JPH0462414B2 - - Google Patents

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JPH0462414B2
JPH0462414B2 JP9980086A JP9980086A JPH0462414B2 JP H0462414 B2 JPH0462414 B2 JP H0462414B2 JP 9980086 A JP9980086 A JP 9980086A JP 9980086 A JP9980086 A JP 9980086A JP H0462414 B2 JPH0462414 B2 JP H0462414B2
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JP
Japan
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layer
magnetic
surface roughness
recording medium
magnetic recording
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JP9980086A
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Japanese (ja)
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Hiroshi Kono
Takao Matsudaira
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Hoya Corp
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Hoya Corp
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録装置に用いられる磁気記録
媒体に関し、特に、磁気記録媒体の始動時におい
て、その始動を円滑にするようにした磁気記録媒
体に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a magnetic recording medium used in a magnetic recording device, and in particular, to a magnetic recording medium for smooth startup of the magnetic recording medium. Regarding the medium.

〔従来の技術〕 磁気記録媒体としては、第4図に示すものがあ
る。この円板状の磁気記録媒体1は、主として磁
気ヘツドにより種々の情報が書きこまれたり、読
みとられるリードライトゾーン1aと、このリー
ドライトゾーン1aの直径方向内側に、主として
情報の書きこみ又は読みとり終了後に磁気ヘツド
が配置されるランデイングゾーン1bとに区画さ
れている。なお、磁気記録媒体1の中心には、磁
気記録媒体1を回転させるための回転時軸を挿入
する、断面円状の貫通孔1cが形成されている。
そして、従来、この磁性記録媒体1の構造として
は特開昭61−3322号公報に記載されているよう
に、第5図に示すものがあつた。すなわち、Al
基板2及びニツケル下地メツキ層3からなる非磁
性支持体4(以下「支持体」という。)と、コバ
ルト磁性メツキ層5(膜厚は0.2μ以下である。)
とからなるものである。このニツケル下地メツキ
層3は、その全面をランデイングゾーン1bに必
要な大きな面粗度とし、次にリードライトゾーン
1aの部分に限つて、ランデイングゾーン1bよ
りも小さな面粗度になるように研摩して仕上が
る。このような表面を有するニツケル下地メツキ
層3上のコバルト磁性メツキ層5の表面も、ニツ
ケル下地メツキ層3の表面と同様にランデイング
ゾーン1bの方がリードライトゾーン1aよりも
面粗度は大きい。
[Prior Art] As a magnetic recording medium, there is one shown in FIG. This disk-shaped magnetic recording medium 1 has a read/write zone 1a where various information is mainly written or read by a magnetic head, and a diametrically inner side of this read/write zone 1a where information is mainly written or read. It is divided into a landing zone 1b where the magnetic head is placed after reading is completed. Note that a through hole 1c having a circular cross section is formed in the center of the magnetic recording medium 1, into which a rotation shaft for rotating the magnetic recording medium 1 is inserted.
Conventionally, the structure of the magnetic recording medium 1 was as shown in FIG. 5, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-3322. That is, Al
A non-magnetic support 4 (hereinafter referred to as "support") consisting of a substrate 2, a nickel underplating layer 3, and a cobalt magnetic plating layer 5 (film thickness is 0.2μ or less).
It consists of. The entire surface of the nickel base plating layer 3 is polished to a high surface roughness required for the landing zone 1b, and then only the read/write zone 1a is polished to a surface roughness smaller than that of the landing zone 1b. Finished. The surface of the cobalt magnetic plating layer 5 on the nickel underplating layer 3 having such a surface also has a surface roughness greater in the landing zone 1b than in the read/write zone 1a, similar to the surface of the nickel underplating layer 3.

前述したランデイングゾーン1bをリードライ
トゾーン1aよりも面粗度を大きくしているの
は、磁気ヘツドがランデイングゾーン1bに配置
しているとき、磁気ヘツドがランデイングゾーン
に吸着する現象、すなわち磁気記録媒体を回転不
能にさせたり、回転しずらくさせたりする現象を
防止するためである。
The reason why the surface roughness of the above-mentioned landing zone 1b is made larger than that of the read/write zone 1a is due to the phenomenon in which the magnetic head is attracted to the landing zone when the magnetic head is placed in the landing zone 1b, that is, the magnetic recording medium. This is to prevent phenomena that would make it impossible to rotate or make it difficult to rotate.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかしながら、従来の構造の磁気記録媒体で
は、支持体を構成するニツケル下地メツキ層の表
面を、リードライトゾーン及びランデイングゾー
ンのそれぞれに必要な異なる面粗度を有するもの
としているが、その表面をリードライトゾーンと
ランデイングゾーンに区画し、リードライトゾー
ンを高密度記録に適した面粗度に研摩仕上げする
ことは非常に困難であつた。すなわち、従来の磁
気記録媒体は高密度記録のためのものとしては問
題があつた。
However, in magnetic recording media with a conventional structure, the surface of the nickel underplating layer constituting the support has different surface roughness required for each of the read/write zone and the landing zone. It was extremely difficult to divide the read/write zone into a write zone and a landing zone and polish the read/write zone to a surface roughness suitable for high-density recording. That is, conventional magnetic recording media have had problems when used for high-density recording.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、前述した問題点を解決するためにな
されたもので、その特徴は、支持体と保護層との
間に磁性層を介在している磁気記録媒体におい
て、前記磁気記録媒体にランデイングゾーンを設
け、前記ランデイングゾーンの前記磁性層と前記
保護層との間に、前記ランデイングゾーンの保護
層表面に凹凸を形成するための凹凸形成層を設
け、かつ前記凹凸形成層の面粗度が、前記磁性層
の面粗度よりも大きい磁気記録媒体である。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is characterized by a magnetic recording medium in which a magnetic layer is interposed between a support and a protective layer. an unevenness forming layer for forming unevenness on the surface of the protective layer of the landing zone is provided between the magnetic layer and the protective layer of the landing zone, and the surface roughness of the unevenness forming layer is The magnetic recording medium has a surface roughness greater than that of the magnetic layer.

本発明の望ましい態様は、磁性層上に凹凸形成
層及び保護層を順次積層したこと、ランデイング
ゾーンのみに凹凸形成層を設けたこと、磁性層の
面粗度が、Rmax.において150Å以下であるこ
と、または支持体がガラス又はセラミツクからな
ることである。
A desirable embodiment of the present invention is that the unevenness forming layer and the protective layer are sequentially laminated on the magnetic layer, that the unevenness forming layer is provided only in the landing zone, and that the surface roughness of the magnetic layer is 150 Å or less in Rmax. or that the support is made of glass or ceramic.

〔実施例〕〔Example〕

本発明の第1実施例を第1図に基づき、第2実
施例を第2図に基づきそれぞれ以下に詳述する。
A first embodiment of the present invention will be described in detail below based on FIG. 1, and a second embodiment will be explained in detail below based on FIG. 2.

実施例 1 本例の磁気記録媒体10を第1図に基づき説明
する。なお、同図は部分拡大模式断面図である。
さらに、本例の磁気記録媒体10は、第4図に示
すような形状及びリードライトゾーン10aとラ
ンデイングゾーン10bとを有しているものであ
る。
Example 1 A magnetic recording medium 10 of this example will be explained based on FIG. Note that this figure is a partially enlarged schematic cross-sectional view.
Further, the magnetic recording medium 10 of this example has a shape as shown in FIG. 4, and has a read/write zone 10a and a landing zone 10b.

第1図に示す磁気記録媒体10は、ソーダライ
ムガラスからなる支持体11(直径:130mm、厚
さ:1.9mm、中心の貫通孔の直径:40mm)と、磁
気特性を向上させる機能を有する、クロム(Cr)
からなる下地層12(膜厚:2000Å)と、コバル
ト(Co)とニツケル(Ni)とからなる磁性層1
3(それぞれの含有率は、75wt%及び25wt%で
あり、膜厚は700Åである。)と、磁性層13のラ
ンデイングゾーン10bに被着した、アルミニウ
ム(Al)薄膜からなる凹凸形成層14(膜厚:
250Å)と、炭素(C)薄膜からなる保護層15(膜
厚:500Å)とからなるものである。そして、支
持体11の主表面の面粗度はRmax.において40
Å(以下、面粗度はRmax.で示す。)、磁性膜1
3の面粗度は50Å、凹凸形成層14の面粗度は
110Å、保護層15のランデイングゾーン10b
及びリードライトゾーン10aの面粗度はそれぞ
れ110Å及び50Åである。なお、第1図において
支持体11の表面粗さのノコギリ形状は、保護層
15等を設ける側の主表面のみに示し、対向する
主表面のノコギリ形状は省略した(後述する第2
図も同様)。また各層12,13,14,15及
び支持体11のノコギリ形状は模式的に示してい
る(後述する第2図も同様)。
The magnetic recording medium 10 shown in FIG. 1 has a support 11 (diameter: 130 mm, thickness: 1.9 mm, center through hole diameter: 40 mm) made of soda lime glass, and a function to improve magnetic properties. Chromium (Cr)
an underlayer 12 (film thickness: 2000 Å) consisting of a magnetic layer 1 consisting of cobalt (Co) and nickel (Ni);
3 (the respective contents are 75 wt% and 25 wt%, and the film thickness is 700 Å), and the unevenness forming layer 14 made of an aluminum (Al) thin film deposited on the landing zone 10b of the magnetic layer 13 ( Film thickness:
250 Å) and a protective layer 15 (thickness: 500 Å) made of a carbon (C) thin film. The surface roughness of the main surface of the support 11 is 40 at Rmax.
Å (hereinafter, surface roughness is indicated by Rmax.), magnetic film 1
The surface roughness of No. 3 is 50 Å, and the surface roughness of the unevenness forming layer 14 is
110 Å, landing zone 10b of protective layer 15
The surface roughness of the read/write zone 10a is 110 Å and 50 Å, respectively. In addition, in FIG. 1, the sawtooth shape of the surface roughness of the support 11 is shown only on the main surface on the side where the protective layer 15 etc. are provided, and the sawtooth shape on the opposing main surface is omitted.
The same applies to figures). Further, the sawtooth shapes of the layers 12, 13, 14, 15 and the support 11 are schematically shown (the same applies to FIG. 2, which will be described later).

次に、本例の磁気記録媒体10の製造方法を述
べる。先ず、支持体11の主表面に、Crからな
るターゲツトを用いてスパツタリング法により下
地層12を成膜した。次に、この下地層12上
に、磁性層13を、CoとNiからなるターゲツト
によりスパツタリング法で成膜した。次に、磁性
層13のリードライトゾーン10aのみを覆うマ
スクを介して、Alをスパツタターゲツトとして
スパツタリング法により凹凸形成層14を成膜し
た。なお、この成膜において、支持体11の温度
を200℃としていることから、粒界の発達したAl
薄膜となり、ランデイングゾーン10bの保護層
15に所望の凹凸、すなわち面粗度を形成するこ
とができる。さらにこの凹凸形成層14及び磁性
層13のリードライトゾーン10a上に、保護層
15をCからなるターゲツトを用いてスパツタリ
ング法により成膜した。なお、保護層15におい
て、リートライトゾーン10aとランデイングゾ
ーン10bとは約250Åの段差を生じているが、
これは磁気ヘツドの飛行高さの1/10程度であるこ
とから、磁気ヘツドの移動には何ら支障のない段
差である。
Next, a method for manufacturing the magnetic recording medium 10 of this example will be described. First, the base layer 12 was formed on the main surface of the support 11 by sputtering using a target made of Cr. Next, a magnetic layer 13 was formed on this underlayer 12 by sputtering using a target made of Co and Ni. Next, through a mask covering only the read/write zone 10a of the magnetic layer 13, an unevenness forming layer 14 was formed by sputtering using Al as a sputtering target. In addition, in this film formation, since the temperature of the support 11 was set to 200°C, Al with developed grain boundaries was formed.
It becomes a thin film, and it is possible to form desired unevenness, that is, surface roughness, on the protective layer 15 of the landing zone 10b. Furthermore, a protective layer 15 was formed on the unevenness forming layer 14 and the read/write zone 10a of the magnetic layer 13 by sputtering using a target made of C. Note that in the protective layer 15, there is a step difference of approximately 250 Å between the LEIT light zone 10a and the landing zone 10b.
Since this is about 1/10 of the flight height of the magnetic head, it is a step that does not pose any problem for the movement of the magnetic head.

本例の磁気記録媒体10は、凹凸形成層14の
面粗度よりも磁性層13の面粗度を小さくしてい
ることから、ランデイングゾーン10bの保護層
15の面粗度は、凹凸形成層14の面粗度の影響
を受け、所望する面粗度となる。また、凹凸形成
層14は、磁性層13上に形成していることか
ら、磁性層13のリードライトゾーン10aの面
粗度に影響を与えることがなく、良好に維持する
ことができ、その結果、高密度の記録ができる。
In the magnetic recording medium 10 of this example, since the surface roughness of the magnetic layer 13 is made smaller than that of the unevenness forming layer 14, the surface roughness of the protective layer 15 in the landing zone 10b is smaller than that of the unevenness forming layer 14. The desired surface roughness is obtained under the influence of the surface roughness of No. 14. Furthermore, since the unevenness forming layer 14 is formed on the magnetic layer 13, it does not affect the surface roughness of the read/write zone 10a of the magnetic layer 13 and can be maintained well. , high-density recording is possible.

本例の磁気記録媒体10の性能を評価するため
に、以下のような磁気ヘツドと磁気記録媒体10
との静止摩擦係数の測定及び耐久性試験を行つ
た。
In order to evaluate the performance of the magnetic recording medium 10 of this example, the following magnetic head and magnetic recording medium 10 were used.
Measurement of static friction coefficient and durability test were conducted.

磁気ヘツドに15グラムの荷重を加えたとき、ラ
ンデイングゾーン10bのコンタクトスタート/
ストツプ試験(磁気ヘツドを磁気記録媒体の表面
に当接し、静止させた状態で、磁気記録媒体の回
転開始・回転停止を行う試験であり、以下「CSS
試験」という。)を行つた。この試験の初期の静
止摩擦係数が0.15であり、15000回CSS試験後の
静止摩擦係数も0.7であり、磁気ヘツドにより、
磁気記録媒体10の回転が不能となつたり、回転
しずらくなる現象は生ぜず、さらに磁気ヘツド及
び磁気記録媒体10の損傷も生じなかつた。一
方、比較のために、リードライトゾーン10a
(保護層15のリードライトゾーン10aの面粗
度は50Åである。)において、同様のCSS試験を
行つたところ、初期の静止摩擦係数は0.2であつ
たが、15000回試験後においては2.5以上となり、
磁気記録媒体10が回転しずらくなり、磁気記録
媒体10を回転するために、回転源に必要以上の
起動トルクを負荷しなくてはならず、正常な回転
を維持することができなくなつた。
When a load of 15 grams is applied to the magnetic head, the contact start of landing zone 10b/
Stop test (This is a test in which the magnetic recording medium starts and stops rotating while the magnetic head is in contact with the surface of the magnetic recording medium and kept stationary. Hereinafter referred to as "CSS")
It's called "examination." ) was carried out. The initial coefficient of static friction in this test was 0.15, and the coefficient of static friction after 15,000 CSS tests was also 0.7.
No phenomenon occurred in which the magnetic recording medium 10 became unable to rotate or became difficult to rotate, and furthermore, no damage occurred to the magnetic head or the magnetic recording medium 10. On the other hand, for comparison, read/write zone 10a
(The surface roughness of the read/write zone 10a of the protective layer 15 is 50 Å.) When a similar CSS test was conducted, the initial static friction coefficient was 0.2, but after 15,000 tests, it was over 2.5. Then,
The magnetic recording medium 10 becomes difficult to rotate, and in order to rotate the magnetic recording medium 10, more starting torque than necessary must be applied to the rotation source, making it impossible to maintain normal rotation. .

さらに、本例においては、磁性層のランデイン
グゾーンを凹凸形成層で被覆していることから、
磁気ヘツドによる、磁性層に対するヘツドクラツ
シユの防止、すなわち磁性層に対する機械的な衝
撃の防止効果、及び磁性層の耐湿性の向上効果が
ある。
Furthermore, in this example, since the landing zone of the magnetic layer is covered with the unevenness forming layer,
This has the effect of preventing head crash against the magnetic layer due to the magnetic head, that is, preventing mechanical impact on the magnetic layer, and improving the moisture resistance of the magnetic layer.

実施例 2 本例の磁気記録媒体20を第2図に基づき説明
する。なお、同図は部分拡大模式断面図であり、
本例の磁気記録媒体20も前記実施例と同様の形
状であり、かつリードライトゾーン20aとラン
デイングゾーン20bを有しているものである。
Example 2 A magnetic recording medium 20 of this example will be explained based on FIG. 2. The figure is a partially enlarged schematic cross-sectional view.
The magnetic recording medium 20 of this example also has the same shape as that of the previous example, and has a read/write zone 20a and a landing zone 20b.

本例の磁気記録媒体20は、前記実施例と同様
の支持体21と、前記実施例と同様の、下地層2
2と磁性層23と、磁性層23のランデイングゾ
ーン20bのみならず、リードライトゾーン20
aにも被着した、Alからなる凹凸形成層24
(膜厚:200Å)と、前記実施例と同様の保護層2
5(ただし、膜厚は300Åである。)とからなる。
そして、支持体21の主表面の面粗度、磁性度2
3の面粗度、凹凸形成層24の面粗度及び保護層
25の面粗度はそれぞれ、40Å、50Å、100Å及
び100Åである。すなわち、保護層25のリード
ライトゾーン20a及びランデイングゾーン20
bの面粗度はそれぞれ100Åである。
The magnetic recording medium 20 of this example includes a support 21 similar to that of the embodiment described above, and an underlayer 2 similar to that of the embodiment described above.
2 and the magnetic layer 23, and not only the landing zone 20b of the magnetic layer 23 but also the read/write zone 20.
The unevenness forming layer 24 made of Al is also adhered to a.
(thickness: 200 Å) and a protective layer 2 similar to the above example.
5 (however, the film thickness is 300 Å).
Then, the surface roughness of the main surface of the support body 21, the magnetic degree 2
The surface roughness of No. 3, the surface roughness of the unevenness forming layer 24, and the surface roughness of the protective layer 25 are 40 Å, 50 Å, 100 Å, and 100 Å, respectively. That is, the read/write zone 20a and the landing zone 20 of the protective layer 25
The surface roughness of b is 100 Å.

次に、この磁気記録媒体20の製造方法を述べ
る。先ず、支持体21の主表面に、前記実施例と
同様の方法で、下地層22及び磁性層23を順次
成膜し、次に、Alターゲツトを用いてスパツタ
リング法により、磁性層23のリードライトゾー
ン20aとランデイングゾーン20b上に、凹凸
形成層24を成膜した。なお、この成膜において
は、面粗度を前述した100Åとするために、支持
体21の温度を180℃とした。さらに前記実施例
と同様に保護層25を成膜する。
Next, a method for manufacturing this magnetic recording medium 20 will be described. First, the underlayer 22 and the magnetic layer 23 are sequentially formed on the main surface of the support 21 in the same manner as in the above embodiment, and then the magnetic layer 23 is read/written by sputtering using an Al target. An unevenness forming layer 24 was formed on the zone 20a and the landing zone 20b. In this film formation, the temperature of the support 21 was set to 180° C. in order to obtain the above-mentioned surface roughness of 100 Å. Furthermore, a protective layer 25 is formed in the same manner as in the previous embodiment.

本例によれば、凹凸形成層24の面粗度が磁性
層23の面粗度よりも大きいことから、ランデイ
ングゾーン20bの保護層25の面粗度は、凹凸
形成層24の面粗度の影響を受け、所望する面粗
度となる。なお、本例のおいても、前記実施例と
同様に、凹凸形成層24を磁性層23上に形成し
ていることから、磁性層23の面粗度を維持する
ことができる。また、本例では、保護層25のリ
ードライトゾーン20aの面粗度は100Åである
けれども、磁性層23の面粗度は50Åに維持する
ことができることから、リードライトゾーン20
aの高密度記録性も維持でき、かつ後記するよう
に、ランデイングゾーン20bにおいても磁気ヘ
ツドとの吸着、すなわち磁気記録媒体20の回転
時において不都合は生じない。
According to this example, since the surface roughness of the unevenness forming layer 24 is larger than the surface roughness of the magnetic layer 23, the surface roughness of the protective layer 25 in the landing zone 20b is equal to the surface roughness of the unevenness forming layer 24. The desired surface roughness is obtained. Note that in this example as well, the surface roughness of the magnetic layer 23 can be maintained because the unevenness forming layer 24 is formed on the magnetic layer 23 as in the previous example. Further, in this example, although the surface roughness of the read/write zone 20a of the protective layer 25 is 100 Å, the surface roughness of the magnetic layer 23 can be maintained at 50 Å.
The high-density recording property of a can be maintained, and as will be described later, no problem occurs when the magnetic recording medium 20 is attracted to the magnetic head in the landing zone 20b, that is, when the magnetic recording medium 20 is rotated.

また、ランデイングゾーン20bにおいて、前
記実施例と同様の試験を行つた結果、試験初期の
静止摩擦係数が0.17であり、15000回CSS試験後
の静止摩擦係数は0.9となり、前記実施例のとき
と比較して15000回試験後の静止摩擦係数は大き
くなるが、磁気記録媒体20の回転が不能となつ
たり、回転しずらくなる現象は生じなかつた。さ
らに磁気記録媒体20及び磁気ヘツドの損傷も生
じなかつた。
In addition, in the landing zone 20b, as a result of conducting the same test as in the above example, the coefficient of static friction at the initial stage of the test was 0.17, and the coefficient of static friction after 15,000 CSS tests was 0.9, compared with that in the above example. Although the coefficient of static friction increased after 15,000 tests, no phenomenon occurred in which the magnetic recording medium 20 became unable to rotate or became difficult to rotate. Furthermore, no damage occurred to the magnetic recording medium 20 or the magnetic head.

さらに、前記実施例と同様に、磁性層23のラ
ンデイングゾーン20bに対するヘツドクラツシ
ユの防止効果及び耐湿性の向上効果もあり、かつ
磁性層23のリードライトゾーン20aにも凹凸
形成層24が被着していることから、この磁性層
23のリードライトゾーン20aにも同様の効果
がある。
Furthermore, similar to the embodiment described above, the landing zone 20b of the magnetic layer 23 has the effect of preventing head crushing and improving moisture resistance, and the unevenness forming layer 24 is also adhered to the read/write zone 20a of the magnetic layer 23. Therefore, the read/write zone 20a of the magnetic layer 23 has a similar effect.

なお、本例において、ランデイングゾーン20
b及びリードライトゾーン20aの両者に対して
有効な凹凸形成層24の面粗度は60Å〜150Åで
あり、この面粗度の範囲のとき、ランデイングゾ
ーン20bにおいては、磁気ヘツドの吸着を防止
でき、一方リードライトゾーン20aの高密度化
に十分に対応できる。
In addition, in this example, the landing zone 20
The surface roughness of the unevenness forming layer 24 that is effective for both the read/write zone 20a and the read/write zone 20a is 60 Å to 150 Å, and when the surface roughness is in this range, it is possible to prevent the magnetic head from adhering to the landing zone 20b. On the other hand, it is possible to sufficiently cope with the increase in the density of the read/write zone 20a.

本発明の前記実施例に限らず、下記のものであ
つてもよい。先ず、支持体の材料はソーダライム
ガラス、アルミノシリケートガラス、石英ガラス
等のガラスに限らず、Al合金又はセラミツクで
あつてもよい。望ましくは、Al合金と比較して
所望する面粗度に加工することが容易で、かつ高
密度記録性に悪影響を与えるピツトや突起が、主
表面に非常に少ないガラスやセラミツクがよい。
また、支持体の面粗度は150Å以下が望ましい。
すなわち、支持体の面粗度は下地層及び磁性層の
各面粗度に影響を与えることから、支持体の面粗
度が150Åを超えると、磁性層の面粗度も150Åを
超えてしまい、磁気ヘツドの飛行の高さを低くし
て高密度記録を行うとき、ミツシング(記録する
信号が確実に記録されないこと)等の記録不良が
発生することがある。すなわち記録の高密度化が
損われるときがある。また、前記実施例におい
て、Alからなる凹凸形成層を成膜するときの支
持体の温度は200℃又は180℃であつたが、これに
限らず、他の温度、すなわちランデイングゾーン
の保護層の面粗度が、磁気ヘツドに対する吸着防
止効果を生ずるような面粗度となるようにする、
凹凸形成層の面粗度となる温度であればよい。望
ましくは、Alの粒界の発達が著しい、すなわち
面粗度が大きくなる100℃以上であり、又実用上
300℃以下である。なお、支持体の温度と、この
Alからなる凹凸形成層(膜厚:200Å)の面粗度
との関係を第3図に示す。凹凸形成層は、Al薄
膜からなるものであつたが、他の薄膜であつても
よく、望ましくは粒界が発達する結晶性の薄膜、
例えば、Sn、In、Pb、Zn、Sbなどの金属、これ
らのうち一つを含んだ合金又はこれらの酸化物、
窒化物からなる薄膜若しくはZrO2、MgF2又は
ZnS等の誘電体膜がよい。また、この凹凸形成層
の膜厚は、100Å以上で1500Å以下が望ましい。
すなわち、100Å未満では、所望する面粗度、す
なわちランデイングゾーンの磁気ヘツドの吸着防
止効果が顕著な60Å以上の面粗度を有する凹凸形
成層が製作しずらくなり、一方膜厚が1500Åを超
えると、前記実施例2で示した磁気記録媒体の動
作時において、磁性層と磁気ヘツドとの距離が大
きくなり、情報の書きこみ及び読み取りの特性が
悪くなることがある。なお、、前記実施例1の磁
気記録媒体のランデイングゾーンに情報を書きこ
むときにも、同様のことがある。また、凹凸形成
層の面粗度が60Å以上であることが望ましいと前
述したが、一方その上限は、磁気ヘツドが安定に
飛行できる、保護層の面粗度を形成する面粗度で
あればよい。しかし、望ましくは、高密度化に十
分対応できる1000Å以下がよい。次に、下地層
は、Mo、Ti、Ta等の非磁性材料であつてもよ
い。なお、この下地層はなくてもよいが、望まし
くは磁気特性の向上のために設けた方がよい。ま
た、磁性層は、CoNi合金からなるものに限らず、
Coを主成分としてNi、Fe、Pt、P、Cr、W、
Mo等のうち少なくとも一種類以上の元素を含む
合金やFe2O3からなる、所定の磁気特性が得られ
るものであればよい。また保護層は、複合層、例
えば、Cr層とC層とを当接して積層したもの、
Cr層とSiO2層とを当接して積層したもの、Cr層
とC層とSiO2層とからなりこれらを適宜当接し
て積層したもの、又は前記複合層の材料を混合し
た混合層であつてもよく、さらにSiO2層や有機
重合体からなるものであつてもよい。また、高密
度記録をより可能とするため、磁性層の面粗度は
150Å以下が望ましい。また、保護層の膜厚は、
凹凸形成層の膜厚との合計が1500Å以下となる値
が望ましい。すなわち、保護層と凹凸形成層との
合計の膜厚が1500Åを越えると、前述した凹凸形
成層の膜厚が1500Åを越えたときと同様なこと
が、生ずるときがある。また、下地層及び磁性層
の膜厚はそれぞれ、必要に応じて適宜決定すれば
よい。また、ランデイングゾーンは径方向外側又
は中程に設けてもよい。さらに、下地層、磁性
層、凹凸形成層、及び保護層の成膜法は、それぞ
れスパツタリング法に限らず、真空蒸着法やイオ
ンプレーテイング法であつてもよい。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and the following may also be used. First, the material of the support is not limited to glasses such as soda lime glass, aluminosilicate glass, and quartz glass, but may also be Al alloy or ceramic. It is preferable to use glass or ceramic, which is easier to process to the desired surface roughness than Al alloy, and whose main surface has very few pits or protrusions that adversely affect high-density recording performance.
Further, the surface roughness of the support is preferably 150 Å or less.
In other words, the surface roughness of the support affects the surface roughness of the underlayer and the magnetic layer, so if the surface roughness of the support exceeds 150 Å, the surface roughness of the magnetic layer will also exceed 150 Å. When performing high-density recording by lowering the flight height of the magnetic head, recording defects such as missing (signals to be recorded are not recorded reliably) may occur. In other words, high density recording may sometimes be impaired. Furthermore, in the above examples, the temperature of the support when forming the unevenness forming layer made of Al was 200°C or 180°C, but the temperature is not limited to this, and other temperatures may be used, that is, the temperature of the protective layer of the landing zone. The surface roughness is such that the magnetic head is prevented from being attracted to the magnetic head.
Any temperature may be used as long as it provides the surface roughness of the unevenness forming layer. Desirably, the temperature is 100°C or higher, where the development of Al grain boundaries is remarkable, that is, the surface roughness increases, and it is also
The temperature is below 300℃. Note that the temperature of the support and this
Figure 3 shows the relationship between the surface roughness of the unevenness forming layer (thickness: 200 Å) made of Al. Although the unevenness forming layer was made of an Al thin film, it may be made of other thin films, preferably a crystalline thin film with developed grain boundaries,
For example, metals such as Sn, In, Pb, Zn, and Sb, alloys containing one of these, or oxides thereof,
Thin film made of nitride or ZrO 2 , MgF 2 or
A dielectric film such as ZnS is preferable. Further, the thickness of this unevenness forming layer is preferably 100 Å or more and 1500 Å or less.
In other words, if the thickness is less than 100 Å, it will be difficult to fabricate an unevenness forming layer having the desired surface roughness, that is, a surface roughness of 60 Å or more that has a remarkable effect of preventing the adsorption of the magnetic head in the landing zone.On the other hand, if the film thickness exceeds 1500 Å When the magnetic recording medium shown in Example 2 is operated, the distance between the magnetic layer and the magnetic head becomes large, and the information writing and reading characteristics may deteriorate. Incidentally, a similar situation may occur when writing information into the landing zone of the magnetic recording medium of the first embodiment. In addition, as mentioned above, it is desirable that the surface roughness of the unevenness forming layer is 60 Å or more, but the upper limit is as long as the surface roughness forms the surface roughness of the protective layer that allows the magnetic head to fly stably. good. However, the thickness is preferably 1000 Å or less, which is sufficient for high density. Next, the underlayer may be made of a nonmagnetic material such as Mo, Ti, Ta, or the like. Note that although this underlayer may be omitted, it is preferable to provide it in order to improve magnetic properties. In addition, the magnetic layer is not limited to one made of CoNi alloy.
With Co as the main component, Ni, Fe, Pt, P, Cr, W,
Any material that can obtain predetermined magnetic properties may be used, such as an alloy containing at least one element such as Mo or Fe 2 O 3 . The protective layer may be a composite layer, for example, a layer in which a Cr layer and a C layer are laminated in contact with each other.
A laminate consisting of a Cr layer and two SiO layers in contact with each other, a laminate consisting of a Cr layer, a C layer, and two SiO layers in proper contact with each other, or a mixed layer in which the materials of the composite layer are mixed. Furthermore, it may be made of two layers of SiO 2 or an organic polymer. In addition, in order to make high-density recording more possible, the surface roughness of the magnetic layer is
Desirably 150 Å or less. In addition, the thickness of the protective layer is
A value such that the total thickness including the thickness of the unevenness forming layer is 1500 Å or less is desirable. That is, when the total thickness of the protective layer and the unevenness forming layer exceeds 1500 Å, the same problem as described above when the thickness of the unevenness forming layer exceeds 1500 Å may occur. Further, the thicknesses of the underlayer and the magnetic layer may be determined as appropriate, respectively, as necessary. Further, the landing zone may be provided on the outside or in the middle in the radial direction. Furthermore, the method for forming the underlayer, magnetic layer, unevenness forming layer, and protective layer is not limited to the sputtering method, but may be a vacuum evaporation method or an ion plating method.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の磁気記録媒体によれば、磁気記録媒体
の円滑な始動を行うことができ、さらに高密度記
録が可能となつた。
According to the magnetic recording medium of the present invention, the magnetic recording medium can be started smoothly and high-density recording can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の磁気記録媒体の一実施例を示
す部分拡大模式断面図、第2図は本発明の他の実
施例を示す部分拡大模式断面図である。第3図は
支持体の温度と、Alからなる凹凸形成層の面粗
度との関係を示す特性図である。第4図は一般の
磁気記録媒体を示す概略平面図、第5図は従来の
磁気記録媒体の部分断面図である。 10,20……磁気記録媒体、10a,20a
……リードライトゾーン、10b,20b……ラ
ンデイングゾーン、11,21……支持体、1
2,22……下地層、13,23……磁性層、1
4,24……凹凸形成層、15,25……保護
層。
FIG. 1 is a partially enlarged schematic cross-sectional view showing one embodiment of the magnetic recording medium of the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged schematic cross-sectional view showing another embodiment of the present invention. FIG. 3 is a characteristic diagram showing the relationship between the temperature of the support and the surface roughness of the unevenness forming layer made of Al. FIG. 4 is a schematic plan view showing a general magnetic recording medium, and FIG. 5 is a partial sectional view of the conventional magnetic recording medium. 10, 20...magnetic recording medium, 10a, 20a
...Read/write zone, 10b, 20b...Landing zone, 11, 21...Support, 1
2, 22... Base layer, 13, 23... Magnetic layer, 1
4, 24... unevenness forming layer, 15, 25... protective layer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 非磁性支持体と保護層との間に磁性層を介在
している磁気記録媒体において、前記磁気記録媒
体にランデイングゾーンを設け、前記ランデイン
グゾーンの前記磁性層と前記保護層との間に、前
記ランデイングゾーンの保護層表面に凹凸を形成
するための凹凸形成層を設け、かつ前記凹凸形成
層の面粗度が、前記磁性層の面粗度よりも大きい
ことを特徴とする磁気記録媒体。 2 磁性層上に凹凸形成層及び保護層を順次積層
したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の磁気記録媒体。 3 ランデイングゾーンのみに凹凸形成層を設け
たことを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第
2項記載の磁気記録媒体。 4 磁性層の面粗度が、Rmax.において150Å以
下であることを特徴とする特許請求の範囲第1
項、第2項又は第3項記載の磁気記録媒体。 5 非磁性支持体がガラス又はセラミツクからな
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項、第2
項、第3項又は第4項記載の磁気記録媒体。
[Scope of Claims] 1. A magnetic recording medium in which a magnetic layer is interposed between a nonmagnetic support and a protective layer, wherein a landing zone is provided in the magnetic recording medium, and the magnetic layer in the landing zone and the protective layer an unevenness forming layer for forming unevenness on the surface of the protective layer of the landing zone, and the surface roughness of the unevenness forming layer is greater than the surface roughness of the magnetic layer. magnetic recording media. 2. The magnetic recording medium according to claim 1, characterized in that an unevenness forming layer and a protective layer are sequentially laminated on the magnetic layer. 3. The magnetic recording medium according to claim 1 or 2, characterized in that the unevenness forming layer is provided only in the landing zone. 4. Claim 1, characterized in that the surface roughness of the magnetic layer is 150 Å or less in Rmax.
2. The magnetic recording medium according to item 2, item 3, or item 3. 5 Claims 1 and 2, characterized in that the non-magnetic support is made of glass or ceramic.
The magnetic recording medium according to item 3, item 4, or item 4.
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