JPH044769A - 超音波モータの駆動方法 - Google Patents
超音波モータの駆動方法Info
- Publication number
- JPH044769A JPH044769A JP2102913A JP10291390A JPH044769A JP H044769 A JPH044769 A JP H044769A JP 2102913 A JP2102913 A JP 2102913A JP 10291390 A JP10291390 A JP 10291390A JP H044769 A JPH044769 A JP H044769A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- monitor electrode
- frequency
- ultrasonic motor
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は、超音波モータを効率良く駆動させるために
、圧電素子に印加させる駆動信号を制御する超音波モー
タの駆動方法に関する。
、圧電素子に印加させる駆動信号を制御する超音波モー
タの駆動方法に関する。
[従来の技術]
超音波モータには、ステータに設けた圧電素子を2つに
区分し、それぞれの圧電素子に位相の異なる高周波電圧
を印加してステータの表面に進行波を生じさせ、ステー
タに圧接したロータを駆動させるものがある。
区分し、それぞれの圧電素子に位相の異なる高周波電圧
を印加してステータの表面に進行波を生じさせ、ステー
タに圧接したロータを駆動させるものがある。
この様な超音波モータを駆動するには、その駆動周波数
を共振周波数に一致させる必要があるとされている。更
に、この共振周波数は、温度等の環境の変化やモータの
出力軸にかかる負荷等によって変動するので、安定した
状態で超音波モータを駆動するために、第4図に示す自
動追尾回路を備えた駆動回路を使用したものがある(特
開昭62−203575号公報)。
を共振周波数に一致させる必要があるとされている。更
に、この共振周波数は、温度等の環境の変化やモータの
出力軸にかかる負荷等によって変動するので、安定した
状態で超音波モータを駆動するために、第4図に示す自
動追尾回路を備えた駆動回路を使用したものがある(特
開昭62−203575号公報)。
従来の自動追尾回路を備えた駆動回路は、ステツに設け
た圧電素子21の一部にモニタ電極22を設け、圧電素
子21の励振によって生ずるモニタ電圧を平滑回路23
で直流成分のみとし、この信号と比較器24に予め設定
した基準電気信号とを比較して、所定の電圧値になるよ
うに電圧制御発振器(V・0〜C)25で入力電源周波
数を制御し、移相器(P−3)26、電力増幅器27と
を介して圧電素子21の電極に適当な高電圧を印加させ
、超音波モータを駆動させている。
た圧電素子21の一部にモニタ電極22を設け、圧電素
子21の励振によって生ずるモニタ電圧を平滑回路23
で直流成分のみとし、この信号と比較器24に予め設定
した基準電気信号とを比較して、所定の電圧値になるよ
うに電圧制御発振器(V・0〜C)25で入力電源周波
数を制御し、移相器(P−3)26、電力増幅器27と
を介して圧電素子21の電極に適当な高電圧を印加させ
、超音波モータを駆動させている。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、従来の駆動回路では、モニタ電圧と駆動
周波数の関係が第5図に示すようになっているため、駆
動周波数を共振周波数に近づけて高出力を得ようとする
と、共振周波数の検知が遅くなりロータの乱れ振動によ
る異音の発生が長時間続くという問題がある。また、発
生する異音を防止するために共振周波数から遠ざけた高
周波信号で超音波モータを駆動させると、高出力が得ら
れないという問題がある。
周波数の関係が第5図に示すようになっているため、駆
動周波数を共振周波数に近づけて高出力を得ようとする
と、共振周波数の検知が遅くなりロータの乱れ振動によ
る異音の発生が長時間続くという問題がある。また、発
生する異音を防止するために共振周波数から遠ざけた高
周波信号で超音波モータを駆動させると、高出力が得ら
れないという問題がある。
この発明は、これらの問題を解決するために成されたも
ので、ロータの異常振動を早く検出して駆動周波数の制
御を行ない、高出力が常に安定した状態で得られるよう
にした超音波モータの駆動方法を提供することを目的と
する。
ので、ロータの異常振動を早く検出して駆動周波数の制
御を行ない、高出力が常に安定した状態で得られるよう
にした超音波モータの駆動方法を提供することを目的と
する。
[課題を解決するための手段]
この発明の超音波モータの駆動方法は、リング状のステ
ータに2区分して設けた圧電素子に、位相の異なる駆動
信号の高周波電圧を印加して、このステータに圧接した
ロータを駆動させる超音波モータの駆動方法において、
2区分した圧電素子の区分間に、ロータの異常振動によ
ってのみ同調して電圧を出力する形状のモニタ電極を設
け、モニタ電極から生じる電圧を検知し、圧電素子に印
加する駆動信号を制御してロータを駆動させるものであ
る。
ータに2区分して設けた圧電素子に、位相の異なる駆動
信号の高周波電圧を印加して、このステータに圧接した
ロータを駆動させる超音波モータの駆動方法において、
2区分した圧電素子の区分間に、ロータの異常振動によ
ってのみ同調して電圧を出力する形状のモニタ電極を設
け、モニタ電極から生じる電圧を検知し、圧電素子に印
加する駆動信号を制御してロータを駆動させるものであ
る。
また、モニタ電極は、共振周波数に近づきすぎたときに
電圧を発生し、その電圧検知により制御回路が駆動信号
を制御して共振周波数に近づきすぎないようにする。
電圧を発生し、その電圧検知により制御回路が駆動信号
を制御して共振周波数に近づきすぎないようにする。
[作用]
上記の超音波モータの駆動方法では、共振周波数を検知
するのに、ロータを駆動する進行波の基本周波数によっ
て同調しない大きさのモニタ電極(例えば、ステータの
円周方向に対して進行波の波長をんとすると3/8んの
大きさに形成したモニタ電極)が用いられているので、
第2図のモニタ電圧と駆動周波数の関係の曲線図に示す
ように、超音波モータの駆動周波数が共振周波数に近づ
いて、ロータの異常振動による異音が発生すると直に、
モニタ電極から電圧が出力され、ロータの乱れ振動の検
出ができる。そして、この検出値に応じて発振器から発
振させる信号が設定され、モータを駆動する駆動信号を
適当に制御して超音波モータを駆動させている。
するのに、ロータを駆動する進行波の基本周波数によっ
て同調しない大きさのモニタ電極(例えば、ステータの
円周方向に対して進行波の波長をんとすると3/8んの
大きさに形成したモニタ電極)が用いられているので、
第2図のモニタ電圧と駆動周波数の関係の曲線図に示す
ように、超音波モータの駆動周波数が共振周波数に近づ
いて、ロータの異常振動による異音が発生すると直に、
モニタ電極から電圧が出力され、ロータの乱れ振動の検
出ができる。そして、この検出値に応じて発振器から発
振させる信号が設定され、モータを駆動する駆動信号を
適当に制御して超音波モータを駆動させている。
このため、超音波モータは、共振周波数に近い駆動周波
数で駆動できるので、高出力で回転するとともに、長時
間発生する異音が防止され、駆動の際に生じる騒音が低
くなる。
数で駆動できるので、高出力で回転するとともに、長時
間発生する異音が防止され、駆動の際に生じる騒音が低
くなる。
[実施例]
以下、この発明に係る超音波モータの駆動方法の一実施
例を説明する。
例を説明する。
この超音波モータの駆動方法は、超音波モータのロータ
に生じる異常振動を素早(検知して圧電素子に印加する
電圧制御を行ない、効率良くモタを駆動させるものであ
る。この駆動方法で駆動する超音波モータは、リング状
のステータ1が設けられ、このステータlに2区分させ
た圧電素子2が接着され、圧電素子2の各区分に位相の
異なる高周波電圧を印加させて、このステータ1に圧接
したロータを駆動させる構造のものである。
に生じる異常振動を素早(検知して圧電素子に印加する
電圧制御を行ない、効率良くモタを駆動させるものであ
る。この駆動方法で駆動する超音波モータは、リング状
のステータ1が設けられ、このステータlに2区分させ
た圧電素子2が接着され、圧電素子2の各区分に位相の
異なる高周波電圧を印加させて、このステータ1に圧接
したロータを駆動させる構造のものである。
この超音波モータの駆動方法において、ロータの異常振
動を検出するため、第1図(a)に示す2区分した圧電
素子2の区分間に、ステータ1の円周方向に対して3/
8尤の大きさのモニタ電極3が設けられている。ここで
、λはロータを駆動するため、ステータ1上に発生させ
る進行波の波長の長さである。
動を検出するため、第1図(a)に示す2区分した圧電
素子2の区分間に、ステータ1の円周方向に対して3/
8尤の大きさのモニタ電極3が設けられている。ここで
、λはロータを駆動するため、ステータ1上に発生させ
る進行波の波長の長さである。
このモニタ電極3の大きさと、モニタ電極3がら発生す
るモニタ電圧の周波数との間には、モニタ電極3を短く
すると、それによって発生する電圧の周波数が高くなる
というアンテナのエレメント長と同じ相関関係がある。
るモニタ電圧の周波数との間には、モニタ電極3を短く
すると、それによって発生する電圧の周波数が高くなる
というアンテナのエレメント長と同じ相関関係がある。
このためモニタ電極3の長さを3/8尤にしたとき、モ
ニタ電極3から発生するモニタ電圧の周波数は、第3図
に示すように基本周波数(凡の波長をもつ周波数)の2
/3倍、2倍等となる。
ニタ電極3から発生するモニタ電圧の周波数は、第3図
に示すように基本周波数(凡の波長をもつ周波数)の2
/3倍、2倍等となる。
この結果モニタ電極3からは、基本周波数によって電圧
が出力されず、ロータの異常振動によって生じる基本周
波数以外の周波数によって電圧が出力される。なお、こ
の実施例では、モニタ電極3の大きさを3/8λにした
が、これに限定するものではなく、基本周波数によって
電圧が発生せず、共振周波数に近づき過ぎたときに電圧
を発生する形状であれば良い。
が出力されず、ロータの異常振動によって生じる基本周
波数以外の周波数によって電圧が出力される。なお、こ
の実施例では、モニタ電極3の大きさを3/8λにした
が、これに限定するものではなく、基本周波数によって
電圧が発生せず、共振周波数に近づき過ぎたときに電圧
を発生する形状であれば良い。
モニタ電極3から生じるモニタ電圧を受けて駆動信号を
制御する駆動回路には、第1図(b)に示す回路を使用
する。
制御する駆動回路には、第1図(b)に示す回路を使用
する。
モニタ電極3の出力端子には保護抵抗4を介してダイオ
ード5が設けられ、モニタ電圧の整流を行なっている。
ード5が設けられ、モニタ電圧の整流を行なっている。
このダイオード5からの整流電圧は、感度調整抵抗6を
通ってインピーダンス回路7で高入力インピーダンス信
号にされる。この感度調整抵抗6とインピーダンス回路
7どの間には、インピーダンス回路7を保護するための
保護ダイオード8が設けられている。
通ってインピーダンス回路7で高入力インピーダンス信
号にされる。この感度調整抵抗6とインピーダンス回路
7どの間には、インピーダンス回路7を保護するための
保護ダイオード8が設けられている。
ここで用いられるインピーダンス回路7は、2つのNO
Tゲート7a、 7bと、これらNOTゲート7a、
7bの間に設けられ、モータ駆動のON、 OFF切り
換えを行なうスイッチ7cと、NOTゲート7a、7b
の高入力インピーダンスを固定して、異常発振を防止す
るプルダウン抵抗7dとを備えた回路構成になっている
。
Tゲート7a、 7bと、これらNOTゲート7a、
7bの間に設けられ、モータ駆動のON、 OFF切り
換えを行なうスイッチ7cと、NOTゲート7a、7b
の高入力インピーダンスを固定して、異常発振を防止す
るプルダウン抵抗7dとを備えた回路構成になっている
。
インピーダンス回路7の出力端子には、抵抗8aとコン
デンサ8bからなる時定数を大きく取った積分回路8が
接続され、インピーダンス回路7がら出力される高入力
インピーダンス信号を積分回路8によって平滑な電圧信
号にさせている。
デンサ8bからなる時定数を大きく取った積分回路8が
接続され、インピーダンス回路7がら出力される高入力
インピーダンス信号を積分回路8によって平滑な電圧信
号にさせている。
この積分回路8の出力端子は、発振器9に接続され、積
分回路8の電圧信号に比例した周波数の駆動信号を発振
器9から出力している。この発振器9の出力端子は2つ
に分岐され、一方は移相器10を介して電力増幅器11
aに接続され、他方はそのまま電力増幅器llbに接続
されている。この移相器10では、発振器9から電力増
幅器11a、llbに出力させる2つの駆動信号の位相
差をπ/2にさせて、位相の異なる信号を出力させてい
る。
分回路8の電圧信号に比例した周波数の駆動信号を発振
器9から出力している。この発振器9の出力端子は2つ
に分岐され、一方は移相器10を介して電力増幅器11
aに接続され、他方はそのまま電力増幅器llbに接続
されている。この移相器10では、発振器9から電力増
幅器11a、llbに出力させる2つの駆動信号の位相
差をπ/2にさせて、位相の異なる信号を出力させてい
る。
このような駆動信号を発振器9から受けた電力増幅器1
1a、 llbでは、駆動信号を高電圧に増幅させて2
区分された圧電素子2にそれぞれ印加させ、圧電素子2
を振動させて超音波モータを駆動させるようになってい
る。
1a、 llbでは、駆動信号を高電圧に増幅させて2
区分された圧電素子2にそれぞれ印加させ、圧電素子2
を振動させて超音波モータを駆動させるようになってい
る。
[発明の効果]
この発明の超音波モータの駆動方法では、基本周波数で
同調しないモニタ電極を使用して圧電素子に印加する駆
動信号を制御しているので、ロータの乱れ振動を素早く
検出し、駆動周波数が共振周波数に近づきすぎないよう
に超音波モータを駆動できる。
同調しないモニタ電極を使用して圧電素子に印加する駆
動信号を制御しているので、ロータの乱れ振動を素早く
検出し、駆動周波数が共振周波数に近づきすぎないよう
に超音波モータを駆動できる。
したがって、超音波モータから高出力が常に安定して得
られるとともに、長時間に及ぶ異音の発生が防止され、
駆動の際の騒音が低くなる。このため超音波モータが自
動車等のアクチュエータとして利用しやす(なる。
られるとともに、長時間に及ぶ異音の発生が防止され、
駆動の際の騒音が低くなる。このため超音波モータが自
動車等のアクチュエータとして利用しやす(なる。
第1図(a)はこの発明の実施例のモニタ電極を示す説
明図、第1図(b)は同実施例で用いる駆動回路を示す
回路図、第2図はこの発明の駆動方法によるモニタ電圧
と駆動周波数との関係を示す曲線図、第3図は同モニタ
電極の大きさと同調する周波数の関係を示す曲線図、第
4図は従来の駆動回路を示す回路図、第5図は従来のモ
ニタ電圧と駆動周波数の関係を示す曲線図である。 1;ステータ 2:圧電素子 3;モニタ電極4
;保護抵抗 5:ダイオード 6;感度調整抵抗7
;インピーダンス回路 8:積分回路 9;発振器10
、移相器 11a、llb;電力増幅器部願人
ア ス モ 株 式 会 社
明図、第1図(b)は同実施例で用いる駆動回路を示す
回路図、第2図はこの発明の駆動方法によるモニタ電圧
と駆動周波数との関係を示す曲線図、第3図は同モニタ
電極の大きさと同調する周波数の関係を示す曲線図、第
4図は従来の駆動回路を示す回路図、第5図は従来のモ
ニタ電圧と駆動周波数の関係を示す曲線図である。 1;ステータ 2:圧電素子 3;モニタ電極4
;保護抵抗 5:ダイオード 6;感度調整抵抗7
;インピーダンス回路 8:積分回路 9;発振器10
、移相器 11a、llb;電力増幅器部願人
ア ス モ 株 式 会 社
Claims (2)
- (1)リング状のステータに2区分して設けた圧電素子
に、位相の異なる駆動信号の高周波電圧を印加して、こ
のステータに圧接したロータを駆動させる超音波モータ
の駆動方法において、2区分した圧電素子の区分間に、
ロータの異常振動によってのみ同調して電圧を出力する
形状のモニタ電極を設け、モニタ電極から生じる電圧を
検知し、圧電素子に印加する駆動信号を制御してロータ
を駆動させるようにしたことを特徴とする超音波モータ
の駆動方法。 - (2)モニタ電極は、共振周波数に近づきすぎたときに
電圧を発生し、その電圧検知により制御回路が駆動信号
を制御して共振周波数に近づきすぎないようにした請求
項1記載の超音波モータの駆動方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2102913A JPH044769A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 超音波モータの駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2102913A JPH044769A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 超音波モータの駆動方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH044769A true JPH044769A (ja) | 1992-01-09 |
Family
ID=14340097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2102913A Pending JPH044769A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 超音波モータの駆動方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH044769A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5962953A (en) * | 1996-07-31 | 1999-10-05 | Nec Corporation | Piezoelectric transformer with monitor electrodes for sensing unbalanced vibration of the transformer |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP2102913A patent/JPH044769A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5962953A (en) * | 1996-07-31 | 1999-10-05 | Nec Corporation | Piezoelectric transformer with monitor electrodes for sensing unbalanced vibration of the transformer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0467784A (ja) | 超音波モータの駆動方法 | |
US4692649A (en) | Driving circuit of a vibration wave motor | |
US7812681B2 (en) | Driver device, physical quantity measuring device, and electronic instrument | |
JP3932661B2 (ja) | 角速度センサ駆動回路 | |
US5744897A (en) | Driving control device for vibration wave motor | |
JPH04200282A (ja) | 超音波モータの駆動装置 | |
JP2737420B2 (ja) | 超音波モータの駆動方式 | |
US5780955A (en) | Ultrasonic motor device | |
US5136199A (en) | Device for driving piezoelectric vibrator | |
JP4075152B2 (ja) | 角速度センサ | |
US5545954A (en) | Drive circuit for ultrasonic motor | |
JPH044769A (ja) | 超音波モータの駆動方法 | |
JP2663380B2 (ja) | 圧電型超音波リニアモータ | |
JP2521104B2 (ja) | 超音波モ−タアクチユエ−タのロツク検出装置 | |
JP2002045368A (ja) | 超音波凝固切開装置 | |
JP4333122B2 (ja) | 超音波モータ駆動回路および電子機器 | |
JP2001359288A (ja) | 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器 | |
JP2506895B2 (ja) | 超音波モ―タの制御装置 | |
JP2796549B2 (ja) | 超音波振動子の駆動回路 | |
JP4781558B2 (ja) | 超音波モータ制御回路 | |
JP2836189B2 (ja) | 超音波モータの駆動回路 | |
JPH06315283A (ja) | 超音波モータの駆動回路 | |
JP3198041B2 (ja) | 超音波モーター速度制御装置 | |
JPH04138084A (ja) | 超音波モータ用振動体および超音波モータ | |
JPH10191661A (ja) | 振動装置およびこれを備えた装置 |