｂに対応するグ
リフｔ”Ｇ４から端点Ａに対応するり゛リットＧ１３ま
での各グリッドについて検索したか否かを判別する。従
って、例えば限度トラック数αが「２０」に設定されて
いる場合、チャネル領域８のグリッドＧ４からグリッド
Ｇ１３における設定値Ｆ （Ｘ、 Ｙ）はそれぞれ「０
」であり、値（Ｆ （Ｘ、Ｙ）＋１）はそれぞれ「１」
となって限度トラック数αよりも小さくなるため、通過
可能と判別される。
通過不可能であると判別する。ステップ２３では配線の
仮想幹線の範囲、即ち、第６図では端点Ｂに対応するグ
リフｔ”Ｇ４から端点Ａに対応するり゛リットＧ１３ま
での各グリッドについて検索したか否かを判別する。従
って、例えば限度トラック数αが「２０」に設定されて
いる場合、チャネル領域８のグリッドＧ４からグリッド
Ｇ１３における設定値Ｆ （Ｘ、 Ｙ）はそれぞれ「０
」であり、値（Ｆ （Ｘ、Ｙ）＋１）はそれぞれ「１」
となって限度トラック数αよりも小さくなるため、通過
可能と判別される。
そして、ステップ２３で配線の仮想幹線の範囲における
各グリッドについて検索したと判別すると、ステップ２
４で配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）に配線経路を格納
する。第９図は配線経路の探索処理後における配列テー
ブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）を示し、第８図に示す配列テー
ブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）と比較して、新たにＦ （Ｇ１３
，１）、Ｆ （Ｇ１３゜３）、Ｆ （Ｇ１３，５）、Ｆ
（Ｇ１３，７）、Ｆ（Ｇ４，９）に１−１」か、チャ
ネル領域８におけるグリッドＧ４からグリッドＧ１３ま
での設定値Ｆ （Ｘ、Ｙ）に「１」が設定される。尚、
設定値Ｆ （Ｇ１３，１）、Ｆ （Ｇ４，９）はセル列
１゜９のバウンダリ上に端点Ａ、 Ｂを割り付けること
により自動的に設定される。
各グリッドについて検索したと判別すると、ステップ２
４で配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）に配線経路を格納
する。第９図は配線経路の探索処理後における配列テー
ブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）を示し、第８図に示す配列テー
ブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）と比較して、新たにＦ （Ｇ１３
，１）、Ｆ （Ｇ１３゜３）、Ｆ （Ｇ１３，５）、Ｆ
（Ｇ１３，７）、Ｆ（Ｇ４，９）に１−１」か、チャ
ネル領域８におけるグリッドＧ４からグリッドＧ１３ま
での設定値Ｆ （Ｘ、Ｙ）に「１」が設定される。尚、
設定値Ｆ （Ｇ１３，１）、Ｆ （Ｇ４，９）はセル列
１゜９のバウンダリ上に端点Ａ、 Ｂを割り付けること
により自動的に設定される。
又、第８図に示す配列テーブルＦＴ（Ｘ、Ｙ）において
、グローバル配線１１の配線幅を２クリツドとしてその
配線経路を探索する場合には、第１０図に示すフローチ
ャートに従って探索処理か実行される。
、グローバル配線１１の配線幅を２クリツドとしてその
配線経路を探索する場合には、第１０図に示すフローチ
ャートに従って探索処理か実行される。
まず、前記ステップ２０の処理を実行した後、ステップ
２５で前記ステップ２０で検索したクリットの右側に隣
接するグリッドにおける設定値Ｆ（Ｘ＆Ｌ Ｙ）か「０
」であるか否かを判別することにより、その配線がセル
列上を通過可能であるか否かを判別し、前記ステップ２
１の処理を実行する。例えば、第６図に示すグローバル
配線１１では各セル列３，５．．７のグリッドＧ１３゜
Ｇ１４上を通過可能か否かを判別する。このとき、設定
値Ｆ （Ｇ１３，３）、Ｆ （Ｇ１４．３）、Ｆ（Ｇ１
３，５）、Ｆ （Ｇ１４，５）、Ｆ （Ｇ１３゜７）、
Ｆ （Ｇ１４，７）はそれぞれ「０」であるため、通過
可能と判別される。
２５で前記ステップ２０で検索したクリットの右側に隣
接するグリッドにおける設定値Ｆ（Ｘ＆Ｌ Ｙ）か「０
」であるか否かを判別することにより、その配線がセル
列上を通過可能であるか否かを判別し、前記ステップ２
１の処理を実行する。例えば、第６図に示すグローバル
配線１１では各セル列３，５．．７のグリッドＧ１３゜
Ｇ１４上を通過可能か否かを判別する。このとき、設定
値Ｆ （Ｇ１３，３）、Ｆ （Ｇ１４．３）、Ｆ（Ｇ１
３，５）、Ｆ （Ｇ１４，５）、Ｆ （Ｇ１３゜７）、
Ｆ （Ｇ１４，７）はそれぞれ「０」であるため、通過
可能と判別される。
続く、ステップ２６ではチャネル領域を配線の仮想幹線
が通過可能か否かを、値（Ｆ （Ｘ、 Ｙ）＋２）がチ
ャネル領域の限度トラック数αより小さいか否かに基づ
いて判別し、次に前記ステップ２３の処理を実行する。
が通過可能か否かを、値（Ｆ （Ｘ、 Ｙ）＋２）がチ
ャネル領域の限度トラック数αより小さいか否かに基づ
いて判別し、次に前記ステップ２３の処理を実行する。
従って、例えば限度トラック数αが「２０」に設定され
ている場合、第６図に示すグローバル配線１１ではチャ
ネル領域８のグリッドＧ４からクリッドＧ１３における
設定値Ｆ （Ｘ、・Ｙ）はそれぞれ「０」であり、値（
Ｆ（Ｘ、Ｙ）＋２）はそれぞれ「２Ｊとなって限度トラ
ック数αよりも小さくなるため、通過可能と判別される
。
ている場合、第６図に示すグローバル配線１１ではチャ
ネル領域８のグリッドＧ４からクリッドＧ１３における
設定値Ｆ （Ｘ、・Ｙ）はそれぞれ「０」であり、値（
Ｆ（Ｘ、Ｙ）＋２）はそれぞれ「２Ｊとなって限度トラ
ック数αよりも小さくなるため、通過可能と判別される
。
この後、前記ステップ２４の処理か実行され、第１１図
に示すように配列テーブルＦＴに配線経路が格納される
。このときの配列テーブルＦＴ（Ｘ、Ｙ）は第８図に示
す配列テーブルＦＴ （Ｘ。
に示すように配列テーブルＦＴに配線経路が格納される
。このときの配列テーブルＦＴ（Ｘ、Ｙ）は第８図に示
す配列テーブルＦＴ （Ｘ。
Ｙ）と比較して、新たにＦ （ＧＩ３． １）、 Ｆ
（Ｇ１４．ＩＬ Ｆ （Ｇ１３，３）、Ｆ （Ｇ１４
゜３）、Ｆ （Ｇ１３，５）、Ｆ （Ｇ１４，５）、Ｆ
（Ｇ］３，７）、Ｆ （Ｇ１４，７）、Ｆ （Ｇ４゜９
）、Ｆ （Ｇ５，９）に「−１」か、チャネル領域８に
おけるグリッドＧ４からクリットＧ１４までの設定値Ｆ
（Ｘ、 Ｙ）に「２」が設定される。
（Ｇ１４．ＩＬ Ｆ （Ｇ１３，３）、Ｆ （Ｇ１４
゜３）、Ｆ （Ｇ１３，５）、Ｆ （Ｇ１４，５）、Ｆ
（Ｇ］３，７）、Ｆ （Ｇ１４，７）、Ｆ （Ｇ４゜９
）、Ｆ （Ｇ５，９）に「−１」か、チャネル領域８に
おけるグリッドＧ４からクリットＧ１４までの設定値Ｆ
（Ｘ、 Ｙ）に「２」が設定される。
尚、設定値Ｆ （Ｇ１３，１）、Ｆ （Ｇ１４，１）。
Ｆ （Ｇ４，９）、Ｆ （Ｇ５，９）はセル列１，９の
バウンダリ上に端点Ａ、Ｂを割り付けることにより自動
的に設定される。
バウンダリ上に端点Ａ、Ｂを割り付けることにより自動
的に設定される。
［発明が解決しようとする課題］
しかしなから、上記従来の配線方法において、例えば２
クリツド幅のクローバル配線の配線経路を決定しようと
する場合、各セル列において隣接する一対のクリットに
対してそれぞれ判別処理が必要となるため、１クリツド
幅のクローバル配線のセル列上の配線経路を決定する場
合と比較して応答時間が２倍になるとともに、チャネル
領域の経路探索を行うために異なる２種類のプログラム
か必要になるという問題点かあった。
クリツド幅のクローバル配線の配線経路を決定しようと
する場合、各セル列において隣接する一対のクリットに
対してそれぞれ判別処理が必要となるため、１クリツド
幅のクローバル配線のセル列上の配線経路を決定する場
合と比較して応答時間が２倍になるとともに、チャネル
領域の経路探索を行うために異なる２種類のプログラム
か必要になるという問題点かあった。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
って、り゛ローバル配線の配線幅に関わらず、複数のプ
ロクラムを用意する必要かなく、かつ、通常幅配線と同
じ応答時間で配線経路を効率的に決定できる半導体装置
の配線方法を提供することを目的とする。
って、り゛ローバル配線の配線幅に関わらず、複数のプ
ロクラムを用意する必要かなく、かつ、通常幅配線と同
じ応答時間で配線経路を効率的に決定できる半導体装置
の配線方法を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明はセル列上をセル列方
向と直交する方向に通過するとともに、各セル列間に形
成されたチャネル領域を通過するグローバル配線の配線
経路を決定するに際し、セル列方向に所定間隔で設定さ
れたセル列上の多数のグリッドのうち、配線か通過不可
能なグリッドを配線禁止グリッドとして設定するととも
に、そのクリットの一側方に位置する各グリッドに対し
て通過可能な配線幅を指示する配線幅レベルを設定する
。そして、任意のグリッドについてそのグリッドに対し
て設定された配線幅レベルが経路を決定すべき配線の配
線幅を満たすとき、当該クリットをセル列上の経路とし
て決定する。又、チャネル領域に任意幅の配線の経路を
仮定したとき、その配線及び他の配線による当該チャネ
ル領域のトラック総使用本数がチャネル領域に設定され
たトラック本数よりも小さいとき、当該チャネル領域を
グローバル配線の経路として決定する。
向と直交する方向に通過するとともに、各セル列間に形
成されたチャネル領域を通過するグローバル配線の配線
経路を決定するに際し、セル列方向に所定間隔で設定さ
れたセル列上の多数のグリッドのうち、配線か通過不可
能なグリッドを配線禁止グリッドとして設定するととも
に、そのクリットの一側方に位置する各グリッドに対し
て通過可能な配線幅を指示する配線幅レベルを設定する
。そして、任意のグリッドについてそのグリッドに対し
て設定された配線幅レベルが経路を決定すべき配線の配
線幅を満たすとき、当該クリットをセル列上の経路とし
て決定する。又、チャネル領域に任意幅の配線の経路を
仮定したとき、その配線及び他の配線による当該チャネ
ル領域のトラック総使用本数がチャネル領域に設定され
たトラック本数よりも小さいとき、当該チャネル領域を
グローバル配線の経路として決定する。
［作用］
セル列上の任意のグリッドについて、そのグリッドに対
して設定された配線幅レベルが経路を決定すべき配線の
配線幅を満たすとき、当該クリットがセル列上の経路と
して決定される。又、チャネル領域については任意幅の
配線の経路を仮定したとき、その配線及び他の配線によ
る当該チャネル領域のトラック総使用本数がチャネル領
域に設定されたトラック本数よりも小さいとき、当該チ
ャネル領域にり゛ローバル配線の経路が決定される。
して設定された配線幅レベルが経路を決定すべき配線の
配線幅を満たすとき、当該クリットがセル列上の経路と
して決定される。又、チャネル領域については任意幅の
配線の経路を仮定したとき、その配線及び他の配線によ
る当該チャネル領域のトラック総使用本数がチャネル領
域に設定されたトラック本数よりも小さいとき、当該チ
ャネル領域にり゛ローバル配線の経路が決定される。
従って、例えば２グリツド幅のり゛ローバル配線の配線
経路を探索する場合、セル列上の経路については１グリ
ツドについて探索してそのグリッドをセル列上の経路と
して決定できれば、隣接するクリッドについての探索が
必要なくなるとともに、チャネル領域の経路については
配線幅を与えるたけで経路の探索が行われるため、複数
のプログラムを用意する必要かなく、かつ、通常幅配線
と同じ応答時間でグローバル配線の配線経路か効率的に
決定される。
経路を探索する場合、セル列上の経路については１グリ
ツドについて探索してそのグリッドをセル列上の経路と
して決定できれば、隣接するクリッドについての探索が
必要なくなるとともに、チャネル領域の経路については
配線幅を与えるたけで経路の探索が行われるため、複数
のプログラムを用意する必要かなく、かつ、通常幅配線
と同じ応答時間でグローバル配線の配線経路か効率的に
決定される。
［実施例〕
以下、本発明を具体化した一実施例を第１〜４図に従っ
て説明する。
て説明する。
第１図は本発明の一実施例におけるクローバル配線の配
線経路探索処理を説明するフローチャート、第２図は一
実施例における初期配列テーブルを示す図、第３，４図
はそれぞれ一実施例における配線経路探索処理後の配列
テーブルを示す図であり、第７〜１１図と同様の構成に
ついては同一の符号を付して説明を一部省略する。
線経路探索処理を説明するフローチャート、第２図は一
実施例における初期配列テーブルを示す図、第３，４図
はそれぞれ一実施例における配線経路探索処理後の配列
テーブルを示す図であり、第７〜１１図と同様の構成に
ついては同一の符号を付して説明を一部省略する。
本実施例では１グリツド幅及び２グリツド幅のクローバ
ル配線の配線経路を決定する自動配線装置の例を示し、
配線の帳付は方向は配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）にお
いてＸ方向としている。この自動配線装置を使用して、
例えば第４図に示すゲートアレイＩＯについて、第５図
に示すようにセル列１の端点Ａとセル列９の端点Ｂとを
結ぶグローバル配線１１を決定するには、まず、第２図
に示す配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）を作成する。
ル配線の配線経路を決定する自動配線装置の例を示し、
配線の帳付は方向は配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）にお
いてＸ方向としている。この自動配線装置を使用して、
例えば第４図に示すゲートアレイＩＯについて、第５図
に示すようにセル列１の端点Ａとセル列９の端点Ｂとを
結ぶグローバル配線１１を決定するには、まず、第２図
に示す配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）を作成する。
この配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）では、初期設定と
して各セル列１．３，５，７．９の各クリッドＧ１〜Ｇ
１６にはそのり゛リットかセル内禁止又は既に他の配線
の経路として選ばれたグリッドならば配線禁止クリット
として「−２」を設定するとともに、その配線禁止クリ
ットの左側に位置するクリットに対して通過可能な配線
幅、即ち、１グリツド幅を指示する配線幅レベルをマイ
ナス符号を付与して「−１」で設定し、その他のグリッ
ドには「０」を設定して２グリツド幅配線も通過可能と
している。又、各チャネル領域２，４，６゜８の各グリ
ッドＧ１−Ｇ１６には初期には「０」を設定し、それ以
後はグローバル配線の経路探索を行う毎にその配線の仮
想幹線が通過した使用トラック本数を設定する。
して各セル列１．３，５，７．９の各クリッドＧ１〜Ｇ
１６にはそのり゛リットかセル内禁止又は既に他の配線
の経路として選ばれたグリッドならば配線禁止クリット
として「−２」を設定するとともに、その配線禁止クリ
ットの左側に位置するクリットに対して通過可能な配線
幅、即ち、１グリツド幅を指示する配線幅レベルをマイ
ナス符号を付与して「−１」で設定し、その他のグリッ
ドには「０」を設定して２グリツド幅配線も通過可能と
している。又、各チャネル領域２，４，６゜８の各グリ
ッドＧ１−Ｇ１６には初期には「０」を設定し、それ以
後はグローバル配線の経路探索を行う毎にその配線の仮
想幹線が通過した使用トラック本数を設定する。
従って、第４図に示すゲートアレイ１０に対応する配列
テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）の設定値Ｆ （Ｘ。
テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）の設定値Ｆ （Ｘ。
Ｙ）は、Ｆ （Ｇ３，１）、Ｆ （Ｇ５，１）、Ｆ（Ｇ
８，１）、Ｆ （Ｇ６，３）、Ｆ （Ｇ９，３）。
８，１）、Ｆ （Ｇ６，３）、Ｆ （Ｇ９，３）。
Ｆ （Ｇ１５，３）、Ｆ （Ｇ３，５）、Ｆ （Ｇ５゜
５）、Ｆ （Ｇ６，７）、Ｆ （Ｇ１５，７）、Ｆ（Ｇ
３，９）、Ｆ （Ｇ１２，９）がそれぞれ「２」となる
。又、設定値Ｆ （Ｇ２． Ｉ）、 Ｆ （Ｇ４，
１）、Ｆ （Ｇ７，１）、Ｆ （Ｇ５，３）。
５）、Ｆ （Ｇ６，７）、Ｆ （Ｇ１５，７）、Ｆ（Ｇ
３，９）、Ｆ （Ｇ１２，９）がそれぞれ「２」となる
。又、設定値Ｆ （Ｇ２． Ｉ）、 Ｆ （Ｇ４，
１）、Ｆ （Ｇ７，１）、Ｆ （Ｇ５，３）。
Ｆ （Ｇ８，３）、Ｆ （Ｇ１４，３）、Ｆ （Ｇ２゜
５）、Ｆ （Ｇ４，５）、Ｆ （Ｇ５，７）、Ｆ （Ｇ
１４，７）、Ｆ （Ｇ２，９）、Ｆ （Ｇｌ １，９）
がそれぞれ「−１」となり、それ以外のＦ （Ｘ。
５）、Ｆ （Ｇ４，５）、Ｆ （Ｇ５，７）、Ｆ （Ｇ
１４，７）、Ｆ （Ｇ２，９）、Ｆ （Ｇｌ １，９）
がそれぞれ「−１」となり、それ以外のＦ （Ｘ。
Ｙ）は「０」となる。
そして、グローバル配線１１の配線経路を探索する場合
には、第１図に示すフローチャートに従って探索処理か
実行される。
には、第１図に示すフローチャートに従って探索処理か
実行される。
まず、ステップ３０て各セル列の任意のグリッドにおけ
る設定値Ｆ （Ｘ、 Ｙ）が判定値７ａｊ以上であるか
否か、即ち、その配線がセル列上を通過可能であるか否
かを判別する。上記判定値１ａＪとしでは、配線を１グ
リッド幅配線とする場合には予め「−１」を設定し、配
線を２グリッド幅配線とする場合には予め「０」を設定
してお（。
る設定値Ｆ （Ｘ、 Ｙ）が判定値７ａｊ以上であるか
否か、即ち、その配線がセル列上を通過可能であるか否
かを判別する。上記判定値１ａＪとしでは、配線を１グ
リッド幅配線とする場合には予め「−１」を設定し、配
線を２グリッド幅配線とする場合には予め「０」を設定
してお（。
次に前記ステップ２１の処理を実行した後、ステップ３
１に進む。ステップ３１てはチャネル領域を配線の仮想
幹線が通過可能か否かを、値（Ｆ（Ｘ、Ｙ）÷ｂ）がチ
ャネル領域の限度トラック数αより小さいか否かに基づ
いて判別する。即ち、値（Ｆ （Ｘ、 Ｙ） ＋ｂ）が
限度トラック数αよりも小さいと仮想幹線が通過可能と
判別し、値（Ｆ（Ｘ、 Ｙ）÷ｂ）が限度トラック数α
以上であると仮想幹線が通過不可能であると判別する。
１に進む。ステップ３１てはチャネル領域を配線の仮想
幹線が通過可能か否かを、値（Ｆ（Ｘ、Ｙ）÷ｂ）がチ
ャネル領域の限度トラック数αより小さいか否かに基づ
いて判別する。即ち、値（Ｆ （Ｘ、 Ｙ） ＋ｂ）が
限度トラック数αよりも小さいと仮想幹線が通過可能と
判別し、値（Ｆ（Ｘ、 Ｙ）÷ｂ）が限度トラック数α
以上であると仮想幹線が通過不可能であると判別する。
上記値「ｂＪとしては、配線を１グリッド幅配線とする
場合には予め「１」を設定し、２クリット幅配線とする
場合には予め「２」を設定しておく。
場合には予め「１」を設定し、２クリット幅配線とする
場合には予め「２」を設定しておく。
この後、ステップ２３で配線の仮想幹線の範囲における
各グリッドについて検索したと判別すると、ステップ２
４の処理を実行し、第２図に示す初期配列テーブルＦＴ
（Ｘ、 Ｙ）に配線経路か格納される。
各グリッドについて検索したと判別すると、ステップ２
４の処理を実行し、第２図に示す初期配列テーブルＦＴ
（Ｘ、 Ｙ）に配線経路か格納される。
従って、例えば第６図に示すグローバル配線１１を１グ
リッド幅として配線経路を探索した場合には、ステップ
３０で設定値Ｆ （Ｇ１３，３）。
リッド幅として配線経路を探索した場合には、ステップ
３０で設定値Ｆ （Ｇ１３，３）。
Ｆ （Ｇ１３，５Ｌ Ｆ （Ｇ１３．７）はそれぞれ
「０」、即ち、２クリット幅配線か通過可能であるため
、１り゛リッド幅のり゛ローバル配線１１は各セル列３
，５．７のグリッドＧ１３上を通過可能と判別される。
「０」、即ち、２クリット幅配線か通過可能であるため
、１り゛リッド幅のり゛ローバル配線１１は各セル列３
，５．７のグリッドＧ１３上を通過可能と判別される。
又、ステップ３１で値（Ｆ （Ｘ。
Ｙ）＋１）が限度トラック数α（例えば「２０」）より
小さいため、１グリッド幅の仮想幹線がチャネル領域８
を通過可能であると判別される。
小さいため、１グリッド幅の仮想幹線がチャネル領域８
を通過可能であると判別される。
第３図は１グリッド幅のクローバル配線の探索結果を格
納した配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）を示している。
納した配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）を示している。
この配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）では第２図に示す初
期配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）と比較して、新たに
Ｆ （Ｇ１３． ＩＬ Ｆ （Ｇｌ ３゜３）、Ｆ
（Ｇ１３，５）、Ｆ （Ｇ１３，７）、Ｆ（Ｇ４，９）
に「−２」が、Ｆ （Ｇ１２，１）。
期配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）と比較して、新たに
Ｆ （Ｇ１３． ＩＬ Ｆ （Ｇｌ ３゜３）、Ｆ
（Ｇ１３，５）、Ｆ （Ｇ１３，７）、Ｆ（Ｇ４，９）
に「−２」が、Ｆ （Ｇ１２，１）。
Ｆ （Ｇ１２． ３）、 Ｆ （Ｇ１２． ５）、
Ｆ （Ｇ１２゜７）に「−１」が、さらにチャネル領域
８におけるグリッドＧ４からクリッドＧ１３までの設定
値Ｆ （Ｘ、Ｙ）に「１」が設定されている。尚、設定
値Ｆ （Ｇ１３，１）、Ｆ （Ｇ４，９）の［−２−及
びＦ （Ｇ１２．１）の「−１」はセル列１のバウンダ
リ上に端点Ａを割り付けることにより自動的に設定され
る。又、前記定義によれは位置（Ｇ３゜９）にはｒ、１
．・か設定されるのであるか、位置（Ｇ３，９）は配線
禁止クリットであるため、その値は変更されていない。
Ｆ （Ｇ１２゜７）に「−１」が、さらにチャネル領域
８におけるグリッドＧ４からクリッドＧ１３までの設定
値Ｆ （Ｘ、Ｙ）に「１」が設定されている。尚、設定
値Ｆ （Ｇ１３，１）、Ｆ （Ｇ４，９）の［−２−及
びＦ （Ｇ１２．１）の「−１」はセル列１のバウンダ
リ上に端点Ａを割り付けることにより自動的に設定され
る。又、前記定義によれは位置（Ｇ３゜９）にはｒ、１
．・か設定されるのであるか、位置（Ｇ３，９）は配線
禁止クリットであるため、その値は変更されていない。
又、第６図に示すクローバル配線１１を２り゛リット幅
として配線経路を探索した場合には、ステップ３０て設
定値Ｆ （Ｇ１３，３）、Ｆ （Ｇ１３゜５）、Ｆ （
Ｇ１３，７）はそれぞれ「ＯＪ、即ち、２グリッド幅配
線か通過可能であるため、２グリッド幅のグローバル配
線１１は各セル列３，５゜７のグリッドＧ１３上を通過
可能と判別される。
として配線経路を探索した場合には、ステップ３０て設
定値Ｆ （Ｇ１３，３）、Ｆ （Ｇ１３゜５）、Ｆ （
Ｇ１３，７）はそれぞれ「ＯＪ、即ち、２グリッド幅配
線か通過可能であるため、２グリッド幅のグローバル配
線１１は各セル列３，５゜７のグリッドＧ１３上を通過
可能と判別される。
又、ステップ３１で値（Ｆ （Ｘ、 Ｙ）士２）か限度
トラック数α（例えばｒ２０Ｊ）より小さいため、２ク
リット幅の仮想幹線かチャネル領域８を通過可能である
と判別される。
トラック数α（例えばｒ２０Ｊ）より小さいため、２ク
リット幅の仮想幹線かチャネル領域８を通過可能である
と判別される。
第４図は２グリッド幅のグローバル配線の探索結果を格
納した配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）を示している。
納した配列テーブルＦＴ （Ｘ、 Ｙ）を示している。
この配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）では第２図に示す初
期配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）と比較して、新たにＦ
（Ｇ１３，１）、Ｆ （Ｇ１４゜１）、Ｆ （Ｇ１３
，３）、Ｆ （Ｇｌ４．３）、Ｆ（Ｇ１３，５）、Ｆ
（Ｇ１４．５）、Ｆ （Ｇ１３゜７）、Ｆ （Ｇｌ ４
，７）、Ｆ （Ｇ４，９）、Ｆ（Ｇ５，９）に「−２」
か、Ｆ（Ｇ１２，１）。
期配列テーブルＦＴ （Ｘ、Ｙ）と比較して、新たにＦ
（Ｇ１３，１）、Ｆ （Ｇ１４゜１）、Ｆ （Ｇ１３
，３）、Ｆ （Ｇｌ４．３）、Ｆ（Ｇ１３，５）、Ｆ
（Ｇ１４．５）、Ｆ （Ｇ１３゜７）、Ｆ （Ｇｌ ４
，７）、Ｆ （Ｇ４，９）、Ｆ（Ｇ５，９）に「−２」
か、Ｆ（Ｇ１２，１）。
Ｆ （Ｇｌ ２． ３） 、 Ｆ （Ｇ１２． ５）
、 Ｆ （Ｇ１２゜７）に「−１」か、さらにチャ
ネル領域８におけるグリッドＧ４からり゛リッドＧ１３
までの設定値Ｆ （Ｘ、 Ｙ）に「２Δが設定されてい
る。尚、設定値Ｆ （Ｇ１４，１）、Ｆ （Ｇ１４，３
）、Ｆ（Ｇ１４，５）、Ｆ （Ｇ１４，７）、Ｆ （Ｇ
５゜９）の「−２」は配線の幅対は方向を配列テーブル
ＦＴ （Ｘ、Ｙ）においてＸ方向としているため自動的
に設定される。
、 Ｆ （Ｇ１２゜７）に「−１」か、さらにチャ
ネル領域８におけるグリッドＧ４からり゛リッドＧ１３
までの設定値Ｆ （Ｘ、 Ｙ）に「２Δが設定されてい
る。尚、設定値Ｆ （Ｇ１４，１）、Ｆ （Ｇ１４，３
）、Ｆ（Ｇ１４，５）、Ｆ （Ｇ１４，７）、Ｆ （Ｇ
５゜９）の「−２」は配線の幅対は方向を配列テーブル
ＦＴ （Ｘ、Ｙ）においてＸ方向としているため自動的
に設定される。
このように、本実施例ではり゛ローバル配線の配線経路
の探索に際して作成する配列テーブルＦＴ（Ｘ、Ｙ）に
おいて、各セル列１，３，５，７゜９の各クリッド０１
〜Ｇ１６にはそのグリッドがセル内禁止又は既に他の配
線の経路として選ばれたグリッドならば配線禁止グリッ
ドとして「−２」を、その配線禁止グリッドの左側に位
置するクリッドに対して通過可能な配線の配線幅、即ち
、１グリッド幅を指示する配線幅レベルをマイナス符号
を付与して「−１」を、その他のグリッドには２グリッ
ド幅配線も通過可能な「０」を設定するとともに、各チ
ャネル領域２，４，６．８の各り゛リッドＧ１−Ｇ１６
にはグローバル配線の経路探索を行う毎にその配線の仮
想幹線が通過した使用トラック本数を設定した。又、グ
ローバル配線のセル列上の経路を探索するための判定値
として変数ａを用いるとともに、グローバル配線のチャ
ネル領域の経路を探索するための値として変数すを用い
、その配線幅を１グリッド幅とする場合には変数ａとし
てｒ−１Ｊ、変数すとして「１」を設定し、配線幅を２
クリット幅とする場合には変数ａとして「０」、変数す
として「２」を設定した。
の探索に際して作成する配列テーブルＦＴ（Ｘ、Ｙ）に
おいて、各セル列１，３，５，７゜９の各クリッド０１
〜Ｇ１６にはそのグリッドがセル内禁止又は既に他の配
線の経路として選ばれたグリッドならば配線禁止グリッ
ドとして「−２」を、その配線禁止グリッドの左側に位
置するクリッドに対して通過可能な配線の配線幅、即ち
、１グリッド幅を指示する配線幅レベルをマイナス符号
を付与して「−１」を、その他のグリッドには２グリッ
ド幅配線も通過可能な「０」を設定するとともに、各チ
ャネル領域２，４，６．８の各り゛リッドＧ１−Ｇ１６
にはグローバル配線の経路探索を行う毎にその配線の仮
想幹線が通過した使用トラック本数を設定した。又、グ
ローバル配線のセル列上の経路を探索するための判定値
として変数ａを用いるとともに、グローバル配線のチャ
ネル領域の経路を探索するための値として変数すを用い
、その配線幅を１グリッド幅とする場合には変数ａとし
てｒ−１Ｊ、変数すとして「１」を設定し、配線幅を２
クリット幅とする場合には変数ａとして「０」、変数す
として「２」を設定した。
これにより、グローバル配線の配線幅に関わらず、通常
幅配線と同じ応答時間で配線経路を効率的に決定でき、
複数のプロクラムを用意する必要もない。
幅配線と同じ応答時間で配線経路を効率的に決定でき、
複数のプロクラムを用意する必要もない。
尚、本実施例では２クリッド幅までのクローバル配線の
経路探索を行う自動配線装置について述べたが、これに
限定されるものではなく、例えば３グリッド幅までのグ
ローバル配線の経路探索を行う自動配線装置に実施して
もよい。
経路探索を行う自動配線装置について述べたが、これに
限定されるものではなく、例えば３グリッド幅までのグ
ローバル配線の経路探索を行う自動配線装置に実施して
もよい。
［発明の効果］
以上詳述したように、本発明によれはクローバル配線の
配線幅に関わらず、複数のプログラムを用意する必要が
なく、かつ、通常幅配線と同じ応答時間で配線経路を効
率的に決定できる優れた効果かある。
配線幅に関わらず、複数のプログラムを用意する必要が
なく、かつ、通常幅配線と同じ応答時間で配線経路を効
率的に決定できる優れた効果かある。
第１図は本発明の一実施例におけるグローバル配線の配
線経路探索処理を説明するフローチャート、 第２図は一実施例における初期配列テーブルを示す図、 第３図は一実施例における配線経路探索処理後の配列チ
ーフルを示す図、 第４図は一実施例における配線経路探索処理後の配列チ
ーフルを示す図、 第５図はゲートアレイの一例を示す図、第６図はクロー
バル配線の配線経路を示す図、第７図は従来のり゛ロー
バル配線の配線経路探索処理を説明するフローチャート
、 第８図は従来の初期配列テーブルを示す図、第９図は従
来の配線経路探索処理後の配列テーブルを示す図、 第１０図は従来のクローバル配線の配線経路探索処理を
説明するフローチャート、 第１１図は従来の配線経路探索処理後の配列テーブルを
示す図である。 図において、 １゜ ３゜ ５゜ ７゜ ９はセル列、 ２゜ ４゜ ６゜ ８はチャネル領域、 はグローバル配線、 Ｇ １〜Ｇ ６はグリ ッ ドである。 実態９’ｌｌＺあける初期配り」テ ブルを示す図 第３図 実旋例における配綾経路探素処理螢の配列テブルを示′
１図 × 第 ４ 図 実Ｉｆ！例１こおける配綾経路探素処理皆の配列テブル
を示寸図 ゲ トアレイの一例杏子す図 ＧＩ Ｇ２ Ｇ３６４ Ｇ５６６ Ｇ７Ｇ８ Ｇ９ Ｇ
１０ Ｇｌｉ Ｇ１２ Ｇ１３ Ｇ１４ Ｇ１５ Ｇ１
６第 〒 図 第 図 グロ ノｊル配線の配線経路杏子す図 Ｇｉ Ｇ２ Ｇ３ Ｇ４ Ｇ５３６ Ｇ７ Ｇ８ Ｇ９
Ｇ１０ Ｇｉｉ Ｇ１２ Ｇ１３ Ｇ１４ Ｇ１５
Ｇ１６第 図 第 ８ 図 従来の初期配りｊテーブルを示Ｔ図 第９図 従来の配線経路探索処理管の配列テーブル杏子す図°第
１１図
線経路探索処理を説明するフローチャート、 第２図は一実施例における初期配列テーブルを示す図、 第３図は一実施例における配線経路探索処理後の配列チ
ーフルを示す図、 第４図は一実施例における配線経路探索処理後の配列チ
ーフルを示す図、 第５図はゲートアレイの一例を示す図、第６図はクロー
バル配線の配線経路を示す図、第７図は従来のり゛ロー
バル配線の配線経路探索処理を説明するフローチャート
、 第８図は従来の初期配列テーブルを示す図、第９図は従
来の配線経路探索処理後の配列テーブルを示す図、 第１０図は従来のクローバル配線の配線経路探索処理を
説明するフローチャート、 第１１図は従来の配線経路探索処理後の配列テーブルを
示す図である。 図において、 １゜ ３゜ ５゜ ７゜ ９はセル列、 ２゜ ４゜ ６゜ ８はチャネル領域、 はグローバル配線、 Ｇ １〜Ｇ ６はグリ ッ ドである。 実態９’ｌｌＺあける初期配り」テ ブルを示す図 第３図 実旋例における配綾経路探素処理螢の配列テブルを示′
１図 × 第 ４ 図 実Ｉｆ！例１こおける配綾経路探素処理皆の配列テブル
を示寸図 ゲ トアレイの一例杏子す図 ＧＩ Ｇ２ Ｇ３６４ Ｇ５６６ Ｇ７Ｇ８ Ｇ９ Ｇ
１０ Ｇｌｉ Ｇ１２ Ｇ１３ Ｇ１４ Ｇ１５ Ｇ１
６第 〒 図 第 図 グロ ノｊル配線の配線経路杏子す図 Ｇｉ Ｇ２ Ｇ３ Ｇ４ Ｇ５３６ Ｇ７ Ｇ８ Ｇ９
Ｇ１０ Ｇｉｉ Ｇ１２ Ｇ１３ Ｇ１４ Ｇ１５
Ｇ１６第 図 第 ８ 図 従来の初期配りｊテーブルを示Ｔ図 第９図 従来の配線経路探索処理管の配列テーブル杏子す図°第
１１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 セル列上をセル列方向と直交する方向に通過するとと
もに、各セル列間に形成されたチャネル領域を通過する
グローバル配線の配線経路を決定するに際し、 セル列方向に所定間隔で設定されたセル列上の多数のグ
リッドのうち、配線が通過不可能なグリッドを配線禁止
グリッドとして設定するとともに、そのグリッドの一側
方に位置する各グリッドに対して通過可能な配線幅を指
示する配線幅レベルを設定し、任意のグリッドについて
そのグリッドに対して設定された配線幅レベルが経路を
決定すべき配線の配線幅を満たすとき、当該グリッドを
セル列上の経路として決定するとともに、チャネル領域
に任意幅の配線の経路を仮定したとき、その配線及び他
の配線による当該チャネル領域のトラック総使用本数が
チャネル領域に設定されたトラック本数よりも小さいと
き、当該チャネル領域に当該グローバル配線の経路を決
定するようにしたことを特徴とする半導体装置の配線方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2188380A JP3029206B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 半導体装置の配線方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2188380A JP3029206B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 半導体装置の配線方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474454A true JPH0474454A (ja) | 1992-03-09 |
| JP3029206B2 JP3029206B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=16222612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2188380A Expired - Fee Related JP3029206B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 半導体装置の配線方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3029206B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001274254A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路の自動配置配線方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10411288B2 (en) | 2011-11-29 | 2019-09-10 | Corning Incorporated | Reactive sintering of ceramic lithium-ion solid electrolytes |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP2188380A patent/JP3029206B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001274254A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路の自動配置配線方法 |
| JP4587520B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2010-11-24 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路の自動配置配線方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3029206B2 (ja) | 2000-04-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |