JPH04505216A - 内部寸法の多重検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 紀 内部寸法の多重検査装置 ↓　技　術　分　野 本発明は内部寸法の多重検査装置に関し、広い測定箱ラ　囲にある複数の半径方 向の寸法を検査することを望まれている少くとも１個の穴（４）を有する部品（ ３）を支持する支持手段（２）、長手軸線に沿って支持手段（２）と相互に可動 な支持本体（１）、支持本体（１）によって運ばれ、対応する領域にある穴（４ ）の表面と協同するための検査ヘッドを含み電気信号を供給するトランスデユー サを有する測定装置（１１〜１６）、検査ヘッド（７０，７１）と支持本体（１ ）の間の結合手段（２９〜３２）であって、前記広い測定範囲で検査を実施する ために検査ヘッド（７０，７１）を変位できるようにする結合手段（２９〜３２ ）、支持本体（１；２０，２１）に対し検出ヘッド（７０，７１）の位置を検出 するためのトランスデユーサ手段（５２〜５５）、および支持本体（１）と支持 手段（２）との間を相互に変位させるための第１駆動手段（１７）と検出ヘッド （７０，７１）の前記変位を制御するための第２駆動手段（５９〜６５）とを含 む駆動手段（１７；５９〜６５）を備える内部寸法を多重検査する検査装置に関 する。

背　景　技　術 請求の範囲１の先行技術が関係する国際出願ＷＯ−Ａ−８６０２９９６は、内部 及び／または外部の複数の線型寸法の測定を実行する装置を開示しており、この 装置は垂直スライドで搬送される代わりに水平スライドで搬送される支持本体を 偏えている。支持本体は複数の測定ヘッドを搬送し、各測定ヘッドは探子を運ぶ 可動アームとヘッド本体に対して可動アームの位置を検出するトランスデユーサ とを備えている。各測定ヘッドは他と独立に水平（半径方向）および垂直方向に 調整することができ、支持本体に対するヘッドの垂直位置および半径位置は他の 対応するトランスデユーサによって検出され検査されるべき部分は回転支持体上 に配置され、回転支持体は複数の円筒表面の寸法及び／または形状を動的に検査 するように回転する。

特に、特別な実施例は同時に調整できる４個の測定ヘッドを有する装置に関し、 ２個の重ねられたディスクををする装置によって互いに９０°にある半径方向に 沿って調整され、上のディスクは案内溝を有し、下のディスクは垂直ビンのため の開口を通して調整制御のため測定ヘッドに結合されている。調整は２個のディ スクを交互に回転させ４０ＩＩの位置トランスデユーサによってヘッドの半径位 置を検出することによって成される。

国際出願ＷＯ−Ａ−８６０２９９６に記載された装置は、フレキシブルでありも っと正確には異なる型の検査部品に取り替え可能であるけれども、広い＃ｊ定範 囲における自動的検査に適していないようにみえる。

さらに、各測定ヘッドは測定ヘッドの位置を検出するために自分自身の調整装置 と対応するトランスデユーサとを半径方向に配置して備えているので、これらの よく知られた装置は構造的に非常に複雑で、かさばり、高偏で使用しにくい。

特許出願ＧＢ−Ａ−２１６７８６２は、例えばタービンブレードのような部品の 寸法を検査する装置を開示しており、この装置は複数のスライドを備えており、 これらのスライドは対応する支持体に対する各スライドの位置を検出するトラン スデユーサを有している。

特に、垂直スライドは１個のブレードの２個の反対側を続けて検査するための２ 群の測定ヘッドを運ぶ。実際に、測定サイクルを実行するために、スライドは自 動的に継続して複数の所定位置へ、スライドに関係するトランスデユーサの信号 に依存して移動する。所定位置の各々において、ヘッドの信号は、装置が初期的 にゼロセットすることによってマスター部品の寸法からの対応する寸法の公差を 示す。

このよく知られた装置はかなり複雑な部品の検査に用いられ、その代りに機械的 にも電気的にも複雑である。

装置は実質的に多重比較ゲージとして機能し、少くとも部分的には自動的で電気 的にプログラムして取り替えられる。実際に、異なるノミナル寸法を有する部品 を測定できるが、この装置は部品の特別な型のためにプログラムしなければなら ず、また測定のために装置にのせた部品の型は対応する測定サイクルをスタート するために同定されなければならない。

発明の開示 本発明の目的は、自動的かつ同時的方法で、広い測定範囲における複数の寸法を 検査でき、かつ特にコンパクトで低砺格であるが良い精度と繰り返し性とを保障 する構造を有する、内部寸法を検査する装置を提供することである。

この目的は請求の範囲１に従う装置によって達成できる。この装置は特殊な測定 問題に好適であるので、特殊目的の型であるが、これらの問題に関係して大きな 柔軟性と短いｍｌｌプサイクル時間与える。本発明に従う装置は全体に小さな寸 法で製造できる。このことは広い測定範囲で、穴の端部からかなりの距離の軸心 位置やかなりの深さで断面に互いに並んで配置された内部寸法すなわち小さなノ ミナル値を有する複数の内部寸法と同様に測定できる利点に導く。

本発明の他の目的は、同様なやり力で部品の異なる穴に関する寸法特性を自動的 に検査する装置を供給するものであり、前記穴の１つは他の穴に通じ、その軸心 は他の穴の軸心の横に配列されている。

この他の目的は請求の範囲１に依存する請求の範囲９および１４に従う装置によ って達せられる。この装置は、コンパクトな構造を有し、容易には扱えない穴を 有する部品の特徴に関連して検査装置を単一および複合して用いることができる 。この装置は、迅速で正確で信頼性をもって検査することができ、広い測定範囲 に渡るノミナル寸法を有する部品を検査するのにかなりの柔軟性を提供する。

図面の簡単な説明 本発明の好適な実施例に係る装置は添付図面を参照して記載され、与えた例に制 限されない。

図１は本発明による装置の一般的構成図。

図２は図１の装置のプラグゲージの前面図であり、一部は詳細な断面を示し、他 は簡単のため省略を省いである。

図３は図２の線■−■の線に沿った図２の装置の詳細部の断面図であり、一部の 要素は省かれている。

図４，５および６は図２（７）ＩＶ−ＩＶ、　ｖ−ｖオヨヒｖ＋−■の線に沿っ た装置の断面図であり、簡単のため一部の要素は省かれている。

図７は図２の装置の詳細部の側面図。

発明を実施するための最良の形態 図１は本発明による装置の構成を概略的に示し、この装置は支持本体１と、検査 すべき部品３を支持し位１合わせするための支持参照プラットホーム２とを備え ている。部品３は例えば図に概略的に示した６個のシリンダエンジンのモータブ ロックであり、シリンダー線４，５゜６．７．８および９を有する６個のシリン ダー線と駆動軸用の座１０とを備えている。

測定装置すなわちプラグゲージ１．１，１２．１３，１４．１５および１６は支 持本体１に固着され、プラグゲージはモータブロック３の対応するライナー４〜 ９によって規定される長手軸に実質的に一致し１．平行な長手軸に沿って配置さ れるように位置している。支持本体１と支持手段２は各プラグゲージ１１〜１６ を変位させて対応するライナー４〜９と協同させ長手方向に相互に移動できる。

特に、例えば支持手段２は図１の符号１７で示したよく知られた第１駆動手段に よって上方に移動し、部品をプラグゲージ１１〜１６の方に移動させる。

位置合せし固定する装置１８．１９は支持本体１に固着され、前記プラグゲージ の２個のプラグ１５．１６を固定したりはずしたりできる。このようにして、測 定装置は容易かつ迅速に４個または５個のモータブロックを検査するのに適して おり、一方、プラグゲージ１５，１６の一方または両方は図に示したように再び モータブロック３を検査するために正確かつ単純、迅速な方法で適合することが できる。装置１８．１９は既知の位置合せおよび固定する要素を含み、図に詳細 には示されていない。　６個のプラグゲージ１１〜１６の構造は実質的に同しで あり、従って例として図２〜７においてそれらのうちの一つのプラグ１１のみを 記載しである。

実際に図２は、支持手段２と本体２の間の長手方向に沿って近づくとき、モータ ブロック３の対応するライナー４の内部に入れられたプラグゲージ１１を示す。

フレーム２０は支持本体１に直接結合され、中心開口部２２を有する支持板２１ を含む。図に示すようにプラグゲージ１５，１６と結合して、関係するフレーム ２０は上述した装置１８．１９に固定される。

４個のアップライト（ｕｐｒｉｇｈｔ）　２３．　２４．　２５゜２６が開口２ ２のまわりに長手方向に沿って相互に平行に配置された第一の関係上端部に対応 して板２１に固着されている。開口２８を有する円形板２７はアップライト２３ 〜２６の下方の自由端に固着されている。固着手段は、端部で円錐座または“中 心（ｃｅｎｔｒｅ）　’を有する４個の長い要素または軸２９，３０，３１．３ ２を備え、それらの軸は板２１．２７に結合する中心点の対応する組の間に、長 手中心軸を規定する円筒表面の４個の互いに９０’をなす発生線に実質的に一致 する位置に互いに平行に位置する。

特に各軸、例えば軸２９は円錐座または中心３３を備え、中心３３はねじ結合に よって円形板２７に結合される中心点３４によって取り付けられている。円錐座 ３５は第２の中心点と協同する。

第２中心点３６は総体支柱（ｉｎｒｅｇｒａｌ　ｆｕｌｃｒｕ−）３８（図３） を含む結合要素３７を経て板２１に結合され、これによって軸性の弾力スラスト を第１点３４の方に向けるようにし、かつすき間を除去することによって同じ軸 ２９の長手の位置を規定する。軸２９〜３２の板２１゜２７への特別な結合によ って軸がそれらの長手軸のまわりに回転できるようになっている。

４個の接触要素すなわち基準部４０，４１，４２．４３は角度および長手の調整 をすることができる“ひも（ｔＩｅ）“型の固定要素によって板２７に次いで軸 ２９〜３２に調整可能に結合されており、また同じ断面上で互いに９０″の位置 に実質的に在るライナー４の表面に接触するのに適する部分を有する。基準部４ ０〜４３は、各軸の回転（例えば軸２９が関係する中心点によって規定される軸 線のまわりに回転する）が同じ軸線のまわりに関係要素（４０）を回転させるよ うにし、かつ、横手の円弧に沿ってライナー４の表面から離れたり近づいたりす るように動かして、同じ表面に実質的に垂直な方向に沿ってこの表面に接触する ようにする。

フレーム２０に結合するトランスデユーサ手段５２゜５３．５４．５５は、軸２ ９〜３２と協同して軸２９〜３２の角度位置を示す電気信号を供給するように配 置されている。図１で概略的に示し符号５８で示す処理および表示ユニットはト ランスデユーサ手段５２〜５５に接続され、ライナー４０寸法測定をするための 電気信号を処理する。トランスデユーサ手段は、例えば図に示すように以下のよ うに接続された４個の微分トランスデユーサ５２〜５５を備えている。

４個の定常支持体４４，４５，４６．４７が板２１に固着され、４個の回転支持 体４８．４９，５０．５１が板２１に隣接して軸２９，３０．３１．３２に結合 し、回転支持体４８（および４９〜５１）の各々は対応する定常支持体４４（お よび４５〜４７）に対抗するとともにそれに対し対応する軸２９（および３０〜 ３２）と−緒に回転可能である。トランスデユーサ５２〜５５の各々は２個の相 互に可動な部品、特に定常支持体４４〜４７の１１！ｌに固定された巻き線（ｗ ｉｎｄｉｎｇ）　５６と、対応する回転支持体４８〜５１に結合した芯部５７と を備え第２の駆動手段はモーターではなく受動型の駆動装置を備えている。特に 、定常支持体４４〜４７および回転支持体４８〜５１の各組に対して戻しノくネ ５９の両端が結合され、バネ５９は定常支持体および回転支持体を互いに対応す る軸２９〜３２に回転モーメントを与えることによって引張っている。

第２駆動手段もまた各々が横手に軸２９〜３２の１つに固定された４個の基準バ ー６０．６１，６２．６３を有する収縮手段を備えている。２個の参照要素すな わち円錐部６４．６５は板２１に固定され、軸２９〜３２１こ平行に軸線と共に 配置されている。円錐部６４．６５は２つの位置をとることができるように軸線 に沿って移動できる。捧６０〜６２および円錐部６４．６５を有する収縮手段の 一般的配置は、各円錐部６４　（６５）の表面が一組の棒６０．’　６１　（６ ２，６３）に接触し、かつこのような方法でバネ５つによって生じる対応する軸 ２９゜３０　（３１，３２）の角度変位を制御するようになされている。従って 、参照円錐部６４．６５を軸線方向１こ変る方法で作ることができることを指摘 できる。すなわち、例えば、４個の軸２９〜３２の回転を単一の運動１こよって 制御するために４個の棒６０〜６３のすべてと協同するように中心位置に配置さ れる単一の参照円錐を有するものである。

８個の検査ヘッド、特に比較測定するへ・ソドは“ひも（ｔｉｅ）−型の固定要 素によって各軸２９〜３２の対１こよって結合されている。簡単のため、これら のへ１．ドのあるものだけが特に、軸２９に結合する２個のヘッド７０．７１と 、軸３１に結合する２個のへ・ソドの１個（７０）が図２および５に概略的に示 されている。へ・ソド７０．７１の各々は定常的部分と、ライナー４の表面を接 触するのに適する探子要素７８を運ぶ可動部分と、可動部分と定常部分との間を 相互に変位できるようにする支柱（１’ｕｌｃｒｕ１１）手段と、探子７８と検 査される表面の間で接触の結果として可動部分によって取られる位置に依存して 電気信号を供給するユニット５８に電気的に接続されたトランスデユーサとを備 えている。図に示した実施例において、ヘッド７０．７１は、例えば公開された 国際出願番号ＷＯ−Ａ−８９０３５０７に記載されているように、変形可能な支 柱と変形に応答する電気信号を与えるトランスデユーサとを有する装置を備えて いる。

ヘッド７０．７１の軸２９〜３２の上の長手位置は、規定された軸２９〜３２の 適当な角度位置に対応してライナー４の表面と関係基準部４０〜４３との接触に よって関係する探子７８が実質的に各断面で互いに９０″に配置された４つの点 で２個の断面上のライナー４の表面に接触するようにする。

円筒状のノースピース８０，８１は対応する長手の棒８２．８３に下方の第１端 部に固定され、さらに結合手段の性質がある。棒８２．８３は実質的にア・ノブ ライト２３〜２６と軸２９〜３２の間においてプラグゲージ１１の内部に部分的 に囲われ、前記第１端部に隣接（７て板２７の開口２８を通過し、かつ総体支柱 のある要素８４゜８５によって板２１に固着された上方の端部に隣接して板２１ の開口２２を通過する。相対支柱のある要素８４゜８５は棒８２．８３の回転、 あるいはノースピース８０゜８１の回転のため互いに横り向に平行なｌ１１１ｍ を規定する。

ノースピース８０，８１の各々は円筒側部表面上で、４個の測定手段、特に検査 ヘッドあるいはもっと厳密には図７に示すように比較測定ゲージヘッド８６．８ ７゜８８．８９や関係する定常部品、探子を運ぶ可動部品、支柱、ユニット５８ に電気的に接続されるトランスデユーサを収容するための４個の長い座を備えて いる。ヘッド７０．７１と同様に他のヘッド８６〜８９は例えば番号ＷＯ−Ａ− ８９０３５０７で公開された国際出願に記載されているように作られている。

２個のノースピース８０，８１の各々の他のヘッド８６〜８つは、前記ノースピ ースがライナー４を経てモーター軸の座１０に挿入されｔ：後に関係する探子が 座１０の軸線に垂１ｎな２個の断面上でライナー４の軸線に対し反対に配置され 、″Ｊ譬的に互いに９０’に配置されたこの断面における４個の点で、前記座１ ０の表面に接触をはしめるように配置されている。

）〜スビース８０．８１は密閉され図示されない空気回路に接続されており、空 気回路はノースピースから空気を取り入れノースピース内て圧迫することによ− ）てヘッド８６〜８９の可動部品を引き出したり引込めたりする連動を制御し、 検査位置から関係探子を離したりノースピースをモータ軸の座１０に入れるよう にする。

支柱要素８４．８５で規定される横の軸線のまわりに長手の棒８２．８３が回転 することは図２で概略化１．て符号９０で示されている駆動手段によフて制御さ れ、駆動手段は棒８２に硬く結合された円筒９］と、板２１、に固着された部分 に接触する支柱９３を自由端部で有するピストン９２とを有する空気ジャックを 備えている。

座１０の内部のノースピース８０，８１の適当な検査部分は止め要素９５．９６ によって規定され、円形板２７に固着されており、止め要素９５．９６は板２７ に近接するこれらの棒の部分と直接的に協同することによって棒８２．８３の角 度延長を制限する。簡単のために図２は駆動手段９０の１つについてのみ示し、 一方２個の棒の１個（８３）のみと関係するノースピース（８１）とが穴１０を 検査する位置にあり、棒８２とノースピース８０は休止位置に戻されている。

板２７と長手の棒８２．８３の間に案内装置が配置されており、図２に示すそれ らの１つ９８は基本的に互いに回転可能なレバーであって、棒８２．８３の変位 が要素８４．８５て規定される横の軸線のまわりに回転することと別になること を防止するのに適するものを有している。符号９９で図１に示す制御ユニットは 装置の種々の要素の変位を自動的に制御するための処理ユニット５８、第１、第 ２および他の駆動手段に接続されている。

装置の作用を記載する。

最初に次の手動または半自動サイクルに従って標準部品または′マスター°の上 でゼロ設定操作がなされる。

制御ユニット９９を通じて各プラグゲージ１１〜１６の引き込み手段を操作する ことによって、すなわち円錐部６４．６５を軸線の上方に変位させることによっ て、バネ５つの動作によって軸２９〜３２が回転させられる一方、支柱４０〜４ ３と検査ヘッド７０．７１の探子要素７８はプラグゲージの内部、すなわち板２ ７の大きさで規定される横方向の空間内でとどまっている。

制御ユニット９９に接触され図示されていない空気回路を通じて駆動手段９０は ノースピース８０，８１が前記空間内にとどまるように棒８２．８３の回転を制 御り、、一方、空気回路はまた各ノースピース８０，８１のへ・ンド８６〜８９ を引き込みを制御する。

例えばローラーコンベアによって基準位置となるブラットホー・ム：２の上にマ スターが置かれ、それから制御ユニット９９と駆動手段１７によって、対応する 円筒ライナー４〜９ヘブラグゲージＩＪ〜１６が挿入される検査位置の方へ引き 上げられる。

引き込み手段を新たに駆動すると前回の方向と逆の方向に円錐部６４．６５が軸 線に変位［２、これによってバネ５９の動作のために、軸２９〜３２がライナー ４の対応する点に基準部４０〜４３が接触するまで回転する。

ライナー４に関する検査に対し装置のゼロ設定あるいはキャリブレーションはこ の条件でなされる。この目的で、トランスデユーサ５２〜５５、検査ヘッド７０ ．７１および関係するひも固定要素、処理表示ユニット５８を、例えばトランス デユーサ５２〜５５とヘッド７０．７１の電気信号（またはこれらの剛性信号） がゼロ値になるように操作する。軸２９〜３２上の検査ヘッド７０，７１の位置 はこの間、対応する探子７８が支柱４０〜４３の前に確実にライナー４の表面と 接触し始めるように、ひも要素によって調整され固定される。

この後、駆動手段９０をを操作することによって、棒８２．８３が対応する止め 要素９５．９６に接するまで回転させられる。このような条件で他のヘッド８６ 〜８９の探子がマスターの座１０の表面に接触１２、対応する機械的キャリブレ ーションの条件を決める。それから、ユニット５８を操作することによって、他 のヘッド８６〜８９の信号がゼロ値に調整される。

マスターに対し５て機械的および電気的なゼロ設定の操作が一度終わると、制御 ユニット９９の制御の下で完全に自動的に部品３の検査を行うことができる。

検査位置に部品３を配置する操作はマスターの場合に記述したことと全く同じで ある。

引き込み手段を駆動すると板２１に向って軸線方向に円錐部６４．６５の変位が 引き起こされ、この結果バネ５９の作用によって軸２９〜３２は基準部４０〜４ ３がライナー４の対応する点に接触するまで回転する。

ライナー４の横寸法、例えば断面の直径は４個の基準部４０〜４３がライナー４ に接触したときにトランスデユーサ５２〜５５によって与えられる信号に依存し て検査される。特に、トランスデユーサ５２〜５５によって処理ユニット５８に 与えられた信号は部品の横寸法とマスターの横寸法とのずれを示す。

基準部４０〜４３とライナー４の表面との接触によって規定される軸２９〜３２ の角度位置に対応して検査ヘッド７０．７１によって与えられる信号は、ユニッ ト５８で処理され、ライナー４の円筒表面の同心性及び／又は直線性の誤差に関 する測定を引き出す。特に、同一の断面における４ｇ！Ａのへラド７０の測定信 号から例えば前記断面の中心のマスターの対応する断面の中心からの横のずれ及 び／又は基準部４０〜４３によって規定される断面の中心からの横のずれを得て 、円筒表面のいわゆる同心性に関する情報を得ることができる。また、軸２９に 固着されたヘッド７０．７１の１個以上の対の信号を処理することによって（従 ってライナー４の円筒表面の線の２個の点と協同することによって）、例えば円 筒表面のいわゆる直線性に関する情報を得ることができる。

各プラグゲージ１１〜１６に対しユニット５８に接続された４個のトランスデユ ーサ５２〜５５の使用とすることと、とりわけヘッド７０．７１が検査される表 面から及び表面に向って軸と共に回転運動することは、広い測定範囲で部品を検 査する小さな寸法のコンパクトな装置を可能にする。

さらに、６個のプラグゲージを使用できること、あるいは簡単で迅速な変形によ りそれらのうちの４個または５個１１〜１４のみを使用できることは、既に説明 したように装置を非常にフレキシブルに使用することに寄与する。

軸２９〜３２に結合する検査ヘッドの数は検査の型及び／又は検査に必要な精度 に依存して、示してきたことに関して増減することができる。例えばヘッド７０ ，７１は図５に簡単に示すように、対向する２個の軸２９゜３１のみに固定され る。さらに、上で述べたヘッド７０゜７１は類似の測定を実施するのに適する他 の型のヘッド例えば空気ヘッドによって置換されることができ、軸線および角度 について調整可能に軸２９〜３２に結合され、軸２９〜３２と回転可能である。

図の例によって微分型のトランスデユーサによって構成されるトランスデユーサ 手段もまた一般に、例えば光学型の角度トランスデユーサとして、異なる方法で 作ることができる。

座１０を検査するために、駆動手段９０は棒８２，８３の回転とモータ軸の座１ ０へのノースピース８０，８１の挿入を止め要素９５．９６によって規定される 検査位置において＄ＩＪ御される。挿入の場合に空気を引き込むことをやめて機 械的干渉を避けた後、ヘッド８６〜８９の探子は所定の断面に対応して座１０の 表面に接触し、他のヘッド８６〜８９のトランスデユーサは、ユニット５８で処 理することによって座１０の直径を測定できる電気信号を与える。

他のヘッド８６〜８９を支持するノースピース８０゜８１の構造的特徴、プラグ ゲージ１１のケースの内部の棒８２，８３の配置、および関係する駆動手段９０ は非常にコンパクトな構造のプラグゲージを得ることを可能にし、かつモータブ ロック３の内部寸法の単一または複合した測定を迅速、簡単かつ正確な方法で実 施できることを可能にする。

要　約　書 穴を自動的かつ同時に検査する検査装置は測定へνＦ（７０，７１）および支持 体に結合するための要素を有するプラグゲージ装置（１１〜１６）を備えている 。ｋ全要素は、関係する駆動袋！（６０〜６５）によって［動制御される回転変 位を通して測定ヘッド（７０，７１を静止位置から測定位置等へ変位させる平行 軸（２９−３２）によって実譬的に構成されている。

軸の角度位置は、処理ユニット（５８）に接続されム定ヘッド（７０，７１）の 信号を受けるトランスデユーサ（５２〜５５）によ７て検出される。プラグゲー ジを置は、他の穴（４〜９）に通じそれらと横方向にあるゾ（１０）の直径を同 時測定するため回転可能ロッド（し２．８３）に結合した他のヘッド（８６〜８ つ）を＃ンている。この検査装置は特に内燃機関のシリンダーブ【ツクの穴を検 査するのに適している。

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. １．広い測定範囲にある複数の半径方向の寸法を検査することを望まれている少 くとも１個の穴（４）を有する部品（３）を支持する支持手段（２）、長手軸線 に沿って支持手段（２）と相互に可動な支持本体（１）、支持本体（１）によっ て運ばれ、対応する領域にある穴（４）の表面と協同するための検査ヘッド（７ ０，７１）を含み電気信号を供給するトランスデューサを有する測定装置（１１ 〜１６）、検査ヘッド（７０，７１）と支持本体（１）の間の結合手段（２９〜 ３２）であって、前記広い測定範囲で検査を実施するために検査ヘッド（７０， ７１）を変位できるようにする結合手段（（２９〜３２）、支持本体（１；２０ ，２１）に対し検出ヘッド（７０，７１）の位置を検出するためのトランスデュ ーサ手段（５２〜５５）、および支持本体（１）と支持手段（２）との間を相互 に変位させるための第１駆動手段（１７）と検出ヘッド（７０，７１）の前記変 位を制御するための第２駆動手段（５９〜６５）とを含む駆動手段（１７；５９ 〜６５）を備える内部寸法を多重検査する検査装置において、前記結合手段は支 持本体（１）に対し可動で複数の前記検査ヘッド（７０，７１）を支持する結合 要素（２９〜３２）を有し、トランスデューサ手段（５２〜５５）は支持本体（ １）に対し結合要素（２９〜３２）の位置を検出するのに適しており、第２駆動 手段は駆動本体（１）に対し結合要素（２９〜３２）の変位を制御するための駆 動装置（５９〜６５）含むことを特徴とする検査装置。
2. ２．検査要素（２９〜３２）は前記長手軸線に平行な軸線のまわりの回転運動を させることができることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. ３．検査要素（２９〜３２）は結合要素（２９〜３２）の回転運動を制限し前記 複数の検査ヘッド（７０，７１）に対し検査位置を規定するために部品（３）に 接触するのに適した接触要素（４０〜４３）を運ぶことを特徴とする請求項２に 記載の検査装置。
4. ４．前記結合手段は前記長手軸線に平行な関係軸線のまわりに回転運動をさせる のに適し、かつ長手軸線から等距離で反対に配置された少くとも２個の長い結合 要素（２９〜３２）を有し、検査ヘッド（７０，７１）は角度および長手方向に 調整可能なように長い結合要素（２９〜３２）に結合され、前記少くとも２個の 長い結合要素（２９〜３２）の各々は角度および長手方向に調整可能な結合を介 して対応する接触要素（４０〜４３）を運ぶことを特徴とする内部寸法を検査す るための請求項３に記載検査装置。
5. ５．前記結合要素は前記長手軸線に平行な対応する軸線のまわりに回転運動をさ せるのに適した４個の長い結合要素（２９〜３２）であって軸線から等距離に配 置されたものを有することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
6. ６．トランスデューサ手段（５２〜５５）は支持体（１）と長い結合要素（２９ 〜３２）とに結合され、かつ長い結合要素（２９〜３２）の角度位置を検出する のに適しており、第２駆動手段（５９〜６５）は引き込み装置（６０〜６５）と 、長い結合要素（２９〜３２）の回転運動を制御するために長い結合要素（２９ 〜３２）および支持本体（１）と協同するのに適する弾性手段（５９）とを含む ことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
7. ７．検査装置（５９〜６５）は長い結合要素（２９〜３２）の角度の静止位置を 規定するための参照要素（６４，６５）を有し、検査ヘッド（７０，７１）と接 触要素（４０〜４３）の長手軸線のまわりの横方向の寸法は穴（４）の直径寸法 より小さいことを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
8. ８．検査ヘッド（７０，７１）は穴（４）の表面の対応領域に接触するのに適し た探子（７８）を運ぶ可動部品を備えており、関係するトランスデューサによっ て与えられる電気信号は可動部品の位置に応答することを特徴とする請求項１に 記載の検査装置。
9. ９．部品（３）の第１穴（４）と第２穴（１０）の寸法を検査し、穴は互いに通 じ互いに交差する軸線を有する検査装置であって、測定装置（１１〜１６）は第 ２穴（１０）の表面と協同するのに適した他の検査ヘッド（８６〜８９）を支持 本体（１）に結合するための他の結合手段（８２，８３）とを含むことを特徴と する請求項１に記載の検査装置。
10. １０．静止位置から検査位置への変位を可能にするために、前記他の検査ヘッド （８６〜８９）は他の検査ヘッド（８６〜８９）を支持本体（１）に可動的に結 合させることに適しており、他の測定ヘッド（８６〜８９）は第２穴（１０）の 表面と協同することができ、他の検査ヘッド（８６〜８９）および他の結合手段 （８２〜８３）の第１穴（４）の軸線のまわりの横の全体の寸法は第１穴（４） の横の寸法より少いことを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
11. １１．少くとも１個のノースピース（８０，８１）とノースピース（８０，８１ ）に結合した少くとも１対の前記他の検査ヘッド（８６〜８９）とを備え、他の 結合手段はノースピース（８０，８１）を支持する少くとも１個の実質的に長手 の棒（８２，８３）を含み、かつ、他のヘッド（８６〜８９）を静止位置から検 査位置へ移動するための横軸線のまわりに回転できるように支持本体（１）に結 合され、検査位置を規定するために棒（８２，８３）と協同することに適する止 め手段（９５，９６）をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の検査 装置。
12. １２．第１穴（４）と第２穴（１０）は互いに垂直であり、第２穴（１０）は第 １穴の軸線に対向する２個の部分を有する検査装置であって、２個のノースピー ス（８０，８１）を備え、各々のノースピースは第２穴の２個の対向する断面を 各々検査するために前記他の検査ヘッド（８６〜８９）の少くとも１個を支持し 、他の結合手段は前記ノースピースを支持し２個の実質的に平行な軸線のまわり に回転可能な２個の棒（８２，８３）を含むことを特徴とする請求項１１に記載 の検査装置。
13. １３．駆動手段は、前記平行な軸のまわりの棒の回転を制御して他の検査ヘッド （８６〜８９）を静止位置から検査位置へ変位させるため、支持本体（１）およ び棒（８２，８３）に結合する他の駆動手段（９０〜９３）を備えることを特徴 とする請求項１２に記載の検査装置。
14. １４．部品（３）の第１穴（４〜９）および部品（３）の第２穴を検査するため の多重ブラグゲージを有し、第１穴（４〜９）は平行な軸線を規定し第２穴（１ ０）は第１穴（４〜９）に通じて第１穴の軸線に対し横方向の軸線を規定する検 査装置であって、部品（３）を支持するための支持手段（２）、第１穴（４〜９ ）の軸線に平行な長手軸線に沿って支持手段（２）に対して互いに可動な支持本 体（１）、支持本体（１）および支持手段（２）の相互の変位を制御するための 第１駆動手段（１７）、支持手段（１）によって運ばれるブラグゲージ測定装置 （１１〜１６）であって、第１穴（４〜９）の表面と協同することに適する検査 ヘッド（７０，７１）と、検査ヘッド（７０，７１）を支持本体（１）に可動的 に結合させるための結合手段（２９〜３２）と、第２穴（１０）の表面に協同す るのに適する他の検査ヘッド（８６〜８９）と、他の検査ヘッド（８６〜８９） を支持本体（１）に可動的に結合するための他の結合手段（８２，８３）とを有 するブラグゲージ測定装置（１１〜１６）、 支持本体（１）に対して結合手段（２９〜３２）の変位を制御するための第２駆 動手段（５９〜６５）、支持本体（１）に対して他の結合手段（８２，８３）の 変位を制御するための他の駆動手段（９０〜９３）、および第２駆動手段（５９ 〜６５）および他の駆動手段を自動的に制御するための制御ユニット（９９）を 備えることを特徴とする検査装置。
15. １５．第１穴の軸線に実質的に垂直な軸線を有する第２穴（１０）をもつ部品（ ３）の検査装置であって、結合手段（２９〜３２）は検査ヘッド（７０，７１） を静止位置から検査位置へ変位させるために第１穴（４〜９）の軸線に平行な軸 線のまわりに回転運動をさせることに適しており、他の結合手段（８２，８３） は他の検査ヘッド（８６〜８９）を静止位置から検査位置まで変位させるために 第１穴（４〜９）の軸線および第２穴（１０）の軸線の両方に垂直な軸線のまわ りに回転運動をさせることに適していることを特徴とする請求項１４に記載の検 査装置。
16. １６．ブラグゲージ測定手段は少くとも４個のブラグゲージ装置（１１〜１４） を備えていることを特徴とする請求項１５に記載の検査装置。