JPH0446688A - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
- Publication number
- JPH0446688A JPH0446688A JP2156000A JP15600090A JPH0446688A JP H0446688 A JPH0446688 A JP H0446688A JP 2156000 A JP2156000 A JP 2156000A JP 15600090 A JP15600090 A JP 15600090A JP H0446688 A JPH0446688 A JP H0446688A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scribing
- laser
- supply device
- gas supply
- gas pressure
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、切新、溶接、熱処理、スクライプなどを行う
ためのレーザ加工機に関する。
ためのレーザ加工機に関する。
従来の技術
従来のレーザ加工機の構成について第６図を参照して説
明する。１または複数の放電管１１Ｃは、各放電管ごと
に＠＊２と陰極３からなる１組の放電電極が具備されて
おり、２個の放電管１は直列に配設されて放電部が形成
され、それぞれに高電圧電源４から電流が供給される。
明する。１または複数の放電管１１Ｃは、各放電管ごと
に＠＊２と陰極３からなる１組の放電電極が具備されて
おり、２個の放電管１は直列に配設されて放電部が形成
され、それぞれに高電圧電源４から電流が供給される。
また放電管１の両端にはレーザ共振用の出力ミラーｓ
＋ Ｈ端ミラー６が配設されて光共振器を形成している
。さらに放電管１の両端部分の陰極３近傍と中央部の陽
極２との間には略Ｘ字形の循環管体７が接続されてガス
循環路が形成され、この循環管体７にはガスを循環させ
る送風１１！８やガスを冷却する熱交換器９が配設され
ている。また上記放電管１には放電管ごとに上記陽極２
と陰極３の間にある放電管の外周に陽極２または陰極３
と電気的に接続された放電開始補助管１ｏが設けられて
いる。さらに高電圧電源４はＮＣ１１と信号ケーブル１
２で接続され、加工に応じて加工テーブルと高電圧電源
４を制御している。ガス供給装置１３・はガス配管１４
を介して光共振器と接続され、レーザ媒質ガスを光共振
器に導入している。
＋ Ｈ端ミラー６が配設されて光共振器を形成している
。さらに放電管１の両端部分の陰極３近傍と中央部の陽
極２との間には略Ｘ字形の循環管体７が接続されてガス
循環路が形成され、この循環管体７にはガスを循環させ
る送風１１！８やガスを冷却する熱交換器９が配設され
ている。また上記放電管１には放電管ごとに上記陽極２
と陰極３の間にある放電管の外周に陽極２または陰極３
と電気的に接続された放電開始補助管１ｏが設けられて
いる。さらに高電圧電源４はＮＣ１１と信号ケーブル１
２で接続され、加工に応じて加工テーブルと高電圧電源
４を制御している。ガス供給装置１３・はガス配管１４
を介して光共振器と接続され、レーザ媒質ガスを光共振
器に導入している。
このように構成されたレーザ加工機は、ガス流方向と放
電方向とレーザ光の発振軸が同軸であるため光軸方向か
ら見念ときに、その放電およびその放電によって形成さ
れるゲイン分布が同心で対称性がよい。したがって出力
されるレーザ光を用いて加工を行う場合、加工性能が良
いとされている。
電方向とレーザ光の発振軸が同軸であるため光軸方向か
ら見念ときに、その放電およびその放電によって形成さ
れるゲイン分布が同心で対称性がよい。したがって出力
されるレーザ光を用いて加工を行う場合、加工性能が良
いとされている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記のよりなレーザ加工機でスクライプ
加工を行う場合、レーザ加工機を切断時と同じ条件で運
転するとスクライプ加工で形成した孔の直径および深さ
が安定せず、スクライプ加工の品質が安定しないという
課題があった。
加工を行う場合、レーザ加工機を切断時と同じ条件で運
転するとスクライプ加工で形成した孔の直径および深さ
が安定せず、スクライプ加工の品質が安定しないという
課題があった。
本発明はこのような従来の課題を解決するもので、スク
ライプ加工品質の良いレーザ加工機の提供を目的とする
。
ライプ加工品質の良いレーザ加工機の提供を目的とする
。
課題を解決するための手段
本発明は上記の目的を達成するために、ガス供給装置を
ＮＧにより制御し、スクライプ加工時のガス圧を切断時
のガス圧よシ低田にするＷＩｔ戎とした。
ＮＧにより制御し、スクライプ加工時のガス圧を切断時
のガス圧よシ低田にするＷＩｔ戎とした。
作用
本発明は上記した構成によってスクライプ加工時のレー
ザ出力のばらつきを小さくできる。
ザ出力のばらつきを小さくできる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図を用いて説明する。第
６図の従来のレーザ加工機と異なる点は、ガス供給装置
１３とＮＣ１１とを制御信号ケーク。
６図の従来のレーザ加工機と異なる点は、ガス供給装置
１３とＮＣ１１とを制御信号ケーク。
１ｖ１６で接続し、ＮＣ１１内で発生し九スクライプ加
工命令信号をガス供給装置１３に電送し、ガス供給装置
１３においてスクライプ加工命令信号を受けてレーザ媒
質ガスのガス圧を切断時よシ低田化してスクライプ加工
を行うようにしたものである。
工命令信号をガス供給装置１３に電送し、ガス供給装置
１３においてスクライプ加工命令信号を受けてレーザ媒
質ガスのガス圧を切断時よシ低田化してスクライプ加工
を行うようにしたものである。
以下、その作用と効果について図を用いて説明する。第
２図にレーザ出力のばらつきとスクライプ孔の深さのば
らつきの関係を示した。この図からも明らかなようにレ
ーザ出力のばらつきが増加するとスクライプ孔の深さの
ばらつきが太きくなる傾向が伺え、スクライプ加工結果
が安定し々い。
２図にレーザ出力のばらつきとスクライプ孔の深さのば
らつきの関係を示した。この図からも明らかなようにレ
ーザ出力のばらつきが増加するとスクライプ孔の深さの
ばらつきが太きくなる傾向が伺え、スクライプ加工結果
が安定し々い。
第３図にレーザ出力のばらつきとスクライプ孔の直径の
ばらつきの関係を示す。この図からも明らかなように、
レーザ出力のばらつきが増大するとスクライプ孔の直径
のばらつきが増大する傾向がある。
ばらつきの関係を示す。この図からも明らかなように、
レーザ出力のばらつきが増大するとスクライプ孔の直径
のばらつきが増大する傾向がある。
第４図にレーザ媒質ガスの圧力とレーザ出力のばらつき
の関係を示し念。この図からも明確なように、レーザ媒
質ガスの圧力が上昇するとレーザ出力のばらつきが増大
する傾向が伺える。
の関係を示し念。この図からも明確なように、レーザ媒
質ガスの圧力が上昇するとレーザ出力のばらつきが増大
する傾向が伺える。
特にレーザ媒質ガスの圧力を２０ Ｔｏｒｒ以とにする
とレーザ出力のばらつきは大きくなる。
とレーザ出力のばらつきは大きくなる。
そこでレーザ出力が必要な切断時にはレーザ媒質ガスの
圧力を上げて高出力の速読レーザ光を得、パルスレーザ
の１パルス当りのエネルギーが必要なスクライプ加工時
にはガス圧力を下げてできるだけ短時間に高電力を注入
することで安定したパルスレーザ出力を得ることができ
る。本実施例では、スクライプ加工時にレーザ媒質ガス
のガス圧を切断時より低圧化しパルスレーザの出力を安
定化してスクライプ加工を行うことで、スクライプ加工
で形成した孔の直径および深さのばらつきを抑え、スク
ライプ加工の品質を安定させることができた。
圧力を上げて高出力の速読レーザ光を得、パルスレーザ
の１パルス当りのエネルギーが必要なスクライプ加工時
にはガス圧力を下げてできるだけ短時間に高電力を注入
することで安定したパルスレーザ出力を得ることができ
る。本実施例では、スクライプ加工時にレーザ媒質ガス
のガス圧を切断時より低圧化しパルスレーザの出力を安
定化してスクライプ加工を行うことで、スクライプ加工
で形成した孔の直径および深さのばらつきを抑え、スク
ライプ加工の品質を安定させることができた。
発明の効果
以上のように本発明のレーザ側工機によれば、ガス供給
装置をＩＣに接続し、ＩＣからのスクライプ加工命令信
号をガス供給装置に電送し、スクライプ加工時のガス圧
を切断時のガス圧より低圧化するとパルスレーザ出力の
ばらつきが小さくなるので、孔の直径および深さのばら
つきを抑え、スクライプ加工の品質を安定させることが
できる。
装置をＩＣに接続し、ＩＣからのスクライプ加工命令信
号をガス供給装置に電送し、スクライプ加工時のガス圧
を切断時のガス圧より低圧化するとパルスレーザ出力の
ばらつきが小さくなるので、孔の直径および深さのばら
つきを抑え、スクライプ加工の品質を安定させることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例におけるレーザ加工機の概略断
面図、第２図はレーザ出力のばらつきとスクライプ孔の
深さのばらつきとの関係を示す模式図、第３図はレーザ
出力のばらつきとスクライプ孔の直径のばらつきとの関
係を示す模式図、第４図はレーザ媒質ガスの圧力とレー
ザ出力のばらつきとの関係を示す模式図、第６図は従来
のレーザ加工機の概略断面図である。 １・・・・−放電管、２・・・・・・陽極、３・・・・
・・陰極、４・・・・・・高電圧電源、６．６・・・・
・・レーザ共振用ミラー７・・・・・・循環管体、８・
・・・・・送風機、９・・・・・・熱交換器、１１・・
・・・・数値制御装置、１３・・・・・・ガス供給装置
。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名唱−
・・放ｔＶ ２−・・陽＆ トー玲罹 クー１．４ｆｔ４’ｆ１本 トー４Ｕ牝凰 ９−・塾交禮春 第 図 Ｌ−ｖ′記方力内るつき（ｗ） 第 図 し−ず七ｐのげ°Ｉ；つき（Ｗ） 第 図 Ｌ−ザｇ！７７’スｓｌｒ刀（Ｔｏｒｒ）第 図
面図、第２図はレーザ出力のばらつきとスクライプ孔の
深さのばらつきとの関係を示す模式図、第３図はレーザ
出力のばらつきとスクライプ孔の直径のばらつきとの関
係を示す模式図、第４図はレーザ媒質ガスの圧力とレー
ザ出力のばらつきとの関係を示す模式図、第６図は従来
のレーザ加工機の概略断面図である。 １・・・・−放電管、２・・・・・・陽極、３・・・・
・・陰極、４・・・・・・高電圧電源、６．６・・・・
・・レーザ共振用ミラー７・・・・・・循環管体、８・
・・・・・送風機、９・・・・・・熱交換器、１１・・
・・・・数値制御装置、１３・・・・・・ガス供給装置
。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名唱−
・・放ｔＶ ２−・・陽＆ トー玲罹 クー１．４ｆｔ４’ｆ１本 トー４Ｕ牝凰 ９−・塾交禮春 第 図 Ｌ−ｖ′記方力内るつき（ｗ） 第 図 し−ず七ｐのげ°Ｉ；つき（Ｗ） 第 図 Ｌ−ザｇ！７７’スｓｌｒ刀（Ｔｏｒｒ）第 図
Claims (1)
- 陽極と陰極を有する１または複数の連通した放電管と、
その放電管の両端に配備されたレーザ共振用ミラーと、
内部に送風機と熱交換機を有し上記放電管に接続された
循環管体と、その循環管体に接続されたガス供給装置と
、上記陽極と陰極に接続された高電圧電源と、その高電
圧電源を制御する数値制御装置とを備えたレーザ加工機
において、上記ガス供給装置を上記数値制御装置により
制御し、スクライブ加工時のガス圧を切断時のガス圧よ
り低圧にすることを特徴とするレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2156000A JPH0446688A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2156000A JPH0446688A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | レーザ加工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0446688A true JPH0446688A (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=15618146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2156000A Pending JPH0446688A (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0446688A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100678663B1 (ko) * | 2004-10-20 | 2007-02-06 | 삼성전자주식회사 | 냉기누설방지장치를 구비하는 냉장고 |
-
1990
- 1990-06-14 JP JP2156000A patent/JPH0446688A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100678663B1 (ko) * | 2004-10-20 | 2007-02-06 | 삼성전자주식회사 | 냉기누설방지장치를 구비하는 냉장고 |
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