JPH0466579U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0466579U JPH0466579U JP11045590U JP11045590U JPH0466579U JP H0466579 U JPH0466579 U JP H0466579U JP 11045590 U JP11045590 U JP 11045590U JP 11045590 U JP11045590 U JP 11045590U JP H0466579 U JPH0466579 U JP H0466579U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic substrate
- strain gauge
- cantilever
- acceleration sensor
- detection signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は加速度センサの平面図、第２図はカバ
ーを除いた第１図Ａ−Ａ線に沿つた断面図、第３
図は第１図Ｂ−Ｂ線に沿つた断面図である。 １……ステム、２……セラミツク基板、６……
処理回路部、７……加速度センサ部、８……カン
チレバー、９……ひずみゲージ。
ーを除いた第１図Ａ−Ａ線に沿つた断面図、第３
図は第１図Ｂ−Ｂ線に沿つた断面図である。 １……ステム、２……セラミツク基板、６……
処理回路部、７……加速度センサ部、８……カン
チレバー、９……ひずみゲージ。
Claims (1)
- セラミツク基板で作製され、振動を感知するカ
ンチレバーと、前記セラミツク基板上に設けられ
、前記カンチレバーに配置されたひずみゲージお
よび該ひずみゲージの検出信号を処理する回路と
を具備する加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11045590U JPH0466579U (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11045590U JPH0466579U (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0466579U true JPH0466579U (ja) | 1992-06-11 |
Family
ID=31857795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11045590U Pending JPH0466579U (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0466579U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3091972B2 (ja) * | 1990-05-26 | 2000-09-25 | 鈴木 誠 | 異繊維材料を混在したウェブ及びそのウェブを用いた飾り糸の製造方法と装置 |
-
1990
- 1990-10-22 JP JP11045590U patent/JPH0466579U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3091972B2 (ja) * | 1990-05-26 | 2000-09-25 | 鈴木 誠 | 異繊維材料を混在したウェブ及びそのウェブを用いた飾り糸の製造方法と装置 |