JPH0447945B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0447945B2 JPH0447945B2 JP60012037A JP1203785A JPH0447945B2 JP H0447945 B2 JPH0447945 B2 JP H0447945B2 JP 60012037 A JP60012037 A JP 60012037A JP 1203785 A JP1203785 A JP 1203785A JP H0447945 B2 JPH0447945 B2 JP H0447945B2
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- JP
- Japan
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- mass
- voltage
- peak
- secondary electron
- electron multiplier
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は質量分析に係り、特に得られるデータ
のダイナミツクレンジを実質的に向上させるに好
適な質量分析法に関する。
のダイナミツクレンジを実質的に向上させるに好
適な質量分析法に関する。
従来の質量分析法においては、ダイナミツクレ
ンジを変化させられるというものはなく、ダイナ
ミツクレンジは一定であることが一般的である。
例えば、マススペクトロメトリー第８章（講談社
発行）参照。したがつて、従来のダイナミツクレ
ンジを一定にして測定する質量分析法にあつて
は、１つのサンプルを測定する場合、マルチ電圧
はある固定された値、例えば第６図Ａに示すよう
に、V2に固定されている。従つて、第６図Ａに
示すクロマトピークにおいて、小さなイオン強度
のクロマトピークの測定点ｅにおいて、非常に小
さい強度のマスピークＣが観察できるようにマル
チ電圧V2に固定したとすると、大きいイオン強
度のクロマトピークの測定点ｂでのマススペクト
ルは第６図Ｂに示すように殆ど飽和してしまう。
例えば第６図ＢのＡのマスピーク強度が正確に判
別できない状態であつた。また、大きなクロマト
ピークの測定点ｂにおいて、非常に大きな強度の
マスピークＡを正確に判別できるようにマルチ電
圧V2を固定すると、小さいクロマトピークの測
定点ｅでのマススペクトルは第６図Ｃに示すよう
に小さすぎて、正確に判別できないという欠点を
有している。
ンジを変化させられるというものはなく、ダイナ
ミツクレンジは一定であることが一般的である。
例えば、マススペクトロメトリー第８章（講談社
発行）参照。したがつて、従来のダイナミツクレ
ンジを一定にして測定する質量分析法にあつて
は、１つのサンプルを測定する場合、マルチ電圧
はある固定された値、例えば第６図Ａに示すよう
に、V2に固定されている。従つて、第６図Ａに
示すクロマトピークにおいて、小さなイオン強度
のクロマトピークの測定点ｅにおいて、非常に小
さい強度のマスピークＣが観察できるようにマル
チ電圧V2に固定したとすると、大きいイオン強
度のクロマトピークの測定点ｂでのマススペクト
ルは第６図Ｂに示すように殆ど飽和してしまう。
例えば第６図ＢのＡのマスピーク強度が正確に判
別できない状態であつた。また、大きなクロマト
ピークの測定点ｂにおいて、非常に大きな強度の
マスピークＡを正確に判別できるようにマルチ電
圧V2を固定すると、小さいクロマトピークの測
定点ｅでのマススペクトルは第６図Ｃに示すよう
に小さすぎて、正確に判別できないという欠点を
有している。
本発明の目的は、分析試料の測定精度を向上す
ることのできる質量分析法を提供することにあ
る。
ることのできる質量分析法を提供することにあ
る。
マススペクトルを得るには種々の方法がある
が、ここでは磁場を掃引する方法の場合について
述べる。GC−MSの様な場合、クロマトピーク
の各マスピーク強度には大きな差があり、それを
１つの固定された２次電子増倍管の利得で測定し
ていたのでは、大きなクロマトピーク部分では殆
どのマスピークは飽和してしまう。そこで本発明
は磁場の掃引に同期してマルチ電圧を数種変化
し、１つのクロマトピークをマルチ電圧を数種変
えて測定させ、質実的にダイナミツクレンジを拡
大することにより分析試料の測定精度を向上する
ことができるようにしようというものである。す
なわち、本発明は、２次電子増倍管を備え、連続
して繰返しマススペクトルを得る質量分析法にお
いて、２次電子増倍管のマルチ電圧をあらかじめ
２種の値に設定するとともにそれぞれの値を、１
つのクロマトピーク中の所定の質量数範囲でマス
スペクトルのイオン強度の和が設定レベル以上ま
たは設定レベル以下となつた際に切換える構成で
ある。
が、ここでは磁場を掃引する方法の場合について
述べる。GC−MSの様な場合、クロマトピーク
の各マスピーク強度には大きな差があり、それを
１つの固定された２次電子増倍管の利得で測定し
ていたのでは、大きなクロマトピーク部分では殆
どのマスピークは飽和してしまう。そこで本発明
は磁場の掃引に同期してマルチ電圧を数種変化
し、１つのクロマトピークをマルチ電圧を数種変
えて測定させ、質実的にダイナミツクレンジを拡
大することにより分析試料の測定精度を向上する
ことができるようにしようというものである。す
なわち、本発明は、２次電子増倍管を備え、連続
して繰返しマススペクトルを得る質量分析法にお
いて、２次電子増倍管のマルチ電圧をあらかじめ
２種の値に設定するとともにそれぞれの値を、１
つのクロマトピーク中の所定の質量数範囲でマス
スペクトルのイオン強度の和が設定レベル以上ま
たは設定レベル以下となつた際に切換える構成で
ある。
以下、本発明の実施例について説明する。
第１図には本発明に用いる装置の図が示されて
いる。図において、イオン源１でイオン化された
イオンは出射スリツト２を通り、電場３でエネル
ギー選択された後、磁場４で質量分散され、コレ
クタスリツト５を特定の質量数イオンが通過し、
２次電子増倍管６で信号増巾され、検出器７で検
知される。従つて、マススペクトルを得るには、
磁場電源８によつて、磁場を０から特定の値まで
連続掃引すれば良い。この磁場掃引に同期して、
第２図の例では、２次電子増倍管の利得を変化さ
せているが、２次電子増倍管の利得は、マルチ電
圧電源９の電圧を制御することにより変化し、こ
の利得とマルチ電圧との関係はCPU制御装置１
０に記録されており、これらの制御はCPU制御
装置１０によつて行つている。マルチ電圧は、磁
場掃引が行なわれないａの期間にV1からV2の２
種の値に変化させ、充分安定させてｂの期間は特
定の、つまりあらかじめ設定された電圧V2で固
定される。こうして、第３図に示すように、クロ
マトピークの各測定点毎に異なつたマルチ電圧で
切換繰り返し測定を行い、ダイナミツクレンジを
拡大せしめている。
いる。図において、イオン源１でイオン化された
イオンは出射スリツト２を通り、電場３でエネル
ギー選択された後、磁場４で質量分散され、コレ
クタスリツト５を特定の質量数イオンが通過し、
２次電子増倍管６で信号増巾され、検出器７で検
知される。従つて、マススペクトルを得るには、
磁場電源８によつて、磁場を０から特定の値まで
連続掃引すれば良い。この磁場掃引に同期して、
第２図の例では、２次電子増倍管の利得を変化さ
せているが、２次電子増倍管の利得は、マルチ電
圧電源９の電圧を制御することにより変化し、こ
の利得とマルチ電圧との関係はCPU制御装置１
０に記録されており、これらの制御はCPU制御
装置１０によつて行つている。マルチ電圧は、磁
場掃引が行なわれないａの期間にV1からV2の２
種の値に変化させ、充分安定させてｂの期間は特
定の、つまりあらかじめ設定された電圧V2で固
定される。こうして、第３図に示すように、クロ
マトピークの各測定点毎に異なつたマルチ電圧で
切換繰り返し測定を行い、ダイナミツクレンジを
拡大せしめている。
小さいクロマトピークの小さいマスピークを観
察できるマルチ電圧の値V2と、大きいクロマト
ピーク中の大きいマスピークを観察できるマルチ
電圧V1に磁場掃引毎にマルチ電圧を切換える手
法用いたため、第４図Ａに示されるクロマトピー
クにおいて、第４図Ｂ及びＦに示すように両クロ
マトピークでのマススペクトルを正確に得ること
ができる。
察できるマルチ電圧の値V2と、大きいクロマト
ピーク中の大きいマスピークを観察できるマルチ
電圧V1に磁場掃引毎にマルチ電圧を切換える手
法用いたため、第４図Ａに示されるクロマトピー
クにおいて、第４図Ｂ及びＦに示すように両クロ
マトピークでのマススペクトルを正確に得ること
ができる。
第４図Ａに示すクロマトピークにおいて、第４
図Ａのａ，ｂ，ｃの点を正確に測定すべくマルチ
電圧をV2に固定すると、第４図Ｅに示すように
第４図Ａの点ｄ，ｅ，ｆが正確に測定できない。
また、第４図Ａに示すクロマトピークのｄ，ｅ，
ｆの点を正確に測定すべくマルチ電圧をV1に固
定すると第４図Ｃに示すように、第４図Ａの点
ａ，ｂ，ｃの点が飽和してしまい正確に測定する
ことができない。また、V1とV2の中間の電圧に
マルチ電圧を固定すると第４図Ｄに示すようにマ
ススペクトルの一部が飽和し、第４図Ａのａ，
ｂ，ｃの点、ｄ，ｅ，ｆの点のそれぞれを正確に
測定することができない。
図Ａのａ，ｂ，ｃの点を正確に測定すべくマルチ
電圧をV2に固定すると、第４図Ｅに示すように
第４図Ａの点ｄ，ｅ，ｆが正確に測定できない。
また、第４図Ａに示すクロマトピークのｄ，ｅ，
ｆの点を正確に測定すべくマルチ電圧をV1に固
定すると第４図Ｃに示すように、第４図Ａの点
ａ，ｂ，ｃの点が飽和してしまい正確に測定する
ことができない。また、V1とV2の中間の電圧に
マルチ電圧を固定すると第４図Ｄに示すようにマ
ススペクトルの一部が飽和し、第４図Ａのａ，
ｂ，ｃの点、ｄ，ｅ，ｆの点のそれぞれを正確に
測定することができない。
第５図には、本発明の一実施例が示されてい
る。本実施例は第２図に示すように常にマルチ電
圧を切換えていると、切換えに関与する種々の操
作、例えば、CPUの処理時間に無駄を伴う場合
もあるので再構築全イオン量（クロマトピーク中
の任意の質量数範囲のマススペクトルのイオン強
度の和）がある任意のレベルを越えた時（任意の
レベル以下になつた時でも良い）、マルチ電圧を
切換えるようにしたものである。利得とマルチ電
圧との関係は測定ごとに計測する必要はなく、
CPU制御装置に記録されている。したがつてマ
ススペクトルのイオン強度の値も読み取り可能で
あり、それらの値からイオン強度の和の設定レベ
ルを定めることができる。
る。本実施例は第２図に示すように常にマルチ電
圧を切換えていると、切換えに関与する種々の操
作、例えば、CPUの処理時間に無駄を伴う場合
もあるので再構築全イオン量（クロマトピーク中
の任意の質量数範囲のマススペクトルのイオン強
度の和）がある任意のレベルを越えた時（任意の
レベル以下になつた時でも良い）、マルチ電圧を
切換えるようにしたものである。利得とマルチ電
圧との関係は測定ごとに計測する必要はなく、
CPU制御装置に記録されている。したがつてマ
ススペクトルのイオン強度の値も読み取り可能で
あり、それらの値からイオン強度の和の設定レベ
ルを定めることができる。
本実施例によれば、再構築全イオン量がマスス
ペクトルとして取得された後、CPUにより任意
の質量数範囲で積算されるため、バツクグランド
マスピーク（空気や水のイオン）を積算から除外
でき、良いＳ／Ｎ比（対信号／ノイズ比）を得る
ことができる。またデータ収集時のダイナミツク
レンジを向上し、１×108以上にもすることがで
きる。
ペクトルとして取得された後、CPUにより任意
の質量数範囲で積算されるため、バツクグランド
マスピーク（空気や水のイオン）を積算から除外
でき、良いＳ／Ｎ比（対信号／ノイズ比）を得る
ことができる。またデータ収集時のダイナミツク
レンジを向上し、１×108以上にもすることがで
きる。
本発明によれば、１つのクロマトピークを２種
のマルチ電圧を切換えて測定するため、Ｓ／Ｎ比
が良くなるとともにダイナミツクレンジが拡大
し、測定精度が向上する効果がある。
のマルチ電圧を切換えて測定するため、Ｓ／Ｎ比
が良くなるとともにダイナミツクレンジが拡大
し、測定精度が向上する効果がある。
第１図は本発明に用いる装置図、第２図はレベ
ル変換動作を示す波形図、第３図はレベル変換タ
イミングを示す図、第４図はレベル変換による測
定結果を示す図、第５図は本発明の一実施例を示
す図、第６図は従来の測定結果を示す図である。 ６……２次電子増倍管、８……磁場電源、９…
…マルチ電圧電源。
ル変換動作を示す波形図、第３図はレベル変換タ
イミングを示す図、第４図はレベル変換による測
定結果を示す図、第５図は本発明の一実施例を示
す図、第６図は従来の測定結果を示す図である。 ６……２次電子増倍管、８……磁場電源、９…
…マルチ電圧電源。
Claims (1)
- １ ２次電子増倍管を備え、連続して繰返しマス
スペクトルを得る質量分析法において、前記２次
電子増倍管のマルチ電圧をあらかじめ２種の値に
設定するとともにそれぞれの値を、１つのクロマ
トピーク中の所定の質量数範囲でマススペクトル
のイオン強度の和が設定レベル以上または設定レ
ベル以下となつた際に切換えることを特徴とする
質量分析法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60012037A JPS61170652A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 質量分析法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60012037A JPS61170652A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 質量分析法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61170652A JPS61170652A (ja) | 1986-08-01 |
| JPH0447945B2 true JPH0447945B2 (ja) | 1992-08-05 |
Family
ID=11794404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60012037A Granted JPS61170652A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 質量分析法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61170652A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2648616B1 (fr) * | 1989-06-16 | 1991-12-13 | Cit Alcatel | Dispositif de traitement du signal recu par un multiplicateur d'electrons |
| US7047144B2 (en) * | 2004-10-13 | 2006-05-16 | Varian, Inc. | Ion detection in mass spectrometry with extended dynamic range |
| JP4959412B2 (ja) * | 2007-05-10 | 2012-06-20 | 株式会社アルバック | 四重極型質量分析装置およびイオン電流測定方法 |
| JP5590145B2 (ja) * | 2010-11-30 | 2014-09-17 | 株式会社島津製作所 | 質量分析データ処理装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58170555U (ja) * | 1982-05-12 | 1983-11-14 | 株式会社日立製作所 | 質量分析計 |
-
1985
- 1985-01-25 JP JP60012037A patent/JPS61170652A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61170652A (ja) | 1986-08-01 |
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