JPH0472515A - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダInfo
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- JPH0472515A JPH0472515A JP18571790A JP18571790A JPH0472515A JP H0472515 A JPH0472515 A JP H0472515A JP 18571790 A JP18571790 A JP 18571790A JP 18571790 A JP18571790 A JP 18571790A JP H0472515 A JPH0472515 A JP H0472515A
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- scale
- disk
- scanning
- actuator
- objective lens
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、半導体レーザを用いてスケールの回転変位
量もしくは直線変位量を検出する光学式エンコーダに関
するものである。
量もしくは直線変位量を検出する光学式エンコーダに関
するものである。
「従来の技術」
従来、半導体レーザを用いて回転変位量を検出する光学
式ロータリーエンコーダとして、第6図に示す構成のも
のが提案されている(特開昭59195118号公報)
。第6図において、ボールベアリング30.30によっ
て支持された回転軸31の一端には、ディスク32が取
り付けられており、このディスク32には、その回転方
向に沿って等間隔にスリット32m、32a、・・・が
形成されている。そして、半導体レーザ33から発せら
れたレーザビームLBをコリメートレンズ34で平行光
とした後、集光レンズ35で微小スポットに集光してデ
ィスク32上に照射し、このディスり32に形成された
スリット32gを通過したレーザビームLBを受光素子
36で検出する光学検出系37を設けることにより、デ
ィスク32の回転変位量が検出されるようになっている
。
式ロータリーエンコーダとして、第6図に示す構成のも
のが提案されている(特開昭59195118号公報)
。第6図において、ボールベアリング30.30によっ
て支持された回転軸31の一端には、ディスク32が取
り付けられており、このディスク32には、その回転方
向に沿って等間隔にスリット32m、32a、・・・が
形成されている。そして、半導体レーザ33から発せら
れたレーザビームLBをコリメートレンズ34で平行光
とした後、集光レンズ35で微小スポットに集光してデ
ィスク32上に照射し、このディスり32に形成された
スリット32gを通過したレーザビームLBを受光素子
36で検出する光学検出系37を設けることにより、デ
ィスク32の回転変位量が検出されるようになっている
。
「発明が解決しようとする課題」
ところで、第6図に示す構成においては、単位時間当た
りの回転軸31の回転量が検出てきるものの、その絶対
的な回転角度については検出することができない。この
絶対的な回転角度を検出するためには、例えば、第7図
に示すように、ディスク32に、互いに位相の異なるA
相スリット32A、32A、・・・とB相スリット32
B、32B、・・・を形成すると共に、原点となる基準
位置に1個のスリット32Cを形成し、これらのスリッ
ト32A、32B、32Cを各々検出し、各スリットに
対してA相パルスとB相パルスと原点パルスを各々出力
する3組の光学検出系37を設けなければならない。こ
れはインクリメンタル型と呼ばれるものであるが、この
ような方法では、光学検出系37を少な(とも3組設け
なければならないため、部品点数や組立工程数の増加が
避けられず、装置全体の小形化が困難で、保守点検も煩
雑であるという問題があった。
りの回転軸31の回転量が検出てきるものの、その絶対
的な回転角度については検出することができない。この
絶対的な回転角度を検出するためには、例えば、第7図
に示すように、ディスク32に、互いに位相の異なるA
相スリット32A、32A、・・・とB相スリット32
B、32B、・・・を形成すると共に、原点となる基準
位置に1個のスリット32Cを形成し、これらのスリッ
ト32A、32B、32Cを各々検出し、各スリットに
対してA相パルスとB相パルスと原点パルスを各々出力
する3組の光学検出系37を設けなければならない。こ
れはインクリメンタル型と呼ばれるものであるが、この
ような方法では、光学検出系37を少な(とも3組設け
なければならないため、部品点数や組立工程数の増加が
避けられず、装置全体の小形化が困難で、保守点検も煩
雑であるという問題があった。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、単一
の光学検出系て、スケールの絶対的な変位を検出するた
めの多相信号を得ることができる光学式エンコーダを提
供することを目的としている。
の光学検出系て、スケールの絶対的な変位を検出するた
めの多相信号を得ることができる光学式エンコーダを提
供することを目的としている。
「課題を解決するための手段」
この発明は、移動自在に支持され、その移動方向に沿っ
て等間隔に、かつ移動方向と略直交する方向へ延びる複
数の位置情報が光学的に記録されたスケールと、半導体
レーザから発せられるレーザビームを微小スポットに集
光して前記スケールの表面に照射すると共に、その反射
光を受光し、反射光量に対応した検出信号を出力する光
学検出手段と、前記微小スポットを前記スケールの移動
方向と略直交する方向へ一定範囲内であってかつ一定周
期で走査させる走査手段と、前記検出信号を前記走査手
段の走査タイミングに同期して時分割で取り込むサンプ
リング手段と、前記サンプリング手段によって取り込ま
れた検出信号に基づいて、前記スケールの複数の位置情
報に対応し、かつ互いに所定の位相差を有する多相信号
を再生する再生手段とを具備することを特徴としている
。
て等間隔に、かつ移動方向と略直交する方向へ延びる複
数の位置情報が光学的に記録されたスケールと、半導体
レーザから発せられるレーザビームを微小スポットに集
光して前記スケールの表面に照射すると共に、その反射
光を受光し、反射光量に対応した検出信号を出力する光
学検出手段と、前記微小スポットを前記スケールの移動
方向と略直交する方向へ一定範囲内であってかつ一定周
期で走査させる走査手段と、前記検出信号を前記走査手
段の走査タイミングに同期して時分割で取り込むサンプ
リング手段と、前記サンプリング手段によって取り込ま
れた検出信号に基づいて、前記スケールの複数の位置情
報に対応し、かつ互いに所定の位相差を有する多相信号
を再生する再生手段とを具備することを特徴としている
。
「作用」
上記の構成によれば、移動方向と略直交する方向へ延び
る複数の位置情報が光学的に記録されたスケールの表面
が、微小スポットによって、そのスケールの移動方向と
略直交する方向へ一定周期で走査され、その反射光量に
対応した検出信号が走査タイミングに同期して時分割で
取り込まれ、この取り込まれた検出信号に基づいて、ス
ケールの複数の位置情報に対応し、かつ互いに所定の位
相差を有する多相信号が再生され、これにより、スケー
ルの絶対的な変位を検出するための多相信号が得られる
。
る複数の位置情報が光学的に記録されたスケールの表面
が、微小スポットによって、そのスケールの移動方向と
略直交する方向へ一定周期で走査され、その反射光量に
対応した検出信号が走査タイミングに同期して時分割で
取り込まれ、この取り込まれた検出信号に基づいて、ス
ケールの複数の位置情報に対応し、かつ互いに所定の位
相差を有する多相信号が再生され、これにより、スケー
ルの絶対的な変位を検出するための多相信号が得られる
。
「実施例」
以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。
る。
第1図はこの発明の一実施例の構成を示すブロック図で
ある。この図において、■はディスクであり、その移動
方向Mに沿って等間隔に、すなわちl 1の比率で凸状
のランド部2aと凹状のピット部2bが交互に形成され
た透明プラスチックの基板2と、この基板2のピット部
2bが形成された面にアルミニウム等の薄膜を蒸着する
ことによって形成された反射膜3と、この反射膜3を覆
うように形成された透明プラスチックの保護膜4とから
構成されている。このディスクlは第2図に示すように
、図示せぬボールベアリング等によって回転自在に支持
された回転軸5に取り付けられており、その回転方向M
に沿って等間隔にかつ微細な間隔でランド部2aとピッ
ト部2bとが放射状に形成されている。そして、このデ
ィスクlの原点となる基準位置においては、第3図に示
すように、ランド部2aとピット部2bか形成されたメ
イントラックTよりも内周側に、原点ピット部2Cが形
成されている。
ある。この図において、■はディスクであり、その移動
方向Mに沿って等間隔に、すなわちl 1の比率で凸状
のランド部2aと凹状のピット部2bが交互に形成され
た透明プラスチックの基板2と、この基板2のピット部
2bが形成された面にアルミニウム等の薄膜を蒸着する
ことによって形成された反射膜3と、この反射膜3を覆
うように形成された透明プラスチックの保護膜4とから
構成されている。このディスクlは第2図に示すように
、図示せぬボールベアリング等によって回転自在に支持
された回転軸5に取り付けられており、その回転方向M
に沿って等間隔にかつ微細な間隔でランド部2aとピッ
ト部2bとが放射状に形成されている。そして、このデ
ィスクlの原点となる基準位置においては、第3図に示
すように、ランド部2aとピット部2bか形成されたメ
イントラックTよりも内周側に、原点ピット部2Cが形
成されている。
次に、第1図において、6は光ピツクアップであり、半
導体レーザ7、コリメートレンズ8、アクチュエータ9
、ビームスプリッタlO1対物レンズ11.集光レンズ
12、シリンドリカルレンズ13、および光検出器14
によって構成されている。
導体レーザ7、コリメートレンズ8、アクチュエータ9
、ビームスプリッタlO1対物レンズ11.集光レンズ
12、シリンドリカルレンズ13、および光検出器14
によって構成されている。
そして、半導体レーザ7がレーザ駆動回路15によって
駆動されて、レーザビームLBを発すると、このレーザ
ビームLBかコリメートレンズ8によって平行光とされ
1こ後、ビームスプリッタlOに導かれ、このビームス
プリッタ10によって光路が直角に折り曲げられて対物
レンズllに導かれ、さらに、この対物レンズ11によ
って微小のスポットに集光されて、ディスク1上に照射
される。
駆動されて、レーザビームLBを発すると、このレーザ
ビームLBかコリメートレンズ8によって平行光とされ
1こ後、ビームスプリッタlOに導かれ、このビームス
プリッタ10によって光路が直角に折り曲げられて対物
レンズllに導かれ、さらに、この対物レンズ11によ
って微小のスポットに集光されて、ディスク1上に照射
される。
ここで、レーザビームLBがディスクlのピット部2b
に照射されると、ピット部2bとランド部2aとからの
反射光の干渉効果によって対物レンズ11に入射する反
射光量が減少する。一方、ビット部2bとビット部2b
の間のランド部2aにお(1では、全ての反射光が対物
レンズ1目二人射するため、反射光量が増加する。
に照射されると、ピット部2bとランド部2aとからの
反射光の干渉効果によって対物レンズ11に入射する反
射光量が減少する。一方、ビット部2bとビット部2b
の間のランド部2aにお(1では、全ての反射光が対物
レンズ1目二人射するため、反射光量が増加する。
また、対物レンズ11は、第4図に示すようにアクチュ
エータ9によってディスクlの半径方向、すなわちメイ
ントラックTを横断する方向に駆動される。このアクチ
ュエータ9は、対物レンズllに取り付けられたアクチ
ュエータコイルと、光ピツクアップ6のケースに固定的
に設けられた永久磁石およびヨークによって構成されて
いるが、その構造は、CD(コンパクトディスク)プレ
ーヤにおいて一般に広く用いられているトラッキングア
クチュエータと同様の構造であるので、その詳細は省略
する。そして、対物レンズ11はアクチュエータ9によ
って駆動されることにより、第4図に2点鎖線で示すよ
うに、一定距離Qの範囲内を、メイントラックTを横断
する方向へ往復移動し、これにより、ディスク1の表面
には第3図に示すように、ディスク1の半径方向の仮想
線Kに沿ってレーザビームスポットLSa、LSb、L
Scが順次照射されることになる。
エータ9によってディスクlの半径方向、すなわちメイ
ントラックTを横断する方向に駆動される。このアクチ
ュエータ9は、対物レンズllに取り付けられたアクチ
ュエータコイルと、光ピツクアップ6のケースに固定的
に設けられた永久磁石およびヨークによって構成されて
いるが、その構造は、CD(コンパクトディスク)プレ
ーヤにおいて一般に広く用いられているトラッキングア
クチュエータと同様の構造であるので、その詳細は省略
する。そして、対物レンズ11はアクチュエータ9によ
って駆動されることにより、第4図に2点鎖線で示すよ
うに、一定距離Qの範囲内を、メイントラックTを横断
する方向へ往復移動し、これにより、ディスク1の表面
には第3図に示すように、ディスク1の半径方向の仮想
線Kに沿ってレーザビームスポットLSa、LSb、L
Scが順次照射されることになる。
ディスク1によって反射されたレーザビームしBは、再
び対物レンズ11を介してビームスプリッタlOに導か
れるが、今度はこのビームスプリッタ10を直進して集
光レンズ12に導かれ、この集光レンズ12およびシリ
ンドリカルレンズ13で集光されて光検出器14に達す
る。
び対物レンズ11を介してビームスプリッタlOに導か
れるが、今度はこのビームスプリッタ10を直進して集
光レンズ12に導かれ、この集光レンズ12およびシリ
ンドリカルレンズ13で集光されて光検出器14に達す
る。
光検出器14から出力された検出信号Sは、増幅器16
で増幅された後、各サンプリング回路17A、17B、
17Cへ各々供給される。各サンプリング回路17A−
17Cは、タイミングコントローラ!9から供給される
タイミングパルスTPa−TPcが各々到来した時点で
、増幅回路16で増幅された検出信号Sを順次時分割で
取り込み、これら取り込んだ検出信号5a=Scをアナ
ログ演算処理回路18に各々供給する。アナログ演算処
理回路18は、時分割で取り込まれた断片的な波形の検
出信号5a=Scに対して、波形補間処理を施し、連続
した波形の再生信号Ra=Rcを各々生成して出力する
。タイミングコントローラ19は、上記タイミングパル
スTPa=TPcを順次出力すると興に、これらタイミ
ングパルスTI’a〜TPcに対応したタイミングパル
スTPを、アクチュエータ駆動回路20へ供給する。ア
クチュエータ駆動回路20は、タイミングIくルスTP
に応じた駆動電流をアクチュエータ9に供給し、これに
より対物レンズ11を往復移動させる。
で増幅された後、各サンプリング回路17A、17B、
17Cへ各々供給される。各サンプリング回路17A−
17Cは、タイミングコントローラ!9から供給される
タイミングパルスTPa−TPcが各々到来した時点で
、増幅回路16で増幅された検出信号Sを順次時分割で
取り込み、これら取り込んだ検出信号5a=Scをアナ
ログ演算処理回路18に各々供給する。アナログ演算処
理回路18は、時分割で取り込まれた断片的な波形の検
出信号5a=Scに対して、波形補間処理を施し、連続
した波形の再生信号Ra=Rcを各々生成して出力する
。タイミングコントローラ19は、上記タイミングパル
スTPa=TPcを順次出力すると興に、これらタイミ
ングパルスTI’a〜TPcに対応したタイミングパル
スTPを、アクチュエータ駆動回路20へ供給する。ア
クチュエータ駆動回路20は、タイミングIくルスTP
に応じた駆動電流をアクチュエータ9に供給し、これに
より対物レンズ11を往復移動させる。
次に、上述した一実施例の動作につし)で、第5図を参
照して説明する。
照して説明する。
前述した通り、半導体レーザ7から出力されたレーザビ
ームLBは対物レンズttによって微小のスポットに集
光されて、常時ディスク1上に照射されている。そして
、タイミングコントローラ19が第5図(ニ)に示すタ
イミングノ(ルスTPをアクチュエータ駆動回路20に
供給すること1こより、アクチュエータ9が対物レンズ
11をディスクlの半径方向へ、一定距離eの範囲内で
あって、かつ一定周期で往復移動させ、これにより一定
のサンプリング周期で観察した場合、第3図書こ示すよ
うに、ディスク1の半径方向の仮想線Kに沿ってレーザ
ビームスポットLSa、LSb、LSch’順次照射さ
れることになる。
ームLBは対物レンズttによって微小のスポットに集
光されて、常時ディスク1上に照射されている。そして
、タイミングコントローラ19が第5図(ニ)に示すタ
イミングノ(ルスTPをアクチュエータ駆動回路20に
供給すること1こより、アクチュエータ9が対物レンズ
11をディスクlの半径方向へ、一定距離eの範囲内で
あって、かつ一定周期で往復移動させ、これにより一定
のサンプリング周期で観察した場合、第3図書こ示すよ
うに、ディスク1の半径方向の仮想線Kに沿ってレーザ
ビームスポットLSa、LSb、LSch’順次照射さ
れることになる。
一方、タイミングコントローラ19は、第5図(ホ)〜
(ト)に示すように、タイミングパルスTPのl/3の
周期に相当するタイミングパルスTPa−TPcを順次
、タイミングパルスTPに同期して出力する。これらの
各タイミングパルスTPa〜TPcの到来に応じて、各
サンプリング回路l7A−17Cが増幅回路16で増幅
された検出信号Sを順次時分割で取り込み、第5図(イ
)〜(ハ)に示すような断片的な波形の検出信号5a−
Scをアナログ演算処理回路18に各々供給する。そし
て、このアナログ演算処理回路I8において、波形補間
処理が施されることにより、第5図(チ)〜(ヌ)に示
すような、連続した波形の再生信号Ra〜Reが各々生
成されて出力される。
(ト)に示すように、タイミングパルスTPのl/3の
周期に相当するタイミングパルスTPa−TPcを順次
、タイミングパルスTPに同期して出力する。これらの
各タイミングパルスTPa〜TPcの到来に応じて、各
サンプリング回路l7A−17Cが増幅回路16で増幅
された検出信号Sを順次時分割で取り込み、第5図(イ
)〜(ハ)に示すような断片的な波形の検出信号5a−
Scをアナログ演算処理回路18に各々供給する。そし
て、このアナログ演算処理回路I8において、波形補間
処理が施されることにより、第5図(チ)〜(ヌ)に示
すような、連続した波形の再生信号Ra〜Reが各々生
成されて出力される。
このようにして得られた互いに位相の異なる2相の再生
信号RaおよびRbと、ディスクlの原点となる基準位
置において得られる再生信号Reに基づいて、ディスク
lの絶対的な角度を検出するためには、次のようにして
行う。
信号RaおよびRbと、ディスクlの原点となる基準位
置において得られる再生信号Reに基づいて、ディスク
lの絶対的な角度を検出するためには、次のようにして
行う。
まず、再生信号Ra、Rb、Rcを一定のスレッノユホ
ールドレベルで波形整形してA相パルスとB相パルスと
原点パルスとした後、これらのA相パルスとB相パルス
の位相関係に基づいて、ディスクlの回転方向を判定す
る。例えば、A相パルスがB相パルスよりも進み位相で
あった場合は、ディスクlが正転しているものとし、逆
にB相パルスが進み位相であった場合は、ディスクlが
逆転しているものとする。そして、A相パルスを順次カ
ウントすると共に、ディスクlの回転方向によってアッ
プカウント/ダウンカウントが切り換えられ、さらに原
点パルスによってリセットされるカウンタを設けること
によって、このカウンタのカウント値がディスクlの基
準位置を原点とする絶対的な回転角度として得られる。
ールドレベルで波形整形してA相パルスとB相パルスと
原点パルスとした後、これらのA相パルスとB相パルス
の位相関係に基づいて、ディスクlの回転方向を判定す
る。例えば、A相パルスがB相パルスよりも進み位相で
あった場合は、ディスクlが正転しているものとし、逆
にB相パルスが進み位相であった場合は、ディスクlが
逆転しているものとする。そして、A相パルスを順次カ
ウントすると共に、ディスクlの回転方向によってアッ
プカウント/ダウンカウントが切り換えられ、さらに原
点パルスによってリセットされるカウンタを設けること
によって、このカウンタのカウント値がディスクlの基
準位置を原点とする絶対的な回転角度として得られる。
なお、上述した一実施例においては、原点ビットKS
2 cをメイントラックTより内周側に設けたが、メイ
ントラックTより外周側に設けてもよい。
2 cをメイントラックTより内周側に設けたが、メイ
ントラックTより外周側に設けてもよい。
この場合、レーザビームの走査範囲を適宜ディスク1の
外周側に移動すればよい。また、上述した一実施例にお
いては、回転変位量を検出する光学式ロータリーエンコ
ーダに適用した場合を例に説明したが、直線変位量を検
出する光学式リニアエンコーダに適用しても勿論構わな
い。さらに、上述した一実施例においては、ディスク1
にビット部2aとランド部2bとによる凹凸を設けたが
、単一平面上で先の反射率か異なるように、金、クロム
、アルミニウム等を塗布した構成の凹凸の無いディスク
を使用しても同様の効果が得られる。
外周側に移動すればよい。また、上述した一実施例にお
いては、回転変位量を検出する光学式ロータリーエンコ
ーダに適用した場合を例に説明したが、直線変位量を検
出する光学式リニアエンコーダに適用しても勿論構わな
い。さらに、上述した一実施例においては、ディスク1
にビット部2aとランド部2bとによる凹凸を設けたが
、単一平面上で先の反射率か異なるように、金、クロム
、アルミニウム等を塗布した構成の凹凸の無いディスク
を使用しても同様の効果が得られる。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によれば、移動方向と略
直交する方向へ延びる複数の位置情報が光学的に記録さ
れたスケールの表面が、微小スポットによって、スケー
ルの移動方向と略直交する方向へ、一定範囲内であって
かつ一定周期で走査され、その反射光量に対応した検出
信号が走査タイミングに同期して時分割で取り込まれ、
この取り込まれた検出信号に基づいて、スケールの複数
の位置情報に対応し、かつ互いに所定の位相差を有する
多相信号が再生されるようにしたので、単一の光学検出
系で、スケールの絶対的な変位(例えば、回転角度)を
検出するための多相信号を得ることができ、この結果、
部品点数の削減ならびに調整、検査といった組立工程数
の削減が図られ、また実装空間に占ぬる割合の大きな光
学検出系が1組で済むため、装置全体を小形化すること
ができ、さらに耐用年数に限りのある半導体レーザし1
個で済むため保守点検が容易になると共に、信頼性や耐
久性の向上が図られるという効果が得られる。
直交する方向へ延びる複数の位置情報が光学的に記録さ
れたスケールの表面が、微小スポットによって、スケー
ルの移動方向と略直交する方向へ、一定範囲内であって
かつ一定周期で走査され、その反射光量に対応した検出
信号が走査タイミングに同期して時分割で取り込まれ、
この取り込まれた検出信号に基づいて、スケールの複数
の位置情報に対応し、かつ互いに所定の位相差を有する
多相信号が再生されるようにしたので、単一の光学検出
系で、スケールの絶対的な変位(例えば、回転角度)を
検出するための多相信号を得ることができ、この結果、
部品点数の削減ならびに調整、検査といった組立工程数
の削減が図られ、また実装空間に占ぬる割合の大きな光
学検出系が1組で済むため、装置全体を小形化すること
ができ、さらに耐用年数に限りのある半導体レーザし1
個で済むため保守点検が容易になると共に、信頼性や耐
久性の向上が図られるという効果が得られる。
第1図はこの発明の一実施例の電気的および光学的構成
を示すブロック図、第2図は同実施例のディスクの構成
を示す平面図、第3図は同実施例のディスクの一部を拡
大して示した平面図、第4図は同実施例の対物レンズを
駆動するアクチュエータの概略構成を示す側面図、第5
図(イ)〜(ヌ)は同実施例の動作を説明するたぬの各
部の波形図、茶6図は従来の光学式ロータリーエンコー
ダの構成を示す斜視図、第7図は従来のインクリメンタ
ル型のディスクの構成を示す平面図である。 l・・・・・・ディスク(スケール)、2・・・・・・
基板、2a・・・・・ランド部(凸部)、 2b・・・・・・ピット部(凹部)、 2c・・・・・・原点ピット部、3・・・・・・反射膜
、6・・・・・・光ピツクアップ(光学検出手段)、9
・・・・アクチュエータ(走査手段)、7・・・・・・
半導体レーザ、11・・・・・・対物レンズ、14・・
・・・・光検出器、 17A−17C・・・・・・サンプリング回路、18・
・・・・・演算処理回路(再生手段)、19・・・・・
・タイミングコントローラ、20・・・・・・アクチュ
エータ駆動回路。
を示すブロック図、第2図は同実施例のディスクの構成
を示す平面図、第3図は同実施例のディスクの一部を拡
大して示した平面図、第4図は同実施例の対物レンズを
駆動するアクチュエータの概略構成を示す側面図、第5
図(イ)〜(ヌ)は同実施例の動作を説明するたぬの各
部の波形図、茶6図は従来の光学式ロータリーエンコー
ダの構成を示す斜視図、第7図は従来のインクリメンタ
ル型のディスクの構成を示す平面図である。 l・・・・・・ディスク(スケール)、2・・・・・・
基板、2a・・・・・ランド部(凸部)、 2b・・・・・・ピット部(凹部)、 2c・・・・・・原点ピット部、3・・・・・・反射膜
、6・・・・・・光ピツクアップ(光学検出手段)、9
・・・・アクチュエータ(走査手段)、7・・・・・・
半導体レーザ、11・・・・・・対物レンズ、14・・
・・・・光検出器、 17A−17C・・・・・・サンプリング回路、18・
・・・・・演算処理回路(再生手段)、19・・・・・
・タイミングコントローラ、20・・・・・・アクチュ
エータ駆動回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 移動自在に支持され、その移動方向に沿って等間隔に、
かつ移動方向と略直交する方向へ延びる複数の位置情報
が光学的に記録されたスケールと、半導体レーザから発
せられるレーザビームを微小スポットに集光して前記ス
ケールの表面に照射すると共に、その反射光を受光し、
反射光量に対応した検出信号を出力する光学検出手段と
、前記微小スポットを前記スケールの移動方向と略直交
する方向へ一定範囲内であってかつ一定周期で走査させ
る走査手段と、 前記検出信号を前記走査手段の走査タイミングに同期し
て時分割で取り込むサンプリング手段と、前記サンプリ
ング手段によって取り込まれた検出信号に基づいて、前
記スケールの複数の位置情報に対応し、かつ互いに所定
の位相差を有する多相信号を再生する再生手段と、 を具備することを特徴とする光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18571790A JPH0472515A (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光学式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18571790A JPH0472515A (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光学式エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0472515A true JPH0472515A (ja) | 1992-03-06 |
Family
ID=16175622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18571790A Pending JPH0472515A (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光学式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0472515A (ja) |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP18571790A patent/JPH0472515A/ja active Pending
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