JPH0463483A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0463483A JPH0463483A JP17457890A JP17457890A JPH0463483A JP H0463483 A JPH0463483 A JP H0463483A JP 17457890 A JP17457890 A JP 17457890A JP 17457890 A JP17457890 A JP 17457890A JP H0463483 A JPH0463483 A JP H0463483A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- main discharge
- gas laser
- discharge space
- flow
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は横励起方式のガス−レーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
放電方向とガスレーザ媒質の流れが交差するいわゆる横
励起方式のＴＥＡＣＯ２レーザや、エキシマレーザでは
応用面から高繰返し動作させることが望まれている。こ
の種の装置の従来の構成について第３図、第４図を参照
して説明する。すなわち、（１）は気密容器（２）とな
る本体の部分て、上部は後述する放電ユニットを出入す
るための開口（３）になっていて、その端部はフランジ
部（４）に形成されている。本体（１）内に開口（３）
を通して放電ユニットが収納される。この放電ユニット
はフランジ部（４）にパツキン（図示せず）に固着され
る蓋体（５）と、四隅に支持棒（６）を介して蓋体（５
）に吊着された電気絶縁材からなるガイド（７）と、こ
のガイド（７）の蓋体（５）側になる裏面中央でかつ紙
面垂直方向に沿って設けられた導電性で溝形状の取付は
具（８）と、この取付は具（８）にガイド（７）を貫通
したボルト（９）で上記裏面の反対側の流れ案内面に取
付けられた一方の主放電電極である陰極（１０）と、上
記取付は具（８）の両性側部にそれぞれ所定間隔で取付
けられたピーキングコンデンサ（１１）と、これら各ピ
ーキングコンデンサ（１１）に接続されガイド（７）を
貫通してその先端部を主放電空間の近傍に設定された一
方の予備電離電極（１２）と、さらに上記した各要素、
すなわち、ガイド（７）、取付は具（８）、陰極（１０
）、ピーキングコンデンサ（１１）および一方の予備電
離電極（１２）と対をなし、取付は棒（１３）を介して
組まれた各要素（簡略にするため他方の主放電電極であ
る陽極（１４）、他方の予備電離電極（１５）のみ図示
）等で構成されている。なお、予備電離電極（＋２）、
（＋５）はともに薄板状で、流線形の断面に形成され
ている。
励起方式のＴＥＡＣＯ２レーザや、エキシマレーザでは
応用面から高繰返し動作させることが望まれている。こ
の種の装置の従来の構成について第３図、第４図を参照
して説明する。すなわち、（１）は気密容器（２）とな
る本体の部分て、上部は後述する放電ユニットを出入す
るための開口（３）になっていて、その端部はフランジ
部（４）に形成されている。本体（１）内に開口（３）
を通して放電ユニットが収納される。この放電ユニット
はフランジ部（４）にパツキン（図示せず）に固着され
る蓋体（５）と、四隅に支持棒（６）を介して蓋体（５
）に吊着された電気絶縁材からなるガイド（７）と、こ
のガイド（７）の蓋体（５）側になる裏面中央でかつ紙
面垂直方向に沿って設けられた導電性で溝形状の取付は
具（８）と、この取付は具（８）にガイド（７）を貫通
したボルト（９）で上記裏面の反対側の流れ案内面に取
付けられた一方の主放電電極である陰極（１０）と、上
記取付は具（８）の両性側部にそれぞれ所定間隔で取付
けられたピーキングコンデンサ（１１）と、これら各ピ
ーキングコンデンサ（１１）に接続されガイド（７）を
貫通してその先端部を主放電空間の近傍に設定された一
方の予備電離電極（１２）と、さらに上記した各要素、
すなわち、ガイド（７）、取付は具（８）、陰極（１０
）、ピーキングコンデンサ（１１）および一方の予備電
離電極（１２）と対をなし、取付は棒（１３）を介して
組まれた各要素（簡略にするため他方の主放電電極であ
る陽極（１４）、他方の予備電離電極（１５）のみ図示
）等で構成されている。なお、予備電離電極（＋２）、
（＋５）はともに薄板状で、流線形の断面に形成され
ている。
（発明が解決しようとする課題）
一般にピーキンクコンデンサ（１１）の外形寸法には１
〜２ｍｍ程度の誤差がある。このため、一方の予備電離
電極（１２）をガイド（７）に円滑に貫通させるために
ガイド（７）に形成する貫通穴（１６）は予備電離電極
（１２）の断面形状より上記誤差を考慮して大きくして
いた。このため、一方の予備電離電極（Ｉ２）と貫通穴
（１６）との間に隙間（１８）が生じる。
〜２ｍｍ程度の誤差がある。このため、一方の予備電離
電極（１２）をガイド（７）に円滑に貫通させるために
ガイド（７）に形成する貫通穴（１６）は予備電離電極
（１２）の断面形状より上記誤差を考慮して大きくして
いた。このため、一方の予備電離電極（Ｉ２）と貫通穴
（１６）との間に隙間（１８）が生じる。
主放電空間にはガスレーザ媒質が高速に流されているの
で、隙間（１８）の部分でガスレーザ媒質の流れが乱れ
て部分的に渦流が生じ、流れの空間的均一性が失われる
ことからガス流速が低下し、そのため繰返し数を上げる
と出力が低下してしまう現象が生じていた。本発明は出
力が高くかつ高繰返しが得られるガスレーザ発振装置を
提供することを目的とする。
で、隙間（１８）の部分でガスレーザ媒質の流れが乱れ
て部分的に渦流が生じ、流れの空間的均一性が失われる
ことからガス流速が低下し、そのため繰返し数を上げる
と出力が低下してしまう現象が生じていた。本発明は出
力が高くかつ高繰返しが得られるガスレーザ発振装置を
提供することを目的とする。
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段と作用）
気密容器内に封入されて所定方向に流されるガスレーザ
媒質と、所定の主放電空間を形成し上記気密容器内に対
向配置された主放電電極と、上気主放電空間を予備電離
する予備電離電極と、上記予備電離電極と電気的に接続
されるピーキングコンデンサと、上記ガスレーザ媒質を
上記主放電空間に導くガイドとを備えたガスレーザ発振
装置において、上記ピーキングコンデンサと上記予備電
離電極は中継金具を介して電気的に接続され、上記中継
金具は上記主放電空間側になる一端面を上記ガイドの流
れ案内面とほぼ同一面にして上記ガイドに保持されてい
るように構成したもので、ガイドの流れ案内面において
ガスレーザ媒質の流れの乱れる箇所がなくなり高繰返し
化を達成できた。
媒質と、所定の主放電空間を形成し上記気密容器内に対
向配置された主放電電極と、上気主放電空間を予備電離
する予備電離電極と、上記予備電離電極と電気的に接続
されるピーキングコンデンサと、上記ガスレーザ媒質を
上記主放電空間に導くガイドとを備えたガスレーザ発振
装置において、上記ピーキングコンデンサと上記予備電
離電極は中継金具を介して電気的に接続され、上記中継
金具は上記主放電空間側になる一端面を上記ガイドの流
れ案内面とほぼ同一面にして上記ガイドに保持されてい
るように構成したもので、ガイドの流れ案内面において
ガスレーザ媒質の流れの乱れる箇所がなくなり高繰返し
化を達成できた。
（実施例）
以下、本発明を実施例を示す図面に基づいて詳細に説明
する。第１図は本発明の一実施例で、第３図に示した従
来例とは、ガイド（７）の一部に挿通するようにして取
付けられかつＬ金具（２０）を介してピーキングコンデ
ンサ（１１）に電気的に接続された導電性の中継金具（
２１）を有し、この中継金具（２１）に予備電離電極（
２２）を固着した点が異なる。
する。第１図は本発明の一実施例で、第３図に示した従
来例とは、ガイド（７）の一部に挿通するようにして取
付けられかつＬ金具（２０）を介してピーキングコンデ
ンサ（１１）に電気的に接続された導電性の中継金具（
２１）を有し、この中継金具（２１）に予備電離電極（
２２）を固着した点が異なる。
中継金具（２１）はガイド（７）の流れ案内面とほぼ同
一面に取付けられている。予備電離電極（２２）は−端
部がねじ部に形成され、このねじ部を中継金具（２１）
に螺合している。また、Ｌ金具（２０）はピーキングコ
ンデンサ（１１）の外形の寸法誤差を吸収できるように
ねじ取付穴は長穴に形成されている。以上の構成は、図
示を一部省略した陽極（１４）側の予備電離電極（２３
）の取付けにも同様に適用されている。
一面に取付けられている。予備電離電極（２２）は−端
部がねじ部に形成され、このねじ部を中継金具（２１）
に螺合している。また、Ｌ金具（２０）はピーキングコ
ンデンサ（１１）の外形の寸法誤差を吸収できるように
ねじ取付穴は長穴に形成されている。以上の構成は、図
示を一部省略した陽極（１４）側の予備電離電極（２３
）の取付けにも同様に適用されている。
以上の構成で、所定の電荷の供給と制御により、各予備
電離電極（２２）、 （２３１間で予備放電が点呼し、
各ピーキングコンデンサ（１１）が充電される。この予
備放電のとき、放電光の内の紫外光成分が陰極（１０）
、陽極（１４）間の主放電空間を予備電離する。
電離電極（２２）、 （２３１間で予備放電が点呼し、
各ピーキングコンデンサ（１１）が充電される。この予
備放電のとき、放電光の内の紫外光成分が陰極（１０）
、陽極（１４）間の主放電空間を予備電離する。
各ピーキングコンデンサ（１０）の充電が進み、陰極（
１０） 、陽極（１４）の電圧が高くなると、充電前に
よる電子が種火となり、主放電が点呼しレーザ光が励起
される。気密容器（２）内に所定圧力で封入されたガス
レーザ媒質は気密容器（２）内で高速に循環されレーザ
出力の高繰返し動作が行われる。このような動作におい
て、中継金具（２１）の構成で従来のように隙間（１８
）に相当する部分がなくなり、ガスレーザ媒質の流れが
円滑となり、渦流が生じなくなった。
１０） 、陽極（１４）の電圧が高くなると、充電前に
よる電子が種火となり、主放電が点呼しレーザ光が励起
される。気密容器（２）内に所定圧力で封入されたガス
レーザ媒質は気密容器（２）内で高速に循環されレーザ
出力の高繰返し動作が行われる。このような動作におい
て、中継金具（２１）の構成で従来のように隙間（１８
）に相当する部分がなくなり、ガスレーザ媒質の流れが
円滑となり、渦流が生じなくなった。
［発明の効果］
ガスレーザ媒質の流れか円滑となったことから、主放電
が安定し、第２図に示すようにレーサ出力、繰返し数の
従来の値（Ａ）に比べて１０〜２０％程度向上した値（
Ｂ）が得られるようになった。また、予備電離電極（２
２）、 （２３）のそれぞれの相隣り合う設置間隔は従
来ではいちいち測定しながら一定にする調整作業が必要
であったが、中継金具（２１）の設置間隔を一定にして
おけば上記調整作業は不要になり、組立時間を大幅に短
縮することができるようになった。
が安定し、第２図に示すようにレーサ出力、繰返し数の
従来の値（Ａ）に比べて１０〜２０％程度向上した値（
Ｂ）が得られるようになった。また、予備電離電極（２
２）、 （２３）のそれぞれの相隣り合う設置間隔は従
来ではいちいち測定しながら一定にする調整作業が必要
であったが、中継金具（２１）の設置間隔を一定にして
おけば上記調整作業は不要になり、組立時間を大幅に短
縮することができるようになった。
第１図は本発明の一実施例を示す要部断面図、第２図は
繰返し数と出力の関係を示す図、第３図は従来例を示す
要部断面図、第４図は同じく要部平面図である。 （７）・・・ガイド （１０）・・・陰極 （１１）・・・ピーキンクコンデンサ （１４）・・・陽極 （２１）・・・中継金具
繰返し数と出力の関係を示す図、第３図は従来例を示す
要部断面図、第４図は同じく要部平面図である。 （７）・・・ガイド （１０）・・・陰極 （１１）・・・ピーキンクコンデンサ （１４）・・・陽極 （２１）・・・中継金具
Claims (1)
- 気密容器内に封入されて所定方向に流されるガスレーザ
媒質と、所定の主放電空間を形成し上記気密容器内に対
向配置された主放電電極と、上気主放電空間を予備電離
する予備電離電極と、上記予備電離電極と電気的に接続
されるピーキングコンデンサと、上記ガスレーザ媒質を
上記主放電空間に導くガイドとを備えたガスレーザ発振
装置において、上記ピーキングコンデンサと上記予備電
離電極は中継金具を介して電気的に接続され、上記中継
金具は上記主放電空間側になる一端面を上記ガイドの流
れ案内面とほぼ同一面にして上記ガイドに保持されてい
ることを特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17457890A JPH0463483A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17457890A JPH0463483A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463483A true JPH0463483A (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=15981008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17457890A Pending JPH0463483A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0463483A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007083518A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Ipposha Oil Ind Co Ltd | 遮光シュリンクタックシートおよびこれを用いたラベル |
-
1990
- 1990-07-03 JP JP17457890A patent/JPH0463483A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007083518A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Ipposha Oil Ind Co Ltd | 遮光シュリンクタックシートおよびこれを用いたラベル |
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