JPH0445913U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0445913U JPH0445913U JP8802090U JP8802090U JPH0445913U JP H0445913 U JPH0445913 U JP H0445913U JP 8802090 U JP8802090 U JP 8802090U JP 8802090 U JP8802090 U JP 8802090U JP H0445913 U JPH0445913 U JP H0445913U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- image
- optical system
- light
- projects
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第２図イは第１図の２分割格子１の詳細を示す平
面図、第２図ロは第１図の格子６上に投影された
２分割格子１の像を示す平面図、第２図ハは第１
図の格子６の詳細を示す平面図、第３図イは第１
図における光量ＩＡ，ＩＢとの関係を示すグラフ
、第３図ロは第１図の減算器９の出力を示すグラ
フ、第４図は従来の例を示すブロツク図である。 １……２分割格子、２……光源、３……試料表
面、４，５……レンズ、６……格子、７，８……
フオトデイテクタ、９……減算器、１０……加算
器、１１……割算器、４１……光源、４２……試
料表面、４３，４４……レンズ、４５……検出器
、４６……減算器、４７……加算器、４８……割
算器。
第２図イは第１図の２分割格子１の詳細を示す平
面図、第２図ロは第１図の格子６上に投影された
２分割格子１の像を示す平面図、第２図ハは第１
図の格子６の詳細を示す平面図、第３図イは第１
図における光量ＩＡ，ＩＢとの関係を示すグラフ
、第３図ロは第１図の減算器９の出力を示すグラ
フ、第４図は従来の例を示すブロツク図である。 １……２分割格子、２……光源、３……試料表
面、４，５……レンズ、６……格子、７，８……
フオトデイテクタ、９……減算器、１０……加算
器、１１……割算器、４１……光源、４２……試
料表面、４３，４４……レンズ、４５……検出器
、４６……減算器、４７……加算器、４８……割
算器。
Claims (1)
- 半周期ずれた位相を有する２つ以上の部分から
構成される第１の格子像を試料表面に対し斜め方
向から投影する投影光学系と、前記試料表面で反
射した前記第１の格子像を再び結像させて第２の
格子像を形成する受光光学系と、前記受光光学系
の結像面に配置した第２の格子と、前記第２の格
子を透過する前記第１の格子像のそれぞれの位相
の部分の光量を独立に検出する検出器とを含むこ
とを特徴とする位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8802090U JPH0445913U (ja) | 1990-08-23 | 1990-08-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8802090U JPH0445913U (ja) | 1990-08-23 | 1990-08-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0445913U true JPH0445913U (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=31820888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8802090U Pending JPH0445913U (ja) | 1990-08-23 | 1990-08-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0445913U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004170977A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 分解能の深度で試料を光学的に把握する方法および配置 |
| CN102193327A (zh) * | 2010-03-12 | 2011-09-21 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备和器件制造方法 |
-
1990
- 1990-08-23 JP JP8802090U patent/JPH0445913U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004170977A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 分解能の深度で試料を光学的に把握する方法および配置 |
| CN102193327A (zh) * | 2010-03-12 | 2011-09-21 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备和器件制造方法 |
| JP2011203248A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-10-13 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
| JP2011209278A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-10-20 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |