JPH0469154A

JPH0469154A - ワイヤソー

Info

Publication number: JPH0469154A
Application number: JP2178999A
Authority: JP
Inventors: Eimi Eguchi; 江口　詠美; Masaichi Baba; 馬場　政一; Kaoru Miyoshi; 薫三好; Hiroo Furuichi; 浩朗古市; Masayasu Fujisawa; 藤沢　政泰; Motoya Taniguchi; 素也谷口; Shigeki Yamamura; 茂樹山村; Yoji Sato; 佐藤　洋二
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-07-06
Filing date: 1990-07-06
Publication date: 1992-03-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野］この発明はワイヤソー、とくにフェライト、セラミック
スなどの高硬度の材料を加工するに適したワイヤソーに
関するものである。

［従来の技術］ＶＴＲ等の磁気ヘッドを製造するためには、まず第１６
図（ａ）に示すように、数十個のへラドチップが一体と
なったボンディングブロック４を形成したのち、ボンデ
ィングブロック４を切断して、第１６図（ｂ）に示すよ
うなヘッドチップ２１１を切り出し、ヘッドベース（図
示せず）にヘッドチップ２１１を貼り付でいる。

このヘッドチップ２１１においては、ギャップ２１２で
磁気テープからの情報を読み書きするから、底面２１３
からギャップ２１２までの距離ｅは非常に重要であり、
その精度はミクロンオーダーが要求される。したがって
、ボンディングブロック４の切断を高精度で行なわなけ
ればならず、ボンディングブロック４の切断には特開昭
５４−１６３４９１号公報に示されるようなワイヤソー
が用いられている。

第１７図は従来のワイヤソーを示す概略図である。図に
おいて、２はドライブローラ、３はガイドロー・う、１
はドライブローラ２、ガイドローラ３に一定の間隔で掛
けられた複数本のワイヤで、ワイヤｌの間隔は１００〜
２００ｍｍである。５は複数のボンディングブロック４
が取り付けられたジグ、１３０はジグ５を第１７図紙面
上下方向に移動する移動機構である。

このワイヤソーにおいては、ドライブローラ２によって
ワイヤｌを走行させ、移動機構１３０によりボンディン
グブロック４をワイヤｌに押し付けるとともに、ボンデ
ィングブロック４部に砥粒を供給すれば、ワイヤ１によ
ってボンディングブロック４が切断される。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、このようなワイヤソーにおいては、ワイヤ１の
内側からワイヤ１に押し付けられるボンディングブロッ
ク４、ワイヤｌの外側からワイヤｌに押し付けられるボ
ンディングブロック４の位置を確認するためにワイヤｌ
の内側に設けられた被加工物位置検出装置等の、ワイヤ
ｌの内側に設けられた物の位置を調節することができな
いので、高精度の加工を行なうことができない。

この発明は上述の課題を解決するためになされたもので
、高精度の加工を行なうことができるワイヤソーを提供
することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この目的を達成するため、この発明においては、複数の
ローラに掛けられたワイヤを走行し、上記ワイヤに被加
工物を押し付けて、上記被加工物を切断するワイヤソー
において、上記ワイヤの内側に少なくとも上記ローラの
回転中心線と平行な方向に位置調節するための位置調整
台を設ける。

この場合、上記位置調整台に上記被加工物を取り付けて
もよい。

また、上記位置調整台に被加工物位置検出装置を取り付
けてもよい。

さらに、上記位置調整台の駆動機構を上記位置調整台の
前面に設けるのが好ましい。

また、上記位置調整台として、固定部と、移動部と、上
記固定部および上記移動部に取り付けられた弾性ヒンジ
による一体切欠ばねからなるガイド機構とを有するもの
を用いるのが好ましい。

この場合、上記固定部の面と上記移動部の面とが直接接
触した状態を保持するクランプを設けてもよい。

この場合、上記クランプとして圧電素子を有するものを
用いてもよい。

［作用］二のワイヤソーにおいては、複数のローラに掛けられた
ワイヤを走行し、ワイヤに被加工物を押し付けて、被加
工物を切断するワイヤソーにおいて、ワイヤの内側に少
なくともローラの回転中心線と平行な方向に位置調節す
るための位置調整台を設けているから、ワイヤの内側に
設けられた物の位置を調節することができる。

この場合、位置調整台に被加工物を取り付ければ、被加
工物の位置を調整することができる。

また、位置調整台に被加工物位置検出装置を取り付けれ
ば、被加工物位置検出装置の位置を調整することができ
る。

さらに、位置調整台の駆動機構を位置調整台の前面に設
ければ、容易に位置調整作業を行なうことができる。

また、位置調整台として、固定部と、移動部と、固定部
および移動部に取り付けられた弾性ヒンジによる一体切
欠ばねからなるガイド機構とを有するものを用いれば、
位置調整台を高精度でかつ小型にすることができる。

この場合、固定部の面と移動部の而とが直接接触した状
態を保持するクランプを設ければ、一体切欠ばねに過大
な力が作用するのを防止することができる。

この場合、クランプとして圧電素子を有するものを用い
れば、クランプによる位置ずれを小さくすることができ
る。

〔実施例〕

第１図はこの発明に係るワイヤソーを示す概略斜視図、
第２図（ａ）は同じく概略正断面図、第２図（ｂ）は同
じく概略側断面図、第３図は第１図に示したワイヤソー
の一部を示す分解斜視図、第４図は第１図に示したワイ
ヤソーの一部を示す断面図、第５図は第１図に示したワ
イヤソーの一部を示す断面図である。図において、６は
後板で、後板６はコラム（図示せず）に固定されている
。７は前板、８は前板７を後板６に強固に固定するリブ
で、リブ８の厚さは１５ｎｕ＋＋以上であり、後板６、
前板７にドライブローラ２、ガイドローラ３が回転可能
に支持され、ドライブローラ２は回転駆動機構（図示せ
ず）に連結されている。そして、ガイドローラ３の中心
間距離りは１８０価以下であり。

ドライブローラ２のガイドローラ３からの高さｈは２０
０Ｍ以下であり、ドライブローラ２、ガイドローラ３の
直径は６０ｍｍ以下である。

９は第２図（ｂ）紙面上下方向に２０ｍｍ移動可能に設
けられた上下テーブルで、上下テーブル９は上下動駆動
機構（図示せず）により駆動される。

２０は上下テーブル９に取り付けられた位置調整台で、
位置調整台２０はワイヤ１の内側に位置している。また
、位置調整台２０の幅ａは１０５ｍｍ、奥行きｂは９０
ｍｍ、高さＣは９０鵬である。２１は位置調整台２０の
固定部で、固定部２１は上下テーブル９に固定されてい
る。２２は位置調整台２０の移動部で、移動部２２の断
面はＬ字形で、移動部２２にジグ５が取り付けられてい
る。２３は固定部２１と移動部２２との間に設けられた
ガイド機構で、ガイド機構２３により移動部２２が固定
部２１に対してドライブローラ２、ガイドローラ３の回
転中心線と平行な方向すなわちｙ軸の方向に移動可能に
かつｙ軸と面角なＺ軸まわりに回転可能に支持されてい
る。３０ａ、３０ｂは弾性ヒンジによる一体切欠ばねか
らなるｙ方向ばね、３５は弾性ヒンジによる一体切欠ば
ねからなる平行リンクばねで、ｙ方向ばね３０ａ、３０
ｂ、平行リンクばね３５でガイド機構２３を構成してお
り、ｙ方向ばね３０ａの端部３１、ｙ方向ばね３０ｂの
端部３４は固定部２１に固定されており、ｙ方向ばね３
０ｂの端部３３、ｙ方向ばね３０ａの端部３２は平行リ
ンクばね３５の向かい合う２辺３６．３７にそれぞれ固
定されており、平行リンクばね３５の部分３８は移動部
２２に固定されている。また、ｙ方向ばね３０ａ、３０
ｂのばね定数は平行リンクばね３５のばね定数より大き
く、さらにｙ方向ばね３０ａ、３０ｂの固定位置は対角
線状になっている。そして、ガイド機構２３のｙ方向の
最大変位は±２００−１２軸まわりの最大回転角は±０
０１６である。また、ガイド機構２３の幅は５０ｍｍ、
奥行きは７１ｍｍ、高さは３０閣である。

４１は固定部２１に取り付けられた取付部、４０は取付
＠４１に取り付けられた差動式のマイクロメータヘッド
で、マイクロメータヘッド４０は前板７を貫通しており
、マイクロメータヘッド４０は１回転で０．０５ｍｍ変
位し、最大で２．５印変位し、ｌ−以下の調整が可能で
ある。４４は取付部４１に固定されたカバー、４３はカ
バー４４に回転可能に取り付けられたカバーで、カバー
４３はマイクロメータヘッド４０の回転部に取り付けら
れている。４２は移動部２２の上部に取り付けられた棒
で、棒４２の先端には球面が設けられており、マイクロ
メータヘッド４０の変位部の先端は棒４２の球面に接触
している。そして、マイクロメータヘッド４０、棒４２
等で位置調整台２０の駆動機構２４を構成しており、マ
イクロメータヘッド４０の回転部を回転すれば、移動部
２２を固定部２１に対してｙ軸の方向に移動することが
できかつＺ軸まわりに回転することができる。４５は位
置調整台２０を覆うカバーである。

５２は固定部２１、移動部２２に設けられた穴に移動可
能に設けられたシャフト、５１はシャフト５２の固定部
２１側の端部に設けられた径大部で、径大部５１の一部
を切り欠いている。５６は径大部５１の切欠部と固定部
２１との間に設けられた回り止めピン、５５は径大部５
１と固定部２１との間に設けられたさらばねで、さらば
ね５５の力は５０ｋｇｆである。５３はシャフト５２の
移動部２２側の端部にねじ５４により取り付けられたワ
ッシャ、５０は径大部５１と固定部２１との間に設けら
れた圧電素子で、シャフト５２、圧電素子５０等で固定
部２１の面と移動部２２の面とが直接接触した状態を保
持するクランプ２５を構成しており、圧電素子５０に電
圧を印加したときには、圧電素子５０が伸長した状態と
なるから、シャフト５２がさらばね５５に抗して下方に
移動するので、ワッシャ５３と移動部２２との間に隙間
が生じるため、移動部２２が可動状態となり、一方圧型
素子５０に電圧を印加しないときには、圧電素子５０が
縮小した状態となるから、シャフト５２がさらばね５５
に押されて上方に移動するので、移動部２２が固定部２
１に押し付けられるため、移動部２２がクランプ状態と
なる。６２はねじ６３を介して固定部２１に取り付けら
れたジヨイント、６１は移動部２２に取り付けられたピ
ン、６０は両端がそれぞれジヨイント６２、ピン６１に
取り付けられた引張ばねで、引張ばね６０、ねじ６３等
で移動部２２等の自重をキャンセルするばね機構２６を
構成しており、ねじ６３を回転することにより、ばね機
構２６の力を調整することができる。そして、クランプ
２５、ばね機構２６は位置調整台２０の繭後左右にそれ
ぞれ１つ、合計４つずつ設けられている。

このワイヤソーにおいては、まずクランプ２５により移
動部２２をクランプ状態にし、複数のボンディングブロ
ック４が取り付けられたジグ５を移動部２２に取り付け
、上下テーブル９により位置調整台２０を下降する。つ
ぎに、クランプ２５により移動部２２を可動状態にし、
駆動機構２４を操作することにより、移動部２２をｙ軸
の方向に移動し、Ｚ軸まわりに回転することにより、ワ
イヤ１に対するボンディングブロック４の位置合わせを
行なう。つぎに、クランプ２５により移動部２２をクラ
ンプ状態にし、ドライブローラ２によってワイヤｌを走
行させ、上下テーブル９によりボンディングブロック４
をワイヤ１°に押し付けるとともに、ボンディングブロ
ック４部に砥粒を供給すれば、ワイヤ１によってボンデ
ィングブロック４が切断される。

このようなワイヤソーにおいては、ワイヤ１の内側に位
置調整台２０を設けており、位置調整台２０にボンディ
ングブロック４を取り付けているから、ボンディングブ
ロック４の位置を調節することができるので、ボンディ
ングブロック４を高精度で切断することができ、ヘッド
チップ２１１の底面２１３からギャップ２１２までの距
離ｅの精度を向上することができる。また、位置調整台
２０の駆動機構２４が前面に設けられているから、容易
にボンディングブロック４の位置調整作業を行なうこと
ができるので、切断作業を容易に行なうことができる。

さらに、位置調整台２０として固定部２１と移動部２２
とガイド機構２３とを有するものを用いているから１位
置調整台２０を高精度でかつ小型にすることができるの
で、ガイドローラ３の中心間距離りを小さくすることが
できる。また、クランプ２５を設けているから、加工時
等にガイド機構２３に過大な力か作用するのを防止する
ことができるので、ガイド機構２３が損傷することがな
い。さらに、クランプ２５として圧電素子からなるもの
を用いているから、クランプ２５による位置ずれを小さ
くすることができるので、ボンディングブロック４をよ
り高精度に切断することができる。また、圧電素子５０
に電圧を印加しないときに、移動部２２がクランプ状態
となるから、加工中に停電になったとしても、ガイド機
構２３に過大な力が作用するのを防止することができる
ので、ガイド機構２３が損傷することがない。さらに、
ｙ方向ばね３０ａ、３０ｂのばね定数は平行リンクばね
３５のばね定数より大きいから、ｙ方向ばね３０ａ１３
０ｂ、平行リンクばね３５が相互に力を及ぼし合うこと
がなく、動きが制約されることがない。さらに、ｙ方向
ばね３０ａ、３０ｂの固定位置が対角線状になっている
から、固定部２１、平行リンクばね３５への上下方向の
荷重が偏らないので、横ずれを少なくすることができる
。また、カバー４３〜４５を設けているから、位置調整
台２０、駆動機構２４部に異物が侵入するのを防止する
ことかできる。さらに、移動部２１の断面はＬ字形であ
り、棒４２は移動部２２の上部に取り付けらでいるから
、マイクロメータヘッド４０の位置をワイヤｌから離す
ことができるので、前板７の剛性を高めることができる
とともに、ボンディングブロック４の取り付は作業にマ
イクロメータヘッド４０が支障をきたすことはない。

第６図（ａ）はこの発明に係る他のワイヤソーの位置調
整台のガイド機構のｙ方向ばねを示す斜視図である。こ
のｙ方向ばね３０ｃはｙ方向の寸法が小さいから、位置
調整台のｙ方向の寸法を小さくすることができる。

第６図（ｂ）はこの発明に係る他のワイヤソーの位置調
整台のガイド機構を示す斜視図である。このガイド機構
はｙ方向ばね３０ｄ、３０ｅ、平行リンクばね３５ａが
一体となっており、Ｚ方向の寸法が小さいから、位置調
整台のＺ方向の寸法を小さくすることができる。

第７図（ａ）はこの発明に係る他のワイヤソーの位置調
整台の移動部を示す正面図、第７図（ｂ）は第７図（ａ
）のＡ−Ａ断面図である。図において、７２は移動部２
２に固定された位置決めビン、７０は移動部２２に着脱
可能に取り付けられた取付ジグ、７１は取付ジグ７０に
螺合されたねじ、７５はジグ５に設けられた凹部で、ジ
グ５は突出部を有しており、また移動部２２にはジグ５
の突出部が係合すべき溝が設けられている。

この移動部２２にボンディングブロック４を取り付ける
には、まずボンディングブロック４をジグ５に接着する
。この場合、ジグ５の面７４に対するボンディングブロ
ック４の切断位置の精度を±ｌＩＩｍ以下とし、ジグ５
の面７４に対するボンディングブロック４の切断位置の
精度を±５０ｔ１ｍ５０ａする。つぎに、ジグ５の突出
部を移動部２２の溝に係合したのち、移動部２２に取付
ジグ７ｏを移動部２２に取り付ける。つぎに、ねじ７１
を回転すると、ねじ７１によって凹部７５が押され、而
７３．７４が位置決めビン７２に押し付けられる。

第８図（ａ）はこの発明に係る他のワイヤソーの一部を
示す図である。図において、８ｏは２眼の薄型カメラで
、薄型カメラ８ｏの厚さＤは第８図（ｂ）に示すジグ５
、ボンディングブロック４の合計厚みｄよりも小さく、
また薄型カメラ８ｏの２つの検出部はマイクロメータヘ
ッド４ｏの中心線を含みかつワイヤ１に直角な面内に位
置している。

そして、薄型カメラ８ｏを第８図（ａ）紙面左右方向お
よび上下方向に移動する移動装置（図示せず）が設けら
れている。８１は薄型カメラ８ｏに接続されたモニタ、
２０ａはワイヤｌの外側に設けられた位置調整台で、位
置調整台２０ａの構成は位置調整台２０の構成とほぼ同
様である。２４ａは位置調整台２０ａの駆動機構である
。

このワイヤソーにおいては、まずボンディングブロック
４を位置調整台２０ａに取り付け、薄型カメラ８０をワ
イヤ１と位置調整台２ｏとの間に挿入した状態で、位置
調整台２０ａに取り付けられたボンディングブロック４
の位置合ゎせを行なう。この場合、薄型カメラ８ｏによ
って撮映された映像がモニタ８１に拡大して映し出され
るとともに、第９図（ａ）に示すように、画像処理によ
りワイヤ１の中心位置が求められ、その中心位置がカー
ソル８２として表示されるとともに、トラック先端８４
が位置すべき位置がカーソル８３として表示される。こ
の状態で、第９図（ｂ）に示すように、駆動機＃Ｉｔ２
４ａを操作してボンディングブロック４を移動し、カー
ソル８３にトラック先端８４を合わせる。つぎに、第８
図（ｂ）に示すように、ボンディングブロック４を位置
調整台２ｏに取り付け、位置１ＩＩｉ！Ｉ１台２０ａを
下降し、薄型カメラ８０をワイヤ１と位置調整台２０ａ
に取り付けられたボンディングブロック４との間に挿入
した状態で、上述と同様にして、位置調整台２ｏに取り
付けられたボンディングブロック４の位置合ゎせを行な
う。そして、薄型カメラ８０の２つの検出部はマイクロ
メータヘッド４０の中心線を含みかつワイヤ１に直角な
面内に位置しているから、位置合わせ作業を容易に行な
うことができる。なお、この位置調整方法については、
特願平１−２１２９０６号に記載されている。

第１０図はこの発明に係る他のワイヤソーの一部を示す
図である。図において、９１は移動部２２を押すボール
ねじ、９０はボールねじ９Ｉを駆動するステッピングモ
ータ、８５は薄型カメラ８０、モニタ８１に接続された
画像処理装置、８６は画像処理装置８５に接続されたパ
ソコン、８７はスイッチボックス、８８はパソコン８６
、スイッチボックス８７に接続されたシーケンサで、シ
ーケンサ８８はステッピングモータ９０を制御する。

このワイヤソーにおける自動位置合わせについて、第１
１図により説明する。まず、薄型カメラ８０によってワ
イヤ１の中心位置を検出する（手順Ｓｌ）。つぎに、モ
ニタ８１にカーソル８３を表示する（手順Ｓ２）。つぎ
に、ボンディングブロック４のトラック先端８４の位置
を検出する（手順Ｓ３）。つぎに、カーソル８３の位置
とトラック先端８４の位置とが一致しているかを調べる
（手順Ｓ４）。この場合、カーソル８３の位置とトラッ
ク先端８４の位置とが一致していないときには、位置ず
れ量を検出しく手順Ｓ５）、ボールねじ９１の移動量を
計算しく手順Ｓ６）、ステッピングモータ９０によりボ
ールねじ９１を移動しく手順Ｓ７）、再度カーソル８３
の位置とトラック先端８４の位置とが一致しているかを
調べる（手順Ｓ４）。手順Ｓ４でカーソル８３の位置と
トラック先端８４の位置とが一致しているときには、ク
ランプを行ない（手順Ｓ８）、位置ずれが起こったかを
確認しく手順Ｓ９）、位置ずれがあったときには、クラ
ンプを解除して（手順５１０）、再度調整を行なう（手
順Ｓ５〜Ｓ７）。手順Ｓ９で位置ずれがなかったときに
は、位置調整は終了する。

また、第１０図に示したワイヤソーのスイッチボックス
８７を操作すれば、手動でステッピングモータ９０によ
りボールねじ９１を移動して、ボンディングブロック４
の位置調整を行なうことができる。

第１２図（ａ）はこの発明に係る他のワイヤソーの一部
を示す概略正面図、第１２図（ｂ）は同じく概略底断面
図である。図において、２１ｂは係合凹部を有する固定
部、２２ｂは係合凹部に係合する係合部を有する移動部
で、固定部２１ｂ、移動部２２ｂで位置調整台２０ｂを
構成している。

１００ｂは移動部２２ｂの係合部のガイド面で、ガイド
面１００ｂの断面形状は円弧となっている。

１０２ｂは移動部２２ｂの係合部を押すばね、１０１ｂ
はばね１０２ｂとは反対側に設けられたねじで、ねじ１
ｏｌｂは駆動機構を構成している。

１０４は固定部２１ｂに螺合したねじ、１０３はねじ１
０４の先端と移動部２２ｂとの間に設けられた鋼球で、
ねじ１０４、鋼球１０３でクランプ２５ｂを構成してい
る。

このワイヤソーにおいては、クランプ２５ｂにより移動
部２２ｂを可動状態にし、ねじ１０１ｂを回転すると、
移動部２２ｂをｙ軸の方向に移動することができ、Ｚ軸
まわりに回転することができる。そして、この位置調整
台２０ｂは構造が簡単であるから、小型にすることがで
きる。

第１２図（Ｃ）はこの発明に係る他のワイヤソーの一部
を示す概略断面図である。図において、２１ｃは係合凹
部を有する固定部、２２ｃは係合凹部に係合する係合部
を有する移動部で、固定部＋２１ｃ、移動部２２ｃで位
置調整台２０ｃを構成している。１００ｃは移動部２２
ｃの係合部のガイド面で、ガイド面１００ｃは複数の平
面から構成されており、ガイド面１００ｃと固定部２１
ｃとの間にわずかな隙間が設けられている。

１０２ｃは移動部２２ｃの係合部を押すばね、１０１ｃ
はばね１０２ｃとは反対側に設けられたねじで、ねじ１
０１ｃは駆動機構を構成している。

このワイヤソーにおいては、クランプにより移動部２２
ｃを可動状態にし、ねじ１ｏｌｃを回転すると、移動部
２２ｃをｙ軸の方向に移動することかでき、Ｚ軸まわり
に回転することができる。

そして、ガイド面１００ｃは複数の平面から構成されて
いるから、ガイド面１００ｃの加工が簡単である。

第１３図はこの発明に係る他のワイヤソーの一部を示す
概略図である。図において、２１ｄは固定部、２２ｄは
移動部、９５は固定部２１ｄと移動部２２ｄとの間に設
けられたベアリング、９６は固定部２１ｄと移動部２２
ｄとの間に設けられたクロスローラガイドで、固定部２
１ｄ、移動部２２ｄ１ベアリング９５、クロスローラガ
イド９６で位置調整台２０ｄを構成している。

このワイヤソーにおいては、クランプ力がベアリング９
５、クロスローラガイド９６に作用しないから、ベアリ
ング９５、クロスローラガイド９６として自重に耐えつ
る程度の小型のものを用いることができるので、製造コ
ストを低減することができる。

第１４図はこの発明に係る他のワイヤソーの一部を示す
概略図である。図において、３ａはガイドローラで、ワ
イヤ１はドライブローラ２、ガイドローラ３．３ａに掛
けられている。

このワイヤソーにおいては、リブ８、位置調整台２ｏの
剛性を高めることができ、リブ８の最下点の厚みを４０
ｍｍ程度にすることができる。

第１５図はこの発明に係る他のワイヤソーの一部を示す
概略図である。図において、１１０は位置調整台２０の
移動部２２に取り付けられた視覚センサ、Ｉｌｌは位置
調整台２０に取り付けられたカバー　１１２はカバー１
１１に差し込まれたふたである。

このワイヤソーにおいては、位置調整台２０に視覚セン
サ１１０を取り付けているから、視覚センサ１１０の位
置を調整することができるので、ワイヤｌの外側に位置
したボンディングブロック４を位置を高精度に検出する
ことができるので、ボンディングブロック４を高精度に
切断することができる。

なお、上述実施例においては、被加工物がボンディング
ブロック４の場合について説明したが、他の被加工物を
切断する場合にもこの発明を適用することができる。ま
た、第３図に示すガイド機構２３のｙ方向ばね３０ａ、
３０ｂ、平行リンクばね３５にストッパを設ければ、ｙ
方向ばね３０ａ、３０ｂ、平行リンクばね３５のヒンジ
部に過大な力が作用することがなく、ｙ方向ばね３０ａ
、３０ｂ、平行リンクばね３５が損傷するのを防止する
ことができる。さらに、上述実施例においては、ｙ方向
ばね３０ａ、３０ｂ、平行リンクばね３５のヒンジを左
右交互に設けたが、ヒンジを２個ずつ設ければ、ストロ
ークを大きくすることができる。また、上述実施例にお
いては、ねじ７１等によってジグ５を移動部２２に取り
付けたが、移動部２２内に組み込まれたシリンダ等によ
ってジグ５を移動部２２に取り付けてもよい。

さらに、第１０図に示した実施例においては、駆動機構
としてボールねじ９１を有するものを用いたが、駆動機
構としてカムを有するものを用いてもよい。また、第１
０図に示した実施例においては、駆動機構としてステッ
ピングモータ９０を有するものを用いたが、駆動機構と
して圧電素子を有するものを用いてもよい。さらに、第
１２図（ａ）、第１２図（ｂ）に示した実施例、第１２
図（Ｃ）に示した実施例においては、駆動機構としてね
じ１０１ｂ、１ｏｌｃを用いたが、駆動機構として小型
のマイクロメータヘッドを用いてもよい。

［発明の効果］以上説明したように、この発明に係るワイヤソーにおい
ては、ワイヤの内側に少なくともローラの回転中心線と
平行な方向に位置調節するための位置調整台を設けてい
るから、ワイヤの内側に設けられた物の位置を調節する
ことができるので、被加工物を高精度に切断することが
できる。

この場合、位置調整台に被加工物を取り付ければ、被加
工物の位置を調整することができるから、ワイヤの内側
に位置した被加工物を高精度に切断することができる。

また、位置調整台に被加工物位置検出装置を取り付けれ
ば、被加工物位置検出装置の位置を調整することができ
るから、ワイヤの外側に位置した被加工物を高精度に切
断することができる。

さらに、位置調整台の駆動機構を位置調整台の前面に設
ければ、容易に位置調整作業を行なうことができるから
、切断作業を容易に行なうことができる。

また、位置調整台として、固定部と、移動部と、固定部
および移動部に取り付けられた弾性ヒンジによる一体切
欠ばねとを有するものを用いれば、位置調整台を高精度
でかつ小型にすることができるから、ローラの中心間距
離を小さくすることができる。

この場合、固定部の面と移動部の面とが直接接触した状
態を保持するクランプを設ければ、一体切欠ばねに過大
な力が作用するのを防止することができるから、一体切
欠ばねが損傷することがない。

この場合、クランプとして圧電素子を有するものを用い
れば、クランプによる位置ずれを小さくすることができ
るから、被加工物をより高精度に切断することができる
。

このように、この発明の効果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るワイヤソーを示す概略斜視図、
第２図（ａ）は同じく概略正断面図、第２図（ｂ）は同
じく概略側断面図、第３図は第１図に示したワイヤソー
の一部を示す分解斜視図、第４図は第１図に示したワイ
ヤソーの一部を示す断面図、第５図は第１図に示したワ
イヤソーの一部を示す断面図、第６図（ａ）はこの発明
に係る他のワイヤソーの位置調整台のガイド機構のｙ方
向ばねを示す斜視図、第６図（ｂ）はこの発明に係る他
のワイヤソーの位置調整台のガイド機構を示す斜視図、
第７図（ａ）はこの発明に係る他のワイヤソーの位置調
整台の移動部を示す正面図、第７図（ｂ）は第７図（ａ
）のＡ−Ａ断面図、第８図（ａ）はこの発明に係る他の
ワイヤソーの一部を示す図、第８図（ｂ）、第９図はそ
れぞれ第８図（ａ）に示したワイヤソーの動作説明図、
第１０図はこの発明に係る他のワイヤソーの一部を示す
図、第１１図は第１Ｏ図に示したワイヤソーの動作を説
明するためのフローチャート、第１２図（ａ）はこの発
明に係る他のワイヤソーの一部を示す概略正面図、第１
２図（ｂ）は同じく概略底断面図、第１２図（ｃ）はこ
の発明に係る他のワイヤソーの一部を示す断面図、第１
３図〜第１５図はそれぞれ二の発明に係る他のワイヤソ
ーの一部を示す概略図、第１６図は磁気ヘッドの製造方
法の説明図、第１７図は従来のワイヤソーを示す概略図
である。１・・・ワイヤ２・・・ドライブロール３．３ａ・・・ガイドロール４・・・ボンディングブロック２０・・・位置調整台２１・・・固定部２２・・・移動部２３・・・ガイド機構２４・・・駆動機構２５・・・クランプ３０ａ〜３０ｅ・・・ｙ方向ばね３５．３５ａ・・・平行リンクばね５０・・・圧電素子１１０・・・視覚センサ

Claims

【特許請求の範囲】１、複数のローラに掛けられたワイヤを走行し、上記ワ
イヤに被加工物を押し付けて、上記被加工物を切断する
ワイヤソーにおいて、上記ワイヤの内側に少なくとも上
記ローラの回転中心線と平行な方向に位置調節するため
の位置調整台を設けたことを特徴とするワイヤソー。２、上記位置調整台に上記被加工物が取り付けられたジ
グを取り付けたことを特徴とする請求項第１項記載のワ
イヤソー。３、上記位置調整台に被加工物位置検出装置を取り付け
たことを特徴とする請求項第１項記載のワイヤソー。４、上記位置調整台の駆動機構を上記位置調整台の前面
に設けたことを特徴とする請求項第１項記載のワイヤソ
ー。５、上記位置調整台が、固定部と、移動部と、上記固定
部および上記移動部に取り付けられた弾性ヒンジによる
一体切欠ばねからなるガイド機構とを有することを特徴
とする請求項第１項記載のワイヤソー。６、上記固定部の面と上記移動部の面とが直接接触した
状態を保持するクランプを有することを特徴とする請求
項第５項記載のワイヤソー。７、上記クランプが圧電素子を有することを特徴とする
請求項第６項記載のワイヤソー。