JPH0464000B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野） 本発明は高温焼結炉や焼結時に圧力を加え高密
度の製品を製造するためのホツトプレスや熱間静
水圧加圧装置（以下、HIP装置と略記する）など
の如き高温炉に関するものである。 （従来の技術） 従来、窒化ケイ素や炭化ケイ素などの非酸化物
セラミツクスが耐熱構造部材用の材料として注目
を浴びているが、これらセラミツクスの焼結には
摂氏千七百〜二千数百度の高温が必要であるた
め、このような高温用の焼結炉や焼結時に圧力を
加え、高密度の製品を製造するためのホツトプレ
スやHIP装置の需要が急増している。 ところで、旧来、大気圧下もしくは真空下にて
上記の如き高温を発生し得る炉の断熱には、とく
に輻射による熱の散逸を制御するため放射率の低
いタングステン等の板を隙間を設けて多層とした
構造が使用されていた。 しかし、タングステン等の高融点金属は非常に
高価である上、高温下で再結晶を起こし、脆化す
るため寿命が短く、その使用は研究用の小型設備
に限定されており、生産用の設備では断熱性を犠
牲にしても比較的安価な黒鉛レンガが用いられて
来た。 そして、近年になつて炭素繊維や可撓性の黒鉛
シートが開発されるに及び、これらを組み合わせ
た断熱構造が使用されつつある。 しかして、かかる断熱構造の例としては、可撓
性黒鉛シートを炭素繊維からなるフエルトと多層
に重ね合わせたもの（実公昭58−29129号公報）
や波トタン板状に加工したシートと平坦なシート
を多層に重ね接着成形したもの（UCC社グラフ
オイルのMultiwrap Heat Shield）などが一般
に知られている。一方、HIP装置用の耐熱構造と
しては、単に平坦な可撓性黒鉛シートを巻き上げ
たもの（特開昭56−6736号）、シートと炭素繊維
メツシユとを交互に巻き上げたもの（特開昭57−
101601号）及び窓穴を穿設したシートと窓穴のな
いシートとを交互に巻き上げたもの（特開昭58−
199803号）などが公知となつている。 ところで、前記のような高温下で使用する断熱
構造にあつては、先ず第一に輻射の制御が必要で
あり、放射率の小さな材料でできるだけ多層に重
ねることが好ましい。可撓性黒鉛シートの放射率
は1500℃以上でも0.6前後であり、通常の黒鉛が
0.9以上であることを考えると、輻射の制御に好
ましい特性を有している。しかも0.1mmと非常に
厚さの薄いものまで入手が可能であり、多層に重
ねた際の全体の薄肉化が容易であるので可撓性黒
鉛シートを多層に重ねた構造は輻射の制御に頗る
好適なものと云える。 次に高温下使用の断熱構造は第二に雰囲気ガス
の自然対流による熱の放散を抑える必要がある。
とくに高密度のガス雰囲気となるHIP装置でこの
必要性は大きい。通常、対流抑止のためには前記
の炭素繊維フエルトをシート間に充填することに
よりある程度の目的が達成できるが、特開昭57−
101601号や特開昭58−199803号のように意図的に
シートを狭い隙間を設けて重ねるのが効果的であ
る。 第三に上記の輻射や自然対流を抑止するように
多層に重ねた場合、シートそのものの熱伝導及び
シート間の充填物の熱伝導を抑える必要がある。
このためには熱伝導率の小さい材料を用い、かつ
熱伝導、熱通過面積を小さくしなければならな
い。 可撓性黒鉛シートの熱通過方向、即ち厚さ方向
の熱伝導率は0.00827cal／cmsec℃とかなり小さ
な値であり、断熱材として有効な性質を有してい
る。 以上のような高温下で使用する断熱構造の各要
件に鑑みれば、本出願人の出願に係る前記特開昭
58−199803号提案のものは他の公知の断熱構造に
比較してすぐれた断熱構造の１つと云える。 （発明が解決しようとする問題点） しかし、上述の提案になる構造のものにおいて
も下記の如き欠点があることが分かつた。 即ち、先ず第一に、良好な断熱性能を得るため
には窓穴部の面積をできるだけ大きくするのが効
果的であるが、窓穴部の面積をシート前面の80％
以上、即ち、伝導熱通過面積を20％以下とした場
合には窓穴を穿設したシートが破損し易く実用
上、不向きであると共にシートを巻き上げる際に
極めて慎重な取扱いを要し、作業性が低下する。 第二に可撓性黒鉛シートは必ずしも安価ではな
いにも拘らず、窓穴を設けたシートを作成するた
めに多量の素材を使用せざるを得ず歩留りが悪い
ことである。 そこで本出願人は上述の問題点を解決すべく、
先に可撓性黒鉛シートの特性を活用し、良好な断
熱性能を確保しつつ作業能率ならびに歩留りの向
上を図ることを目途とし、表面に突起を有する可
撓性黒鉛シートを多層に重ねるか、又は突起を有
する可撓性黒鉛シートと通常の平坦な可撓性黒鉛
シートもしくは帯状の同シートを組み合わせて多
層に重ねることによりシート間に隙間を形成する
と共に、シート間の接触を突起部のみに限定する
構造の断熱構造体を具備した高温炉を提案した。 かかる提案により、前記窓穴シートをスペーサ
として使用する従来技術では実用上不可能である
ような狭い伝熱面積をもつ断熱性能良好な断熱構
造を得ることに成功した。 本発明は上記と同様の目的を以て更に研究を重
ね、上述の提案よりも更に優れた断熱性能を有す
ると共に形態安定性良好な断熱構造体をもつ高温
炉を創出し得たもので、その目的とするところ
は、HIP装置のような高温高圧炉内に配置され、
輻射抑制ならびに対流抑制効果の大きい優れた断
熱性能を有すると共に、形態安定性と構造強度が
共に大きい断熱構造体をもつ高温炉を提供するに
あり、また別の目的は、かかる断熱構造体を高い
製作作業能率と良好な歩留りとを以て経済的有利
に取得するにある。 （問題点を解決するための手段） 即ち、上述の目的を達成するために本発明では
断熱構造体を波板状可撓性黒鉛シートの複数枚
を、相隣れるシートの波形が互いに交叉するよう
に積層して形成された積層体を含み構成した。 以下、本発明の構成を添付図面に基づいて説明
する。 第１図は本発明に適用される波板状可撓性黒鉛
シートの平面図である。 同図において、長尺ロール状の可撓性黒鉛シー
ト１は長手方向の軸に対して傾斜角（α）を有す
るバイアス波板状に加工されている。シート厚さ
は断熱層薄肉化及び取扱い性を勘案し、0.1〜1.0
mmとすることが好適である。 又、その波形については波の稜線に垂直な断面
において第２図のイ，ロ，ハにそれぞれ示すよう
に鋸歯状の三角波形、正弦波形、所定ピツチをお
いた歪波形など、直線状の山の稜線が一定の間隔
をおいて並んだものであれば特に限定されない
が、後述するようにシートを重ね合わせた際の接
触面積低減の観点からは、三角波形が最も望まし
い。 このようなバイアス波板状の可撓性黒鉛シート
はその複数枚がバイアス波形の傾斜方向を交互に
逆転させて、即ち第３図に示すように一枚おきに
裏返して積層され、積層体を形成する。従つて、
積層体を構成する複数枚の積層シートは、相隣れ
るシートの波形２，２′が互いに交叉しており、
波の稜線の交点３，３′…で相互に接触する。 かくして、積層体全体に亘り著しく小さい面積
の接点３，３′…が多数均一に分布して形成され
る。 相隣れる波形の交叉角度は、構造強度並びに形
態安定性の上からは、鋭角側で測定して10〜90度
の範囲が好ましく、90度に近い程良い。また、バ
イアス波形のシートの長手方向の軸に対する傾斜
角度は鋭角側で測定して30〜85度が、同様の理由
が好適であり、45度の場合が最も好ましい。 積層されるシートの相隣れる波形はその傾斜方
向が反対となつていればよく、両者の傾斜角度が
相異しても特に支障はないが、製作上の便宜面並
びに積層体の構造上のバランスを考慮すれば、同
一傾斜角度の波形を有する複数枚のシートを用
い、波形の傾斜方向を交互に逆転させて積層する
ことが推奨される。 このようにして形成される積層体の断熱性能
は、接点３，３′…における伝導熱通過面積によ
つて大きく影響されるため、相隣れる一組のシー
トの互いに接触する面積の総和とシートの片面の
面積との比（Ｒ）の値を0.03〜0.3の範囲とする
ことが好ましい。Ｒがこの範囲未満であると接点
数が過少であり、積層体の強度並びに形態安定性
が低下するのみならず、層内間隙における対流抑
制効果が薄れるため適当でない。また、上記範囲
を超えると伝熱面積の増大により本発明の目的、
効果の充分な達成が困難となる。 上述のＲの値を実現するためには、本発明に適
用される波板状シートの厚さ（ｔ）と、その波形
における波のピツチ（Ｐ）とが、式 0.37t≦Ｐ≦3t ………(1) を満足する関係にあることが望ましく、また、製
作上の観点からも実際的である。即ち、第４図は
三角波形を波の稜線に垂直な断面で表した断面拡
大図であり、ｒは稜線の接触幅（mm）、Ｐはピツ
チ（mm）、ｈは高さ（mm）、ｔは厚さ（mm）で、稜
線の接触幅（ｒ）は最も好ましい正三角波形の場
合、理想的強度を与え、且つ、製作容易な値は
（0.2t）の近辺にある。このような寸法形状のバ
イアス波形を有する一組のシートが、波を角度
（θ）をなして交叉し積層されたときのモデルを
第５図に示した。 第５図において（Ｒ）の値を計算するために、
山の稜線２，２の接点３を含む領域、即ち、図中
の破線で示した谷底の線で囲まれた領域を検査面
とすると、接触面は斜視部であるから、 Ｒ＝rr′／PP′ ………(2) となる。今、r′＝ｒ／sinθ、P′＝Ｐ／sinθである
から結局(2)式は Ｒ＝r²／P² ……(3) となる。Ｐの式に変形すると Ｐ＝ｒ／√Ｒ ………(4) となる。(4)式においてｒ＝0.2tmm、0.03≦Ｒ≦0.3
としてＰを求めると 0.37tmm≦Ｐ≦1.15tmm ………(5) となる。 なお、製作上の観点からはＰ＝２〜3tが好まし
いため、(5)式の右辺を3tに置き換え、前記(1)式が
導かれる。 上記のようにして波板状可撓性黒鉛シートを積
層して形成された積層体は、適宜な形状に裁断成
形し断熱構造体の断熱層とすることができる。 また、長尺シートを積層して形成された積層体
は、シートの長手方向に円筒状に積層巻成するこ
とによつて高温炉内に配置される断熱構造体とす
ることができる。 複数回、巻回積層して一体化し円筒を形成する
ときは、巻成される前記積層体としては偶数枚の
波状板シートを以て形成されたものを用いる。 奇数枚のときは、巻回重積されたときオーバー
ラツプして隣接する波形の傾斜方向が同一となる
部分が生ずるので適当でない。 上記積層体をもつて形成した円筒は半径方向に
複数に分割されていてもよく、又、軸方向に複数
に分割されていてもよく、更にその内側に剛性断
熱層、例えば、黒鉛又は炭素−炭素繊維複合体か
らなる円筒を芯材として配置し、真円度を確保せ
しめるようにすることも好適である。 又、本発明に適用される波板状可撓成黒鉛シー
トの積層体は別の形状として黒鉛シートの積層体
をもつて形成した円筒部の上部に前記シートを多
層に重ね合わせた重合天蓋を配し、倒立コツプ形
状として高温炉内に配置されてもよい。 この場合には更に内側に倒立コツプ状の剛性黒
鉛層を配することも可能である。 更に、上記重合天蓋の代わりに前記積層体を以
て形成した円筒部上端部に短キヤツプ状の黒鉛キ
ヤツプを配した構造とすることも本発明の断熱構
造の意図するところであり、又、積層体をもつて
形成した円筒部の上部にシートを多層に重ね合わ
せた重合天蓋と黒鉛キヤツプとを交互に積層せし
めた構造も本発明の含むところである。 なお、上記の何れの場合においても前記積層体
をもつて形成した円筒部間に剛性黒鉛円筒を配置
せしめてもよく、又、それら円筒部の最外面をカ
ーボン繊維の束で縛ることにより固定せしめるこ
とも有効な手段である。 上述の如き波形は一般的には通常の金属シート
では形成が困難であるが、可撓性黒鉛シートの場
合には膨張黒鉛粉末を圧縮、圧延してシートに加
工しているため容易に形成が可能である。 叙上のような可撓性黒鉛シートは、その性質
上、面方向の熱膨張係数が小さいため、熱応力に
よる変形を生じ難く、又、摩擦係数が小さいので
山の稜線の接点部分ですべりを生じ、シート同志
が拘束し合うことがないため、変形を生じ難い。
このため長期間にわたつて安定使用できる構造安
定面での利点が存する。 （実施例） 本発明に係る断熱構造体の優れた断熱性能を立
証するため、以下の如き対比を行つた。 先ず、ｔ＝0.4mmの可撓性黒鉛シートに、Ｐ＝
1.2mm、ｈ＝１mmの略正三角形形状の波形を長手
方向の軸に対して30゜の傾斜角をもつて設けた。
内径145mm、高さ500mmの炉室を有するHIP装置に
おいて、2000℃、1000Kgｆ／cm²、アルゴンガス雰
囲気の条件下で、上記波板状可撓性黒鉛シートを
用いた積層体よりなる本発明断熱構造体と、窓開
きシートの配層による特開昭58−199803号の断熱
層および本出願人の先願になる突起を有する黒鉛
シートの配線による断熱層を用いた場合の定常熱
損失を比較した結果は下表の如くであつた。

【表】 上表より明らかな如く、従前のものに比し、断
熱性能の向上が顕著に認められ、しかも長期間の
使用に対し安定であることが確認された。 更に本発明の断熱構造体の種々の変形、応用を
以下、図面に示す実施例について説明する。 先ず第６図の図示例では、円筒状の前記積層体
からなる断熱層４を保持具Ａ上に配してその上部
に断熱性能の良好な材料で作成した天蓋５を配
し、全体で倒立コツプ形状となしている。 そして、上記の各円筒部の形成に際しては、長
尺のシートを巻成して多層とすることもでき、こ
の場合には組み立てが容易である上に円筒部の厚
さもシートの長さにより、容易に調整することが
可能である。 第７図は前記第６図に示す断熱層４の変形例と
して断熱構造体を半径方向において３つの円筒部
ブロツク４ａ，４ｂ，４ｃに分割し、これを保持
具A′上に保持した場合を示す。 かかる構成は内外の温度差による全体の変形を
より抑制する効果がある外、使用温度が低い場合
には内側のブロツク４ａを適宜除去して使用する
ことにより放冷時の冷却速度を高めることが可能
となり、HIPサイクルタイムの短縮に効果を発揮
する。 次に第８図は本発明に係る積層体からなる断熱
層４の構造体を保持具Ａにより保持し、その上部
に同じく本発明の積層体を用いた天蓋５′をもう
１つの天蓋５と共に配して逆コツプ形状とした例
であり、半径方向のみならず、上方向の断熱性能
をも良好ならしめるものである。 第９図は前記の如き円筒状の断熱層４の内側に
剛性断熱層例えば炭素−炭素繊維複合材製の円筒
６を芯材として配置した例で、円筒部の組み立て
を容易ならしめると共に、真円度を出し、かつ全
体の機械的強度を向上することができる。 更に、第１０図は高さ方向の寸法が大なる場合
に好適な例であり、上下方向に複数の円筒状積層
体からなる断熱層４，４′を段積みして配設する
ことによりシートのサイズによる制約を排除する
ことができる。 なお、符号中、前記各図と同一符号は同一部分
を示し、以下も同様とする。 第１１図は前記第９図の天蓋５の変形例で、上
部天蓋５′を本発明における積層体によつて構成
している。 更に第１２図は倒立コツプ状の断熱層の内部に
通気性の少ない剛性黒鉛コツプ７を配することに
より炉内高温ガスが天蓋５と円筒部４，７の接触
部を通つて断熱層外に流出し断熱層外部を流下し
て下方より炉室内に帰還するという炉室内ガスの
対流を防止して断熱性を高めている。 従つて、この構成は特に高密度のガス雰囲気と
なるHIP装置に好適である。 なお、この構造もさきの黒鉛円筒６を配した第
９図の例と同じく、積層体の円筒状断熱層４の真
円度を出し、組立を容易ならしめると共に全体の
機械的強度を高めることができる。 第１３図は本発明断熱構造体の更に他の実施例
で、断熱層４は波板状可撓性黒鉛シートを各複数
層巻成してなる複数個の黒鉛円筒４ａ〜４ｄを同
心円状に配置した胴部と、波板状可撓性黒鉛シー
トを各複数層重合した複数の天蓋５ａ〜５ｃと、
内側の黒鉛コツプ７及び前記天蓋に配置された可
撓性を有しない剛性の短カツプ状のグラフアイト
キヤツプ８ａ，８ｂとから構成されており、重合
天蓋５ａ，５ｂは奇数層の黒鉛円筒４ａ，４ｃの
上端部に接して配置され、グラフアイトキヤツプ
８ａ，８ｂは該黒鉛円筒４ａ，４ｃの上端部を包
囲するように密着して嵌合配置されていて、その
下端は偶数層の黒鉛円筒４ｂ，４ｄの上端面に接
して配置されている。 なお、最内側に配置された黒鉛コツプ７は第１
２図のものと作用効果は別段変わりはないが、前
記黒鉛円筒上端部に嵌合したグラフアイトキヤツ
プ８ａ，８ｂにより黒鉛円筒４ａ，４ｃと重合天
蓋５ａ，５ｂとの間の微少間隙を通つて炉室内の
高温ガスが断熱層外に流出し、断熱層外部で流下
し、断熱層下部より再度炉室に流入するというガ
ス対流回路が構成されるのを充分に防止できるの
で前記黒鉛コツプ７は省略することもできる。 かくして、このように波板状可撓性黒鉛シート
で形成した黒鉛円筒４ａ〜４ｄ及び重合天蓋５ａ
〜５ｃを複数個夫々配置することにより熱の伝
導、輻射による移動を更に効率よく抑止すること
ができる。 また、グラフアイトキヤツプ８ａ，８ｂと黒鉛
円筒４ａ，４ｃとの嵌合方式は第１３図に示すよ
うに外嵌方式の他、第１４図に示す如く、内嵌方
式を採用することもできる。重合天蓋５ａと黒鉛
円筒４ａとの複合部も、同図に示すように円筒側
に段部を設けこれに重合天蓋５ａを載置させるこ
ともできる他、逆に重合天蓋側に段部を形成し、
該段部で黒鉛円筒と接合させることもできる。 更に第１５図は本発明の内側断熱層の他の実施
例を示すもので、黒鉛円筒４ａ，４ｂの間に可撓
性を有しない剛性グラフアイト円筒６′を介在さ
せ、断熱層の内外部には夫々剛性倒立カツプ状の
グラフアイトキヤツプ７ａ，８，８ｂを配置した
ものである。 このように内外側及び中間部に可撓性を有しな
い剛性のグラフアイトを存在させることにより、
断熱層の形状を安定に保持することができる。 なお、この場合、外側のグラフアイトキヤツプ
８ｂはその温度によつては倒立カツプ状セラミツ
クス部材に置き代えてもよいことは勿論であり、
黒鉛円筒を多数個配置し、各円筒間あるいは該円
筒部の適所にグラフアイト円筒６′を適宜介在さ
せることもでき、更にはグラフアイト円筒６′と
短カツプ状のグラフアイトキヤツプ８ａとを一体
化してもよいことはいうまでもない。 第１６図は更に本発明の構成を含む複雑な他の
実施例であり、本発明の要部を含む内側断熱層９
の外側に外側断熱層１０を配した構成からなつて
いる。 本例において上記外側断熱層１０は通気性を有
しない倒立キヤツプ１１，１２と両キヤツプ間に
配した対流と輻射を抑制するための倒立コツプ状
のセラミツク部材１３からなり、この外側断熱層
１０は比較的低い温度となるため金属によつて倒
立キヤツプ１１，１２を製作することもできる。 又、輻射、対流を抑止し、黒鉛と倒立キヤツプ
１１との反応を抑えるため内側断熱層９と外側断
熱層１０の間の倒立キヤツプ形空間１４にセラミ
ツクス部材を配することも好適である。 本発明断熱構造体を適用した断熱層の各例は、
叙上の如くであるが、これらは図示しないが、既
知の加圧焼結炉、HIP装置の炉室内など高温下に
配置されて断熱の効果を奏する。 特に、上記各装置の炉室は高温、高圧下のガス
雰囲気下にあり、ガスの物性、例えばガスの熱伝
導率、熱膨張係数、密度、粘度等の物性に起因し
て自然対流が極めて激しく起こり、このための熱
損失が大きくなり易い状況下にあるが、上記本発
明による断熱層によれば黒鉛シートに設ける突起
高さも１mm以下とすることにより自然対流を抑止
することができるとともに高温炉の断熱層として
特に重要となる輻射遮蔽についても黒鉛シート自
体を輻射遮蔽板としての役割を担わせているた
め、金属材料被膜が使用出来ない高温領域でも使
用可能であることは特筆される。 （発明の効果） 本発明に適用される積層体は、放射率の小さい
材料である可撓性黒鉛シートを多層に重合したた
め輻射の抑制効果が大きく、又、波の高さを適宜
選定することによりシート間の隙間を広範囲で、
かつ安定的に狭くすることが可能であるため、自
然対流による熱の放散が抑えられ、しかも熱伝導
についても可撓性黒鉛シート自体の厚さ方向の熱
伝導率がかなり小さな上に、熱伝導熱通過面積が
波の山の稜線の交点の面積のみに限られるため、
良好な抑止効果が得られる。 この場合の伝導熱通過面積は例えば３〜30％と
すれば伝導による熱損失も小さくなる。 また、本発明に適用される積層体は可撓性黒鉛
シートの接触が線と線との交叉によつて行われる
ため、その接触面積を形態安定性と構造強度とを
損なうことなく最小限とすることができ、また、
波形が交叉した構造は、先に提案された突起を介
して接触する構造に比し、その強度並びに安定性
における性能は格段に優れたものとなる。従つて
同一接触面積で比較した場合には、シート単位面
積当たりの接触点の数を増すことができ、シート
間の間隙を安定的に保持することが可能である。 又、波の高さによりシート間の隙間を小さくす
れば各シート間で起こるミクロな自然対流も十分
抑止することができ、更に連続した波形の交叉が
シート間隙におけるガスの流動抑止効果を発揮す
ることと相俟つて、特に激しい対流を生ずる高温
高圧容器内において対流を防ぎ、断熱性能に優れ
るという効果もある。 本発明は以上のように断熱層を形成する積層体
を波板状可撓性黒鉛シートによつて形成せしめた
ものであるから、可撓性黒鉛シートの特性が活用
され、その配置により熱伝導による余分な熱放散
を生じることなく輻射及び自然対流による熱放散
を極めて小さくすることができ、高温下において
優れた断熱性能を発揮すると共に安定性、耐久性
の良好な断熱構造体を提供することが可能とな
る。 しかも、本発明のものは、その波高さ、ピツチ
などの選定により適切な隙間と接触部を形成する
ことができるので、特別なスペースを用意する必
要がなく、経済的にも優れており、殊に伝熱面積
を従来の窓あきシートの場合には実用上、不可能
であつた面積とした場合にも容易に組立が可能で
あり、製作そのものも高能率と良好な歩留りとを
もつて行うことができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に適用される可撓性黒鉛シート
の平面図、第２図イ，ロ，ハは第１図Ａ−Ａ断面
における各例断面図、第３図は本発明に適用され
る積層体の平面図、第４図は第２図の代表的な断
面拡大図、第５図は第３図のモデル図、第６図乃
至第１６図は本発明断熱構造体を用いたHIP装置
の断熱層の各変形例を示す要部部分略示図であ
る。 １……波板状可撓性黒鉛シート、２，２′……
波形（稜線）、３，３′……接点、４……断熱層、
５，５′……天蓋、７，７′……円筒、７……黒鉛
コツプ、８……グラフアイトキヤツプ、９……内
側断熱層、１０……外側断熱層、１１，１２……
倒立キヤツプ、１３……セラミツク部材、１４…
…空間。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 波板状可撓性黒鉛シートの複数枚を、相隣れ
   るシートの波形が互いに交叉するように積層して
   形成された積層体を含み構成された断熱構造体を
   炉内に具備することを特徴とする高温炉。 ２ 前記シートが0.1〜１mmの厚さを有する特許
   請求の範囲第１項記載の高温炉。 ３ 前記シートの波形が波の稜線に垂直な断面に
   おいて鋸歯状の三角波形である特許請求の範囲第
   １項または第２項記載の高温炉。 ４ 相隣れるシートの波形が10〜90度の角度をな
   して互いに交叉する特許請求の範囲第１項乃至第
   ３項の何れかの項に記載の高温炉。 ５ 前記シートの波形がシートの長手方向の軸に
   対して30〜85度の角度をなして傾斜したバイアス
   波形である特許請求の範囲第１項乃至第４項の何
   れかの項に記載の高温炉。 ６ 同一傾斜角度の波形を有する複数枚の前記シ
   ートが波形の傾斜方向を交互に逆転させて積層さ
   れた特許請求の範囲第１項乃至第５項の何れかの
   項に記載の高温炉。 ７ 相隣れる一組のシートの互いに接触する面積
   の総和とシートの片面の面積との比（Ｒ）の値が
   0.03〜0.3の範囲にある特許請求の範囲第１項乃
   至第６項の何れかの項に記載の高温炉。 ８ 波形のピツチ（Ｐ）とシートの厚さ（ｔ）と
   が式 0.37t≦Ｐ≦3t を満足する特許請求の範囲第１項乃至第７項の何
   れかの項に記載の高温炉。 ９ 積層体がシートをその長手方向に巻成してな
   る円筒である特許請求の範囲第１項乃至第８項の
   何れかの項に記載の高温炉。 １０ 断熱構造体が円筒形積層体上部に天蓋を配
   した倒立コツプ形状をなす特許請求の範囲第９項
   記載の高温炉。 １１ 積層体が剛性耐熱層に重合してなる特許請
   求の範囲第９項または第１０項記載の高温炉。 １２ 剛性耐熱層が黒鉛よりなる特許請求の範囲
   第１１項記載の高温炉。 １３ 剛性耐熱層が炭素−炭素繊維複合体よりな
   る特許請求の範囲第１１項記載の高温炉。 １４ 剛性耐熱層がセラミツクよりなる特許請求
   の範囲第１１項記載の高温炉。