JPH0457602B2 - - Google Patents

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JPH0457602B2
JPH0457602B2 JP60041828A JP4182885A JPH0457602B2 JP H0457602 B2 JPH0457602 B2 JP H0457602B2 JP 60041828 A JP60041828 A JP 60041828A JP 4182885 A JP4182885 A JP 4182885A JP H0457602 B2 JPH0457602 B2 JP H0457602B2
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JP
Japan
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particles
metal oxide
ultrafine
titanium
zirconium
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JP60041828A
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Japanese (ja)
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JPS61201604A (en
Inventor
Hiroyoshi Inoe
Hiroshi Komyama
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Idemitsu Kosan Co Ltd
Original Assignee
Idemitsu Kosan Co Ltd
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Publication date
Application filed by Idemitsu Kosan Co Ltd filed Critical Idemitsu Kosan Co Ltd
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Priority to DE86901522T priority patent/DE3688768T2/en
Priority to PCT/JP1986/000110 priority patent/WO1986005170A1/en
Priority to EP86901522A priority patent/EP0214308B1/en
Publication of JPS61201604A publication Critical patent/JPS61201604A/en
Priority to US07/172,970 priority patent/US4842832A/en
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  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は球状金属酸化物超微粒子の製造方法に
関し、詳しくは白色顔料、吸着剤、触媒、触媒担
体など幅広い用途に供することのできる球状金属
酸化物超微粒子の製造方法に関する。 〔従来技術及び発明が解決しようとする問題点〕 チタン、ジルコニウムなどの金属酸化物の微粒
子を製造する方法として種々の方法が知られてい
る。 例えば酸化チタンは耐候性にすぐれ、しかも強
い隠蔽力を有しているため、化粧品、塗料等の分
野において広く用いられているが、このような酸
化チタンの製造方法として、硫酸チタン水溶液を
中和した後、生成する沈澱を焼成する硫酸法や四
塩化チタンを高温で分解酸化させる塩素法などが
知られている。しかしながら、これら従来のルチ
ル型の酸化チタンの製造方法においては、製造過
程中に粒子成長が起るため、得られる酸化チタン
の粒子径は1μmを超える大きいものである。 また、舟木、佐伯らによれば、四塩化チタンと
水を200〜800℃にて気相で混合しアナターゼ型の
微粒子状の酸化チタンを製造したり、液相で四塩
化チタンと水を反応させてアナターゼもしくは僅
かにルチルの混じつたアナターゼ型の微粒子状の
酸化チタンを製造しうることが確認されている。
しかしながら、これらの方法では不定形の粒子し
か得ることができず、球状のものは得られていな
い。 本発明者らは先に、このような従来の欠点を解
消するものとして、チタンアルコキサイドを熱分
解して球状で、しかも非常に微粒子状の酸化チタ
ンを製造する方法を提案した。(特願昭59−41290
号)。 この方法によれば、比較的簡単な操作にて球状
で超微粒子状の酸化チタンが生成するものの、生
成した超微粒子状の酸化チタン同士が結合、合体
するため、極めて低濃度でないと最終的に球状で
超微粒子状の酸化チタンが得られないという問題
がある。 本発明はこの方法の改良に関し、揮発性金属化
合物を分解して金属酸化物超微粒子にするに際
し、粒子同士の合体を防止し球状で超微粒子状の
金属酸化物超微粒子を製造することを目的とする
ものである。 〔問題点を解決するための手段〕 すなわち本発明は第1に、チタン、ジルコニウ
ム、スカンジウム、イツトリウム、ランタン及び
セリウムよりなる群から選ばれた金属のアルコキ
サイド、或いはジルコニウムフエノキシドからな
る揮発性金属化合物を、気化または霧化せしめた
後、600℃未満の温度で分解し、化合して金属酸
化物超微粒子とし、分解後直ちに前記金属酸化物
超微粒子が再び合体しない温度まで冷却すること
を特徴とする球状金属酸化物超微粒子の製造方法
を提供するものである。 さらに、本発明は第2に、チタン、ジルコニウ
ム、スカンジウム、イツトリウム、ランタン及び
セリウムよりなる群から選ばれた金属のハライド
からなる揮発性金属化合物を、気化または霧化せ
しめた後、酸素含有ガスの存在下に600℃未満の
温度で分解し、化合して金属酸化物超微粒子と
し、分解後直ちに前記金属酸化物超微粒子が再び
合体しない温度まで冷却することを特徴とする球
状金属酸化物超微粒子の製造方法を提供するもの
である。 上記本発明の第1と第2は、揮発性金属の種類
としては、同様のものを用いており、しかもほぼ
同様に反応させるが、ハライドについては酸素含
有ガスの存在下に反応させる点で異なるものであ
る。 本発明の方法において原料として用いる揮発性
金属化合物は、上記したように、チタン、ジルコ
ニウム、スカンジウム、イツトリウム、ランタン
及びセリウムよりなる群から選ばれた金属のアル
コキサイド、或いはジルコニウムフエノキシド
(本発明の第1)、又はこれら金属のハライド(本
発明の第2)である。なお、揮発性金属化合物と
してチタンアルコキサイドを用いる場合、生成す
る酸化チタンの安定性を増大させるために、チタ
ンアルコキサイドのモル濃度の50%を超えない範
囲で塩化アルミニウム、ジルコニウムアルコキサ
イド、希土類塩化物或いは希土類アルコキサイド
など揮発性を有する金属の化合物を共存させても
よい。 ここでチタンアルコキサイドとして具体的には
例えば、チタンテトラメトキサイド、チタンテト
ラエトキサイド、チタンテトラプロポキサイド、
チタンテトラブトキサイド、ジエトキシチタンオ
キサイドなどを挙げることができる。 また、チタンハライドとして具体的には四塩化
チタン、四臭化チタンなどのテトラハロゲン化チ
タンが挙げられる。さらに、トリハロゲン化モノ
アルコキシチタン、モノハロゲン化トリアルコキ
シチタン、ジハロゲン化ジアルコキシチタンなど
の揮発性を有するチタン化合物を用いることもで
きる。 また、ジルコニウムアルコキサイドとして具体
的には例えば、ジルコニウムテトラメトキサイ
ド、ジルコニウムテトラエトキサイド、ジルコニ
ウムテトライソプロポキサイド、ジルコニウムテ
トラブトキサイド、などのテトラアルコキシジル
コニウムなどを挙げることができる。 また、ジルコニウムハライドとして具体的には
四塩化ジルコニウム、四臭化ジルコニウムなどの
テトラハロゲン化ジルコニウムが挙げられ、さら
にトリハロゲン化モノアルコキシジルコニウム、
モノハロゲン化トリアルコキシジルコニウム、ジ
ハロゲン化ジアルコキシジルコニウムなどを用い
ることもできる。また、ジルコニウムフエノキシ
ドなど揮発性の有機ジルコニウム化合物を用いる
こともできる。 本発明の方法においては、まず上記の揮発性金
属化合物を気化または霧化せしめる。ここで揮発
性金属化合物を気化または霧化、すなわち蒸発ま
たは霧化せしめる条件は揮発性金属化合物の種類
等により異なり一義的に決定することは困難であ
る。 例えば揮発性金属化合物としてチタンアルコキ
サイドを用いる場合、チタンアルコキサイドを蒸
発させる温度としては、チタンアルコキサイドの
沸騰点乃至沸騰点より僅かに低い温度が好まし
い。これは沸騰点よりも高い温度で蒸発させる
と、チタンアルコキサイド濃度が不均一な状態で
分解するため得られる粒子が比表面積、粒子径な
どにおいて不均一なものとなるからである。 なお、上記の揮発性金属化合物を気化するに際
しては、希釈ガスで揮発性金属化合物を0.1〜10
容量%の割合となるように希釈することが好まし
い。この希釈ガスは、気化せしめられた揮発性金
属化合物を分解を行なう分解炉に導入するための
キヤリアーガスとしての役割を果たすものであ
る。 ここで希釈ガスとしては、アルゴン、ヘリウ
ム、窒素などの不活性ガスや水蒸気、酸素等が用
いられ、特にヘリウム、窒素或いは酸素を用いる
ことが好ましい。 なお、本発明の方法においては、揮発性金属化
合物を気化または霧化せしめた後に分解を行なう
ため、アルコキサイド等の酸素含有化合物以外
は、すなわちハライドについては、酸素含有ガス
が必要である。したがつて、この気化または霧化
に際して好ましく用いられる希釈ガスとしては、
揮発性金属化合物の種類を考慮して適宜決定すべ
きである。 ここで揮発性金属化合物を気化せしめる手段を
より具体的な態様で説明すると、例えば原料とす
る揮発性金属化合物をエバポレーターなどを用い
て加熱しておき、この中へ希釈ガスを導入して揮
発性金属化合物を含有するガスとして後述する分
解炉へ導入する。 また、このようにキヤリアーガスを用いる場
合、原料とする揮発性金属化合物は必ずしも完全
に気化せしめる必要はなく、一部乃至全部を霧状
のものとしてキヤリアーガスにより後述する分解
炉へ導入してもよい。 次いで、このようにして気化または霧化せしめ
られた揮発性金属化合物を加熱下に分解して金属
酸化物超微粒子とする。 すなわち、前述の如くして気化または霧化せし
められた揮発性金属化合物をキヤリアーガスを用
いて分解炉等に導入し、この分解炉において分解
を行なう。 ここで分解を行なうためには、原料の揮発性金
属化合物として各種のアルコキサイド等の酸素含
有化合物を用いる場合以外は酸素含有ガスが必要
である。したがつて、各種アルコキサイド等の酸
素含有化合物以外のものを原料として用いる場合
には、前述の如く希釈ガスとして酸素含有ガスを
用いておけば新たに酸素含有ガスを用いる必要が
ないので好ましい。なお、ここで分解とはいわゆ
る通常の熱分解の他、酸化をも含めて考えられる
べきである。 また、分解の温度としては、600℃未満である
ことが必要であり、特に250〜350℃が好ましい。
ここで温度が低すぎると充分な分解速度が得られ
ない。一方、高温になると、特に、600℃以上に
なると、比表面積の大きな粒子が得られない。 さらに、分解が行なわれる分解炉中における、
気化または霧化状態の揮発性金属化合物の滞留時
間や流速等は特に制限はなく、様々な条件で行な
うことができる。好ましくは、滞留時間は0.1〜
10sec.であり、流速は1〜100cm/sec.である。 また、分解が行なわれる分解炉としては特に制
限はなく、通常使用されているものを用いること
ができるが、後述の冷却操作を考慮すると、冷却
手段を有するものを用いることが好ましい。さら
に、分解炉の器壁に予め金属酸化物微粒子を付着
させたものを用いることが好ましい。このように
器壁に金属酸化物微粒子を付着させた分解炉を使
用することにより、反応温度を著しく低下させる
ことができる。 この結果、球状で超微粒子状の金属酸化物粒子
が生成するが、このままでは生成した超微粒子同
士が気相中で合体する虞れがある。 そこで、本発明の方法においては分解後直ち
に、得られた金属酸化物超微粒子が再び合体しな
い温度まで冷却する。この様に得られた金属酸化
物超微粒子を直ちに急冷することにより、金属酸
化物超微粒子同士の合体を防止することができ
る。 すなわち、この急冷により金属酸化物粒子の合
体を防止し、得られた球状かつ超微粒子状の金属
酸化物をそのままの状態(1次粒子)で捕集する
わけである。 この操作はできるだけ速やかに行なうことが好
ましい。また、冷却温度は、得られた金属酸化物
超微粒子が合体しない温度までであるが、冷却速
度等によつても異なり必ずしも一義的に決定する
ことは困難である。通常、100℃以下の温度にで
きるだけ短時間で冷却することが好ましい。な
お、冷却手段は特に制限はなく、例えば空気、水
などを用いて行なえばよい。また、逆に部分的に
赤外線イメージ炉などを用いて局所加熱すること
により温度差を設けて冷却と同一の効果を発揮さ
せることもできる。 さらに冷却方法は特に制限はなく、例えば分解
炉の外側から冷却を行なつてもよいが、空気、水
などを冷却手段とする冷却装置を分解炉中に設置
しておくことにより、一層短時間に効率よく冷却
することができる。また、反応後の生成した粒子
を反応系外において冷却することも可能である。 叙上の如くして超微粒子状の金属酸化物が得ら
れるが、さらにこれをメンブランフイルターなど
を用いて濾過を行なうことにより分離、捕集して
最終製品とすることもできる。 また、反応系内に冷却装置を置いた場合、生成
した超微粒子は熱泳動を利用することにより、こ
の装置上に捕集することも可能である。 なお、本発明の方法は第6図に示すような装置
によつて行なうこともできる。即ち、この装置に
よれば原料たる揮発性金属化合物を微量ずつケミ
カルポンプ6で、ベーパライザー7内の加熱した
グラスウール8に浸み込ませて蒸発させ、これを
キヤリアーガス(He,O2等)により反応器3
(例えば赤外線イメージ炉)へ送り込み、ここで
分解(反応、熱分解など)を行ない、生成物を直
ちに冷却室10に導いて冷却用ヘリウムと接触さ
せて急冷して超微粒子とし、これをさらに受槽1
1に導き、フイルター12で濾過して目的とする
球状の金属酸化物超微粒子を得る。 〔発明の効果〕 本発明の方法においては、分解後直ちに急冷し
ているため、分解時の濃度が高くとも、生成した
金属酸化物超微粒子が凝集して粒子同士が合体し
て大粒子化することを防止することができる。 したがつて、本発明によれば常に粒子径の分布
が100〜1000Å(平均粒子径200Å)と極めて小さ
い金属酸化物超微粒子を得ることができる。ま
た、本発明により得られる金属酸化物超微粒子は
球状かつ均一であり、しかも比表面積も5×104
〜20×104m2/Kg(BET法)と非常に大きいもの
である。 したがつて、本発明の金属酸化物超微粒子は、
白色顔料、吸着剤、触媒、触媒担体などとして各
種産業において有効に用いることができる。 〔実施例〕 次に、本発明を実施例により説明する。 実施例 1 第7図に示す装置を用いて金属酸化物粒子の製
造を行なつた。すなわち、原料のジルコニウムテ
トライソプロポキサイドをエバポレーター1を用
いて240℃の温度に加熱し気化せしめ、このエバ
ポレーター1内へ600cm3/min.の割合でヘリウム
ガスをバブリングさせた。この操作によりジルコ
ニウムテトライソプロポキサイドを0.08モル%含
有したヘリウムガスを発生させ、これを冷却器2
付きの反応器3(反応器内径:4.0cm,冷却用内
管4の外径:2.3cm,反応器入口からヒーター5
までの距離:3cm,ヒーター5の長さ:20cm)へ
導入した。この反応器3をヒーター5により400
℃の温度に加熱して熱分解を行なつた。熱分解に
より生成した酸化ジルコニウム粒子を冷却器2に
より室温の空気を流した冷却器に接触させ直ちに
150℃以下の温度に冷却した。この冷却器2は反
応器3の中心部に二重管構造で配置されており、
この管内に冷却空気を送り込んで冷却を行なつ
た。 反応停止後、冷却器2の外壁に付着した粒子を
取り出し、その物性を測定した。得られた酸化ジ
ルコニウム粒子の比表面積は180m2/g、平均粒
径は300Åであり、粒径分布範囲は200〜600Åで
あつて、非常に均一な酸化ジルコニウム(ジルコ
ニア)超微粒子であつた。また、このものの電子
顕微鏡写真を第1図に示す。なお、このものは、
X線回折分析およびプラズマ発光分光分析によ
り、ZrO2としての純度が98%であることが判明
した。ここで測定したX線回折パターン(Cu−
Kα線使用)を第5図に示す。 比較例 1 実施例1において、熱分解後に冷却を行なわな
かつたこと以外は実施例1と同様の操作を行なつ
た。フイルター6を通して得られた酸化ジルコニ
ウム粒子の平均粒径は約3000Åであり、粒径分布
範囲は200〜5000Åと広範囲に亘り、非常に粒径
の不均一なものであつた。また、このものの電子
顕微鏡写真を第2図に示す。 実施例 2 第8図に示す装置を用いて金属酸化物粒子の製
造を行なつた。すなわち、原料のチタンテトライ
ソプロポキサイド(Ti(OC3H84)をごく微量ず
つケミカルポンプ6で、200℃に加熱したベーパ
ライザー7のグラスウール8に浸み込ませて蒸発
させ、キヤリアーガスとしてヘリウムガスを用い
て、予め酸化チタン微粒子を内壁に付着させた内
径30mmの反応器3へ送り込み、350℃で熱分解し
て生成物を得た。なお、この反応器3内部には水
冷用の冷却管9が挿着されており、上述の生成物
は直ちに冷却されて、冷却管9表面に酸化チタン
の超微粒子として付着した。この酸化チタンの超
微粒子を捕集し、その物性を測定した。電子顕微
鏡写真からこの超微粒子の平均粒子径は200Åで
あり、また粒径分布範囲は100〜1000Åであるこ
とがわかつた。さらにBET法により比表面積は
320m2/gであり、またX線回折分析により結晶
形態はアモルフアスであることがわかつた。さら
にこの超微粒子の真比重は、ペンタピクノメータ
ー(カンタソープ社製)を用いてHeガス置換法
にて測定した結果、2.4g/cm3(23℃),2.9g/cm3
(115℃4時間乾燥)であることがわかつた。な
お、この電子顕微鏡写真を第3図に示す。 比較例 2 冷却管による冷却を行なわなかつたこと以外
は、実施例2と同様の操作を行なつた。得られた
酸化チタンの微粒子は、平均粒子径3000Å,粒径
分布範囲300〜6000Å,比表面積90m2/g,結晶
形態アモルフアスであつた。なお、この酸化チタ
ン微粒子の電子顕微鏡写真を第4図に示す。 実施例 3(反応系内にスチームを添加した例) 第9図に示す反応装置を用いて金属酸化物粒子
の製造を行なつた。水蒸気の反応系内への導入に
は200℃に熱せられたヒーター15で水を加熱し、
その中へ乾燥空気を10/minの流量でバブリン
グさせた。第9図中の温度計16は約50℃を示し
た。この操作にて水を0.1モルパーセント含有す
る空気を調製した。原料のチタンテトライソプロ
ポキサイド(Ti(OC3H74)を極微量づつケミカ
ルポンプ6で200℃に加熱したベーパライザー7
のグラスウール8に浸み込ませて蒸発させた。キ
ヤリアーガスとして空気を用いてチタンテトライ
ソプロポキサイドを0.06モル%含ませた。その空
気は反応器3(内径:55mm,長さ:100mm)へ水
を0.1モル%含んだ空気と同時に送り込み、300℃
で反応させ生成物を得た。この結果得られた生成
物の収率(%,TiO2ベース)物性値および組成
値を第1表に示す。また、第10図に水と原料の
モル比と収率との関係を示す。さらに、得られた
生成物の電子顕微鏡写真を第11図に示す。 なお、分析方法はチタンはピロ硫酸カリウムに
融解後、誘導結合プラズマ分析法で定量した。炭
素、水素は試料を850℃で分解後、柳本製作所社
製MT−Z CHNコーダーで定量した。酸素は
試料を940℃で分解後三田村理研工業社製,微量
酸素分析計で定量した。この酸素の値には酸化チ
タンに由来する酸素は含まれない。 実施例 4 実施例3において、空気中に水を含ませなかつ
たこと以外は全て実施例3と同様の操作を行なつ
た。この結果得られた生成物の収率、物性値およ
び組成値を第1表に示す。また、得られた生成物
の電子顕微鏡写真を第12図に示す。 実施例 5(反応系内にスチームを添加し、かつ
反応温度を低下させた例) 実施例3において、反応器3の温度を150℃に
下げたこと以外は実施例3と同様の操作を行なつ
た。この結果得られた生成物の収率、物性値およ
び組成値を第1表に示す。また、得られた生成物
の電子顕微鏡写真を第13図に示す。 実施例 6(反応系内に水を添加し、かつ反応器
内でスチームにした例) 第14図に示す反応装置を用いて金属酸化物粒
子の製造を行なつた。水蒸気の反応器内への導入
は水を極微量づつ反応器3内のノズル付近に送り
込み、そこで蒸発させて、水を0.05モル%キヤリ
アーガス中に含有させた。原料のテトライソプロ
ポキサイド(Ti(OC3H74)をごく微量づつケミ
カルポンプ6で200℃に加熱したベーパライザー
7のグラスウール8に浸み込ませて蒸発させ、キ
ヤリアーガスとして空気を用いて、チタンイソプ
ロポキサイドを0.06モル%含ませた。その空気を
反応器3(内径:55mm,長さ:100mm)へ送り込
んで、300℃で反応させ生成物を得た。 この結果得られた生成物の収率,物性値および
組成値を第1表に示す。また、得られた生成物の
電子顕微鏡写真を第15図に示す。 実施例 7(スチームを熱源として添加した例) 第16図に示す反応装置を用いて金属酸化物粒
子の製造を行なつた。水蒸気の導入は加熱熱源と
しての高温スチームを用いて実施した。これはキ
ヤリアーガスとしても用いた。スチームは300℃
のものを用いた。原料は実施例2,3,6と同様
な操作で空気に0.06モル%含有させてそれを反応
器3(内径:55mm,長さ:100mm)へ送り込んで
300℃で反応させ、生成物を得た。その生成物の
収率,物性値および組成値を第1表に示す。ま
た、得られた生成物の電子顕微鏡写真を第17図
に示す。 【表】
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing ultrafine spherical metal oxide particles, and more specifically, a method for producing spherical metal oxide particles that can be used in a wide range of applications such as white pigments, adsorbents, catalysts, and catalyst supports. The present invention relates to a method for producing ultrafine oxide particles. [Prior Art and Problems to be Solved by the Invention] Various methods are known for producing fine particles of metal oxides such as titanium and zirconium. For example, titanium oxide has excellent weather resistance and strong hiding power, so it is widely used in fields such as cosmetics and paints. Known methods include the sulfuric acid method, in which the resulting precipitate is then calcined, and the chlorine method, in which titanium tetrachloride is decomposed and oxidized at high temperatures. However, in these conventional methods for producing rutile-type titanium oxide, particle growth occurs during the production process, so the particle size of the obtained titanium oxide is large, exceeding 1 μm. In addition, according to Funaki, Saeki et al., titanium tetrachloride and water are mixed in the gas phase at 200 to 800°C to produce anatase-type titanium oxide in the form of fine particles, and titanium tetrachloride and water are reacted in the liquid phase. It has been confirmed that it is possible to produce anatase or anatase-type titanium oxide in the form of fine particles mixed with a slight amount of rutile.
However, these methods can only obtain particles with irregular shapes, and not spherical particles. The present inventors have previously proposed a method for producing spherical and extremely fine-particle titanium oxide by thermally decomposing titanium alkoxide to overcome these conventional drawbacks. (Special application 1986-41290
issue). According to this method, spherical, ultrafine titanium oxide particles are generated with a relatively simple operation, but since the generated ultrafine titanium oxide particles bond and coalesce, the final result must be at an extremely low concentration. There is a problem that spherical and ultrafine particle titanium oxide cannot be obtained. The present invention relates to an improvement of this method, and an object of the present invention is to prevent coalescence of particles when decomposing a volatile metal compound into ultrafine metal oxide particles, and to produce ultrafine metal oxide particles in the form of spherical ultrafine particles. That is. [Means for Solving the Problems] First, the present invention provides a volatile metal alkoxide of a metal selected from the group consisting of titanium, zirconium, scandium, yttrium, lanthanum, and cerium, or a volatile metal consisting of zirconium phenoxide. The compound is vaporized or atomized, then decomposed at a temperature of less than 600°C, combined to form ultrafine metal oxide particles, and immediately after decomposition cooled to a temperature at which the ultrafine metal oxide particles do not coalesce again. The present invention provides a method for producing ultrafine spherical metal oxide particles. Furthermore, secondly, the present invention provides a method of vaporizing or atomizing a volatile metal compound consisting of a halide of a metal selected from the group consisting of titanium, zirconium, scandium, yttrium, lanthanum, and cerium, and then converting it into an oxygen-containing gas. Spherical metal oxide ultrafine particles that are decomposed at a temperature of less than 600°C in the presence of the metal oxide, combined to form metal oxide ultrafine particles, and immediately cooled to a temperature at which the metal oxide ultrafine particles do not coalesce again after decomposition. The present invention provides a method for manufacturing. The first and second aspects of the present invention use the same type of volatile metal and react in almost the same way, but differ in that the halide is reacted in the presence of an oxygen-containing gas. It is something. As mentioned above, the volatile metal compound used as a raw material in the method of the present invention is a metal alkoxide selected from the group consisting of titanium, zirconium, scandium, yttrium, lanthanum, and cerium, or zirconium phenoxide (the volatile metal compound of the present invention). (1), or halides of these metals (2nd of the present invention). In addition, when using titanium alkoxide as a volatile metal compound, in order to increase the stability of the titanium oxide produced, aluminum chloride or zirconium alkoxide is added within a range not exceeding 50% of the molar concentration of titanium alkoxide. , a volatile metal compound such as a rare earth chloride or a rare earth alkoxide may also be present. Here, specific examples of the titanium alkoxide include titanium tetramethoxide, titanium tetraethoxide, titanium tetrapropoxide,
Examples include titanium tetrabutoxide and diethoxytitanium oxide. Further, specific examples of titanium halides include titanium tetrahalides such as titanium tetrachloride and titanium tetrabromide. Furthermore, volatile titanium compounds such as trihalogenated monoalkoxytitanium, monohalogenated trialkoxytitanium, and dihalogenated dialkoxytitanium can also be used. Further, specific examples of the zirconium alkoxide include tetraalkoxyzirconiums such as zirconium tetramethoxide, zirconium tetraethoxide, zirconium tetraisopropoxide, and zirconium tetrabutoxide. Further, specific examples of zirconium halides include zirconium tetrahalides such as zirconium tetrachloride and zirconium tetrabromide, and monoalkoxyzirconium trihalides,
Monohalogenated trialkoxyzirconium, dihalogenated dialkoxyzirconium, etc. can also be used. Further, volatile organic zirconium compounds such as zirconium phenoxide can also be used. In the method of the present invention, the above-mentioned volatile metal compound is first vaporized or atomized. Here, conditions for vaporizing or atomizing the volatile metal compound, that is, evaporating or atomizing the volatile metal compound, vary depending on the type of volatile metal compound, etc., and are difficult to determine unambiguously. For example, when titanium alkoxide is used as the volatile metal compound, the temperature at which titanium alkoxide is evaporated is preferably a boiling point or a temperature slightly lower than the boiling point of titanium alkoxide. This is because if the titanium alkoxide is evaporated at a temperature higher than the boiling point, the titanium alkoxide decomposes in a non-uniform state, resulting in particles that are obtained with non-uniform specific surface area, particle diameter, etc. In addition, when vaporizing the above volatile metal compound, the volatile metal compound should be evaporated by 0.1 to 10
It is preferable to dilute to a ratio of % by volume. This diluent gas serves as a carrier gas for introducing the vaporized volatile metal compound into a decomposition furnace for decomposition. Here, as the diluent gas, an inert gas such as argon, helium, or nitrogen, water vapor, oxygen, or the like is used, and it is particularly preferable to use helium, nitrogen, or oxygen. In the method of the present invention, since the volatile metal compound is vaporized or atomized and then decomposed, an oxygen-containing gas is required for compounds other than oxygen-containing compounds such as alkoxides, that is, halides. Therefore, the diluent gas preferably used in this vaporization or atomization is as follows:
It should be determined appropriately taking into consideration the type of volatile metal compound. Here, to explain in more concrete terms the method of vaporizing a volatile metal compound, for example, a volatile metal compound used as a raw material is heated using an evaporator, etc., and a diluent gas is introduced into the heated material to evaporate the volatile metal compound. The gas containing the metal compound is introduced into a decomposition furnace which will be described later. In addition, when using a carrier gas in this way, the volatile metal compound used as the raw material does not necessarily have to be completely vaporized; some or all of it may be introduced into the decomposition furnace as described below in the form of a mist using the carrier gas. good. Next, the volatile metal compound thus vaporized or atomized is decomposed under heating to form ultrafine metal oxide particles. That is, the volatile metal compound vaporized or atomized as described above is introduced into a decomposition furnace or the like using a carrier gas, and decomposed in the decomposition furnace. In order to carry out the decomposition, an oxygen-containing gas is required unless oxygen-containing compounds such as various alkoxides are used as the raw material volatile metal compound. Therefore, when using something other than oxygen-containing compounds such as various alkoxides as a raw material, it is preferable to use an oxygen-containing gas as the diluent gas as described above, since there is no need to use an additional oxygen-containing gas. Note that decomposition here should be considered to include not only so-called normal thermal decomposition but also oxidation. Further, the decomposition temperature needs to be less than 600°C, and particularly preferably 250 to 350°C.
If the temperature is too low, a sufficient decomposition rate cannot be obtained. On the other hand, at high temperatures, particularly at temperatures above 600°C, particles with a large specific surface area cannot be obtained. Furthermore, in the decomposition furnace where decomposition is carried out,
There are no particular restrictions on the residence time, flow rate, etc. of the volatile metal compound in a vaporized or atomized state, and it can be carried out under various conditions. Preferably the residence time is between 0.1 and
10 sec., and the flow rate is 1 to 100 cm/sec. Further, there are no particular restrictions on the decomposition furnace in which the decomposition is carried out, and any commonly used decomposition furnace can be used; however, in consideration of the cooling operation described below, it is preferable to use a decomposition furnace having a cooling means. Further, it is preferable to use a decomposition furnace with metal oxide fine particles adhered to the wall of the decomposition furnace in advance. By using a decomposition furnace in which metal oxide fine particles are attached to the vessel wall in this manner, the reaction temperature can be significantly lowered. As a result, spherical and ultrafine metal oxide particles are generated, but if this continues, the generated ultrafine particles may coalesce in the gas phase. Therefore, in the method of the present invention, immediately after decomposition, the obtained ultrafine metal oxide particles are cooled to a temperature at which they do not coalesce again. By immediately quenching the metal oxide ultrafine particles obtained in this way, coalescence of the metal oxide ultrafine particles can be prevented. That is, this rapid cooling prevents the metal oxide particles from coalescing, and the resulting spherical and ultrafine metal oxide particles are collected as they are (primary particles). It is preferable to perform this operation as quickly as possible. Further, the cooling temperature is a temperature at which the obtained ultrafine metal oxide particles do not coalesce, but it is difficult to determine it unambiguously depending on the cooling rate and the like. Usually, it is preferable to cool to a temperature of 100°C or less in as short a time as possible. Note that there are no particular restrictions on the cooling means, and for example, air, water, etc. may be used. Conversely, the same effect as cooling can be achieved by locally heating the area using an infrared image furnace or the like to create a temperature difference. Furthermore, there are no particular restrictions on the cooling method; for example, cooling may be performed from outside the cracking furnace, but by installing a cooling device inside the cracking furnace that uses air, water, etc. as a cooling means, it is possible to shorten the time even more. can be efficiently cooled. It is also possible to cool the particles produced after the reaction outside the reaction system. Although ultrafine metal oxide particles are obtained as described above, they can be further separated and collected by filtration using a membrane filter or the like to obtain a final product. Further, when a cooling device is placed in the reaction system, the generated ultrafine particles can be collected on this device by utilizing thermophoresis. Incidentally, the method of the present invention can also be carried out using an apparatus as shown in FIG. That is, according to this device, a volatile metal compound as a raw material is infiltrated into heated glass wool 8 in a vaporizer 7 little by little by a chemical pump 6, and evaporated, and then evaporated into a carrier gas (He, O 2 , etc.). reactor 3
(for example, an infrared imaging furnace), where it is decomposed (reaction, thermal decomposition, etc.), and the product is immediately led to the cooling chamber 10 and brought into contact with cooling helium to rapidly cool it into ultrafine particles, which are then further transferred to a receiving tank. 1
1 and filtered through a filter 12 to obtain the desired spherical metal oxide ultrafine particles. [Effects of the Invention] In the method of the present invention, since the metal oxide is rapidly cooled immediately after decomposition, even if the concentration at the time of decomposition is high, the generated ultrafine metal oxide particles aggregate and coalesce to form large particles. This can be prevented. Therefore, according to the present invention, ultrafine metal oxide particles with extremely small particle size distribution of 100 to 1000 Å (average particle size 200 Å) can always be obtained. Furthermore, the metal oxide ultrafine particles obtained by the present invention are spherical and uniform, and have a specific surface area of 5×10 4
It is very large, ~20×10 4 m 2 /Kg (BET method). Therefore, the metal oxide ultrafine particles of the present invention are
It can be effectively used in various industries as a white pigment, adsorbent, catalyst, catalyst carrier, etc. [Example] Next, the present invention will be explained with reference to an example. Example 1 Metal oxide particles were produced using the apparatus shown in FIG. That is, zirconium tetraisopropoxide as a raw material was heated to a temperature of 240° C. using an evaporator 1 to vaporize it, and helium gas was bubbled into the evaporator 1 at a rate of 600 cm 3 /min. This operation generates helium gas containing 0.08 mol% of zirconium tetraisopropoxide, which is then transferred to the cooler 2.
Reactor 3 (reactor inner diameter: 4.0 cm, outer diameter of cooling inner tube 4: 2.3 cm, heater 5 from the reactor inlet)
(distance to heater 5: 3 cm, length of heater 5: 20 cm). This reactor 3 is heated to 400 m
Thermal decomposition was carried out by heating to a temperature of °C. The zirconium oxide particles generated by thermal decomposition are brought into contact with a cooler 2 in which room temperature air is flown, and immediately
Cooled to a temperature below 150°C. This cooler 2 is arranged in the center of the reactor 3 in a double pipe structure,
Cooling air was sent into this tube for cooling. After the reaction was stopped, the particles attached to the outer wall of the cooler 2 were taken out and their physical properties were measured. The obtained zirconium oxide particles had a specific surface area of 180 m 2 /g, an average particle size of 300 Å, a particle size distribution range of 200 to 600 Å, and were extremely uniform zirconium oxide (zirconia) ultrafine particles. Further, an electron micrograph of this product is shown in FIG. In addition, this thing is
X-ray diffraction analysis and plasma emission spectroscopy revealed that the purity as ZrO 2 was 98%. The X-ray diffraction pattern measured here (Cu-
(using Kα radiation) is shown in Figure 5. Comparative Example 1 The same operation as in Example 1 was performed except that cooling was not performed after thermal decomposition. The average particle size of the zirconium oxide particles obtained through the filter 6 was about 3000 Å, and the particle size distribution range was wide ranging from 200 to 5000 Å, and the particle size was extremely nonuniform. Further, an electron micrograph of this product is shown in FIG. Example 2 Metal oxide particles were produced using the apparatus shown in FIG. That is, titanium tetraisopropoxide (Ti(OC 3 H 8 ) 4 ), which is a raw material, is impregnated in very small amounts with a chemical pump 6 into the glass wool 8 of a vaporizer 7 heated to 200°C, and evaporated to produce a carrier gas. Using helium gas, the mixture was fed into a reactor 3 with an inner diameter of 30 mm, in which fine titanium oxide particles had been attached to the inner wall in advance, and thermally decomposed at 350° C. to obtain a product. A cooling pipe 9 for water cooling was inserted into the reactor 3, and the above-mentioned product was immediately cooled and adhered to the surface of the cooling pipe 9 as ultrafine particles of titanium oxide. The ultrafine particles of titanium oxide were collected and their physical properties were measured. Electron micrographs revealed that the average particle diameter of these ultrafine particles was 200 Å, and the particle size distribution range was 100 to 1000 Å. Furthermore, by the BET method, the specific surface area is
320 m 2 /g, and X-ray diffraction analysis revealed that the crystal form was amorphous. Furthermore, the true specific gravity of these ultrafine particles was determined to be 2.4 g/cm 3 (at 23°C) and 2.9 g/cm 3 as a result of measurement using a He gas displacement method using a pentapycnometer (manufactured by Canterthorpe).
(drying at 115°C for 4 hours). In addition, this electron micrograph is shown in FIG. Comparative Example 2 The same operation as in Example 2 was performed except that cooling with a cooling pipe was not performed. The obtained titanium oxide fine particles had an average particle diameter of 3000 Å, a particle size distribution range of 300 to 6000 Å, a specific surface area of 90 m 2 /g, and an amorphous crystalline form. Incidentally, an electron micrograph of the titanium oxide fine particles is shown in FIG. Example 3 (Example in which steam was added to the reaction system) Metal oxide particles were produced using the reaction apparatus shown in FIG. To introduce water vapor into the reaction system, water is heated with a heater 15 heated to 200°C.
Dry air was bubbled into it at a flow rate of 10/min. Thermometer 16 in FIG. 9 indicated approximately 50°C. Through this operation, air containing 0.1 mol percent of water was prepared. A vaporizer 7 in which the raw material titanium tetraisopropoxide (Ti(OC 3 H 7 ) 4 ) is heated in extremely small amounts to 200°C using a chemical pump 6.
It was soaked in glass wool 8 and evaporated. 0.06 mol% of titanium tetraisopropoxide was contained using air as a carrier gas. The air was simultaneously sent to reactor 3 (inner diameter: 55 mm, length: 100 mm) with air containing 0.1 mol% of water, and heated to 300°C.
A product was obtained. Table 1 shows the yield (%, based on TiO 2 ), physical properties, and composition of the resulting product. Further, FIG. 10 shows the relationship between the molar ratio of water and raw materials and the yield. Furthermore, an electron micrograph of the obtained product is shown in FIG. As for the analysis method, titanium was dissolved in potassium pyrosulfate and then quantified by inductively coupled plasma analysis. After decomposing the sample at 850°C, carbon and hydrogen were quantified using an MT-Z CHN coder manufactured by Yanagimoto Seisakusho. Oxygen was determined using a trace oxygen analyzer manufactured by Mitamura Riken Kogyo Co., Ltd. after decomposing the sample at 940°C. This oxygen value does not include oxygen derived from titanium oxide. Example 4 In Example 3, all operations were performed in the same manner as in Example 3 except that water was not included in the air. Table 1 shows the yield, physical properties, and composition of the resulting product. Furthermore, an electron micrograph of the obtained product is shown in FIG. Example 5 (Example in which steam was added to the reaction system and the reaction temperature was lowered) The same operation as in Example 3 was performed except that the temperature of reactor 3 was lowered to 150°C. Summer. Table 1 shows the yield, physical properties, and composition of the resulting product. Furthermore, an electron micrograph of the obtained product is shown in FIG. Example 6 (Example in which water was added to the reaction system and steam was generated in the reactor) Metal oxide particles were produced using the reaction apparatus shown in FIG. The water vapor was introduced into the reactor by feeding extremely small amounts of water into the vicinity of the nozzle in the reactor 3, where it was evaporated, so that 0.05 mol% of water was contained in the carrier gas. The raw material, tetraisopropoxide (Ti(OC 3 H 7 ) 4 ), is evaporated by impregnating the glass wool 8 of the vaporizer 7 heated to 200°C with a chemical pump 6 in very small amounts, and using air as a carrier gas. Then, 0.06 mol% of titanium isopropoxide was added. The air was sent into reactor 3 (inner diameter: 55 mm, length: 100 mm) and reacted at 300°C to obtain a product. Table 1 shows the yield, physical properties, and composition of the resulting product. Furthermore, an electron micrograph of the obtained product is shown in FIG. Example 7 (Example in which steam was added as a heat source) Metal oxide particles were produced using the reaction apparatus shown in FIG. 16. The introduction of water vapor was carried out using high temperature steam as a heating heat source. This was also used as a carrier gas. Steam is 300℃
I used the one from The raw material was made to contain 0.06 mol% of air in the same manner as in Examples 2, 3, and 6, and was sent to reactor 3 (inner diameter: 55 mm, length: 100 mm).
The reaction was carried out at 300°C to obtain a product. The yield, physical properties and composition of the product are shown in Table 1. Furthermore, an electron micrograph of the obtained product is shown in FIG. 【table】

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は実施例1で得られた酸化ジルコニウム
微粒子の粒子構造を示す電子顕微鏡写真(50000
倍)、第2図は比較例1で得られた酸化ジルコニ
ウム微粒子の粒子構造を示す電子顕微鏡写真
(10000倍)、第3図は実施例2で得られた酸化チ
タン微粒子の粒子構造を示す電子顕微鏡写真
(30000倍)、第4図は比較例2で得られた酸化チ
タン微粒子の粒子構造を示す電子顕微鏡写真
(30000倍)である。第5図は実施例1で得られた
酸化ジルコニウム微粒子のX線回折パターンであ
る。なお、図中のθはブラツグ角を示す。第6〜
8図は本発明の方法に用いる装置の各態様を示す
説明図である。第9図は本発明の実施例3〜5に
おいて用いる装置の態様を示す説明図、第10図
は本発明の実施例3における水と原料のモル比と
収率との関係を示すグラフ、第11図は本発明の
実施例3で得られた酸化チタン微粒子の粒子構造
(TEM像)を示す電子顕微鏡写真、第12図は本
発明の実施例4で得られた酸化チタン微粒子の粒
子構造(TEM像)を示す電子顕微鏡写真、第1
3図は本発明の実施例5で得られた酸化チタン微
粒子の粒子構造(TEM像)を示す電子顕微鏡写
真、第14図は本発明の実施例6において用いる
装置の態様を示す説明図、第15図は本発明の実
施例6で得られた酸化チタン微粒子の粒子構造
(TEM像)を示す電子顕微鏡写真、第16図は本
発明の実施例7において用いる装置の態様を示す
説明図、第17図は本発明の実施例7で得られた
酸化チタン微粒子の粒子構造(TEM像)を示す
電子顕微鏡写真である。 1……エバポレーター、2……冷却器、3……
反応器、4……冷却用内管、5……ヒーター、6
……ケミカルポンプ、7……ベーパライザー、8
……グラスウール、9……冷却管、10……冷却
室、11……受槽、12……フイルター、13…
…モーター、14……原料、15……ヒーター、
16……温度計。
Figure 1 is an electron micrograph showing the particle structure of the zirconium oxide fine particles obtained in Example 1 (50,000
Figure 2 is an electron micrograph (10,000x) showing the particle structure of the zirconium oxide fine particles obtained in Comparative Example 1, and Figure 3 is an electron micrograph showing the particle structure of the titanium oxide fine particles obtained in Example 2. Micrograph (30,000 times) FIG. 4 is an electron micrograph (30,000 times) showing the particle structure of the titanium oxide fine particles obtained in Comparative Example 2. FIG. 5 is an X-ray diffraction pattern of the zirconium oxide fine particles obtained in Example 1. Note that θ in the figure indicates the Bragg angle. 6th~
FIG. 8 is an explanatory diagram showing each aspect of the apparatus used in the method of the present invention. FIG. 9 is an explanatory diagram showing the aspect of the apparatus used in Examples 3 to 5 of the present invention, and FIG. 10 is a graph showing the relationship between the molar ratio of water and raw materials and the yield in Example 3 of the present invention. Figure 11 is an electron micrograph showing the particle structure (TEM image) of the titanium oxide fine particles obtained in Example 3 of the present invention, and Figure 12 is the particle structure (TEM image) of the titanium oxide fine particles obtained in Example 4 of the present invention. Electron micrograph showing TEM image), 1st
Figure 3 is an electron micrograph showing the particle structure (TEM image) of titanium oxide fine particles obtained in Example 5 of the present invention, Figure 14 is an explanatory diagram showing the mode of the apparatus used in Example 6 of the present invention, Figure 15 is an electron micrograph showing the particle structure (TEM image) of titanium oxide fine particles obtained in Example 6 of the present invention, Figure 16 is an explanatory diagram showing the mode of the apparatus used in Example 7 of the present invention, FIG. 17 is an electron micrograph showing the particle structure (TEM image) of the titanium oxide fine particles obtained in Example 7 of the present invention. 1... Evaporator, 2... Cooler, 3...
Reactor, 4... Inner tube for cooling, 5... Heater, 6
...Chemical pump, 7...Vaporizer, 8
...Glass wool, 9...Cooling pipe, 10...Cooling chamber, 11...Receiving tank, 12...Filter, 13...
...Motor, 14...Raw material, 15...Heater,
16...Thermometer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 チタン、ジルコニウム、スカンジウム、イツ
トリウム、ランタン及びセリウムよりなる群から
選ばれた金属のアルコキサイド、或いはジルコニ
ウムフエノキシドからなる揮発性金属化合物を、
気化または霧化せしめた後、600℃未満の温度で
分解し、化合して金属酸化物超微粒子とし、分解
後直ちに前記金属酸化物超微粒子が再び合体しな
い温度まで冷却することを特徴とする球状金属酸
化物超微粒子の製造方法。 2 チタン、ジルコニウム、スカンジウム、イツ
トリウム、ランタン及びセリウムよりなる群から
選ばれた金属のハライドからなる揮発性金属化合
物を、気化または霧化せしめた後、酸素含有ガス
の存在下に600℃未満の温度で分解し、化合して
金属酸化物超微粒子とし、分解後直ちに前記金属
酸化物超微粒子が再び合体しない温度まで冷却す
ることを特徴とする球状金属酸化物超微粒子の製
造方法。
[Scope of Claims] 1. A volatile metal compound consisting of a metal alkoxide or zirconium phenoxide selected from the group consisting of titanium, zirconium, scandium, yttrium, lanthanum and cerium,
After being vaporized or atomized, it is decomposed and combined to form ultrafine metal oxide particles at a temperature of less than 600°C, and immediately after decomposition, it is cooled to a temperature at which the ultrafine metal oxide particles do not coalesce again. Method for producing ultrafine metal oxide particles. 2. After vaporizing or atomizing a volatile metal compound consisting of a metal halide selected from the group consisting of titanium, zirconium, scandium, yttrium, lanthanum, and cerium, the mixture is heated at a temperature below 600°C in the presence of an oxygen-containing gas. 1. A method for producing spherical ultrafine metal oxide particles, which comprises decomposing the metal oxide ultrafine particles, combining them to form ultrafine metal oxide particles, and immediately cooling the metal oxide ultrafine particles to a temperature at which the metal oxide ultrafine particles do not coalesce again after decomposition.
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